JP7131565B2 - 光変調器 - Google Patents
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Description
2 導波層
2r リッジ部
3 保護層
4 バッファ層
6 電極層
7a 第1の信号電極
7a1 第1の信号電極の一端
7a2 第1の信号電極の他端
7b 第2の信号電極
7b1 第2の信号電極の一端
7b2 第2の信号電極の他端
8a,8b,8c 接地電極
9a,9b,9c,9d,9e バイアス電極
9a1 バイアス電極の一端
9b1 バイアス電極の一端
10 マッハツェンダー光導波路
10a 第1の光導波路
10b 第2の光導波路
10c 分波部
10d 合波部
10e1,10e2,10e3 直線部
10f1,10f2 湾曲部
10i 入力光導波路
10o 出力光導波路
12 終端抵抗
13,13a,13b DC電圧源
100,200,300,300-1,300-2,300-3,400 光変調器
D 導波層除去領域
S0~S5 電極分離領域
SDC DC部
SRF RF部
Claims (21)
- 基板と、
前記基板上にリッジ状に形成された電気光学材料膜からなり、互いに隣り合う第1及び第2の光導波路を含む導波層と、
前記第1及び第2の光導波路に変調信号を印加するRF部と、
前記第1及び第2の光導波路にDCバイアスを印加するDC部とを備え、
前記DC部は、
少なくとも前記第1及び第2の光導波路の上面を覆うバッファ層と、
前記バッファ層を介して前記第1の光導波路と対向する第1のバイアス電極と、
前記第1のバイアス電極に隣接して設けられた第2のバイアス電極とを含み、
前記第1のバイアス電極と前記第2のバイアス電極との間には第1のDCバイアス電圧が印加され、
少なくとも前記第1のバイアス電極と前記第2のバイアス電極との間の第1の電極分離領域の下方には、前記導波層の少なくとも一部が除去された導波層除去領域が設けられており、
前記RF部は、
前記バッファ層を介して前記第1及び第2の光導波路とそれぞれ対向する第1及び第2の信号電極と、
前記第1の信号電極に隣接して設けられた第1の接地電極と、
前記第2の信号電極に隣接して設けられた第2の接地電極とを含み、
前記RF部には前記導波層除去領域が設けられておらず、
前記第1及び第2の光導波路の延在方向と直交する前記導波層の断面形状は、前記DC部と前記RF部とで異なることを特徴とする光変調器。 - 前記DC部は、
前記バッファ層を介して前記第2の光導波路と対向する第3のバイアス電極と、
前記第3のバイアス電極に隣接して設けられた第4のバイアス電極とをさらに含み、
前記第3のバイアス電極と前記第4のバイアス電極との間には第2のDCバイアス電圧が印加され、
前記第3のバイアス電極と前記第4のバイアス電極との間の第2の電極分離領域の下方には、前記導波層除去領域が設けられている、請求項1に記載の光変調器。 - 前記第2のバイアス電極は、前記第1のバイアス電極から見て前記第3のバイアス電極と反対側に位置し、
前記第4のバイアス電極は、前記第3のバイアス電極から見て前記第1のバイアス電極と反対側に位置する、請求項2に記載の光変調器。 - 前記DC部は、
前記第1のバイアス電極と前記第3のバイアス電極との間に設けられた第5のバイアス電極をさらに含み、
前記第1のバイアス電極と前記第5のバイアス電極との間の第3の電極分離領域の下方及び前記第3のバイアス電極と前記第5のバイアス電極との間の第4の電極分離領域の下方には、前記導波層除去領域が設けられており、
前記RF部は、
前記第1の信号電極と前記第2の信号電極との間に設けられた第3の接地電極をさらに含む、請求項3に記載の光変調器。 - 前記第2のバイアス電極は、前記バッファ層を介して前記第2の光導波路と対向している、請求項1に記載の光変調器。
- 前記導波層除去領域は、前記バッファ層と共に前記導波層が除去されて前記基板が露出した領域である、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光変調器。
- 前記導波層除去領域は、前記基板の一部がさらに除去された領域である、請求項6に記載の光変調器。
- 前記導波層除去領域は、前記バッファ層と共に前記導波層の一部が除去され、前記基板が前記導波層の残部に覆われた領域である、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光変調器。
- 前記DC部は、前記第1及び第2の光導波路の両側の側面を覆うように前記導波層と前記バッファ層との間に形成された保護層をさらに含み、
前記導波層除去領域は、前記バッファ層及び前記保護層と共に前記導波層が除去された領域である、請求項6乃至8のいずれか一項に記載の光変調器。 - 前記第1の電極分離領域の下方に位置する前記導波層除去領域の幅は、前記第1の電極分離領域の幅よりも狭く、前記第2の電極分離領域の下方に位置する前記導波層除去領域の幅は、前記第2の電極分離領域の幅よりも狭く、前記第3の電極分離領域の下方に位置する前記導波層除去領域の幅は、前記第3の電極分離領域の幅よりも狭く、前記第4の電極分離領域の下方に位置する前記導波層除去領域の幅は、前記第4の電極分離領域の幅よりも狭い、請求項4に記載の光変調器。
- 前記第1及び第2の光導波路の各々は、少なくとも一つの直線部と少なくとも一つの湾曲部とを有し、前記RF部は、前記直線部の一部と平面視で重なる位置に設けられており、前記DC部は、前記直線部の他の一部と平面視で重なる位置に設けられている、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の光変調器。
- 前記基板は単結晶基板であり、前記電気光学材料膜はニオブ酸リチウム膜であり、前記ニオブ酸リチウム膜は膜厚が2μm以下のエピタキシャル膜であり、前記ニオブ酸リチウム膜のc軸は前記基板の主面に対して垂直方向に配向している、請求項1乃至11のいずれか一項に記載の光変調器。
- 基板と、
前記基板上にリッジ状に形成された電気光学材料膜からなり、互いに隣り合う第1及び第2の光導波路を含む導波層と、
前記第1及び第2の光導波路に変調信号を印加するRF部と、
前記第1及び第2の光導波路にDCバイアスを印加するDC部とを備え、
前記DC部は、
少なくとも前記第1及び第2の光導波路の上面を覆うバッファ層と、
前記バッファ層を介して前記第1の光導波路と対向する第1のバイアス電極と、
前記第1のバイアス電極に隣接して設けられた第2のバイアス電極とを含み、
前記第1のバイアス電極の幅は前記第1の光導波路の幅よりも広く、
前記第1のバイアス電極と前記第2のバイアス電極との間には第1のDCバイアス電圧が印加され、
前記第1のバイアス電極と前記第2のバイアス電極との間の第1の電極分離領域における前記導波層の最小厚さは、前記第1の電極分離領域と前記第1の光導波路との間における前記導波層の最小厚さよりも小さく、
前記RF部は、
前記バッファ層を介して前記第1及び第2の光導波路とそれぞれ対向する第1及び第2の信号電極と、
前記第1の信号電極に隣接して設けられた第1の接地電極と、
前記第2の信号電極に隣接して設けられた第2の接地電極とを含み、
前記RF部における前記導波層の最小厚さは、前記DC部の前記第1の電極分離領域における前記導波層の最小厚さよりも大きく、
前記第1及び第2の光導波路の延在方向と直交する前記導波層の断面形状は、前記DC部と前記RF部とで異なることを特徴とする光変調器。 - 前記DC部は、
前記バッファ層を介して前記第2の光導波路と対向する第3のバイアス電極と、
前記第3のバイアス電極に隣接して設けられた第4のバイアス電極とをさらに含み、
前記第3のバイアス電極の幅は前記第2の光導波路の幅よりも広く、
前記第3のバイアス電極と前記第4のバイアス電極との間には第2のDCバイアス電圧が印加され、
前記第3のバイアス電極と前記第4のバイアス電極との間の第2の電極分離領域における前記導波層の最小厚さは、前記第2の電極分離領域と前記第2の光導波路との間における前記導波層の最小厚さよりも小さい、請求項13に記載の光変調器。 - 前記第2のバイアス電極は、前記第1のバイアス電極から見て前記第3のバイアス電極と反対側に位置し、
前記第4のバイアス電極は、前記第3のバイアス電極から見て前記第1のバイアス電極と反対側に位置する、請求項14に記載の光変調器。 - 前記DC部は、
前記第1のバイアス電極と前記第3のバイアス電極との間に設けられた第5のバイアス電極をさらに含み、
前記第1のバイアス電極と前記第5のバイアス電極との間の第3の電極分離領域における前記導波層の最小厚さは、前記第3の電極分離領域と前記第1の光導波路との間における前記導波層の最小厚さよりも小さく、
前記第3のバイアス電極と前記第5のバイアス電極との間の第4の電極分離領域における前記導波層の最小厚さは、前記第4の電極分離領域と前記第2の光導波路との間における前記導波層の最小厚さよりも小さく、
前記RF部は、
前記第1の信号電極と前記第2の信号電極との間に設けられた第3の接地電極をさらに含む、請求項15に記載の光変調器。 - 前記第2のバイアス電極は、前記バッファ層を介して前記第2の光導波路と対向しており、
前記第2のバイアス電極の幅は前記第2の光導波路の幅よりも広く、
前記第1の電極分離領域における前記導波層の最小厚さは、前記第1の電極分離領域と前記第2の光導波路との間における前記導波層の最小厚さよりも小さい、請求項13に記載の光変調器。 - 前記DC部は、前記第1及び第2の光導波路の両側の側面を覆うように前記導波層と前記バッファ層との間に形成された保護層をさらに含み、
前記第1の電極分離領域において、前記導波層は前記バッファ層及び前記保護層に覆われることなく露出している、請求項13又は17に記載の光変調器。 - 前記DC部は、前記第1及び第2の光導波路の両側の側面を覆うように前記導波層と前記バッファ層との間に形成された保護層をさらに含み、
前記第1及び第2の電極分離領域において、前記導波層は前記バッファ層及び前記保護層に覆われることなく露出している、請求項14又は15に記載の光変調器。 - 前記DC部は、前記第1及び第2の光導波路の両側の側面を覆うように前記導波層と前記バッファ層との間に形成された保護層をさらに含み、
前記第1乃至第4の電極分離領域において、前記導波層は前記バッファ層及び前記保護層に覆われることなく露出している、請求項16に記載の光変調器。 - 前記導波層は、前記第1又は第2の光導波路から遠ざかるにつれて徐々に薄くなる断面形状を有する、請求項13乃至20のいずれか一項に記載の光変調器。
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