JP7175316B2 - フォトレジストリムーバ組成物 - Google Patents
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-
- C11D2111/22—
Description
[発明の態様]
から本質的になる組成物であって、前記有機溶剤成分が、約95重量%~約85重量%の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、有機溶剤(III)、(IV)、(V)、(VI)(式中、Rは、-(-O-CH2-CH2-)n’-OH、-OH及び-O-C(=O)-CH3からなる群から選択され、n’は1、2、3または4に等しい)、(VII)(式中、RaはHまたはC1~C4アルキル部分である)、(VIII)、(IX)(式中、RbはC1~C18アルキル部分である)、(X)、及び(XI)からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、組成物に関する:
を含むまたはから本質的になるまたはからなる、組成物であって、前記有機溶剤成分が、約100重量%~約85重量%の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤(III)、(IV)、(V)、(VI)(式中、Rは、-(-CH2-CH2-)n’-OH、-OH及び-O-C(=O)-CH3からなる群から選択され、そしてn’は1、2、3または4に等しい)、(VII)(式中、RaはHまたはC1~C4アルキル部分である)、(VIII)、(IX)(式中、RbはC1~C18アルキル部分である)、(X)、及び(XI)からなる群から選択されるか、あるいはこの群から選択される少なくとも二種の化合物の混合物である、組成物に関する:
前記有機溶剤成分が、約100重量%~約85重量%の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分は、有機溶剤(III)、(IV)、(V)、(VI)(式中、Rは、-(-O-CH2-CH2-)n’-OH、-OH及び-O-C(=O)-CH3からなる群から選択され、n’は1、2、3または4である)、(VII)(式中、RaはHまたはC1~C4アルキル部分である)、(VIII)、(IX)(式中、RbはC1~C18アルキル部分である)、(X)、及び(XI)からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、組成物に関する:
構造(VI)によって示される構造から選択される溶剤の二元、三元またはより多元の混合物、または構造(VI)に示される構造を有するこれらの有機溶剤の任意のものと単一の有機溶剤(III)、(IV)、(V)、(VI)、(VIII)、(IX)、(X)または(XI)の任意のものとの二元、三元またはより多元の混合物。構造(VII)を有する有機溶剤、またはこれらの有機溶剤と構造(III)、(IV)、(V)、(VI)、(IX)、(X)または(XI)を有する有機溶剤との混合物から選択される、構造(VII)を有する有機溶剤の二元または三元混合物。構造(IX)を有する有機溶剤、またはこれらの有機溶剤と構造(III)、(IV)、(V)、(VI)、(VII)、(X)または(XI)を有する有機溶剤との混合物から選択される、構造(VII)を有する有機溶剤の二元または三元混合物。具体的な有機溶剤混合物の一つの態様は、異なるn’の値を有する一般構造(VIa)を有する異なる溶剤の混合物である。本発明のこの観点の非限定的な例は、例えば、(VIb)、(VIc)、(VId)及び(VIe)の四元混合物;(VIc)、(VId)及び(VIe)、または(VIb)、(Ic)及び(VIe)、または(VIb)、(VId)及び(VIe)の三元混合物、及び類似の混合物;(VIb)及び(VIc)、または(VIb)及び(VId)、または(VIb)及び(VIe)、または(VIc)及び(VId)、または(VIc)及び(VIe)、または(VId)及び(VIe)の二元混合物である。上記の構造(VII)を有する異なる溶剤の混合物を、有機溶剤(VIf)、(VIg)、(III)、(IV)、(V)、(VIII)、(IX)、(X)及び(XI)からなる群から選択される少なくとも一種の有機溶剤と組み合わせてもよい。
i)おおよそ室温から約100℃である温度で上記の組成物のいずれか一つを加熱するステップ;
ii)パターン化されたフォトレジストフィルムでコーティングされた基材を、前記の加熱された組成物中に約1分間~約60分間の時間、浸漬した基材からフォトレジストフィルムが除去されるまで、浸漬するステップ;
iii)浸漬ステップii)の後、フォトレジストフィルムが除去された前記の浸漬した基材を、イソプロピルアルコール、水、またはイソプロプルアルコールと水との混合物のいずれかですすいで、浸漬ステップii)からの残留組成物を除去して、クリーンな基材を生成するステップ;
iv)上記のクリーンな基材を、それを空気中でスピン乾燥するか、またはそれを乾燥するために窒素もしくは空気の流れを用いて乾燥するステップ;
を含む、方法である。
化学品
DDBSA(ドデシルベンゼンスルホン酸;CAS:68584-22-5)は、Stepan社(22 West Frontage Rd.,Northfield,IL 60093)から入手した。Filtrez 591は、Lawter社(Chicago IL)から入手した。他の全ての化学品は、他に記載がなければ、表1に記載のように、Sigma Aldrich社(3050 Spruce St.,St.Louis,MO 63103)から購入した。
調合手順
表1及び2に記載の調合物は以下のように調製した。共有機溶剤としてスルホランを含む調合物は、スルホランを他の有機溶剤、界面活性剤並びに(存在する場合は)水と一緒に含む原料溶液を用いて開始した。次いで、特定のスルホン酸及びシュウ酸をこの原料溶液に添加、混合した。スルホランを含まない調合物は、各々の組成物の成分を容器(例えばガラスビーカー)中に一緒に加え、そして均一な溶液が得られるまでこれらの成分を互いに混合することによって調製した。
調合物試験
150nmの銅スパッタコーティングを有するケイ素200mm(8’’)ウェハを、金属腐食試験に使用した。銅コートケイ素ウェハクーポンを、予熱したフォトレジストリムーバ溶液中に、フォトレジストを剥離するのに十分以上の期間、浸漬した。腐食の兆候としての表面曇りの存在の目視及び顕微鏡検査によって金属表面の状態を調査するために定期的な検査を行った。表面曇りは、重量分析よりもより高いレベルの感度で確認、確定できる(<10Å/分)。
1.
カンフルスルホン酸、及び構造(I)(式中、RはHまたはC1~C18n-アルキルである)のベンゼンスルホン酸、
構造(II)を有するジカルボン酸、
を含む、またはから本質的になる、またはからなる組成物であって、
前記有機溶剤成分が、約100重量%~約85重量%の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤(III)、(IV)、(V)、(VI)(式中、Rは、-(-O-CH 2 -CH 2 -) n’ -OH、-OH、及び-O-C(=O)-CH 3 からなる群から選択され、ここでn’は1、2、3または4に等しい)、(VII)(式中、RaはHまたはC1~C4アルキル部分である)、(VIII)、(IX)(式中、RbはC1~C18アルキル部分である)、(X)、及び(XI)からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも溶剤の混合物である、前記組成物:
カンフルスルホン酸、及び構造(I)(式中、RはHまたはC1~C18n-アルキルである)のベンゼンスルホン酸、
構造(II)を有するジカルボン酸、
及び界面活性剤、
を含む、またはから本質的になる、またはからなる組成物であって、
前記有機溶剤成分が、約100重量%~約85重量%の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤(III)、(IV)、(V)、(VI)(式中、Rは、-(-O-CH 2 -CH 2 -) n’ -OH、-OH及び-O-C(=O)-CH 3 からなる群から選択され、ここでn’は1、2、3または4に等しい)、(VII)(式中、RaはHまたはC1~C4アルキル部分である)、(VIII)、(IX)(式中、RbはC1~C18アルキル部分である)、(X)、及び(XI)からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、前記組成物:
前記界面活性剤が、構造(XIII)を有するポリマー型界面活性剤であり、ここでn’’’はポリマー繰り返し単位の数であり、そしてnaはCH 2 スペーサ部分の数であり、8~14の整数である、前記2.に記載の組成物。
前記ポリマー型界面活性剤が構造(XIIIa)を有する、前記3.に記載の組成物。
前記界面活性剤が構造(XIII)を有するものである、前記2.に記載の組成物。
前記界面活性剤が、約0.005重量%~約3重量%で存在する、前記2.~5.のいずれか一つに記載の組成物。
7.
前記スルホン酸成分がカンフルスルホン酸である、前記1.~6.のいずれか一つに記載の組成物。
8.
前記スルホン酸成分がベンゼンスルホン酸である、前記1.~6.のいずれか一つに記載の組成物。
9.
前記スルホン酸成分がトルエンスルホン酸である、前記1.~6.のいずれか一つに記載の組成物。
10.
前記スルホン酸成分が構造(I)のベンゼンスルホン酸である、前記1.~6.のいずれか一つに記載の組成物。
11.
前記スルホン酸成分が構造(Ia)のアルキルベンゼンスルホン酸であり、ここでnは0~16の整数である、前記1.~6.または10.のいずれか一つに記載の組成物。
前記アルキルベンゼンスルホン酸(Ia)において、nが8~16の整数である、前記11.に記載の組成物。
13.
前記アルキルベンゼンスルホン酸(Ia)において、nが8~14の整数である、前記11.または12.に記載の組成物。
14.
前記アルキルベンゼンスルホン酸(Ia)に関して、nが8~10の整数である、前記11.~13.のいずれか一つに記載の組成物。
15.
前記アルキルベンゼンスルホン酸に関して、これが構造(Ib)を有する、前記11.~13.のいずれか一つに記載の組成物。
前記アルキルベンゼンスルホン酸(Ia)に関して、nが0~10の整数である、前記11.に記載の組成物。
17.
前記アルキルベンゼンスルホン酸に関して、nが0~5の整数である、前記11.~16.のいずれか一つに記載の組成物。
18.
前記アルキルベンゼンスルホン酸(Ia)に関して、nが0~2の整数である、前記11.または16.~17.のいずれか一つに記載の組成物。
19.
前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造(Ic)を有する、前記11.または16.~18.のいずれか一つに記載の組成物。
上記アルキルベンゼンスルホン酸が構造(Id)を有し、ここでnbが0~16の整数である、前記1.~6.または11.のいずれか一つに記載の組成物。
nbが10~14の整数である、前記20.に記載の組成物。
22.
nbが8~10の整数である、前記20.に記載の組成物。
23.
前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造(Ie)を有する、前記20.~22.のいずれか一つに記載の組成物。
nbが0~10の整数である、前記20.に記載の組成物。
25.
nbが0~5の整数である、前記20.に記載の組成物。
26.
前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造(If)を有する、前記20.に記載の組成物。
前記スルホン酸が、前記組成物の約0.1重量%~約10重量%で存在する、前記1.~26.のいずれか一つに記載の組成物。
28.
前記スルホン酸が、前記組成物の約0.1重量%~約10重量%で存在する、前記15.または23.に記載の組成物。
29.
前記スルホン酸が、前記組成物の約0.1重量%~約10重量%で存在する、前記23.に記載の組成物。
30.
前記スルホン酸が、前記組成物の約0.5重量%~約2.5重量%で存在する、前記23.に記載の組成物。
31.
構造(II)の前記ジカルボン酸であるシュウ酸が、全組成物の約1重量%~約10重量%で存在する、前記1.~30.のいずれか一つに記載の組成物。
32.
構造(II)の前記ジカルボン酸であるシュウ酸が、全組成物の約2重量%~約5重量%で存在する、前記1.~31.のいずれか一つに記載の組成物。
33.
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約0.01~約0.6である、前記1.~32.のいずれか一つに記載の組成物。
34.
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約0.01~約0.55である、前記1.~33.のいずれか一つに記載の組成物。
35.
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約0.01~約0.3である、前記1.~34.のいずれか一つに記載の組成物。
36.
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約0.1~約0.2である、前記1.~35.のいずれか一つに記載の組成物。
37.
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が約0.1~約0.15である、前記1.~36.のいずれか一つに記載の組成物。
38.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が溶剤(III)である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
39.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(IV)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
40.
前記有機溶剤成分が溶剤(V)である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
41.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VI)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
42.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VI)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
43.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VI)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
44.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤が、構造(VIa)を有するものから選択される有機溶剤であり、ここでn’は1、2、3または4である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤が、1、2、3または4のn’の異なる値を有する構造(VIa)を有する少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
46.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIb)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIc)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VId)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIe)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIf)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIg)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VII)の範囲に該当する構造を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
53.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VII)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
54.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIIa)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIIb)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIIc)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIId)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(VIIe)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤において、前記有機溶剤成分が、構造(VIII)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
60.
前記溶剤において、前記有機溶剤成分が、構造(IX)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
61.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(IX)の範囲に該当する構造を有し、ここでRbはC1~C12アルキルである、少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
62.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(IX)の範囲に該当する構造を有し、ここでRbはC1~C8アルキルである、少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
63.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(IX)の範囲に該当する構造を有し、ここでRbはC1~C4アルキルである、少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
64.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(IXa)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(IXb)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(IXc)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤が、構造(IXd)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(X)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
69.
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、構造(XI)を有する単一の有機溶剤である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
70.
前記有機溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤(III)と有機溶剤(IV)との混合物のみからなり;ここで前記混合物において、前記有機溶剤(III)は、有機溶剤の前記混合物の約90重量%~約50重量%の範囲である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
71.
前記有機溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤(III)と有機溶剤(IV)との混合物のみからなり;ここで前記混合物において、前記有機溶剤(III)は、有機溶剤の前記混合物の約70重量%~約50重量%の範囲である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
72.
前記有機溶剤成分において、前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤(III)と有機溶剤(IV)との混合物のみからなり;ここで前記混合物において、前記有機溶剤(III)は、有機溶剤の前記混合物の約60重量%~約50重量%の範囲である、前記1.~37.のいずれか一つに記載の組成物。
73.
前記溶剤成分において、水が約0~約15重量%の範囲である、前記1.~72.のいずれか一つに記載の組成物。
74.
前記溶剤成分において、水が約3~約8重量%の範囲である、前記1.~72.のいずれか一つに記載の組成物。
75.
次のステップ:
i)おおよそ室温から約100℃までである温度で前記1.~74.のいずれか一つに記載の組成物を加熱するステップ;
ii)パターン化されたフォトレジストフィルムでコーティングされた基材を、前記の加熱された組成物中に約1分間~約60分間の時間、浸漬した基材からフォトレジストフィルムが除去されるまで、浸漬するステップ;
iii)浸漬ステップii)の後、フォトレジストフィルムが除去された前記の浸漬した基材を、イソプロピルアルコール、水、またはイソプロプルアルコールと水との混合物のいずれかですすいで、浸漬ステップii)からの残留組成物を除去して、クリーンな基材を生成するステップ;
iv)上記のクリーンな基材を、それを空気中でスピン乾燥するか、またはそれを乾燥するために窒素もしくは空気の流れを用いて乾燥するステップ;
を含む、方法。
76.
ステップi)において、前記組成物を約40℃~約80℃に加熱する、前記75.に記載の方法。
77.
ステップii)において、基材が金属である、前記75.または76.に記載の方法。
78.
ステップii)において、基材が銅である、前記75.~77.のいずれか一つに記載の方法。
79.
ステップii)において、基材を約5分間~約30分間浸漬する、前記75.~78.のいずれか一つに記載の方法。
80.
ステップiii)において、すすぎを水で行う、前記75.~79.のいずれか一つに記載の方法。
Claims (15)
- カンフルスルホン酸、及び構造(I)(式中、RはHまたはC1~C18n-アルキルである)のベンゼンスルホン酸、
構造(II)を有するジカルボン酸、
を含むかまたはからなるフォトレジストリムーバ組成物であって、
前記溶剤成分の100重量%~85重量%が前記有機溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤(III)、(IV)、(V)、(VI)(式中、Rは、-(-O-CH2-CH2-)n’-OH、-OH、及び-O-C(=O)-CH3からなる群から選択され、ここでn’は1、2、3または4に等しい)、(VII)(式中、RaはHまたはC1~C4アルキル部分である)、(VIII)、(IX)(式中、RbはC1~C18アルキル部分である)、(X)、及び(XI)からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも溶剤の混合物である、前記フォトレジストリムーバ組成物:
- カンフルスルホン酸、及び構造(I)(式中、RはHまたはC1~C18n-アルキルである)のベンゼンスルホン酸、
構造(II)を有するジカルボン酸、
及び界面活性剤、
を含むかまたはからなるフォトレジストリムーバ組成物であって、
前記溶剤成分の100重量%~85重量%が前記有機溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤(III)、(IV)、(V)、(VI)(式中、Rは、-(-O-CH2-CH2-)n’-OH、-OH及び-O-C(=O)-CH3からなる群から選択され、ここでn’は1、2、3または4に等しい)、(VII)(式中、RaはHまたはC1~C4アルキル部分である)、(VIII)、(IX)(式中、RbはC1~C18アルキル部分である)、(X)、及び(XI)からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、前記フォトレジストリムーバ組成物:
- 前記界面活性剤が、0.005重量%~3重量%で存在する、請求項2または3に記載の組成物。
- 前記アルキルベンゼンスルホン酸(Ia)に関して、nが0~10の整数である、請求項5に記載の組成物。
- nbが0~10の整数である、請求項7に記載の組成物。
- 前記スルホン酸が、前記組成物の0.1重量%~10重量%で存在する、請求項1~8のいずれか一つに記載の組成物。
- 構造(II)の前記ジカルボン酸であるシュウ酸が、全組成物の1重量%~10重量%で存在する、請求項1~9のいずれか一つに記載の組成物。
- 前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が0.01~0.6である、請求項1~10のいずれか一つに記載の組成物。
- 前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が溶剤(III)である、
または前記有機溶剤成分が、構造(IV)を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が溶剤(V)である、
または前記有機溶剤成分が、構造(VI)を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、構造(VI)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、
または前記有機溶剤が、構造(VIa)を有するものから選択される有機溶剤であり、ここでn’は1、2、3または4である、
または前記有機溶剤成分が、構造(VIb)を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、構造(VII)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、
または前記有機溶剤成分が、構造(VIIa)を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、構造(IX)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、
または前記有機溶剤成分が、構造(IX)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物であり、ここでRbはC1~C12アルキルであり、
または前記有機溶剤成分が、構造(IX)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物であり、ここでRbはC1~C8アルキルであり、
または前記有機溶剤成分が、構造(IX)の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物であり、ここでRbはC1~C4アルキルであり、
または前記有機溶剤成分が、構造(IXa)を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、構造(XI)を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤(III)と有機溶剤(IV)との混合物のみからなり;ここで前記混合物において、前記有機溶剤(III)は、有機溶剤の前記混合物の90重量%~50重量%の範囲である、または前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤(III)と有機溶剤(IV)との混合物のみからなり;ここで前記混合物において、前記有機溶剤(III)は、有機溶剤の前記混合物の70重量%~50重量%の範囲である、または前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤(III)と有機溶剤(IV)との混合物のみからなり;ここで前記混合物において、前記有機溶剤(III)は、有機溶剤の前記混合物の60重量%~50重量%の範囲である、請求項1~11のいずれか一つに記載の組成物。 - 前記溶剤成分において、水が0~15重量%の範囲である、請求項1~12のいずれか一つに記載の組成物。
- 次のステップ:
i)室温から100℃までである温度で請求項1~13のいずれか一つに記載の組成物を加熱するステップ;
ii)パターン化されたフォトレジストフィルムでコーティングされた基材を、前記の加熱された組成物中に1分間~60分間の時間、浸漬した基材からフォトレジストフィルムが除去されるまで、浸漬するステップ;
iii)浸漬ステップii)の後、フォトレジストフィルムが除去された前記の浸漬した基材を、イソプロピルアルコール、水、またはイソプロプルアルコールと水との混合物のいずれかですすいで、浸漬ステップii)からの残留組成物を除去するステップ;
iv)残留組成物が除去された、ステップiii)からの基材を、それを空気中でスピン乾燥するか、またはそれを乾燥するために窒素もしくは空気の流れを用いて乾燥するステップ;
を含む、方法。 - ステップi)において、前記組成物を40℃~80℃に加熱する、
及び/またはステップii)において、基材が金属である、
及び/またはステップii)において、基材を5分間~30分間浸漬する、
及び/またはステップiii)において、すすぎを水で行う、
請求項14に記載の方法。
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