JP6739553B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
(2)ビームを大電流化する方法
(3)信号電子の検出効率を上げる方法
(1)の方法は、走査回数の増大に伴って、画像取得時間が増大する。また(1)乃至(2)の方法では、試料の帯電やコンタミネーション、ダメージが発生しやすくなる。近年では、複雑な試料を観察する際、信号電子のエネルギーや試料上での出射角度を弁別することで関心領域を強調する方法が提案されている。信号の弁別によって信号の総量が減ってしまうため、(3)の方法もその効果は限定的である。本発明では、画像の各ピクセルにおいて、視野内や積算フレームに関する統計処理を行う演算部を備えることにより、少ないビーム走査回数または小電流条件における階調値のばらつきを低減させる方法を提案するものである。装置の一態様として、図1乃至図2の構成を提案する。ここで、統計処理部4および14では、それぞれ、画像の階調値や検出信号を入力とし、それらの平均値、分散値、頻度、確率分布関数の抽出および演算、統計論的な検定および推定を行う論理回路を有する。
(B)一つ一つのピクセルの階調値および周囲のピクセルとの差
(A)は検出器のブライトネスやコントラストを調整するために必要な情報である。(B)は寸法計測や欠陥検査時に必要な情報である。例えば、視野の広い低倍の画像や、複数のビームを同時に走査することによって広範囲の欠陥検査を行うニーズが高まっている。このような場合、視野内で関心領域が小さくなるため、関心領域において異常な階調値が得られたとしても、試料の異常か上記スパイクノイズかを高精度に見分ける必要がある。
Claims (11)
- 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームの試料への照射に基づいて得られる荷電粒子を検出する検出器と、当該検出器の出力に基づいて得られる信号を処理する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、複数のフレーム画像を積算して積算画像を生成する画像処理装置であり、当該積算画像生成のための前記荷電粒子ビーム照射の前に、前記検出器の出力に基づいて生成される画像の所定領域について、前記積算画像より少ないフレームの階調値の統計処理を行い、当該統計処理によって得られる統計値と、画像の階調値に関する参照データとの違いを補正する信号処理を実行することによって前記積算画像を生成することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記所定領域の階調値の平均値と、前記参照データとの違いを補正するように、前記検出器の出力信号に基づいて得られる画像のコントラスト、及びブライトネスを調整することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、複数のフレーム画像を積算して積算画像を生成する画像処理装置であって、前記信号処理を行うための装置条件の変更の後、当該変更された装置条件にて、前記積算画像を生成するための信号検出を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記検出器の出力に基づいて生成される画像の複数領域で、それぞれの前記統計値を算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記制御装置は、前記画像の複数領域のそれぞれで算出された複数の統計値に基づいて、複数のピークを有する輝度ヒストグラムを生成することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記複数の領域は、試料上の欠陥領域とそれ以外の領域を含むことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、複数のフレーム画像を積算して積算画像を生成する画像処理装置であって、前記荷電粒子ビームの試料への照射に基づいて得られる荷電粒子を検出する第1の検出器と、第2の検出器を備え、第1の検出器によって得られた信号に基づいて、前記統計処理を行い、第2の検出器の出力に基づいて、前記積算画像を生成することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7において、
前記第1の検出器の出力に基づいて、前記信号処理を行うための装置条件の変更を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記第1の検出器は、2次電子を検出する検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記所定領域の階調値とそのばらつきを算出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを集束する対物レンズと、荷電粒子ビームの試料への照射に基づいて得られる荷電粒子を検出する検出器と、当該検出器の出力に基づいて得られる信号を処理する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、前記検出器の出力に基づいて生成される画像の所定領域の階調値に基づいて得られる分散値が小さくなるように、前記対物レンズのレンズ条件を調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
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