JPH03257423A - 導波路型光変調器の動作点トリミング方法 - Google Patents

導波路型光変調器の動作点トリミング方法

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JPH03257423A
JPH03257423A JP2054976A JP5497690A JPH03257423A JP H03257423 A JPH03257423 A JP H03257423A JP 2054976 A JP2054976 A JP 2054976A JP 5497690 A JP5497690 A JP 5497690A JP H03257423 A JPH03257423 A JP H03257423A
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waveguide
waveform
optical waveguides
light
optical
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Hironao Hakogi
箱木　浩尚
Hisashi Takamatsu
高松　久志
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Fujitsu Ltd
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    • G02F2203/20—Intrinsic phase difference, i.e. optical bias, of an optical modulator; Methods for the pre-set thereof

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 目　　　　次 概　　　要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段 ２− 作　　　用 実　　施　　例 発明の効果 概要 導波路型光変調器又は光スィッチの動作点トリミング方
法に関し、 少なくとも一方の分岐光導波路の屈折率を変えて動作点
をシフトさせ、これによって適正な光信号を出力するこ
とができ、また、歩留りを向上させることができる導波
路型光変調器又は光スィッチの動作点トリミング方法を
提供することを目的とし、 導波路基板上に、分岐された一定強度レベルの入力光が
導波される第１及び第２光導波路を形成し、その第１及
び第２光導波路上に、該第１及び第２光導波路及び導波
路上を覆うバッファ層を介して、第１及び第２電極をそ
れぞれ装架し、該第１及び第２電極間に印加する電圧を
変化させて導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じ
た光を合成して強度変調光として出力する導波路型光変
調器において、前記強度変調光の波形を波形表示装置に
よってモニタリングしながら、前記第１及び第２電極の
内、いづれかの電極の任意箇所を、前記強度変調光の波
形が所望の波形となるように除去して構成する。
産業上の利用分野 本発明は導波路型光変調器又は光スィッチの動作点トリ
ミング方法に関する。
一般的な光通信システムにおいては、送信側で強度変調
された信号光を光ファイバ等からなる光伝送路を介して
受信側に伝送し、受信側で受信光を直接検波して伝送情
報を再生するようにしている。送信側における強度変調
は、ＬＤ（半導体レーザ）等の光源の駆動電流を変調信
号に基づいて変化させることにより行うことができるが
（直接変調）、直接変調の場合、高速変調時に比較的大
きな波長シフト（チャーピング）が生じることがあるの
で、光伝送路として分散特性が良好でない３ １４ 光ファイバを用いている場合には、伝送距離又は伝送速
度の制限を受ける。具体的には、１．３μｍ帯でゼロ分
散となる通常の単一モード光ファイバと、伝ｍ損失が最
小となる１、５５μｍ帯で発振するＬＤとを組み合わせ
てシステムを構築した場合に、波長分散に起因する伝送
距離又は伝送速度の制限が生じる。このような伝送距離
又は伝送速度の制限を排除するものとして、光変調器を
用いた外部変調方式がある。外部変調方式は、一定強度
レベルで発光している光源からの光を、光源とは独立し
て設けられた例えば導波路型光変調器により変調するよ
うにしたものであり、波長チャーピング量が直接変調方
式に比べて著しく小さいものを構成することができる。
このような外部変調方式を実施するに際して、導波路型
光変調器の動作点を制御するためのトリミング方法が要
望されている。
従来の技術 第１２図は従来の導波路型光変調器１の構成を示す平面
図である。
この図において、２はニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ２
）等の強誘電体材料からなる直方体形状の導波路基板で
ある。この導波路基板２表面の所定位置には、チタン（
Ｔｉ）を熱拡散させる等の方法によって、Ｙ分岐導波路
を２つ組み合わせた形状の、互いに長さの等しい第１分
岐光導波路３ａと第２分岐光導波路３ｂとからなる光導
波路３が形成されており、また、導波路基板２表面には
、光導波路３．３ａ、３ｂ全てを覆うバッファ層４が、
シリコン酸化（Ｓｉｎ２）膜によって形成されている。
更に、第１分岐光導波路３ａ上には、バッファ層４を介
して金等の導電材料をメツキした駆動電圧印加用の第１
電極５ａが形成され、第２分岐光導波路３ｂ上には、バ
ッファ層４を介して第２電極３ｂが形成されている。そ
して、第１及び第２電極５ａ、５ｂ双方の一端部には、
変調信号に応じて各電極５ａ、５ｂに印加する電圧を変
化させる駆動回路（図示せず）が接続されており、他端
部には終端抵抗（図示せず）が接続されている。
また、導波路基板２の光導波路３の一端部には矢印で示
すように入力端の光ファイバ６が光結合されており、他
端部には出力側の光ファイバ７が光結合されている。な
お、バッファ層４は第１及び第２分岐光導波路３ａ、３
ｂを伝搬する光が第１及び第２電極５ａ、５ｂによって
吸収されないようにするためのものである。
このような構成によれば、光導波路３の第１及び第２分
岐光導波路３ａ、３ｂの屈折率は印加電界の強さに応じ
て変化するから、分岐光導波路３ａ、３ｂによって同位
相で分岐された各々の分岐光は、各分岐光導波路３ａ、
３ｂの屈折率に応じた位相変化を受けることになる。
また、光導波路３はＹ分岐部を除いて、基本モード光の
みを伝搬ｒる単一モード光導波路とされているから、前
記した各分岐光の位相差が０であれば光導波路３から出
力される干渉光の強度は最大となり、分岐光の（立相差
がπであるときは干渉光の強度は最小となる。また、位
相差が０とπとの間であるときは位相差に応じた干渉光
強度となる。このように、導波路型光変調器１は、変調
信号に応じて電極に印加する印加電圧を変化させること
によって、出力光強度に時系列的な変化を与えるもので
ある。
第１３図に印加電圧と出力光強度との関係を示す。なお
、この図において、縦軸に出力光強度、横軸に印加電圧
が示しである。
この分岐干渉型光変調器の印加電圧Ｖと出力光強度Ｐｏ
　との関係はＴＥ或いはＴＭのいずれかの導波モード光
を用い、Ｙ分岐において伝搬光が損失なく等しく分波及
び合波され、かつ導波路に損失が無いとすると、 Ｐｏ＝Ｐｉ−ｃｏｓ２　Ｃ（π／２）　　　（Ｖ／Ｖπ
）十θ〕 で表される。ここに、Ｐｌは入力光強度、Ｖπは半波長
電圧と呼ばれる最大出力と最小出力とを与える最小の電
圧差である。
また、位相光のθは、２つの導波路３ａ、３ｂの光ｖ！
！差が０又はλ（伝搬光の波長）／ｎ（伝搬１７ ８ 光に対する媒質の屈折率）の２に倍（ｋ−±１゜±２．
・・・）のときに０となる。図１３の実線１０は、この
θ＝０の場合を示している。
このような変調器においては、光強度の最大値を与える
印加電圧Ｖｌ（Ｖ３）と最小値を与える印加電圧Ｖ２（
Ｖ４）との間で電圧を変化させることにより、強度変調
が可能となる。例えば、デジタル変調を行う場合には「
１」に対応するマーク時１０ａに印加電圧をＶ、で設定
し、「０」に対応するスペース時１０ｂに印加電圧をＶ
２で設定すれば良い。（この場合、符号は負理論である
。）発明が解決しようとする課題 ところで、上述した導波路型光変調器１においては、導
波路基板２上に配置されるバッファ層４及び各電極５ａ
、５ｂからの応力によって、第１及び第２分岐光導波路
３ａ、３ｂの屈折率が変化し、互いの光路長が異なって
しまうた必、動作点がシフトする。
このように動作点がシフトした場合、第１３図に示すよ
うに所望の波形１０が破線で示す波形１１の位置にずれ
てしまう。つまり、動作点のシフトに対応したシフト量
δＶだけずれることになる。
これを補正するためには、各分岐光導波路３ａ。
３ｂにＤＣバイアス電圧を印加し、各分岐光導波路３ａ
、３ｂの屈折率を変えて、互いの光路長差を調整しなけ
ればならない。
また、動作点のシフト量δＶは、製造時のバッファ層等
の蒸着膜厚及び各部品寸法にバラツキが生じるため一定
とならず、特に光弾性効果を有するＬ　ＩＮ　ｂ　Ｏｓ
　を導波路基板に用いた導波路型光変調器にあっては、
その傾向が顕著であるため、個々の光変調器毎に、その
バラツキによる動作点のシフト量δＶに応じてＤＣバイ
アス電圧を印加し、ＤＣオフセットを調整しなければな
らない。
また、このようにしてシフト量δＶを補正したとしても
、ＤＣバイアス電圧を印加すれば、その印加時間の経過
に伴って動作点がシフトするＤＣドリフトと呼ばれる現
象を引き起こすことがある。
これは例えば、第１４図に示すように、ＤＣバイアス電
圧の印加によって所望の出力光強度に補正されていた波
形１０が破線で示す波形１２のようにずれることである
。
このようにずれた場合、同図に示すように、最大光出力
を与える印加電圧Ｖ１　がＶｌ　’にシフトし、最小光
出力を与える印加電圧Ｖ２がＶ２　’にシフトするので
、もとの波形１０を得る印加電圧ｖ１〜Ｖ２で変調を行
うと、同図に示すように、印加電圧Ｖ１　時の出力光強
度が１０ａから１０ｂに低下し、印加電圧７２時の出力
光強度が１２８から１２ｂに増加する。この結果、最大
及び最小光出力を得ることができず、消光比（マーク時
とスペース時の出力光強度比のデシベル換算値）が低下
するために、適正な光信号を出力することができない問
題となる。
また、前述したＤＣドリフト等の動作点シフトの無い導
波路型光変調器を得る場合、製造時に、動作点にバラツ
キが生じるので、製造後にほぼ一定の動作点シフトを有
する製品を選別する必要がある。これは製造時に、動作
点にバラツキが生じることを鑑みれば、容易でない。ま
た、これによって歩留りが低下する問題がある。
本発明はこのような事情に鑑みて創作されたもので、少
なくとも一方の分岐光導波路の屈折率を変えて動作点の
シフトを無くすか、又は、所望の電圧に動作点をシフト
させ、これによって適正な光信号を出力することができ
、また、歩留りを向上させることができる導波路型光変
調器又は光スィッチの動作点トリミング方法を提供する
ことを目的としている。
課題を解決するための手段 導波路基板上に、分岐された一定強度レベルの入力光が
導波される第１及び第２光導波路を形成し、その第１及
び第２光導波路上に、該第１及び第２光導波路及び導波
路上を覆うバッファ層を介して、第１及び第２電極をそ
れぞれ装荷し、該第１及び第２電極間に印加する電圧を
変化させて導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じ
た光を合成して強度変調光として出力する導波路型光度
１ ２ 調器において、 この導波路型光変調器における動作点のトリミングを行
う方法として、以下に記載する■〜■に述べる方法があ
る。
■前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタ
リングしながら、前記第１及び第２電極の内、いづれか
一方の電極の任意箇所を、前記強度変調光の波形が所望
の波形となるように除去する。
■前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタ
リングしながら、前記第１及び第２光導波路の内、いづ
れか一方の光導波路の上であって、かつ前記電極が装荷
されていない部分に、前記バッファ層を介して金属材料
を蒸着し、前記強度変調光の波形が所望の波形となるよ
うな金属膜を形成する。
■前記強度変調光の波形を波形表示′装置によってモニ
タリングしながら、前記第１及び第２光導波路の内、い
づれか一方の光導波路の上であって、かつ前記電極が装
荷されていない部分のバッファ層を、前記強度変調光の
波形が所望の波形となるように除去する。
■前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタ
リングしながら、前記第１及び第２光導波路の内、いづ
れか一方の光導波路上であって、かつ前記電極が装荷さ
れていない部分に、前記バッファ層上面から該光導波路
の屈折率を上げるか、又は下げる物質を、前記強度変調
光の波形が所望の波形となるように注入して付着させる
。
■前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタ
リングしながら、前記第１及び第２光導波路の内、いづ
れか一方の光導波路の前記電極が装荷されていない任意
部分を、前記バッファ層を介して加熱して前記強度変調
光の波形が所望の波形となるように変形させる。
■前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタ
リングしながら、前記導波路基板の側面に応力付加用の
ブロックを取りつけ、そのブロックに機械的応力を加え
、前記強度変調光の波形が所望の波形となるような機械
的応力が加わった状態で該ブロックを固定する。
■前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタ
リングしながら、前記導波路基板の側面を、前記強度変
調光の波形が所望の波形となるように削り取る。
■前記第１及び第２光導波路の内、いづれか−方の光導
波路の上であって、かつ前記電極が装荷されていない部
分の前記バッファ層を複数の任意部分で除去し、前記強
度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリングし
ながら、前記バッファ層の除去された複数の任意部分に
、該光導波路の屈折率と異なる屈折率の物質を、前記強
度変調光の波形が所望の波形となるように装荷する。
■前記第１及び第２光導波路の内、いづれか−方の光導
波路の上であって、かつ前記電極が装荷されていない部
分に、前記バッファ層を介して金属材料を蒸着して、独
立した複数の金′属膜を形成し、前記強度変調光の波形
を波形表示装置によってモニタリングしながら、前記複
数の金属膜を、前記強度変調光の波形が所望の波形とな
るように順次除去する。
［株］前記第１及び第２光導波路の内、いづれか−方の
光導波路の電極が装荷されていない部分に間隙部を形成
し、前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニ
タリングしながら、前記間隙部に該光導波路の屈折率と
異なる屈折率の物質を、前記強度変調光の波形が所望の
波形となるように充填する。
また、前記導波路型光変調器に光信号を人力及び出力す
る各光ファイバを固定すると共に、この導波路型光変調
器を所定の周辺回路を取りつけた部材に固定し、上述し
た■〜■のいづれかの方法によって動作点トリミングを
行うのが望ましい。
更に、■〜０のいづれかの方法によって１１、導波路型
光スイッチの動作点をトリミングしてもよい。
作　　　用 本発明によれば、上述したように■〜０のように構成し
たので、以下に述べる様な作用を得ることが出来る。
５ ６ ■の方法によれば、いづれか一方の電極形状が変化し、
その電極下部の光導波路に加わる応力が変化して、その
光導波路の屈折率が変化する。これによって、屈折率が
変化した光導波路の光路長と、他方の光導波路の光路長
の差が所定値となり、この結果、動作点のシフトがなく
なる。
■の方法によれば、いづれか一方の光導波路上に、バッ
ファ層を介して金属膜が形成される。従って、その光導
波路を光が伝搬し、金属膜の部分を通過する際に、光が
金属膜の屈折率を感知するので、その光導波路の屈折率
が変わることになり、その光導波路の光路長と、他方の
光導波路の光路長との差が所定値となる。この結果、動
作点のシフトが調整できる。
■の方法によれば、いづれか一方の光導波路上の、任意
部分のバッファ層が除去されるので、この除去された部
分の光導波路が空気１こ・触れて屈折率が変わることに
なり、その光導波路の光路長と、他方の光導波路の光路
長との差が所定値となる。
この結果、動作点のシフトが調整できる。
■の方法によれば、いづれか一方の光導波路上の任意部
分に、その光導波路の屈折率を上げるか、又は下げる物
質が付着されるので、その物質が付着した部分の屈折率
が変化し、その光導波路の光路長と、他方の光導波路の
光路長との差が所定値となる。この結果、動作点のシフ
トが調整できる。
■の方法によれば、いづれか一方の光導波路の任意部分
が変形し、その変形した部分の屈折率が変化し、その光
導波路の光路長と、他方の光導波路の光路長との差が所
定値となる。この結果、動作点のシフトが調整できる。
■の方法によれば、導波路基板の側面に応力付加用のブ
ロックが、所定の機械的応力が加わった状態で固定され
るので、そのブロック近傍の光導波路の屈折率が応力に
よって変化し、その光導波路の光路長と、他方の光導波
路の光路長との差が所定値となる。この結果、動作点の
シフトが調整できる。
■の方法によれば、導波路基板の側面の任意箇所が削り
取られるので、これによって、削り取られた箇所近傍の
光導波路に加わる応力が変化し、その光導波路の屈折率
が変化する。従って、その屈折率が変化した波路の光路
長と、他方の光導波路の光路長との差が所定値となる。
この結果、動作点のシフトが調整できる。
■の方法によれば、いづれか一方の光導波路上のバッフ
ァ層が複数の任意部分で除去され、この除去された複数
の任意部分に、光導波路の屈折率と異なる屈折率の物質
が装荷されるので、これによって、その光導波路の屈折
率が変わり、その光導波路の光路長と、他方の光導波路
の光路長との差が所定値となる。この結果、動作点のシ
フトが調整できる。
■の方法によれば、いづれか一方の光導波路上にバッフ
ァ層を介して、独立した複数の金属膜が形成され、更に
、その複数の金属膜が所定数だけ除去される。従って、
その光導波路を光が伝搬し、金属膜の部分を通過する際
に、光が除去されずに残った金属膜の屈折率を感知する
ので、その光導波路の屈折率が変わることになり、その
光導波路の光路長と、他方の光導波路の光路長との差が
所定値となる。この結果、動作点のシフトが調整できる
。
■の方法によれば、いづれか一方の光導波路の任意部分
に間隙部が形成され、その間隙部に光導波路の屈折率と
異なる屈折率の物質が充填されるので、これによって、
その光導波路の屈折率が変わり、その光導波路の光路長
と、他方の光導波路の光路長との差が所定値となる。こ
の結果、動作点のシフトが調整できる。
実　　施　　例 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。第１図は本発明の第１の実施例による導波路型光変調
器ＩＡの構成を示す平面図あり、これらの図において、
第１２図に示す従来例の各部に対応する部分には同一の
符号を付し、その説明を省略する。
この第１の実施例による導波路型光変調器ＩＡが第１２
図に示す従来の導波路型光変調器１と異９ ０ なる点は、第１図に示すように、第２電極５ｂの一部５
ｂ＋　を除去して電極形状を変えて第２分岐光導波路３
ｂに加わる応力を変え、これによって第２分岐光導波路
３ｂの屈折率を変えて、第１分岐光導波路３ａとの光路
長差を調整することによって、導波路型光変調器ＩＡの
動作点を所望の動作点にするトリミングを行い、従来例
で説明したＤＣオフセット印加の必要性を無くしたこと
である。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）を形成し、その
導波路型光変調器１に、図示せぬオシロスコープ等の波
形・観察装置を接続する。そして、その波形観察装置に
よって導波路型光変調器１から出力される光信号の強度
変調波形を確認しながら、導波路型光変調器１の第２電
極５ｂの所定箇所を、レーザビームを照射して加熱除去
する等の手段によって光信号の波形が所望の波形となる
まで除去する。このようにすれば、前述したような導波
路型光変調器ＩＡを形成することができる。
また、導波路型光変調器ＩＡにおいては、第２電極５ｂ
の一部を除去したが、各分岐光導波路３ａ、３ｂの屈折
率に応じて、第１電極５ａの一部を除去する場合もある
。
このような導波路型光変調器ＩＡにおいては、従来の導
波路型光変調器１のように、ＤＣバイアス電圧を印加す
る必要がない。更に、ＤＣバイアス電圧を印加しないの
で、従来のようにＤＣドリフトが生じることはない。
次に、第２図を参照して、本発明の第２の実施例につい
て説明する。第２図は本発明の第２の実施例による導波
路型光変調器ＩＢの構成を示す平面図あり、これらの図
において、第１２図に示す従来例の各部に対応する部分
には同一の符号を付し、その説明を省略する。
この第２の実施例による導波路型光変調器ＩＢが従来の
導波路型光変調器１と異なる点は、第２図に示すように
、第１分岐光導波路３ａ上に、バッファ層４を介して金
属膜２０を形成し、第１分枝光導波路３ａを伝搬する光
が、金属膜２０の部分を通過する際に金属膜２０の屈折
率を感知することにより、第１分岐光導波路３ａの屈折
率が実質的に変化することになるので、これによって第
１分岐光導波路３ａの光路長を変えて、第２分岐光導波
路３ｂとの光路長差を調整することによって、導波路型
光変調器ＩＢの動作点を所望の動作点にするトリミング
を行い、従来例で説明したＤＣオフセット印加の必要性
を無くしたことである。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）を形成し、その
導波路型光変調器１に、オシロスコープ等の波形観察装
置を接続する。そして、その波形観察装置によって導波
路型光変調器１から出力される光信号の強度変調波形を
確認しながら、第１分岐光導波路３ａ上に、バッファ層
４を介して金属材料を、光信号の波形が所望の波形とな
る蒸着して金属膜２０を形成する。このようにすれば、
前述したような導波路型光変調器ＩＢを形成することが
でき、前述した導波路型光変調器ＩＡと同様な効果を得
ることができる。
また、上述した導波路型光変調器ＩＢにおいては、第１
分岐光導波路３ａ上にバッファ層４を介して金属膜２０
を形成したが、この金属膜２０は、各分岐光導波路３ａ
、３ｂの屈折率に応じて、第２分岐光導波路３ｂ上に形
成してもよい。つまり、各電極５ａ、５ｂが形成されて
いる部分以外の分岐光導波路３ａ、３ｂ上であればよい
。
次に、第３図を参照して、本発明の第３の実施例につい
て説明する。第３図は本発明の第３の実施例による導波
路型光変調器ＩＣの構成を示す平面図あり、これらの図
において、第１２図に示す従来例の各部に対応する部分
には同一の符号を付し、その説明を省略する。
この第３の実施例による導波路型光変調器ＩＣが従来の
導波路型光変調器１と異なる点は、第３図に示すように
、第１分枝光導波路３ａ上のバッファ層４の一部４ａを
除去し、この除去された部分の光導波路３ａが空気に触
れて屈折率が変わることを利用し、第１分岐光導波路３
ａの屈折率を変えて、第２分枝光導波路３ｂの光路長差
を調整３３ ４ することによって、導波路型光変調器ＩＣの動作点を所
望の動作点にするトリミングを行い、従来例で説明した
ＤＣオフセット印加の必要性を無くしたことである。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）を形成し、その
導波路型光変調器１にオシロスコープ等の波形観察装置
を接続する。そして、その波形観察装置によって導波路
型光変調器１から出力される光信号の強度変調波形を確
認しながら、第１分岐光導波路３ａ上のバッファ層４を
、エツチングや研削あるいは電子ビームの照射等による
手段によって光信号の波形が所望の波形となるまで除去
する。このようにすれば、前述したような導波路型光変
調器ＩＣを形成することができ、導波路型光変調器ＩＡ
と同様な効果を得ることができる。
また、この導波路型光変調器ＩＣにおいては、第１分岐
光導波路３ａ上のバッファ層４の一部を除去したが、各
分岐光導波路３ａ、３ｂの屈折率に応じて、第２分岐光
導波路３ｂ上のバッファ層４の一部を除去した方が良い
場合もある。つまり、各電極５ａ、５ｂが形成されてい
る部分以外の分岐光導波路３ａ、３ｂ上であればよい。
次に、第４図を参照して、本発明の第４の実施例につい
て説明する。第４図は本発明の第４の実施例による導波
路型光変調器ＩＤの構成を示す平面図あり、これらの図
において、第１２図に示す従来例の各部に対応する部分
には同一の符号を付し、その説明を省略する。
この第４の実施例による導波路型光変調器ＩＤが従来の
導波路型光変調器１と異なる点は、第４図に示すように
、第１分岐光導波路３ａ上の任意部分に、光導波路の屈
折率を上げるか、又は下げる物質２１を付着させ、これ
により第１分岐光導波路３ａの屈折率を変化させて、第
２分枝光導波路３ｂとの光路長差を調整することによっ
て、導波路型光変調器ＩＣの動作点を所望の動作点にす
るトリミングを行い、従来例で説明したＤＣオフセット
印加の必要性を無くしたことである。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）を形成し、その
導波路型光変調器ｌに、オシロスコープ等の波形観察装
置を接続する。そして、その波形観察装置によって導波
路型光変調器１から出力される光信号の強度変調波形を
確δ忍しながら、第１分岐光導波路３ａ上の任意部分に
、光導波路の屈折率を上げるか、又は下げる物質２１を
イオン注入等の手段によって光信号の波形が所望の波形
となるまで注入して付着させる。このようにすれば、前
述したような導波路型光変調器ＩＤを形成することがで
き、導波路型光変調器ＩＡと同様な効果を得ることがで
きる。
なお、この導波路型光変調器ＩＤにおいては、第１分岐
光導波路３ａ上の任意部分に、光導波路の屈折率を上げ
るか、又は下げる物質２１を付着させたが、第２分岐光
導波路３ｂ上の任意部分に付着させてもよい。
次に、第５図を参照して、本発明の第５の実施例につい
て説明する。第５図は本発明の第５の実施例による導波
路型光変調器ＩＥの構成を示す平面図あり、これらの図
において、第１２図に示す従来例の各部に対応する部分
には同一の符号を付し、その説明を省略する。
この第５の実施例による導波路型光変調器ＩＥが従来の
導波路型光変調器１と異なる点は、第５図に示すように
、第１分枝光導波路３ａの任意部分３ａ＋　を変形させ
、その光導波路３ａの屈折率を変化させて、第２分岐光
導波路３ｂの光路長差を調整することによって、導波路
型光変調器ＩＥの動作点を所望の動作点にするトリミン
グを行い、従来例で説明したＤＣオフセット印加の必要
性を無くしたことである。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）を形成し、その
導波路型光変調器１にオシロスコープ等の波形観察装置
を接続する。そして、その波形観察装置によって導波路
型光変調器１から出力される光信号の強度変調波形を確
認しながら、第１分岐光導波路３ａ上の任意部分３ａ＋
　又はその周辺部分を、レーザビームの照射等による加
熱手段７ ８ によって加熱して光導波路３ａを拡散させ、光信号の波
形が所望の波形となるまで変形させる。このようにすれ
ば、前述したような導波路型光変調器ＩＥを形成するこ
とができ、導波路型光変調器ＩＡと同様な効果を得るこ
とができる。
なお、この導波路型光変調器ＩＥにおいては、第１分岐
光導波路３ａの任意部分を変形させたが、第２分岐光導
波路３ｂの任意部分を変形させてもよい。
次に、第６図を参照して、本発明の第６の実施例につい
て説明する。第６図は本発明の第６の実施例による導波
路型光変調器ＩＦの構成を示す平面図あり、これらの・
図において、第１２図に示す従来例の各部に対応する部
分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
この第６の実施例による導波路型光変調器ＩＦが従来の
導波路型光変調器１と異なる点は、第６図に示すように
、導波路基板２の側面任意部分に応力付加用のブロック
２２を固定し、その応力により第１分岐光導波路３ａの
屈折率を変えて、第２分岐光導波路３ｂとの光路長差を
調整することによって、導波路型光変調器ＩＦの動作点
を所望の動作点にするトリミングを行い、従来例で説明
したＤＣオフセット印加の必要性を無くしたことである
。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照〉を形成し、その
導波路型光変調器１にオシロスコープ等の波形観察装置
を接続する。そして、また、光導波路基板２の側面任意
部分にブロック２２取りつける。そして、その波形観察
装置によって導波路型光変調器１から出力される光信号
の強度変調波形を確認しながら、ブロック２２に機械的
応力を加え、光信号の波形が所望の波形となったところ
で、その機械的応力が加わるようにブロック２２を固定
する。このようにすれば、前述したような導波路型光変
調器ＩＦを形成することができ、導波路型光変調器ＩＡ
と同様な効果を得ることができる。
また、この導波路型光変調器Ｉ已においては、応力付加
用のブロック２２によって第１分岐光導波路３ａの屈折
率を変化させたが、ブロック２２を導波路基板２の反対
側の側面に固定して第２分岐光導波路３ｂの屈折率を変
化させてもよい。
次に、第７図を参照して、本発明の第７の実施例につい
て説明する。第７図は本発明の第７の実施例による導波
路型光変調器ＩＧの構成を示す平面図あり、これらの図
において、第１２図に示す従来例の各部に対応する部分
には同一の符号を付し、その説明を省略する。
この第７の実施例による導波路型光変調器ＩＧが従来の
導波路型光変調器１と異なる点は、第７図に示すように
、導波路基板２の側面任意部分を凹状２ａに削り取り、
これによって第１分岐光導波路３ａに加わる応力を変え
、その屈折率を変えて第２分岐光導波路３ｂとの光路長
差を調整することによって、導波路型光変調器ＩＣ，の
動作点を所望の動作点にするトリミングを行い、従来例
で説明したＤＣオフセット印加の必要性を無くしたこと
である。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）を形成し、その
導波路型光変調器１に、オシロスコープ等の波形観察装
置を接続する。そして、その波形観察装置によって導波
路型光変調器１から出力される光信号の強度変調波形を
確認しながら、光信号の波形が所望の波形となるまで、
光導波路基板２の側面任意部分を研削によって凹状２ａ
に削り取る。このようにすれば、前述したような導波路
型光変調器ＩＦを形成することができ、導波路型光変調
器ＩＡと同様な効果を得ることができる。
また、この導波路基板２の研削箇所は、各分岐光導波路
３ａ、３ｂのいづれかの屈折率が変化し、所定の強度波
形の光信号が得られる箇所であればよい。
次に、第８図を参照して、本発明の第８の実施例につい
て説明する。第８図は本発明の第８の実施例による導波
路型光変調器ＩＨの構成を示す平面図あり、これらの図
において、第１２図に示す従来例の各部に対応する部分
には同一の符号を付　１− ２− し、その説明を省略する。
この第８の実施例による導波路型光変調器ＩＨが従来の
導波路型光変調器１と異なる点は、第８図に示すように
、第１分岐光導波路３ａ上のバッファ層４を複数部分４
ｂ、４ｂ、・・・で除去しておき、この除去された部分
４ｂ、４ｂ、・・・に光導波路３の屈折率と異なる屈折
率の物質２３を装荷し、第１分岐光導波路３ａの屈折率
を変えて、第２分岐光導波路３ｂの光路長差を調整する
ことによって、導波路型光変調器ＩＨの動作点を所望の
動作点にするトリミングを行い、従来例で説明したＤＣ
オフセット印加の必要性を無くしたことである。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）を形成し、次に
、その第１分岐光導波路３ａ上のバッファ層４の複数部
分４ｂ、４ｂ、・・・を、エツチング等の手段によって
除去する。更にそのバッファ層４部分４ｂ、４ｂ、・・
・が除去された導波路型光変調器に、オシロスコープ等
の波形観察装置を接続する。そして、その波形観察装置
によって導波路型光変調器から出力される光信号の強度
変調波形を確認しながら、バッファ層４の除去された部
分４ｂ、４ｂ、・・・に、光導波路３の屈折率と異なる
屈折率の物質２３を、光信号の波形が所望の波形となる
まで順次装荷する。このようにすれば、前述したような
導波路型光変調器ＩＨを形成することができ、導波路型
光変調器ＩＡと同様な効果を得ることができる。
また、この導波路型光変調器ＩＨにおいては、第１分岐
光導波路３ａ上のバッファ層４の任意部分４ｂ、４ｂ、
・・・を除去して物質２３を装荷したが、第２分岐光導
波路３ｂ上のバッファ層４の任意部分を除去して物質２
３を装荷してもよい。つまり、各電極５ａ、５ｂが形成
されている部分以外の分岐光導波路３ａ、３ｔｊ上であ
ればよい。更に、前述同様、分岐光導波路３ａ、３ｂの
いづれかの屈折率が変わるのであれば、光導波路３ａ。
３ｂの近傍周辺部でもよい。
次に、第９図を参照して、本発明の第９の実施例につい
て説明する。第９図は本発明の第９の実施例による導波
路型光変調器１■の構成を示す平面図あり、これらの図
において、第１２図に示す従来例の各部に対応する部分
には同一の符号を付し、その説明を省略する。
この第９の実施例による導波路型光変調器１■が従来の
導波路型光変調器１と異なる点は、第９図に示すように
、第１分枝光導波路３ａ上にバッファ層４を介して複数
の金属膜２４．２４．・・・を形成しておき、その金属
膜２４．２４．・・・を破線枠２４ａで示すように、順
次除去し、これにより第１分岐光導波路３ａの屈折率を
変えて、第２分枝光導波路３ｂとの光路長差を調整する
ことによって、導波路型光変調器ＩＩの動作点を所望の
動作点にするトリミングを行い、従来例で説明したＤＣ
オフセｙ）印加の必要性を無くしたことである。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）を形成し、次に
、その第１分岐光導波路３ａ上の任意位置に、バッファ
層４を介して金属材料を蒸着し、複数の金属膜２４，２
４．・・・を形成する。更にその複数の金属膜２４，２
４．・・・が形成された導波路型光変調器に、オシロス
コープ等の波形観察装置を接続する。そして、その波形
観察装置によって導波路型光変調器から出力される光信
号の強度変調波形を確認しながら、複数の金属膜２４，
２４、・・・をレーザビームを照射して加熱する等の手
段によって、光信号の波形が所望の波形となるまで順次
除去する。このようにすれば、前述したような導波路型
光変調器ＩＩを形成することができ、導波路型光変調器
ＩＡと同様な効果を得ることができる。
また、この導波路型光変調器１■においては、第１分岐
光導波路３ａ上に金属膜２４，２４．・・・を形成して
順次除去したが、これは第２分岐光導波路３ｂ上であっ
てもよい。
次に、第１０図を参照して、本発明の第１０の実施例に
ついて説明する。第１０図は本発明の第１０の実施例に
よる導波路型光変調器ＩＪの構成を示す平面図あり、こ
れらの図において、第１２５ ６ 図に示す従来例の各部に対応する部分には同一の符号を
付し、その説明を省略する。
この第１Ｏの実施例による導波路型光変調器ＩＪが従来
の導波路型光変調器ｌと異なる点は、第１０図に示すよ
うに、第１分岐光導”波路３ａの任意部分に形成した間
隙部３ａ２　に、光導波路３ａの屈折率と異なる屈折率
の物質２５を充填し、第１分枝光導波路３ａの屈折率を
変えて、第２分枝光導波路３ｂの光路長差を調整するこ
とによって、導波路型光変調器ＩＩの動作点を所望の動
作点にするトリミングを行い、従来例で説明したＤＣオ
フセット印加の必要性を無くしたことである。
即ち、このような動作点トリミングを行う場合、まず、
導波路型光変調器１　（第１２図参照）の光導波路３を
形成する際の、Ｔ１を熱拡散する前に、第１分岐光導波
路３ａ形成経路の一部分に所望の間隙部３ａ２ができる
ように、例えばレジストによって所定のパターンを形成
し、その後Ｔｉを熱拡散させて光導波路３を形成する。
そして、バッファ層４、電極５ａ、５ｂと順次形成し、
最後にレジストを除去する。このレジストを除去した部
分が間隙部３ａｚ　　となる。これによって、間隙部３
ａ２が形成された第１分岐光導波路３ａを有する導波路
型光変調器が形成される。次に、この導波路型光変調器
にオシロスコープ等の波形観察装置を接続する。そして
、その波形観察装置によって導波路型光変調器から出力
される光信号の強度変調波形を確認しながら、前記間隙
部３ａ２　に、光導波路３ａの屈折率と異なる屈折率の
物質２５を、光信号の波形が所望の波形となるまで充填
する。このようにすれば、前述したような導波路型光変
調器ＩＪを形成することができ、導波路型光変調器ＩＡ
と同様な効果を得ることができる。
また、この導波路型光変調器ＩＪにおいては、第１分岐
光導波路３ａに物質２５を充填したが、第２分岐光導波
路３ｂに充填してもよい。
なお、間隙部３ａ２の形成方法として、導波路型光変調
器１を形成した後で、第１又は第２分岐光導波路の一部
分をエツチング等によって除去して形成してもよい。
また、上述した第１〜第１０のいづれの実施例において
も、導波路型光変調器に波形観察装置を接続して、出力
強度変調光の波形を確認しながら、トリミングを行った
が、その導波路型光変調器を、駆動回路等の周辺回路が
組み込まれた金属箱等のデバイスに固定してモジュール
化を行い、このモジュール化された導波路型光変調器に
波形観察装置を接続し、第１〜第１０の実施例で説明し
たように、トリミングを行うのが望ましい。
ところで、上述した第１〜第１０の実施例で説明した動
作点トリミング方法は、各分岐光導波路の長さが等しい
導波路型光変調器に対して行った場合の説明であったが
、各分岐光導波路の長さが異なる導波路型光変調器に適
用しても、各導波路を伝搬し、結合される光の整合をと
ることが出来る。
また、上述した第１〜第１Ｏの実施例で説明した動作点
トリミング方法は、第１１図に示す方向性結合型の導波
路型光スイッチ３０にも同様に適用することができる。
ここで、その導波路型光スイッチ３０のついて簡単に説
明しておく。第１１図に示す導波路型光スイッチ３０は
、導波路型光変調器１とほぼ同様に形成されたものであ
り、異なる点は、導波路基板２上に、互いに独立した第
１及び第２光導波路３１．３２が形成されていることで
ある。これらの第１及び第２光導波１ａ３１．３２は、
各電極５ａ、５ｂが装荷されている平行部分で、光の相
互作用によって光が伝達されるように形成されている。
例えば、同図に示すように、第２光導波路３２に入射さ
れた光３３が第１光導波路３１に伝達される。また、各
電極５ａ、５ｂに所定の電圧を印加し、電界強度を変化
させて各光導波路３１゜３２の屈折率を変えることによ
って、第２光導波路３２に入射された光３３を第１光導
波路３１に全部結合させ、第１光導波路３１から光３４
を出力させ、第２光導波路３２から光３５が出力しない
ようにするか、又は、その反対に第２光導波路３２から
光３５を出力させ、第１光導波路３１からは光が出力し
ないようにすることができる。即９ ０ ち、互いの光３４．３５を０Ｎ１０ＦＦとするスイッチ
ングを行うことが可能となる。
発明の詳細 な説明したように、本発明によれば、所望の動作点を有
する導波路型光変調器及び導波路型光スイッチを形成す
ることができるので、動作点のシフトを無くすことがで
き、これによって、ＤＣオフセットを調節するＤＣバイ
アス電圧を印加する必要がなくなる。そして、ＤＣバイ
アス電圧を印加しないので、ＤＣドリフトが生じること
がなくなる。従って、これらのメリットによって、適正
な光信号を得ることができる効果がある。
また、所望の動作点にすることができるので、動作点の
安定した製品を製造することができ、これによって、歩
留りを大幅に向上させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第２図は本発明の第２の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第３図は本発明の第３の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第４図は本発明の第４の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第５図は本発明の第５の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第６図は本発明の第６の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第７図は本発明の第７の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第８図は本発明の第８の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第９図は本発明の第９の実施例による導波路型光変調器
の構成を示す平面図、 第１０図は本発明の第１０の実施例による導波路型光変
調器の構成を示す平面図、 第１１図は導波路型光スイッチの構成を示す平面図、 第１２図は従来の導波路型光変調器の構成を示す平面図
、 第１３図は動作点のオフセットを説明するための図、 第１４図はＤＣドリフトを説明するための図である。 １、ＩＡ〜ＩＪ・・・導波路型光変調器、２・・・導波
路基板、 ３・・・光導波路、 ３ａ・・・第１光導波路、 ３ｂ・・・第２光導波路、 ４・・・バッファ層、 ５ａ・・・第１電極、 ５ｂ・・・第２電極、 ２０．２４・・・金属膜、 ２１・・・光導波路の屈折率を上げるか、又は下げる物
質、 ２２・・・ブロック、 ２３．２５・・・光導波路の屈折率と異なる屈折率の物
質、 ３０・・・導波路型光スイッチ、 ３１・・・導波路型光スイッチの第１光導波路、３２・
・・導波路型光スイッチの第２光導波路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリ
    ングしながら、 前記第１及び第２電極（５ａ、５ｂ）の内、いづれか一
    方の電極（５ｂ）の任意箇所（５ｂ＿１）を、前記強度
    変調光の波形が所望の波形となるように除去することを
    特徴とする導波路型光変調器の動作点トリミング方法。 ２、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリ
    ングしながら、 前記第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）の内、いづれ
    か一方の光導波路（３ａ）の上であって、かつ前記電極
    （５ａ）が装荷されていない部分に、前記バッファ層（
    ４）を介して金属材料を蒸着し、前記強度変調光の波形
    が所望の波形となるような金属膜（２０）を形成するこ
    とを特徴とする導波路型光変調器の動作点トリミング方
    法。 ３、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリ
    ングしながら、 前記第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）の内、いづれ
    か一方の光導波路（３ａ）の上であって、かつ前記電極
    （５ａ）が装荷されていない部分のバッファ層（４）を
    、前記強度変調光の波形が所望の波形となるように除去
    することを特徴とする導波路型光変調器の動作点トリミ
    ング方法。 ４、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリ
    ングしながら、 前記第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）の内、いづれ
    か一方の光導波路（３ａ）上であって、かつ前記電極（
    ５ａ）が装荷されていない部分に、前記バッファ層（４
    ）上面から該光導波路（３ａ）の屈折率を上げるか、又
    は下げる物質（２１）を、前記強度変調光の波形が所望
    の波形となるように注入して付着させることを特徴とす
    る導波路型光変調器の動作点トリミング方法。 ５、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリ
    ングしながら、 前記第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）の内、いづれ
    か一方の光導波路（３ａ）の前記電極（５ａ）が装荷さ
    れていない部分（３ａ＿１）を、前記バッファ層（４）
    を介して加熱し、前記強度変調光の波形が所望の波形と
    なるように変形させることを特徴とする導波路型光変調
    器の動作点トリミング方法。 ６、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリ
    ングしながら、 前記導波路基板（２）の側面所定箇所に応力付加用のブ
    ロック（２２）を取り付け、 そのブロック（２２）に機械的応力を加え、前記強度変
    調光の波形が所望の波形となるような機械的応力が加わ
    った状態で該ブロック（２２）を固定することを特徴と
    する導波路型光変調器の動作点トリミング方法。 ７、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリ
    ングしながら、 前記導波路基板（２）の側面部分（２ａ）を、前記強度
    変調光の波形が所望の波形となるように削り取ることを
    特徴とする導波路型光変調器の動作点トリミング方法。 ８、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）の内、いづれ
    か一方の光導波路（３ａ）の上であって、かつ前記電極
    （５ａ）が装荷されていない部分のバッファ層（４）を
    複数の任意部分（４ｂ、４ｂ、・・・）で除去し、前記
    強度変調光の波形を波形表示装置によってモニタリング
    しながら、 前記バッファ層（４）の除去された複数の任意部分（４
    ｂ、４ｂ、・・・）に、該光導波路（３ａ）の屈折率と
    異なる屈折率の物質（２３）を、前記強度変調光の波形
    が所望の波形となるように順次装荷することを特徴とす
    る導波路型光変調器の動作点トリミング方法。 ９、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベル
    の入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ
    ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び導
    波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１及
    び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化させ
    て導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を合
    成して強度変調光として出力する導波路型光変調器にお
    いて、 前記第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）の内、いづれ
    か一方の光導波路（３ａ）の上であって、かつ前記電極
    （５ａ）が装荷されていない部分に、前記バッファ層（
    ４）を介して金属材料を蒸着して、独立した複数の金属
    膜（２４、２４、・・・）を形成し、前記強度変調光の
    波形を波形表示装置によってモニタリングしながら、 前記複数の金属膜（２４、２４、・・・）を、前記強度
    変調光の波形が所望の波形となるように順次除去するこ
    とを特徴とする導波路型光変調器の動作点トリミング方
    法。 １０、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベ
    ルの入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、
    ３ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び
    導波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１
    及び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１
    及び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化さ
    せて導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を
    合成して強度変調光として出力する導波路型光変調器に
    おいて、 前記第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）の内、いづれ
    か一方の光導波路（３ａ）の電極（５ａ）が装荷されて
    いない部分に間隙部（３ａ＿２）を形成し、前記強度変
    調光の波形を波形表示装置によってモニタリングしなが
    ら、 前記間隙部（３ａ＿２）に該光導波路（３ａ）の屈折率
    と異なる屈折率の物質（２５）を、前記強度変調光の波
    形が所望の波形となるように充填することを特徴とする
    導波路型光変調器の動作点トリミング方法。 １１、請求項１〜請求項１０に記載した動作点トリミン
    グ方法のいづれかの方法によって製造されたことを特徴
    とする導波路型光変調器。 １２、導波路基板（２）上に、分岐された一定強度レベ
    ルの入力光が導波される第１及び第２光導波路（３ａ、
    ３ｂ）を形成し、その第１及び第２光導波路（３ａ、３
    ｂ）上に、該第１及び第２光導波路（３ａ、３ｂ）及び
    導波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介して、第１
    及び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷し、該第１
    及び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電圧を変化さ
    せて導波光に位相差を生じさせ、該位相差が生じた光を
    合成して強度変調光として出力する導波路型光変調器に
    おいて、 前記導波路型光変調器に光信号を入力及び出力する光フ
    ァイバをそれぞれ固定すると共に、この導波路型光変調
    器を所定の周辺回路が取りつけられた部材に固定し、 請求項１〜請求項１０に記載した動作点トリミング方法
    のいづれかの方法を適用することを特徴とする導波路型
    光変調器の動作点トリミング方法。 １３、導波路基板（２）上に、一定強度レベルの入力光
    が相方に伝達される互いに独立した第１及び第２光導波
    路（３１、３２）を形成し、その第１及び第２光導波路
    （３１、３２）上に、該第１及び第２光導波路（３１、
    ３２）及び導波路（３）上を覆うバッファ層（４）を介
    して、第１及び第２電極（５ａ、５ｂ）をそれぞれ装荷
    し、該第１及び第２電極（５ａ、５ｂ）間に印加する電
    圧を変化させて該第１及び第２光導波路（３１、３２）
    から出力される導波光の強度を制御する導波路型光スイ
    ッチにおいて、 請求項１〜請求項１０に記載した動作点トリミング方法
    のいづれかの方法を適用したことを特徴とする導波路型
    光スイッチの動作点トリミング方法。 １４、請求項１３に記載した動作点トリミング方法によ
    って製造されたことを特徴とする導波路型光スイッチ。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0961766A (ja) * 1995-08-19 1997-03-07 Nec Corp 半導体光変調器
JPH0990301A (ja) * 1995-09-28 1997-04-04 Nec Corp マッハツェンダ変調器およびその駆動方法
JP2005077987A (ja) * 2003-09-03 2005-03-24 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光変調器
JP2006243484A (ja) * 2005-03-04 2006-09-14 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光導波路素子およびその製造方法
JP2006276577A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光導波路素子
JP2009162889A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Seikoh Giken Co Ltd 光変調器
JP2012073366A (ja) * 2010-09-28 2012-04-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光変調器

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2270173B (en) * 1992-08-28 1996-05-15 Marconi Gec Ltd Optical modulator
FR2706631B1 (fr) * 1993-06-17 1997-12-12 Oki Electric Ind Co Ltd Module de commutation optique compact.
CA2144087C (en) * 1993-07-07 2004-03-23 Yuichi Tokano Optical modulation system
JPH08146365A (ja) * 1994-11-16 1996-06-07 Nec Corp 半導体マッハツェンダー変調装置及びその製造方法
US5515463A (en) * 1995-03-10 1996-05-07 Hewlett-Packard Company Multi-branch microwave line for electro-optical devices
US5566263A (en) * 1995-03-22 1996-10-15 Minnesota Mining And Manufacturing Company System for tuning an integrated optical switch element
FR2771517B1 (fr) * 1997-11-27 2001-12-14 Dassault Electronique Dispositif electro-optique, notamment pour la repartition optique
WO2001018598A1 (en) * 1999-09-10 2001-03-15 Nanovation Technologies, Inc. Mach-zehnder interferometer with a ring resonator
JP2004510182A (ja) 2000-09-22 2004-04-02 マサチューセッツ　インスティテュート　オブ　テクノロジー 導波路形マイクロ共振子の共振特性を変える方法
GB2370372A (en) * 2000-12-22 2002-06-26 Bookham Technology Plc Coupled optical waveguide system with grating and stress controlling layer
JP2006126796A (ja) * 2004-09-28 2006-05-18 Aisin Seiki Co Ltd マッハツェンダ型光変調器の駆動方法及び光変調装置
US20060078258A1 (en) * 2004-10-07 2006-04-13 University Of Toledo Apparatus and method for trimming and tuning coupled photonic waveguides
US8867874B2 (en) * 2012-12-06 2014-10-21 Finisar Sweden Ab Method for modifying the combining or splitting ratio of a multimode interference coupler
JP7131565B2 (ja) * 2017-10-02 2022-09-06 Tdk株式会社 光変調器

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2449291A1 (fr) * 1979-02-15 1980-09-12 Carenco Alain Procede d'equilibrage d'un dispositif optique integre a l'aide d'une couche metallique mince et dispositif obtenu par ce procede
US4262992A (en) * 1979-04-18 1981-04-21 The United States Of America As Represented By The Director Of The National Security Agency Variable integrated optical logic element
FR2562271B1 (fr) * 1984-03-29 1986-07-18 Telecommunications Sa Connecteur d'une fibre optique et d'un photo-element, recepteur ou emetteur, et procede de positionnement de ceux-ci
US4677290A (en) * 1985-04-12 1987-06-30 Tektronix, Inc. Method of aligning an optical fiber with a light emitter via directing light toward light emitter acting as a detector
CA1229904A (en) * 1985-06-28 1987-12-01 John C. Goodwin Laser-fiber positioner
US4709978A (en) * 1986-02-21 1987-12-01 Bell Communications Research, Inc. Mach-Zehnder integrated optical modulator
JPH0718964B2 (ja) * 1987-06-29 1995-03-06 日本電信電話株式会社 集積光デバイスおよびその製造方法
US4899042A (en) * 1987-11-17 1990-02-06 The Boeing Company Integrated optic field sensor consisting of an interferometer formed in substrate
JPH0816744B2 (ja) * 1988-12-01 1996-02-21 国際電信電話株式会社 光変調素子
US4955977A (en) * 1989-10-11 1990-09-11 Eastman Kodak Company Nonlinear optical article with improved buffer layer

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0961766A (ja) * 1995-08-19 1997-03-07 Nec Corp 半導体光変調器
JPH0990301A (ja) * 1995-09-28 1997-04-04 Nec Corp マッハツェンダ変調器およびその駆動方法
JP2005077987A (ja) * 2003-09-03 2005-03-24 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光変調器
JP2006243484A (ja) * 2005-03-04 2006-09-14 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光導波路素子およびその製造方法
JP2006276577A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光導波路素子
JP4694235B2 (ja) * 2005-03-30 2011-06-08 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子
JP2009162889A (ja) * 2007-12-28 2009-07-23 Seikoh Giken Co Ltd 光変調器
JP2012073366A (ja) * 2010-09-28 2012-04-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光変調器

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