JP2007129131A - 部品実装装置および積層部品製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェハに設けられた複数の部品積層位置に部品を階層毎に順次積層して実装するスタック実装において、複数の部品積層位置を区分して設定された部品積層区画内で、同一階層に属する全ての部品を対象とした部品実装動作が完了した後に、当該階層の次の階層に属する部品を対象とした部品実装動作を開始する。これにより、実装ヘッドにおける実装高さの変更や塗布ヘッドにおける塗布高さの変更の頻度を極力少なくすることができ、スタック実装における3次元部品実装動作を効率よく行うことができる。
【選択図】図5
Description
13aを介して電子部品6を加熱することにより、電子部品6は熱圧着などの方法(例えば半田接合)によって、半導体ウェハ10に実装される。
実装のための3次元実装動作を極力効率よく行うためには、実装ヘッド13や塗布ヘッド18の高さ変更を行う頻度を少なくすることが有利であることなどから、同一階層で実装動作の対象となる部品数をできるだけ大きくすること、すなわち部品積層区画10bを極力大きくする方が望ましい。特に、3次元実装動作に樹脂塗布動作を含む場合には、実装ヘッドと塗布ヘッドを交互に退避・位置決めするのと比較して、位置決めによる動作時間を短縮することができる。また3次元実装動作にノズル交換動作を含む場合には、電子部品の種類に応じてノズル交換をするようなときに、1つの電子部品毎にノズル交換するのと比較して、ノズル交換による動作時間を短縮することができる。
ることによって実現される機能は、実装ヘッド移動機構15を制御することにより複数の部品積層位置10aに第1階層から最終階層までの部品を順次積層して実装する部品積層制御部となっている。
ち、シーケンスデータによって指定される最初の部品積層位置10aの部品搭載位置(ここでは半導体ウェハ10表面の電極30形成位置)へ塗布ニードル18aを移動させて樹脂35を塗布する(ST3)。
4 ウェハ保持部
6 電子部品
6A 第1の電子部品
6B 第2の電子部品
10 半導体ウェハ
10a 部品積層位置
10b 部品積層区画
13 実装ヘッド
13a 部品保持ノズル
16 ノズル交換部
18 塗布ヘッド
18a 塗布ニードル
21 撮像部
Claims (6)
- 半導体ウェハに設けられた複数の部品積層位置に部品を階層毎に順次積層して実装する部品実装装置であって、
前記半導体ウェハを保持するウェハ保持部と、前記部品を部品保持ノズルによって保持する実装ヘッドと、前記実装ヘッドを前記ウェハ保持部に対して相対的に移動させる実装ヘッド移動機構と、前記ヘッド移動機構を制御することにより前記複数の部品積層位置に第1階層から最終階層までの部品を順次積層して実装する部品積層制御部とを備え、
前記部品積層制御部は、前記複数の部品積層位置を区分して設定された部品積層区画内において、同一階層に属する全ての部品を対象とした部品実装動作が完了した後に、当該階層の次の階層に属する部品を対象とした部品実装動作を開始するように、前記実装ヘッド移動機構を制御することを特徴とする部品実装装置。 - 前記半導体ウェハには、単一の前記部品積層区画が設けられていることを特徴とする請求項1記載の部品実装装置。
- 前記半導体ウェハもしくは既実装の部品において次の階層の部品が搭載される部品搭載位置を認識する認識手段と、前記部品搭載位置に樹脂を塗布する樹脂塗布手段と、前記実装ヘッドにおいて前記部品保持ノズルを保持対象とする部品に応じて交換するノズル交換手段とのうちの少なくともいずれかを備え、
前記部品実装動作は、前記実装ヘッドによって前記部品搭載位置に部品を搭載する部品搭載動作に加えて、前記認識手段によって前記部品搭載位置を認識する認識動作と、前記樹脂塗布手段によって前記部品搭載位置に樹脂を塗布する樹脂塗布動作と、前記ノズル交換手段によって前記部品保持ノズルを次の階層の部品に応じて交換するノズル交換動作のうちの少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1または2記載の部品実装装置。 - 複数の部品を積層することによって形成された積層部品を製造する積層部品製造方法であって、
部品保持ノズルによって前記部品を保持した実装ヘッドを半導体ウェハに対して相対的に移動させ、前記半導体ウェハに設けられた複数の部品積層位置に第1階層から最終階層までの部品を順次積層して実装する部品積層工程と、前記部品積層工程後の前記半導体ウェハを前記部品積層位置毎に分割して個片の積層部品とする分割工程とを含み、
前記部品積層工程において、前記複数の部品積層位置を区分して設定された部品積層区画内において同一階層に属する全ての部品を対象とした部品実装動作が完了した後に、当該階層の次の階層に属する部品を対象とした部品実装動作を開始することを特徴とする積層部品製造方法。 - 前記半導体ウェハには、単一の前記部品積層区画が設けられていることを特徴とする請求項4記載の部品実装方法。
- 前記部品実装動作は、前記基板もしくは既実装の部品において次の階層の部品が搭載される部品搭載位置に部品を搭載する部品搭載動作に加えて、前記部品搭載位置を認識する認識動作と、前記部品搭載位置に樹脂を塗布する樹脂塗布動作と、前記部品保持ノズルを次の階層の部品に応じて交換するノズル交換動作のうち少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項4または5記載の積層部品製造方法。
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JP2005321974A JP2007129131A (ja) | 2005-11-07 | 2005-11-07 | 部品実装装置および積層部品製造方法 |
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