JP7137907B2 - Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法 - Google Patents

Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法 Download PDF

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Description

本発明は、Nd-Fe-B系磁性体の技術分野に属し、具体的にはNd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法に関するものである。
「磁性体の王」と称されるNd-Fe-B系磁性体は、誕生以来、幅広い分野で用いられ、現代化社会に深く根付いており、主として電子情報機器、医療機器、新エネルギー自動車、家電、ロボット等のハイテク技術に利用されている。情報化及び工業化の目覚ましい発展に伴い、高性能磁性体の研究開発は注目を集めている。
2005年、中村氏は、磁性体に重希土類酸化物及びフッ化物の粉末を添加することで保磁力を大幅に向上させる「結晶粒界拡散法」を発表した。拡散技術の発展に伴い、二つの拡散メカニズムが形成された。重希土類元素をNdFe14B主相へ拡散させて硬化することで、大量のコアシェル構造を形成すること、結晶粒界の磁性相を開いて希釈し、保磁力を向上させることである。
結晶粒界への拡散処理法には多くの種類があり、気相成長法、塗布法、電気泳動成長法、電気メッキ法等がある。気相成長法はNd-Fe-B系焼結永久磁性体の保磁力が効果的に高まるが、生産効率が低く、高コストであり、重希土類材料の利用率も低く、設備は高価であり、量産化が難しいといった問題がある。電気泳動成長法は、生産効率は良好なものの、Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の全ての表面に重希土類膜層を堆積させるため、拡散後のNd-Fe-B系焼結永久磁性体の残留磁束密度の低下量が大きく、制御が難しく、コストが高く、危険性も高い等の問題があり、工業生産には不向きである。電気メッキ法は、コストが高く、汚染がひどく、工程が複雑であり、電気メッキ層の酸化リスクが大きいことから、工業生産は容易でない。
塗布法は、重希土類粉末と有機溶剤とを混合して塗布液を作成した後にNd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面に塗布するものであるが、当該方法には、(1)有機溶剤が揮発し易いことから、懸濁液中の重希土類元素の割合が変化し続けることで、コーティング層の厚みを制御することが難しく、(2)添加される有機溶剤の種類が多すぎるため、調製が困難であり、金属粉末と容易に反応するといった制御不可能な因子が存在し、(3)複合金属コーティング層は、一般的に最低でも2回の塗布工程を経る必要があり、両層の塗布によって結合力の悪化、脱落、不均一といった状況が頻発し、(4)コーティング層の硬化過程で、酸化や脱落が発生し易いことから、拡散が不十分となり、(5)混合した金属粉末の沈殿、結晶化が発生し易く、塗布液の分層が長時間維持できない、と言った問題が存在する。
中国特許公開CN107578912A、CN104112580A、CN107026003A、CN107492430A、CN105761861Aには、磁石の表面にアルコール類、ガソリン、塗料等による懸濁液を塗布し、その後拡散処理を行う発明が開示されているが、この種の方法は、揮発し易く、毒性が強く、制御性が悪いといった問題が存在し、大量生産は非常に困難である。中国特許公開CN107578912Aでは、バインダを添加していることから、成分が複雑化し、制御性が悪化し、揮発し易いといった問題が存在する。中国特許公開CN109390145Aでは、重希土類コーティング層の酸化を防ぐために、表面に一層の無機コーティング層を塗布しているが、製造工程が増し、コストの増加を招いている。中国特許公開CN108039259Aでは、蒸着法によって、金属メッキ層、重希土類層又は重希土類合金層及び非希土類金属層又は非希土類合金層の三つの金属層を蒸着しているが、当該方法は、工程が複雑化し、制御すべきパラメータが多く、コストが高騰する。
中国特許公開CN107578912A 中国特許公開CN104112580A 中国特許公開CN107026003A 中国特許公開CN107492430A 中国特許公開CN105761861A 中国特許公開CN109390145A 中国特許公開CN108039259A
本発明は、従来技術が有する課題を解決し、Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面に塗布した液膜を、金属粒子又は合金と重希土類粒子又は重希土類合金粒子とが分層した一つの塗装膜として形成し、これによって磁性体の磁気特性を大きく向上させ、磁気特性の均一性を保持し、製造工程を減らし、材料の利用効率を向上させ、コストを削減することができるNd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、Nd-Fe-B系焼結永久磁性体における希土類元素の拡散処理方法であって、
(工程a)金属粒子又は金属合金粒子と、重希土類合金粒子又は重希土類粒子とを混合させた有機溶剤を含む粘性液体を、立方体からなるNd-Fe-B系焼結永久磁性体の一表面に塗布して一層の粘性液体膜を形成し、前記粘性液体膜が塗布された前記一表面を上にして前記Nd-Fe-B系焼結永久磁性体を前記一表面に対して垂直方向に振動させて、前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子を上方に、前記金属粒子又は前記金属合金粒子を下方に移動させ、前記粘性液体膜の内部粒子を、前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子からなる上方の粒子層と、前記金属粒子又は前記金属合金粒子からなる下方の粒子層とに分層し、
前記金属粒子又は前記金属合金粒子と前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子の粒子径比は2:1以上14:1以下であり、かつ前記金属粒子又は前記金属合金粒子の粒子径は150μm以下であり、前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子の粒子径は75μm以下であり、
(工程b)180℃以下の温度によって、前記有機溶剤を揮発させて前記粘性液体膜を硬化させ、前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子及び前記金属粒子又は前記金属合金粒子をコアシェル構造の有機膜層を有する粒子にさせるとともに、前記粘性液体膜を、層状構造を有する前記金属粒子又は前記金属合金粒子の粒子膜層と前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子の粒子膜層に変化させ、
(工程c)次に、450℃以上750℃以下、1時間以上3時間以下の熱処理によって前記金属粒子又は前記金属合金粒子に結晶粒界を形成させ、750℃以上950℃以下、6時間以上72時間以下の熱処理によって前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子を前記結晶粒界へ侵入させ、時効処理を行う、ことを特徴とする。
前記金属粒子は、Tb、Dy、Ho、Gd、Pr、Nd、La、Ce、Cu、Al、Zn、Mg、Ga、Snのいずれか一つで形成される粒子であり、前記金属合金粒子は、前記金属粒子の中から選択される複数の金属で形成される粒子である、ことを特徴とする。
前記重希土類粒子は、Dy、Tb、Ho、Gdのいずれか一つで形成される粒子であり、
前記重希土類合金粒子に含まれる非重希土類金属は、Pr、Nd、La、Ce、Cu、Al、Ga、Mg、Co、Ti、Feのいずれか一つ又は複数である、ことを特徴とする。
また前記(工程a)において、前記粘性液体の粘度は100cps以上4000cps以下、密度は2.0g/cm 以上5.0g/cm 以下であり、
前記粘性液体膜が塗布された前記Nd-Fe-B系焼結永久磁性体を垂直方向に振動させる際の振動数は20Hz以上50Hz以下である、ことを特徴とする。
前記粘性液体は、脂質溶剤、アルカン溶剤、アルコール溶剤接着剤、シリコン、ポリウレタン、アクリル酸樹脂硬化接着剤の一つ又は複数を含む、ことを特徴とする。
また前記(工程c)における時効温度は400℃以上650℃以下であり、時効時間は3時間以上15時間以下である、ことを特徴とする。
本発明のNd-Fe-B系焼結永久磁性体の重希土類元素拡散処理方法によれば、金属粉末を含む粘性液体を磁性体表面に塗布して粘性液膜を形成し、当該粘性液膜に含まれる金属粒子の径、サイズを調整し、粒子径の異なる金属粉末を上下に分層させ、低温硬化又は紫外線硬化によってコーティング構造の金属粒子を形成し、2層状構造を有する金属粒子膜層を形成するものであり、以下の優位点を有する。
粘性液膜層を処理することで、顕著に分層した粉末層を形成できる。
製造したスラリー及び外面を金属粒子でコーティングした有機膜層は、空気中で長期間保存することができ、且つ硬化後にNd-Fe-B系焼結永久磁性体と密着し易くなり、拡散も均一となる。
Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面に塗布した膜層の厚みを、正確に制御することができ、且つ磁性体間の膜層の厚みの均一性が良好であり、利用効率は高く、大幅にコストを削減できる。
操作が簡単であり、材料が有機固体液滴、有機溶液及び金属粉末の三つであり、調製は容易であり、金属粉末と反応せず、制御性が極めて高い。
コーティングされた粒子でコーティング構造を均一に形成することから、抗酸化力が強くなる。スラリーは有機溶剤、接着剤及び金属粉体から構成され、有機溶剤の割合が10~40wt%、接着剤の割合が5~20wt%、金属粉体の割合が40~85wt%で構成されるスラリーであり、粘性液体膜を形成し、これを乾燥させて有機薄膜を形成すると、接着剤の割合は5~20wt%、金属粉体の割合は80~95wt%となる。コーティング層を空気中で96~336時間保存でき、希土類層の結合力は強く、コーティング層の結合力は、5~15MPaに達する。
粘性液膜層を塗布した状態を示す図である。 コーティング層を処理した後の状態を示す図である。 低温加熱による硬化状態を示す図である。
本願発明の目的、技術案及び優位点の更なる理解のため、以下、図と組み合わせて本願発明を更に詳細に説明する。ここで列記する実施例は本願発明の解釈のためのみに用い、本願発明の範囲を限定するものではない。
実施例1
図1~3に示すように、密度が4.1g/cmのスラリーに、大粒子2として粒子径が6μmのPr82Al18粉末(at%)を選択し、小粒子3として粒子径が3μmのDy粉末を選択し、スラリーに混ぜ合わせた。調製した混合スラリーは、酢酸エチル(15wt%)、エタノール(5wt%)、ポリウレタン(10wt%)、Pr82Al18粉末(10wt%)粉末、およびDy粉末(60wt%)で構成される。
コーティングされた粒子でコーティング構造を均一に形成することから、抗酸化力が強くなる。スラリーは有機溶剤、接着剤及び金属粉体から構成され、有機溶剤の割合が10wt%以上40wt%以下、接着剤の割合が5wt%以上20wt%以下、金属粉体の割合が40wt%以上85wt%以下で構成されるスラリーであり、粘性液体膜を形成し、これを乾燥させて有機薄膜を形成すると、接着剤の割合は5wt%以上20wt%以下、金属粉体の割合は80wt%以上95wt%以下となる。コーティング層を空気中で96時間以上336時間以下に保存でき、希土類層の結合力は強く、コーティング層の結合力は、5~15MPaに達する。
複合薄膜拡散源で被覆されたNd-Fe-B系焼結永久磁性体8を、焼結炉内において750℃で2時間低温拡散し、900℃で10時間高温拡散処理した後、そのまま炉内で冷却し、続いて再度昇温し、500℃で3時間の時効処理を行った。
実施例1で作成したNd-Fe-B系焼結永久磁性体の磁気特性の測定結果を表1で示す。拡散処理していない原始サンプルを比較例1として対比した。
表1
Figure 0007137907000001
表1に示すとおり、複合薄膜拡散源で被覆されたNd-Fe-B系焼結永久磁性体8は、拡散処理及び時効処理後に、残留磁束密度は0.12kGs低下するものの、保磁力は6.68kOe上昇し、且つ角形比の変化はごく僅かであった。
実施例2
密度が3.5g/cmのスラリーに、大粒子2として粒子径が8μmのNd70Cu30粉末(at%)を選択し、小粒子3として粒子径が2μmのTb70Cu30粉末(at%)を選択し、スラリーと混ぜ合わせた。調製した混合スラリーは、酢酸ブチル(12wt%)、ブタノール(8wt%)、アクリル樹脂(15wt%)、Nd70Cu30粉末(5wt%)、およびTb70Cu30粉末(60wt%)で構成される。
体積が20mm×20mm×3mmのNd-Fe-B系焼結永久磁性体8の垂直磁化方向の一方面に、一層の粘性液体膜層1を塗布し、垂直磁化方向の面と粘性液体膜層1の密着を確保し、垂直方向に振動数35Hzで1分間振動した後に150℃で5分間乾燥し、厚さ26μmの複合膜層を形成した。Nd-Fe-B系焼結永久磁性体8の他方の垂直磁化方向の面においても、同様の方法で、同様の複合膜層を形成した。
複合薄膜拡散源で被覆されたNd-Fe-B系焼結永久磁性体8を焼結炉内において650℃で2時間低温拡散し、800℃で30時間高温拡散処理した後、Nd-Fe-B系焼結永久磁性体8をそのまま炉内で冷却し、続いて再度昇温し、520℃で6時間の時効処理を行った。
実施例2で作成したNd-Fe-B系焼結永久磁性体の磁気特性の測定結果を表2で示す。拡散処理していない原始サンプルを比較例2として対比した。
表2
Figure 0007137907000002
表2に示すとおり、複合薄膜拡散源で被覆されたNd-Fe-B系焼結永久磁性体8は、拡散処理及び時効処理後に、残留磁束密度は0.22kGs低下するものの、保磁力は11.42kOe上昇し、且つ角形比の変化はごく僅かであった。
実施例3
密度が4.5g/cmのスラリーに、大粒子2として粒子径が20μmのLa71Cu29粉末(at%)を選択し、小粒子3として粒子径が1μmのDy40Al30Cu30粉末(at%)を選択し、スラリーと混ぜ合わせた。調製した混合スラリーは、シクロヘキサノン(12wt%)、酢酸エチル(8wt%)、エポキシ樹脂(15wt%)、La71Cu29粉末(5wt%)、およびDy40Al30Cu30粉末(60wt%)で構成される。
体積が20mm×20mm×6mmのNd-Fe-B系焼結永久磁性体8の垂直磁化方向の一方面に、一層の粘性液体膜層1を塗布し、垂直磁化方向の面と粘性液体膜層1の密着を確保し、垂直方向に振動数20Hzで80秒間振動した後に130℃で8分間乾燥し、厚さ40μmの複合膜層を形成した。Nd-Fe-B系焼結永久磁性体8の他方の垂直磁化方向の面においても、同様の方法で、同様の複合膜層を形成した。
複合薄膜拡散源で被覆されたNd-Fe-B系焼結永久磁性体8を焼結炉内において450℃で3時間低温拡散し、850℃で48時間高温拡散処理した後、Nd-Fe-B系焼結永久磁性体8をそのまま炉内で冷却し、続いて再度昇温し、600℃で8時間の時効処理を行った。
実施例3で作成したNd-Fe-B系焼結永久磁性体の磁気特性の測定結果を表3で示す。拡散処理していない原始サンプルを比較例3として対比した。
表3
Figure 0007137907000003
表3に示すとおり、複合薄膜拡散源で被覆されたNd-Fe-B系焼結永久磁性体8は、拡散処理及び時効処理後に、残留磁束密度は0.1kGs低下するものの、保磁力は9.3kOe上昇し、且つ角形比の変化はごく僅かであった。
実施例4
密度が4.3g/cmのスラリーに、大粒子2として粒子径が20μmのPr70Cu30粉末(at%)を選択し、小粒子3として粒子径が2μmのDy40Al30Cu30粉末(60at%)を選択し、スラリーと混ぜ合わせた。調製した混合スラリーは、シクロヘキサノン(12wt%)、酢酸エチル(8wt%)、ゴム樹脂(15wt%)、Pr70Cu30粉末(10wt%)、およびDy40Al30Cu30粉末(50wt%)で構成される。
体積が20mm×20mm×5mmのNd-Fe-B系焼結永久磁性体8の垂直磁化方向の一方面に、一層の粘性液体膜層1を塗布し、垂直磁化方向の面と粘性液体膜層1の密着を確保し、垂直方向に振動数50Hzで50秒間振動した後に80℃で4分間乾燥し、厚さ30μmの複合膜層を形成した。Nd-Fe-B系焼結永久磁性体8の他方の垂直磁化方向の面においても、同様の方法で、同様の複合膜層を形成した。
複合薄膜拡散源で被覆されたNd-Fe-B系焼結永久磁性体8を焼結炉内において520℃で1時間低温拡散し、900℃で24時間高温拡散処理した後、Nd-Fe-B系焼結永久磁性体8をそのまま炉内で冷却し、続いて再度昇温し、650℃で10時間の時効処理を行った。
実施例4で作成したNd-Fe-B系焼結永久磁性体の磁気特性の測定結果を表4で示す。拡散処理していない原始サンプルを比較例4として対比した。
表4
Figure 0007137907000004
表4に示すとおり、複合薄膜拡散源で被覆されたNd-Fe-B系焼結永久磁性体8は、拡散処理及び時効処理後に、残留磁束密度は0.25kGs低下するものの、保磁力は7.32kOe上昇し、且つ角形比の変化はごく僅かであった。
上記各実施例から明らかなとおり、本願発明の金属薄膜拡散源を用いてNd-Fe-B系焼結永久磁性体を製造することで、保磁力が著しく向上する一方、残留磁束密度の低下が極めて小さいことが分かる。
以上のとおり、本願発明のNd-Fe-B系焼結永久磁性体の重希土類元素拡散処理方法は、粘性液体膜内の大粒子(金属粒子又は金属合金粒子)及び小粒子(重希土類合金又は重希土類粒子)の変化に基づくものであり、Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面に大粒子膜層と小大粒子膜を形成することにより、簡易な方法によってNd-Fe-B系焼結永久磁性体の保磁力を高めることができる。
Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面を被覆する複合膜層は、抗酸化力が高く、酸素環境下において226時間放置しても、結合力は15MPaに達し、磁気特性が大幅に向上し、磁性体の均一性に優れ、製造工程を減らし、材料の利用効率を高め、コストを削減できる。複合膜層は、空気中で96~336時間放置でき、形成された膜層の結合力は5~15MPaに達し、複合膜層の厚みは5~50μmである。
塗布する粘性液体膜については、まず大粒子及び小粒子を混合したスラリーを形成し、続いてNd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面に塗布し、小粒子は重希土類合金又は重希土類粒子であり、大粒子は金属粒子又は金属合金粒子であり、大粒子と小粒子の粒子径比は2:1~14:1であり、大粒子の粒子径は150μm以下、小粒子の粒子径は75μm以下である。粘性液体膜内には、更に有機溶剤、脂質溶剤、アルカン溶剤、アルコール溶剤の一つ又は複数、及び、シリコン、ポリウレタン、アクリル酸、および硬化接着剤の一つ又は複数及び金属粉体、及び大粒子及び小粒子を含む。
粘性液体膜における大粒子及び小粒子の分層工程については、粘性液体膜の垂直方向への振動によって、小粒子が上へ移動し、大粒子が下へ移動することで、粘性液体膜内の粒子が小粒子層及び大粒子層に分層され、図2の破線でそれぞれ表記した位置となる。
低温乾燥硬化によって、小粒子層内の各小粒子及び大粒子層内の各大粒子は、いずれもコーティング構造を有する粒子へと形成され、粘性液体膜内には、層状構造を有する大粒子膜層及び小粒子膜層が形成され、図3の破線でそれぞれ表記した位置となる。低温乾燥中、Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面の膜層は、低温乾燥により、有機溶剤が揮発し、硬化することで、大粒子及び小粒子を覆うコアシェル構造有機膜層を形成する、
その後、低温拡散によって、大粒子の結晶粒界を開き、高温熱処理によって、小粒子を結晶粒界へ侵入させ、その後、時効処理を行う。
Nd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面を被覆する複合膜層は、抗酸化力が高く、酸素環境下において226時間放置しても、結合力は15MPaに達し、磁気特性が大幅に向上し、磁性体の均一性に優れ、製造工程を減らし、材料の利用効率を高め、コストを削減できる。複合膜層は、空気中で96時間以上336時間以下に放置でき、形成された膜層の結合力は5MPa以上15MPa以下に達し、複合膜層の厚みは5μm以上50μm以下である。
塗布する粘性液体膜については、まず大粒子及び小粒子を混合したスラリーを形成し、続いてNd-Fe-B系焼結永久磁性体の表面に塗布し、小粒子は重希土類合金又は重希土類粒子であり、大粒子は金属粒子又は金属合金粒子であり、大粒子と小粒子の粒子径比は2:1以上14:1以下であり、大粒子の粒子径は150μm以下、小粒子の粒子径は75μm以下である。粘性液体膜内には、更に有機溶剤、脂質溶剤、アルカン溶剤、アルコール溶剤の一つ又は複数、及び、シリコン、ポリウレタン、アクリル酸、および硬化接着剤の一つ又は複数及び金属粉体、及び大粒子及び小粒子を含む。

Claims (6)

  1. Nd-Fe-B系焼結永久磁性体における希土類元素の拡散処理方法であって、
    (工程a)金属粒子又は金属合金粒子と、重希土類合金粒子又は重希土類粒子とを混合させた有機溶剤を含む粘性液体を、立方体からなるNd-Fe-B系焼結永久磁性体の一表面に塗布して一層の粘性液体膜を形成し、前記粘性液体膜が塗布された前記一表面を上にして前記Nd-Fe-B系焼結永久磁性体を前記一表面に対して垂直方向に振動させて、前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子を上方に、前記金属粒子又は前記金属合金粒子を下方に移動させ、前記粘性液体膜の内部粒子を、前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子からなる上方の粒子層と、前記金属粒子又は前記金属合金粒子からなる下方の粒子層とに分層し、
    前記金属粒子又は前記金属合金粒子と前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子の粒子径比は2:1以上14:1以下であり、かつ前記金属粒子又は前記金属合金粒子の粒子径は150μm以下であり、前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子の粒子径は75μm以下であり、
    (工程b)180℃以下の温度によって、前記有機溶剤を揮発させて前記粘性液体膜を硬化させ、前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子及び前記金属粒子又は前記金属合金粒子をコアシェル構造の有機膜層を有する粒子にさせるとともに、前記粘性液体膜を、層状構造を有する前記金属粒子又は前記金属合金粒子の粒子膜層と前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子の粒子膜層に変化させ、
    (工程c)次に、450℃以上750℃以下、1時間以上3時間以下の熱処理によって前記金属粒子又は前記金属合金粒子に結晶粒界を形成させ、750℃以上950℃以下、6時間以上72時間以下の熱処理によって前記重希土類合金粒子又は前記重希土類粒子を前記結晶粒界へ侵入させ、時効処理を行う、
    ことを特徴とするNd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法。
  2. 前記金属粒子は、Tb、Dy、Ho、Gd、Pr、Nd、La、Ce、Cu、Al、Zn、Mg、Ga、Snのいずれか一つで形成される粒子であり、前記金属合金粒子は、前記金属粒子の中から選択される複数の金属で形成される粒子である、
    ことを特徴とする請求項1に記載のNd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法。
  3. 前記重希土類粒子は、Dy、Tb、Ho、Gdのいずれか一つで形成される粒子であり、
    前記重希土類合金粒子に含まれる非重希土類金属は、Pr、Nd、La、Ce、Cu、Al、Ga、Mg、Co、Ti、Feのいずれか一つ又は複数である、
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載のNd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法。
  4. 前記(工程a)において、前記粘性液体の粘度は100cps以上4000cps以下、密度は2.0g/cm 以上5.0g/cm 以下であり、
    前記粘性液体膜が塗布された前記Nd-Fe-B系焼結永久磁性体を垂直方向に振動させる際の振動数は20Hz以上50Hz以下である、
    ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のNd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法。
  5. 前記粘性液体は、脂質溶剤、アルカン溶剤、アルコール溶剤、接着剤、シリコン、ポリウレタン、アクリル酸樹脂、硬化接着剤の一つ又は複数を含む、
    ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のNd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法。
  6. 前記(工程c)における時効温度は400℃以上650℃以下であり、時効時間は3時間以上15時間以下である、
    ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のNd-Fe-B系焼結永久磁性体の希土類元素拡散処理方法。
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