JP7111380B2 - スパッタ装置及びこれを用いた成膜方法 - Google Patents
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Description
前記成膜チャンバ内を減圧雰囲気にする減圧装置と、
前記成膜チャンバ内にて回転可能に設けられ、一方の主面において前記基板を自転可能に保持する基板保持部を有する円盤状の基板ホルダと、
前記基板ホルダを回転させる駆動装置と、
前記成膜チャンバ内の、前記基板ホルダの外周領域に対応する空間に形成され、スパッタ電極が設けられた成膜プロセス領域と、
前記成膜チャンバ内の、前記基板ホルダの中心領域に対応する空間に形成され、複数のプラズマ発生装置が設けられた反応プロセス領域と、
前記成膜チャンバ内に放電ガス及び反応ガスを導入するガス導入装置と、を備えたスパッタ装置によって上記課題を解決する。
前記成膜チャンバ内を減圧雰囲気にする減圧装置と、
前記成膜チャンバ内にて回転可能に設けられ、一方の主面において前記基板を自転可能に保持する基板保持部を有する円盤状の基板ホルダと、
前記基板ホルダを回転させる駆動装置と、
前記成膜チャンバ内の、前記基板ホルダの外周領域に対応する空間に形成され、スパッタ電極が設けられた成膜プロセス領域と、
前記成膜チャンバ内の、前記基板ホルダの中心領域に対応する空間に形成され、プラズマ発生装置が設けられた反応プロセス領域と、
前記成膜チャンバ内に放電ガス及び反応ガスを導入するガス導入装置と、
前記基板ホルダの回転にともない、前記基板保持部を、前記基板ホルダに対して自転させるとともに前記成膜チャンバに対して公転させる遊星歯車機構と、を備えるスパッタ装置によって上記課題を解決する。
前記プラズマ発生装置は、前記中央部空間及び/又は前記周囲空間に設けられていることが好ましい。
前記第1ガス導入部は、前記反応プロセス領域に比べて相対的に前記成膜プロセス領域に近い位置に設けられ、前記第2ガス導入部は、前記反応プロセス領域に比べて相対的に前記成膜プロセス領域から遠い位置に設けられていることが好ましい。
前記減圧装置は、前記基板ホルダの他方の主面側の空間に対面する成膜チャンバの壁面に吸引部を有することが好ましい。
前記基板保持部に保持された基板に対し、前記基板ホルダの回転にともない前記基板保持部が自転しながら、前記成膜プロセス領域において金属モード又は遷移モードによる成膜処理を行い、前記反応プロセス領域においてプラズマ処理を行う成膜方法によっても、上記課題を解決する。
11…成膜チャンバ
12…基板ホルダ
121…絶縁シールド
13…駆動装置
131…回転軸
14…基板保持部
141…軸部
15…遊星歯車機構
151…軸受
152,153…磁気歯車
16…スパッタ電極
17…プラズマ発生装置
18…ガス導入装置
181a,181b…ガスボンベ
182a,182b…マスフローコントローラ
183a…第1ガス導入部
183b…第2ガス導入部
19…減圧装置
191…吸引部
S…基板
T…ターゲット
R1…成膜プロセス領域
R2…反応プロセス領域
2…成膜装置
21…ハンドリングロボット
22…移載チャンバ
23…搬入チャンバ
24…搬出チャンバ
25a,25b,26a,26b,27a,27b…ゲートバルブ
Claims (8)
- 基板に膜を形成する成膜チャンバと、
前記成膜チャンバ内を減圧雰囲気にする減圧装置と、
前記成膜チャンバ内にて回転可能に設けられ、一方の主面において前記基板を自転可能に保持する基板保持部を有する円盤状の基板ホルダと、
前記基板ホルダを回転させる駆動装置と、
前記成膜チャンバ内の、前記基板ホルダの外周領域に対応する空間に形成され、スパッタ電極が設けられた成膜プロセス領域と、
前記成膜チャンバ内の、前記基板ホルダの中心領域に対応する空間に形成され、複数のプラズマ発生装置が設けられた反応プロセス領域と、
前記成膜チャンバ内に放電ガス及び反応ガスを導入するガス導入装置と、を備えるスパッタ装置。 - 基板に膜を形成する成膜チャンバと、
前記成膜チャンバ内を減圧雰囲気にする減圧装置と、
前記成膜チャンバ内にて回転可能に設けられ、一方の主面において前記基板を自転可能に保持する基板保持部を有する円盤状の基板ホルダと、
前記基板ホルダを回転させる駆動装置と、
前記成膜チャンバ内の、前記基板ホルダの外周領域に対応する空間に形成され、スパッタ電極が設けられた成膜プロセス領域と、
前記成膜チャンバ内の、前記基板ホルダの中心領域に対応する空間に形成され、プラズマ発生装置が設けられた反応プロセス領域と、
前記成膜チャンバ内に放電ガス及び反応ガスを導入するガス導入装置と、
前記基板ホルダの回転にともない、前記基板保持部を、前記基板ホルダに対して自転させるとともに前記成膜チャンバに対して公転させる遊星歯車機構と、を備えるスパッタ装置。 - 前記反応プロセス領域は、前記基板ホルダの中心の直上に対応する中央部空間と、当該中央部空間の周囲の周囲空間とを含み、
前記プラズマ発生装置は、前記中央部空間及び/又は前記周囲空間に設けられている請求項1又は2に記載のスパッタ装置。 - 前記プラズマ発生装置は、前記反応プロセス領域に複数設けられている請求項2に記載のスパッタ装置。
- 前記基板ホルダの回転にともない、前記基板保持部を、前記基板ホルダに対して自転させるとともに前記成膜チャンバに対して公転させる遊星歯車機構を有する請求項1に記載のスパッタ装置。
- 前記ガス導入装置は、放電ガスを独立して前記成膜チャンバ内に導入する第1ガス導入部と、反応ガスを独立して前記成膜チャンバに導入する第2ガス導入部を含み、
前記第1ガス導入部は、前記反応プロセス領域に比べて相対的に前記成膜プロセス領域に近い位置に設けられ、
前記第2ガス導入部は、前記反応プロセス領域に比べて相対的に前記成膜プロセス領域から遠い位置に設けられている請求項1~5のいずれか一項に記載のスパッタ装置。 - 前記基板、前記成膜プロセス領域及び前記反応プロセス領域は、前記基板ホルダの一方の主面側に設けられ、
前記減圧装置は、前記基板ホルダの他方の主面側の空間に対面する成膜チャンバの壁面に吸引部を有する請求項1~6のいずれか一項に記載のスパッタ装置。 - 請求項1~7のいずれか一項に記載のスパッタ装置を用い、
前記基板保持部に保持された基板に対し、前記基板ホルダの回転にともない前記基板保持部が自転しながら、前記成膜プロセス領域において金属モード又は遷移モードによる成膜処理を行い、前記反応プロセス領域においてプラズマ処理を行う成膜方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020065581A JP7111380B2 (ja) | 2020-04-01 | 2020-04-01 | スパッタ装置及びこれを用いた成膜方法 |
CN202180005205.7A CN114375346A (zh) | 2020-04-01 | 2021-02-10 | 溅射装置和使用了该溅射装置的成膜方法 |
PCT/JP2021/004914 WO2021199693A1 (ja) | 2020-04-01 | 2021-02-10 | スパッタ装置及びこれを用いた成膜方法 |
TW110105478A TWI821636B (zh) | 2020-04-01 | 2021-02-18 | 濺射裝置以及使用此濺射裝置之成膜方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020065581A JP7111380B2 (ja) | 2020-04-01 | 2020-04-01 | スパッタ装置及びこれを用いた成膜方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021161506A JP2021161506A (ja) | 2021-10-11 |
JP7111380B2 true JP7111380B2 (ja) | 2022-08-02 |
Family
ID=77928488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020065581A Active JP7111380B2 (ja) | 2020-04-01 | 2020-04-01 | スパッタ装置及びこれを用いた成膜方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7111380B2 (ja) |
CN (1) | CN114375346A (ja) |
TW (1) | TWI821636B (ja) |
WO (1) | WO2021199693A1 (ja) |
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- 2021-02-10 WO PCT/JP2021/004914 patent/WO2021199693A1/ja active Application Filing
- 2021-02-10 CN CN202180005205.7A patent/CN114375346A/zh active Pending
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