JP7162734B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
図1~図8を用いて、本発明の実施の形態1の荷電粒子線装置について説明する。
図1は、実施の形態1の荷電粒子線装置1の構成を示す。この荷電粒子線装置1は、SEMの場合を示す。荷電粒子線装置1は、撮像装置10、コンピュータ20、表示装置21、および操作装置22等から構成されている。ユーザーである操作者は、表示装置21および操作装置22等を通じて、荷電粒子線装置1を操作する。ユーザーは、表示装置21の画面で、例えば試料110の表面の形状や構造を観察することができる。
図2は、実施の形態1の荷電粒子線装置1のコンピュータ20による、選択処理を含む画質劣化防止を図る撮影機能の処理フローを示し、ステップS1~S9を有する。以下、ステップの順に説明する。
図3は、実施の形態1の荷電粒子線装置1の走査前の設定について、ユーザーインタフェースとして表示装置21に表示される画面の一例である。この「走査前の設定」の画面は、「走査の設定」の項目(対応する各設定部)として、回数設定部302、間隔設定部303、解像度設定部304、画素滞在時間設定部305を有する。
図6は、実施の形態1の荷電粒子線装置1に備えるデータベースを示す。このデータベースは、走査画像DB610、選択状態DB620、および積算画像DB630の3つで構成されている。
図7は、実施の形態1の荷電粒子線装置1の画質劣化防止を図る撮影機能におけるデータベースと、選択処理と、積算処理との関係を表すデータフローを示す。
図9および図10を用いて、本発明の実施の形態2の荷電粒子線装置について説明する。実施の形態2における基本的な構成は実施の形態1と同様であり、以下では、実施の形態2における実施の形態1とは異なる構成部分について説明する。実施の形態2の荷電粒子線装置は、従来通りの観察機能とは別に、ユーザーが現在観察している試料110(図1)の観察画像に関して、画像選択および画像積算を適用した観察機能を有する。これにより、モニタ(表示装置21)に表示される観察画像について、画質劣化防止を図る。
図9は、実施の形態2の荷電粒子線装置の構成として、実施の形態1の荷電粒子線装置1との差異であるデータフローを示す。実施の形態2では、図9の環境情報701と、走査画像702と、積算画像705とは、リアルタイムに更新する観察機能について示すため、集合データではなく、現在(最新)の値、もしくは、画像としている。例えば、環境情報701は、現在の取得値を黒枠で、過去の取得値をグレー枠で示している。そして、実施の形態2では、前述の図7の積算画像705は、観察画像としてリアルタイムに更新するため、更新前の画像をデータベースで長期間記憶しておく必要はない。さらに、実施の形態2における観察機能のデータフローでは、ユーザーに対して、観察画像の表示や、撮像装置10への条件の設定等を求めるため、コンピュータ20と、表示装置21と、操作装置22との関連を追加している。
図10は、実施の形態2の荷電粒子線装置における図9の誤り訂正904について、ユーザーインタフェースとして表示装置21に表示される画面の一例を示す。図10の「誤りの訂正」の画面は、選択画像欄1001、非選択画像欄1002、画像表示部1003、訂正部1004、番号表示部1005、更新ボタン1006、キャンセルボタン1007を有する。
実施の形態2の荷電粒子線装置について、例えば重量物の運搬による床振動が、撮像装置10に伝わった仮定とする。この場合、試料上を走査するプローブの位置がずれ、現在の走査画像702(図9)である1枚の画像には、歪みが生じる。ここで、従来通りの観察機能の場合では、リカーシブフィルタが適用された積算処理902(図9)により、現在の走査画像702である1枚の画像の比重を大きくして積算するので、モニタ(表示装置21)には、微細構造の輪郭が二重である観察画像が表示される。
Claims (6)
- 荷電粒子線を試料に照射し、前記試料の情報を画像化する撮像装置と、
前記撮像装置を用いて同じ領域を複数回走査することにより得られる各画像を記憶するメモリ、および画像処理を実行するプロセッサを備えたコンピュータと、
を備え、
前記コンピュータは、
前記同じ領域を複数回走査することにより得られる各画像について、教師無しの機械学習によって、画像群に分類し、基準画像を含む画像群を、劣化を含まない画像群とし、
前記劣化を含まない画像群を画像積算し、
前記画像積算によって得られた画像を出力する、
荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
ユーザーの入力を受けつける操作装置、およびグラフィカル・ユーザー・インタフェースを表示する表示装置を備え、
前記コンピュータは、前記画像群の各画像群についての識別情報を付与して、前記画像群および前記識別情報を前記表示装置の画面に表示する、
荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を試料に照射し、前記試料の情報を画像化する撮像装置と、
前記撮像装置を用いて同じ領域を複数回走査することにより得られる各画像を記憶するメモリ、および画像処理を実行するプロセッサを備えたコンピュータと、
ユーザーの入力を受けつける操作装置、およびグラフィカル・ユーザー・インタフェースを表示する表示装置と、
を備え、
前記コンピュータは、
前記同じ領域を複数回走査することにより得られる各画像について、教師有りの機械学習によって、劣化を含む画像と、劣化を含まない画像と、に分類し、
前記劣化を含まない画像を画像積算し、
前記画像積算によって得られた画像を出力し、
前記教師有りの機械学習に係わる誤り訂正を行うための情報を前記表示装置の画面に表示し、
前記画面に対する前記ユーザーの操作に基づいて、または、前記機械学習のモデルによる判断に基づいて、過去に得た前記劣化を含む画像と、前記劣化を含まない画像と、を入力とした前記教師有りの機械学習を行わせる、
荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を試料に照射し、前記試料の情報を画像化する撮像装置と、
前記撮像装置を用いて同じ領域を複数回走査することにより得られる各画像を記憶するメモリ、および画像処理を実行するプロセッサを備えたコンピュータと、
を備え、
前記コンピュータは、
前記同じ領域を複数回走査することにより得られる各画像について、劣化を含む画像と、劣化を含まない画像と、に分類し、
前記劣化を含まない画像を画像積算し、
前記画像積算によって得られた画像を出力し、
前記コンピュータは、ユーザーの操作に依らずに、前記同じ領域を複数回走査することにより得られる各画像について、全て選択して前記画像積算をして生成した積算画像と、前記各画像を選択や非選択とする各パターンに応じて前記画像積算をして生成した各積算画像とを比較して画質を評価し、前記評価に基づいて、これらの複数の積算画像から選択した積算画像を出力する、
荷電粒子線装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子線装置において、
前記コンピュータは、前記分類によって得られた、基準画像を含む画像群について、前記ユーザーの操作に基づいて、前記基準画像を含む画像群における画像を再選択する機能を有する、
荷電粒子線装置。 - 請求項3記載の荷電粒子線装置において、
前記コンピュータは、前記教師有りの機械学習を用いて前記画像積算を行う機能について、一定期間を超えても、前記劣化を含む画像と前記劣化を含まない画像との分類が更新されない場合には、前記機能をオフにするように切り替える、
荷電粒子線装置。
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