JP5359082B2 - トリクロロシラン製造装置及びトリクロロシラン製造方法 - Google Patents
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Description
このトリクロロシラン製造装置として、例えば特許文献1に示されるものがある。このトリクロロシラン製造装置は、反応炉と、この反応炉の底部に金属シリコン粉末を供給する原料供給手段と、この金属シリコン粉末と反応される塩化水素ガスを導入するガス導入手段とを備え、反応炉内の金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、生成したトリクロロシランを反応炉の上部から取り出すようになっているものであり、反応炉内には、上下方向に沿って熱媒体を流通させる伝熱管が備えられている。
反応炉の内部では、その下部が最も多く反応して温度が高く、また下方から塩化水素ガスも上昇してくるので、流動層においては、径方向の中央部付近は上昇流となり、反応炉の内周壁付近は下降流となる対流が生じている。そして、反応炉の上端部からトリクロロシランガスを排出するのであるが、このトリクロロシランガスの排出口から流動層の成分である金属シリコン粉末が極力排出されないようにする必要があり、反応炉の上部に大径部を設けることにより、その部分で流動層における上昇流の流速を低下させ、この上昇流に乗って上昇してきた金属シリコン粉末を下降流に自由落下させることができる。この場合、ガス流制御部材は、その上端部が大径部の下端部までの高さに配置されていればよく、大径部まで到達しない程度に低いものであってもよい。なお、大径部の内径としては、反応炉の下部に対して1.3〜1.6倍程度が好ましい。
この場合、前記ガス流制御部材は中空構造とされている構成とすると、軽量化することができる。
このトリクロロシラン製造装置1は、反応炉2と、この反応炉2に原料として金属シリコン粉末を供給する原料供給手段3と、その金属シリコン粉末と反応させられる塩化水素ガスを導入するガス導入手段4と、生成されたトリクロロシランガスを排出するガス取出し手段5とが備えられた構成とされている。
一方、ガス導入手段4は、ガス供給管12を介して反応炉2の底部7内に塩化水素ガスを導入する構成である。
また、前記隔壁9の上には、ボール状等の拡散材17が敷き詰められているとともに、この拡散材17の層の上方を攪拌するように攪拌機18が設けられている。
また、このガス流制御部材3の下端部には、図3に示すようにコーン状に突出する先端部材44が固定されており、そのコーン状(円錐状)の凸面44aが下方に向けられた状態に配置されている。
なお、この反応炉2は、胴体部6の上部のテーパ部10が床45にブラケット46により固定され、このブラケット46から吊り下げ状態に支持されている。
反応炉2の内部に、気流移送により原料供給管11を通じて金属シリコン粉末を供給する。このとき、塩化水素ガスを気流移送のキャリアガスとして用いており、このキャリアガスの流量を制御することにより金属シリコン粉末の供給量を調整する。
また、ガス導入手段4により反応炉2の底部7に塩化水素ガスを導入する。この塩化水素ガスは、反応炉2の底部7と胴体部6との間を連通するように設けたノズル15を介して図1の実線矢印で示すように胴体部6内に噴出され、その上方位置に供給される金属シリコン粉末Sが下方からの塩化水素ガスの上昇流に乗って流動しながら上昇させられることになる。
図5は、ガス流制御部材の横断面形状の例を示しており、(a)に示す上記実施形態で用いた円形断面の管状のガス流制御部材32、(b)に示す角形断面としたガス流制御部材51などの形状にすることができ、また、管状以外にも、細幅の板状体でもよく、(c)に示すように2本の板状体を横断面十字状に組み合わせたガス流制御部材52など、種々の形状のものを採用することができる。
また、伝熱管に代えて反応炉の壁をジャケット構造とし、そのジャケット内に熱媒体を流通させるようにしてもよい。また、ガス導入手段や原料供給手段等の細部構成も前記実施形態の具体的構成のものに限らず、金属シリコン粉末と塩化水素ガスを反応炉内で流動化させ得るように供給できるものであればよい。
2 反応炉
3 原料供給手段
4 ガス導入手段
5 ガス取り出し手段
6 胴体部
7 底部
8 大径部
9 隔壁
10 テーパ部
11 原料供給管
12 ガス供給管
15 ノズル
31 伝熱管
32 ガス流制御部材
33 入り口管
34 出口管
35 縦管
36 連結管
37 リブ
41 管
42 ビーム部材
43 ガイド部材
44 先端部材
44a 凸面
51 ガス流制御部材
52 ガス流制御部材
Claims (5)
- 反応炉内に供給された金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、この反応により生成されたトリクロロシランを反応炉の上部から取り出すトリクロロシラン製造装置において、
前記反応炉の内部空間のうちの中央空間部に、上昇するにつれて成長した気泡が接触してつぶされるように相互に接近した複数本のガス流制御部材が上下方向に沿って設けられていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 前記反応炉の上部に、内径が下部に比べて大きい大径部が形成されるとともに、前記ガス流制御部材の上端部は、少なくとも前記大径部の下端部までの高さに配置されていることを特徴とする請求項1記載のトリクロロシラン製造装置。
- 前記ガス流制御部材の下端部は、下方に向けて凸面に形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のトリクロロシラン製造装置。
- 前記凸面はコーン状であることを特徴とする請求項3記載のトリクロロシラン製造装置。
- 前記ガス流制御部材は中空構造とされていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のトリクロロシラン製造装置。
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