JP7148250B2 - 基板載置ステージおよび実装装置 - Google Patents
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Description
前記ステージ部を動作させる動作機構部と、
前記ステージ部を加熱する加熱部と、
前記ステージ部と前記動作機構部との間に設けられた断熱部と、
を有する基板載置ステージであって、
前記断熱部は、複数の断熱部材を、前記ステージ部における前記動作機構部と対向する対向面に沿う方向へ、前記ステージ部、複数の前記断熱部材、前記動作機構部がそれぞれの相対移動を許容する状態で、前記対向面とは直交する方向に重ね合せて成ることを特徴とする。
前記基板載置ステージは、前記本実施形態の基板載置ステージであることを特徴とする。
10 供給部
20 基板載置ステージ
21 ステージ部
22 動作機構部
23 加熱部
24 断熱部
24a 第1の断熱部材
24b 第2の断熱部材
30 移載部
40 実装部
41 実装ツール
50 第1の撮像部
60 第2の撮像部
70 制御部
90 断熱部
90a 第1の断熱部材
90b 第2の断熱部材
90b1 基部
90b2 周壁部
95 断熱部
95a 第1の断熱部材
95a1、95a2、95a3、95a4 分割断熱部材
95b 第2の断熱部材
95b1 基部
95b2 周壁部
W 支持基板
t 半導体チップ
Claims (7)
- 処理が行われる基板を載置する載置面を備えたステージ部と、
前記ステージ部を動作させる動作機構部と、
前記ステージ部を加熱する加熱部と、
前記ステージ部と前記動作機構部との間に設けられた断熱部と、
を有する基板載置ステージであって、
前記断熱部は、複数の断熱部材を、前記ステージ部における前記動作機構部と対向する対向面に沿う方向へ、前記ステージ部、複数の前記断熱部材、前記動作機構部がそれぞれの相対移動を許容する状態で、前記対向面とは直交する方向に重ね合せて成る
ことを特徴とする基板載置ステージ。 - 前記断熱部は、
平板状の基部とこの基部の外周縁に沿って形成された周壁部とを備えた枡形状の第1の断熱部材と、
前記第1の断熱部材の前記周壁部内に収容される平板状の第2の断熱部材と、を有し、
前記ステージ部と前記動作機構部とは、前記第1の断熱部材を介して連結されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の基板載置ステージ。 - 前記第2の断熱部材は、前記第1の断熱部材の前記周壁部の高さ寸法と同じ厚み寸法を有する
ことを特徴とする請求項2記載の基板載置ステージ。 - 前記第2の断熱部材は、その外周縁と前記第1の断熱部材の前記周壁部との間に隙間が生じる大きさに形成されて成る
ことを特徴とする請求項2または3記載の基板載置ステージ。 - 前記第2の断熱部材は、前記加熱部による加熱によって前記第2の断熱部材が最も熱膨張したときでも前記第1の断熱部材の前記周壁部との間に隙間が生じ得る大きさに形成されて成る、
ことを特徴とする請求項2~4のいずれかに記載の基板載置ステージ。 - 前記第2の断熱部材は、複数に分割されて成る
ことを特徴とする請求項2~5のいずれかに記載の基板載置ステージ。 - 電子部品が実装される基板を載置する基板載置ステージと、前記電子部品を保持する実装ツールとを備え、前記基板載置ステージに載置した前記基板を加熱した状態で、前記実装ツールに保持された前記電子部品を、加熱された前記基板に対して実装する実装装置であって、
前記基板載置ステージは、請求項1~6のいずれかに記載の基板載置ステージである
ことを特徴とする記載の実装装置。
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JP2018048842A JP7148250B2 (ja) | 2018-03-16 | 2018-03-16 | 基板載置ステージおよび実装装置 |
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JP2018048842A JP7148250B2 (ja) | 2018-03-16 | 2018-03-16 | 基板載置ステージおよび実装装置 |
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JP2019161138A JP2019161138A (ja) | 2019-09-19 |
JP2019161138A5 JP2019161138A5 (ja) | 2021-03-04 |
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ID=67992737
Family Applications (1)
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JP2018048842A Active JP7148250B2 (ja) | 2018-03-16 | 2018-03-16 | 基板載置ステージおよび実装装置 |
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Citations (1)
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JP2002198393A (ja) | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Iwate Toshiba Electronics Co Ltd | 半導体装置及びその製造装置 |
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2018
- 2018-03-16 JP JP2018048842A patent/JP7148250B2/ja active Active
Patent Citations (1)
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