JP7165672B2 - 流動床方式反応容器及びトリクロロシランの製造方法 - Google Patents
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Description
本実施の形態の流動床方式反応容器1の構成について、図2に基づいて説明する。図2は、本実施の形態の流動床方式反応容器1の構成を示す断面図である。
前述した図2に示すように、容器本体10の下部には底面としての分散盤11が設けられていると共に、分散盤11には塩化水素ガスを噴出する複数の噴出ノズル20が立設されている。ここで、噴出ノズル20は、通常20~50mmの直径をしている。
次に、本実施の形態の噴出ノズル20の配列及びガス噴出開口の形成位置について、図1の(a)(b)に基づいて説明する。図1の(a)は、本実施の形態における流動床方式反応容器1の分散盤11に立設された複数の噴出ノズル20を示す平面図である。図1の(b)は、容器本体10の外壁10aに隣接する第1噴出ノズル20aのガス噴出開口22aの開口方向を示す断面図である。図1の(c)は、第1噴出ノズル20aの内側に存在する第2噴出ノズル20bのガス噴出開口22aの開口方向を示す断面図である。
10 容器本体
10a 外壁
11 分散盤(底面)
12 熱媒管
12a 縦管
13 ガス供給口
14 出口
20 噴出ノズル
20a 第1噴出ノズル(噴出ノズル)
20b 第2噴出ノズル(噴出ノズル)
21 内管
21a 内管開口
22 上面閉塞外管
22a ガス噴出開口
α 安息角
θ 角度
Claims (5)
- 金属シリコン粉体と塩化水素ガスとを反応させてトリクロロシランを生成する流動床方式反応容器において、
容器本体の底面に立設される複数の噴出ノズルを備え、
前記噴出ノズルには前記塩化水素ガスを側方に吹き出すガス噴出開口が形成されていると共に、
前記複数の噴出ノズルのうち、前記容器本体の外壁に隣接する第1噴出ノズルには、前記外壁側に塩化水素ガスを吹き出さないように、前記ガス噴出開口が形成され、
前記噴出ノズルは、上面閉塞外管と内管とを含む二重管を備え、
前記内管には、前記塩化水素ガスを該上面閉塞外管と内管との間の空間に噴出する内管開口が形成され、かつ該上面閉塞外管には、該内管開口よりも下側位置において、前記容器本体の内部に該塩化水素ガスを噴出する前記ガス噴出開口が形成されていると共に、
前記内管開口の下端と前記ガス噴出開口の上端とを結ぶ直線と水平線とのなす角度が、堆積した金属シリコン粉体の安息角よりも大きいことを特徴とする流動床方式反応容器。 - 前記複数の噴出ノズルのうち、前記第1噴出ノズルよりも内側に存在する第2噴出ノズルには、前記第2噴出ノズルの周りに放射状に前記塩化水素ガスが噴出されるように複数の前記ガス噴出開口が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の流動床方式反応容器。
- 前記第2噴出ノズルは複数配置されており、
前記複数の第2噴出ノズルの周囲を囲むように、前記第1噴出ノズルが複数配置されていることを特徴とする請求項2に記載の流動床方式反応容器。 - 前記噴出ノズルのガス噴出開口は、前記容器本体の底面から15mm以上かつ30mm以下の高さに形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の流動床方式反応容器。
- 請求項1~4のいずれか1項に記載の流動床方式反応容器を用いて、金属シリコン粉体と塩化水素ガスとを反応させる工程を含むことを特徴とするトリクロロシランの製造方法。
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