JP7167955B2 - 積層セラミック電子部品 - Google Patents
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Description
この開示に従う積層セラミック電子部品の第1の実施形態を示す積層セラミックコンデンサ100について、図1ないし図4を用いて説明する。
図1は、積層セラミックコンデンサ100の断面図である。積層セラミックコンデンサ100は、積層体10を備えている。積層体10は、積層された複数の誘電体層11と複数の内部電極層12とを含む。複数の誘電体層11は、外層部と内層部とを有する。外層部は、積層体10の第1の主面と第1の主面に最も近い内部電極層12との間、および第2の主面と第2の主面に最も近い内部電極層12との間に配置されている。内層部は、それら2つの外層部に挟まれた領域に配置されている。
この開示に係る積層セラミックコンデンサ100の誘電体層11が含む誘電体粒子の微細構造を調べるため、TEM観察およびTEMに付属のEDXによる元素マッピングを行なった。
次に、この開示に従う積層セラミック電子部品の実施形態を示す積層セラミックコンデンサ100の製造方法について、製造工程順に説明する。積層セラミックコンデンサ100の製造方法は、以下の各工程を備える。また、構成要素に付けられた符号は、図1に示された構成要素に付けられた符号に対応している。
10 積層体
11 誘電体層
12 内部電極層
M1 第1の元素
M2 第2の元素
G 誘電体粒子
GB 粒界
R1 第1の濃縮領域
R2 第2の濃縮領域
R3 第3の濃縮領域
P1 第1の部分
P2 第2の部分
Claims (8)
- 積層された誘電体層と内部電極層とを含む積層体を備え、
前記誘電体層は、Ba、Tiを含む複数の誘電体粒子を備え、
前記誘電体粒子の界面に第1の元素による第1の濃縮領域があり、前記第1の濃縮領域から50nm以内の界面に前記第1の元素による第2の濃縮領域が存在する、積層セラミック電子部品。 - 前記第1の濃縮領域と前記第2の濃縮領域の間には、第2の元素による第3の濃縮領域が存在する、請求項1に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記第1の濃縮領域と前記第3の濃縮領域とは隣り合っている、請求項2に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記第1の元素には、希土類が少なくとも1つ含まれる、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記第2の元素には、Ni、Cu、Pd、Agから選ばれる金属が少なくとも1つ含まれている、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記内部電極層は、前記第2の元素を含む、請求項1ないし5のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記誘電体粒子は、コアおよびシェルを持つコアシェル構造である、請求項1ないし6のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品。
- 前記誘電体層の厚さは、0.3μm以上1.5μm以下である、請求項1ないし7のいずれか1項に記載の積層セラミック電子部品。
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