JP7150125B2 - 透明導電層、透明導電性シート、タッチセンサ、調光素子、光電変換素子、熱線制御部材、アンテナ、電磁波シールド部材および画像表示装置 - Google Patents
透明導電層、透明導電性シート、タッチセンサ、調光素子、光電変換素子、熱線制御部材、アンテナ、電磁波シールド部材および画像表示装置 Download PDFInfo
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Description
例えば、観察できない程度の微細な凹凸、波打ちは、許容される。
この透明導電層3では、第1主面5にエッチング液が接触すると、エッチング液が2つの端縁23から第1粒界7に浸入し易く、そのため、この第1粒界7に仕切られる第1結晶粒31が容易にエッチングされ易い。具体的には、第1結晶粒31を仕切る第1粒界7の両端縁23がいずれも第1主面5に面するため、エッチング液が第1粒界7に浸入すると、両端縁23からのエッチング液が、中間領域25で合流する。第1結晶粒31は、例えば、第2主面6に面する第3結晶粒33に支持されず、透明導電層3から容易にエッチング(欠落・脱落を含む)され易い。その結果、この透明導電性シート1では、透明導電層3のエッチング速度が高い。
以下の各変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態およびその変形例を適宜組み合わせることができる。
まず、PETフィルムロール(三菱樹脂社製、厚み50μm)を用意した。次いで、PETフィルムロールの上面に、アクリル樹脂からなる紫外線硬化性樹脂を塗布し、紫外線照射により硬化させて、硬化樹脂層からなり、厚みが2μmである機能層を形成した。これにより、透明基材と、機能層とを備える基材シート2を得た。
表1の記載に従って、成膜条件と透明導電層3の厚みとを変更した以外は、実施例1と同様に処理した。
実施例および各比較例の透明導電層3について、下記の項目を評価した。それらの結果を表1に示す。
透明導電層3の厚みを、透過型電子顕微鏡(日立製作所製、装置名「HF-2000」)を用いた断面観察により、求めた。
FIBマイクロサンプリング法により、実施例1および比較例1~2の透明導電性シート1を断面調整した後、それぞれの透明導電層3の断面をFE-TEM観察を実施し、第2粒界8の有無を観察した。なお、倍率を、いずれかの結晶粒4が観察できるように、設定した。
FIB装置; Hitachi製 FB2200、 加速電圧: 10kV
FE-TEM 装置; JEOL製 JEM-2800、加速電圧: 200kV
表面FE-SEMにより、透明導電層3の表面を、第1主面5側から面方向に観察し、の第1主面5における結晶粒4の最大結晶粒径を求めた。
SEM装置:Hitachi High-Technologies製、走査電子顕微鏡SU8020
加速電圧:0.8kV
実施例、各比較例の透明導電性シート1を、濃度7質量%、35℃の塩酸に浸漬した後、水洗・乾燥し、15mm間の端子間抵抗をテスタにて測定した(テスタでの測定周期は15秒毎とした)。本明細書においては、塩酸への浸漬・水洗・乾燥後に、15mm間の端子間抵抗が50kΩを超える、若しくは、絶縁になった時間を、透明導電層3のエッチングが完了した時間とし、その時間を透明導電層3の総厚で割ることで透明導電層3 1nmエッチングするのに要する時間(エッチングレート(秒/nm))を求め、以下の基準で評価を実施した。本評価により、透明導電層3の厚みに依存せず、透明導電層3のエッチング速度を判定できる。
×:単位厚み当たりのエッチング時間が、15以上(秒/nm)であった。
2 基材シート
3 透明導電層
4 結晶粒
5 第1主面
6 第2主面
8 第2粒界
23 端縁
25 中間領域
31 第1結晶粒
55 側面
56 一側面
Claims (11)
- 外部に露出する第1主面、および、前記第1主面と厚み方向に対向する第2主面を備え、
前記厚み方向に直交する面方向に延びる単一の層であり、
断面視における2つの端縁がいずれも前記第1主面に開放され、両端縁の間の中間領域が第2主面に接触しない粒界と、
前記粒界に仕切られ、前記第1主面のみに面する第1結晶粒と、
前記第1主面と前記第2主面との両方に面する第4結晶粒と
を有し、
非晶質な領域を含まないことを特徴とする、透明導電層。 - 前記第1主面の端縁および前記第2主面の端縁を連結する側面に開放される第2粒界をさらに有することを特徴とする、請求項1に記載の透明導電層。
- 前記透明導電層の材料が、スズ含有酸化物であることを特徴とする、請求項1または2に記載の透明導電層。
- 請求項1または2に記載の透明導電層と、
前記透明導電層の前記第2主面側に位置する基材シートと
を備えることを特徴とする、透明導電性シート。 - 請求項1または2に記載の透明導電層を備えることを特徴とする、タッチセンサ。
- 請求項1または2に記載の透明導電層を備えることを特徴とする、調光素子。
- 請求項1または2に記載の透明導電層を備えることを特徴とする、光電変換素子。
- 請求項1または2に記載の透明導電層を備えることを特徴とする、熱線制御部材。
- 請求項1または2に記載の透明導電層を備えることを特徴とする、アンテナ。
- 請求項1または2に記載の透明導電層を備えることを特徴とする、電磁波シールド部材。
- 請求項1または2に記載の透明導電層を備えることを特徴とする、画像表示装置。
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