JP7106323B2 - 異物検査装置および異物検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、異物検査装置および異物検査方法に関する。

リチウムイオン二次電池等の非水電解液二次電池は、パーソナルコンピュータ、携帯電話、および携帯情報端末等の電池として広く使用されている。とりわけ、リチウムイオン二次電池は、従前の二次電池と比較して、ＣＯ_２の排出量を削減し、省エネに寄与する電池として、注目されている。

従来、非水電解液二次電池用セパレータがコアに対して捲回されてなるセパレータ捲回体の開発が進められている。併せて、このセパレータ捲回体に付着した異物を検出する異物検査が検討されている。

上記異物検査への適用が可能な検査の一例として、特許文献１に開示されている技術が挙げられる。特許文献１に開示されている技術においては、ＴＤＩ（Time Delay Integration）センサを用いて、下記の要領で、試料に付着した異物を検出する。まず、Ｘ線源から放出されたＸ線をキャピラリレンズによって平行Ｘ線に変換し、Ｘ線源とＴＤＩセンサとの間を横断するように試料を移動させつつ、試料に対して平行Ｘ線を照射する。そして、試料を透過した平行Ｘ線をＴＤＩセンサが受け、ＴＤＩセンサが取得した画像から異物を検出する。

特開２０１６－３８３５０号公報（２０１６年３月２２日公開）

セパレータ捲回体に付着する異物はしばしば、非水電解液二次電池用セパレータにおけるｎ巻目とｎ＋１巻目との間に挟まっている、あるいはｎ巻目の内部に埋没しているため、セパレータ捲回体の側面と概ね垂直な面状となっている。なお、ｎは自然数である。セパレータ捲回体の側面とは、捲回された非水電解液二次電池用セパレータの面に対して垂直な面であり、捲回体を略円筒形状とみなす場合でいえば、円筒の底面および天面を指す。一方、電磁波発生源およびイメージセンサを用いた上記異物検査においては、イメージセンサにて非水電解液二次電池用セパレータ全体の画像を鮮明に得るため、電磁波発生源は通常、セパレータ捲回体の側面に対して電磁波を照射する。

これらにより、電磁波発生源およびイメージセンサを用いた上記異物検査においてはしばしば、異物の側面に対して電磁波が照射される。この結果、異物の広い面が画像に十分な画素数をもって写らないことによって、異物の画像が小さくなるため、異物の検出漏れが生じ易いという問題が発生する。

本発明の一態様は、異物の検出漏れの虞を低減することを可能とする、異物検査装置および異物検査方法を実現することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る異物検査装置は、検査対象物に対して電磁波を照射する電磁波発生源と、上記検査対象物を透過した上記電磁波の画像を構成する多数の画素が設けられた主面を有しているイメージセンサとを備えており、上記主面の法線方向は、上記電磁波発生源が放出する電磁波の強度が最も高い方向に対して傾いている。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る異物検査方法は、検査対象物に対して電磁波を照射する工程と、イメージセンサの主面に設けられた多数の画素によって、上記検査対象物を透過した上記電磁波の画像を構成する工程とを含んでおり、上記主面の法線方向を、上記検査対象物に対して照射される電磁波の強度が最も高い方向に対して傾けて、上記イメージセンサを配置する。

上記の構成によれば、イメージセンサにおいて、主面の法線方向と、電磁波発生源が放出する電磁波の強度が最も高い方向とが平行な場合には得られない画像が得られるため、検査への新たな適用範囲を提供することができる。具体的には、主面の法線方向を傾けることにより、電磁波発生源が放出する電磁波の強度が最も高い方向と平行な方向に見たときの、主面に設けられた各画素の見かけ上の面積を小さくすることができる。これにより、イメージセンサの画素数はそのままでイメージセンサが構成する画像に写る検査対象物の範囲が狭くなるため、イメージセンサの分解能を上げることと同等の効果を得ることができる。従って、イメージセンサが構成する画像に異物を明りょうに写し、異物の検出漏れの虞を低減することが可能となる。

本発明の一態様に係る異物検査装置において、上記多数の画素は、複数の画素が第１方向に並んでなる検査段が、当該第１方向に対して垂直な第２方向に複数並べられた構成を有しており、上記主面の法線方向は、上記第１方向に伸びる軸に従って回転するように傾いている。

本発明の一態様に係る異物検査方法において、上記多数の画素は、複数の画素が第１方向に並んでなる検査段が、当該第１方向に対して垂直な第２方向に複数並べられた構成を有しており、上記主面の法線方向を、上記第１方向に伸びる軸に従って回転するように傾けて、上記イメージセンサを配置する。

電磁波発生源が放出する電磁波の強度が最も高い方向と平行な方向をＺ方向とし、Ｚ方向に見て複数の検査段が並ぶ方向をＹ方向とする。Ｚ方向およびＹ方向の具体的な定義については、Ｘ方向の具体的な定義と併せて後述する。上記の構成によれば、Ｙ方向に関して、イメージセンサの分解能を上げることと同等の効果を得ることができる。従って、検査対象物をＹ方向に移動させて行う異物検査において、各検査段が取得する画像のボケを効果的に抑制することができるため、異物の検出漏れの虞を効果的に低減することが可能となる。

また、上記の構成によれば、Ｙ方向における複数の検査段の全長を小さくすることができる。これにより、検査対象物をＹ方向に移動させて行う異物検査において、全検査段で検査対象物における同一箇所の画像を取得することを、短時間で完了させることができる。従って、全検査段での画像の取得中に画像にボケが生じる虞を低減することができるため、異物の検出漏れの虞をより効果的に低減することが可能となる。

本発明の一態様に係る異物検査装置において、上記電磁波発生源は、広がりを有している上記電磁波を発する。

本発明の一態様に係る異物検査方法において発する上記電磁波は、広がりを有している。

上記の構成によれば、イメージセンサの主面を検査対象物から遠い位置に置くほど、画像の拡大率が大きくなる傾向が出る。この傾向を利用して、画像に異物を大きく写すことによって、当該異物を容易に検出することが可能となる。

本発明の一態様に係る異物検査装置において、上記検査対象物は、フィルムが、上記電磁波発生源が放出する電磁波の強度が最も高い方向に対して垂直な方向に積層された積層体を含んでおり、上記主面の法線方向は、上記積層体における積層の方向に傾いている。

本発明の一態様に係る異物検査方法において、上記検査対象物は、フィルムが、上記検査対象物に対して照射される電磁波の強度が最も高い方向に対して垂直な方向に積層された積層体を含んでおり、上記主面の法線方向を、上記積層体における積層の方向に傾けて、上記イメージセンサを配置する。

上記の構成によれば、２層のフィルムの間に挟まれた異物の厚み方向に関して、イメージセンサの分解能を上げることと同等の効果を得ることができる。従って、イメージセンサが構成する画像において当該異物をその厚み方向に強調し、この異物を容易に検出することが可能となる。

本発明の一態様によれば、異物の検出漏れの虞を低減することが可能となる。

本発明の一態様に係る異物検査装置の概略構成を示す図である。 イメージセンサの主面の平面図である。 主面の法線方向が、電磁波発生源が放出する電磁波の強度が最も高い方向に対して傾いている状態において、主面を、電磁波発生源が放出する電磁波の強度が最も高い方向と平行な方向に見た図である。 本発明の別の態様に係る異物検査装置の概略構成を示す図である。 図４に示す異物検査装置において、実際に多数の画素に導かれる電磁波が、検査対象物の側面を通過する範囲を示すイメージ図である。

図１は、本発明の一態様に係る異物検査装置１００の概略構成を示す図である。図２は、イメージセンサ３の主面３１の平面図である。

異物検査装置１００は、検査対象物１に付着した異物１３を検出するものである。検査対象物１は、フィルムである非水電解液二次電池用セパレータ１２がコア１１に対して捲回されてなるセパレータ捲回体である。但し、検査対象物１は、非水電解液二次電池用セパレータ１２以外のフィルムがコア１１に対して捲回されてなるものであってもよいし、フィルムがコア１１に対して捲回されてなるものでなくてもよい。

異物検査装置１００は、電磁波発生源２、およびイメージセンサ３を備えている。電磁波発生源２は、検査対象物１の側面１４に対して電磁波２１を照射する。検査対象物１の側面１４とは、捲回された非水電解液二次電池用セパレータ１２の面に対して垂直な面である。電磁波２１は、検査対象物１を透過する。電磁波２１の一例としてＸ線が挙げられるが、電磁波２１はＸ線に限定されるものではない。

イメージセンサ３は、主面３１を有している。主面３１には、検査対象物１を透過した電磁波２１を受け、この電磁波２１の画像を構成する多数の画素３２が設けられている。多数の画素３２は、複数の画素３２が第１方向に並んでなる検査段３３が、当該第１方向に対して垂直な第２方向に複数並べられた構成を有している。各画素３２は、第１方向に沿った寸法が寸法Ｄ１であり、第２方向に沿った寸法が寸法Ｄ２である。

本実施形態において、互いに垂直な３方向である、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向を規定する。Ｚ方向は、電磁波発生源２が放出する電磁波２１、換言すれば検査対象物１に対して照射される電磁波２１の強度が最も高い方向と平行な方向である。なお、電磁波発生源２が放出する電磁波２１の強度が最も高い方向は、電磁波２１を、電磁波発生源２における電磁波２１の放出部分の中心２２を頂点とする正円錐に近似して見た場合に、この正円錐の高さにあたる方向と略平行である。図１においては、この正円錐の高さに沿った直線を、軸２３としている。Ｙ方向は、Ｚ方向に見て、複数の検査段３３が並ぶ方向である。Ｘ方向は、Ｚ方向に見て、同一の検査段３３を構成する複数の画素３２が並ぶ方向である。主面３１の法線方向３４とＺ方向とが一致している場合、第１方向および第２方向は、それぞれ、Ｘ方向およびＹ方向と一致している。

ここで、異物検査装置１００は、主面３１の法線方向３４が、Ｚ方向に対して傾いている。Ｚ方向に対する法線方向３４の傾き角度θは、主面３１が電磁波発生源２側を向いていると共に主面３１の法線方向３４とＺ方向とが一致している状態を０°とすると、－９０°＜θ＜９０°であれば特に限られないが、θ≦－６０°または６０°≦θであることが好ましく、θ≦－８５°または８５°≦θであることがより好ましい。なお、θ≠０°である。

異物検査装置１００によれば、イメージセンサ３において、主面３１の法線方向３４と、Ｚ方向とが平行な場合には得られない画像が得られるため、検査への新たな適用範囲を提供することができる。具体的には、主面３１の法線方向３４を傾けることにより、Ｚ方向と平行な方向に見たときの、主面３１に設けられた各画素３２の見かけ上の面積を小さくすることができる。これにより、イメージセンサ３の画素数はそのままでイメージセンサ３が構成する画像に写る検査対象物１の範囲が狭くなるため、イメージセンサ３の分解能を上げることと同等の効果を得ることができる。従って、イメージセンサ３が構成する画像に異物１３を明りょうに写し、異物１３の検出漏れの虞を低減することが可能となる。

主面３１の法線方向３４を傾けることにより、Ｚ方向と平行な方向に見たときの、主面３１に設けられた各画素３２の見かけ上の面積を小さくすることについて、図１～図３を参照して以下に詳細に説明する。

図３は、主面３１の法線方向３４が、Ｚ方向に対して傾いている状態において、主面３１を、Ｚ方向と平行な方向に見た図である。

図１および図２において、主面３１の法線方向３４は、Ｚ方向に対して、Ｙ－Ｚ平面上を、右回りに回転するように傾いている。また、上述したとおり、主面３１の法線方向３４とＺ方向とが一致している場合、第１方向および第２方向は、それぞれ、Ｘ方向およびＹ方向と一致している。これらのことから、主面３１の法線方向３４は、Ｚ方向に対して、Ｘ方向と一致する第１方向に伸びる軸３５に従って回転するように傾いていると言える。

主面３１の法線方向３４がこのように回転した場合、主面３１をＺ方向と平行な方向に見ると、図３に示すとおり、各画素３２のＹ方向に沿った見かけ上の寸法Ｄ３は、「寸法Ｄ２＊ｃｏｓθ」となり、寸法Ｄ２より小さくなっている。また、各画素３２のＸ方向に沿った見かけ上の寸法は、寸法Ｄ１である。一方、主面３１の法線方向３４とＺ方向とが一致している場合、主面３１をＺ方向と平行な方向に見ると、各画素３２のＹ方向およびＸ方向に沿った見かけ上の寸法は、それぞれ、寸法Ｄ２および寸法Ｄ１である。Ｚ方向と平行な方向に見たときの各画素３２の見かけ上の面積は、主面３１の法線方向３４を傾けることにより、寸法Ｄ１＊寸法Ｄ２から、寸法Ｄ１＊寸法Ｄ３へと小さくなっていることが分かる。

ところで、イメージセンサ３の一例として、ＴＤＩセンサが挙げられる。イメージセンサ３がＴＤＩセンサである場合、異物検査装置１００においては、下記の要領で検査対象物１に付着した異物１３を検出する。

まず、電磁波発生源２とイメージセンサ３との間を横断するように検査対象物１をＹ方向に移動させつつ、検査対象物１に対して電磁波２１を照射する。または、電磁波発生源２とイメージセンサ３との間で検査対象物１を、側面１４に対して垂直な軸によって回転させつつ、検査対象物１に対して電磁波２１を照射する。そして、検査対象物１を透過した電磁波２１をイメージセンサ３の多数の画素３２が受け、多数の画素３２が構成した電磁波２１の画像から異物１３を検出する。多数の画素３２は、複数のタイミングについて電磁波２１の画像を構成し、これにより、各検査段３３において、検査対象物１における同一箇所の画像を構成する。当該複数のタイミングは、換言すれば、検査対象物１が互いに異なる位置にある複数の状態である。そして、各検査段３３において構成した、検査対象物１における同一箇所の画像を重ね合わせることにより、異物１３を顕在化させた画像を得、異物１３を検出する。

ＴＤＩセンサであるイメージセンサ３を用いて上記の要領で検査対象物１に付着した異物１３を検出する場合、各検査段３３が構成した画像において、異物１３がＹ方向にボケるケースがある。特に、検査対象物１の厚み、換言すれば、検査対象物１のＺ方向における寸法が大きい場合、この傾向が顕著である。

異物検査装置１００によれば、主面３１の法線方向３４が、Ｚ方向に対して、軸３５に従って回転するように傾いていることにより、Ｚ方向と平行な方向に見たときの、各画素３２のＹ方向に沿った見かけ上の寸法が小さくなっている。これにより、Ｙ方向に関して、イメージセンサ３の分解能を上げることと同等の効果を得ることができる。従って、検査対象物１をＹ方向に移動させて行う異物検査において、各検査段３３が取得する画像のボケを効果的に抑制することができるため、異物１３の検出漏れの虞を効果的に低減することが可能となる。またこれにより、Ｙ方向における複数の検査段３３の全長が小さくなっている。これにより、検査対象物１をＹ方向に移動させて行う異物検査において、全検査段３３で検査対象物１における同一箇所の画像を取得することを、短時間で完了させることができる。従って、全検査段３３での画像の取得中に画像にボケが生じる虞を低減することができるため、異物１３の検出漏れの虞をより効果的に低減することが可能となる。

また、電磁波発生源２は、放射状に電磁波２１を放出しているが、このように広がりを有している電磁波２１を発することに下記の利点がある。すなわち、主面３１を検査対象物１から遠い位置に置くほど、画像の拡大率が大きくなる傾向が出る。この傾向を利用して、画像に異物１３を大きく写すことによって、当該異物１３を容易に検出することが可能となる。但し、電磁波発生源２は、広がりを有していない電磁波を発していてもよい。広がりを有していない電磁波の一例として、平行な電磁波が挙げられる。

また、検査対象物１の非水電解液二次電池用セパレータ１２は、１巻目に対応する層、２巻目に対応する層、３巻目に対応する層、・・・が、Ｚ方向に対して垂直な方向に、すなわち、Ｘ－Ｙ平面における同心円状に積層された積層体であると言える。このとき、主面３１の法線方向３４は、当該積層体における積層の方向に傾いていることになる。これにより、２層の非水電解液二次電池用セパレータ１２の間に挟まれた異物１３の厚み方向に関して、イメージセンサ３の分解能を上げることと同等の効果を得ることができる。従って、イメージセンサ３が構成する画像において当該異物１３をその厚み方向に強調し、この異物１３を容易に検出することが可能となる。

以下では、より実例に近いケースについて説明する。なお、ここでは、イメージセンサ３における複数の検査段３３の総数が１２８、イメージセンサ３上の画素３２毎に１辺が４８μｍの正方形で、中心２２から電磁波２１が最も強い方向にイメージセンサ３の中央を配置するものとして説明を行う。

異物検査装置１００において、Ｚ方向に対する法線方向３４の傾き角度θを８３°とする。この場合、主面３１をＺ方向と平行な方向に見ると、検査段３３の段数に換算した多数の画素３２全体のＹ方向に沿った見かけ上の寸法は、１２８段＊ｃｏｓ８３°＝１５．６段である。この場合、以下のことが言える。

ＳｔＦ（中心２２から、検査対象物１の電磁波発生源２から遠い側面（後述する側面１５に該当）までの距離）＝２ｗ（ｗは検査対象物１の側面同士の離間距離）、拡大率４倍、すなわち中心２２からイメージセンサ３の中央までの距離がＳｔＦの４倍であれば、θ＝０°における流動方向（図１ではＹ方向）の分解能（検査対象物１を画素３２毎に何μｍで観察できるか）は６～１２μｍ、θ＝８３°における流動方向の分解能は０．７３～１．４６μｍとなる。

ＳｔＦ＝２ｗ、ｗ＝１００ｍｍの場合、ＳＤＤ（中心２２からイメージセンサ３の中央までの距離）＝８００ｍｍ
１２８＊４８＝６１４４μｍ（主面３１上での、第２方向に沿った検査段３３の１２８段分の長さ）
θ＝８３°のとき、軸２３と上記流動方向とのなす平面内で、軸２３方向の、電磁波発生源２から各画素３２までの距離は、一番近い画素３２と一番遠い画素３２とで、６１４４μｍ＊ｓｉｎ８３°＝約６．１ｍｍ異なる。これにより、拡大率も異なり、上記分解能が異なってくる。この差を求める。第２方向の分解能の差の方が、第１方向の分解能の差より小さくなるので、誤差の大きくなる第２方向の分解能の差を求める。

検査対象物１の電磁波発生源２から遠い側面における一番遠い画素３２の第１方向分解能は、４８＊（２＊１００）／（８００＋６．１／２）＝１１．９５μｍ／１画素
検査対象物１の電磁波発生源２から遠い側面における一番近い画素３２の第１方向分解能は、４８＊（２＊１００）／（８００－６．１／２）＝１２．０５μｍ／１画素
差は０．１μｍ／１画素で、０．１／１２＝０．８３％と、分解能の差は十分小さい。

側面１４における一番遠い画素３２の第１方向分解能は、４８＊１００／（８００＋６．１／２）＝５．９８μｍ／１画素
側面１４における一番近い画素３２の第１方向分解能は、４８＊１００／（８００－６．１／２）＝６．０２μｍ／１画素
差は０．０４μｍ／１画素で、０．０４／１２＝０．３３％と、分解能の差は十分小さい。

異物検査装置１００による効果は、下記のように表現することもできる。すなわち、異物検査装置１００によれば、Ｙ方向に関して、イメージセンサ３の分解能を上げることと同等の効果を得ることができるため、検査対象物１のＹ方向への移動に対するイメージセンサ３の速度追随性が上がると共に、Ｙ方向に細くＸ方向に長い異物１３を検出し易くなる。また、異物検査装置１００によれば、Ｙ方向における受光幅が小さくなるので、異物１３のボケを抑制することができる。

図４は、本発明の別の態様に係る異物検査装置１０１の概略構成を示す図である。なお、説明の便宜上、異物検査装置１０１に関連する構成要素において、異物検査装置１００に関連する構成要素と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。異物検査装置１０１においては、イメージセンサ３の一例として、ＦＰＤ（Flat Panel Detector）センサが挙げられる。イメージセンサ３がＦＰＤセンサである場合、異物検査装置１０１においては、下記の要領で検査対象物１に付着した異物１３を検出する。

まず、電磁波発生源２とイメージセンサ３との間で検査対象物１を、側面１４に対して垂直な軸によって所定角度回転させた後、検査対象物１に対して電磁波２１を照射する。そして、検査対象物１を透過した電磁波２１をイメージセンサ３の多数の画素３２が受け、多数の画素３２が構成した電磁波２１の画像から異物１３を検出する。これらの工程を繰り返し、検査対象物１における所望の箇所の画像を得、異物１３を検出する。

図５は、異物検査装置１０１において、実際に図２に示した多数の画素３２に導かれる電磁波２１が、側面１４と対向する検査対象物１の側面１５を通過する範囲を示すイメージ図である。図５左側には、主面３１の法線方向３４とＺ方向とが一致している状態における同範囲である範囲４１を示しており、図５右側には、主面３１の法線方向３４がＺ方向に対して傾いている状態における同範囲である範囲４２を示している。図５から、主面３１の法線方向３４をＺ方向に対して傾けることにより、同範囲は、範囲４１から範囲４２へと小さくなることが分かる。換言すれば、イメージセンサ３の画素数はそのままでイメージセンサ３が構成する画像に写る範囲が狭くなる。

異物検査装置１０１に関し、異物１３は、検査対象物１に対して、その平らな面をＺ方向に対して平行にして混入する場合が多い。イメージセンサ３がＦＰＤセンサである場合、通常、撮影の向きが決まっており、異物１３は基本的には非水電解液二次電池用セパレータ１２の面に対して略平行な方向に長く写る。このため、非水電解液二次電池用セパレータ１２の面に対して略垂直な方向に関して、イメージセンサ３の分解能を上げることと同等の効果を得られれば、異物１３を検出することが容易になる。

異物検査装置１００による効果は、下記のように表現することもできる。すなわち、非水電解液二次電池用セパレータ１２の面に対して略垂直な方向に関して、イメージセンサ３の分解能を上げることと同等の効果を得られるので、同方向に細く、非水電解液二次電池用セパレータ１２の面に対して略平行な方向に長い異物１３を検出し易くなる。この結果、単純拡大よりも撮影面積を減らさずに、細長い異物１３を検出することが容易になる。

なお、本発明のさらに別の態様として、異物検査装置１００、１０１のいずれかに対応する異物検査方法が挙げられる。すなわち、当該異物検査方法においては、検査対象物１に対して電磁波２１を照射する工程と、イメージセンサ３の主面３１に設けられた多数の画素３２によって、検査対象物１を透過した電磁波２１の画像を構成する工程とを含んでおり、主面３１の法線方向３４を、検査対象物１に対して照射される電磁波２１の強度が最も高い方向に対して傾けて、イメージセンサ３を配置する。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

１ 検査対象物
１２ 非水電解液二次電池用セパレータ
１３ 異物
２ 電磁波発生源
２１ 電磁波
３ イメージセンサ
３１ 主面
３２ 画素
３３ 検査段
３４ 主面の法線方向
３５ 第１方向に伸びる軸
１００、１０１ 異物検査装置
Ｚ 電磁波発生源が放出する電磁波の強度が最も高い方向と平行な方向

Claims (4)

1. セパレータ捲回体に付着する異物の側面に対して電磁波を照射可能に電磁波発生源を配置する工程と、
   イメージセンサの主面に設けられた多数の画素によって、上記セパレータ捲回体を透過した上記電磁波の画像を構成する工程とを含んでおり、
   上記多数の画素は、複数の画素が第１方向に並んでなる検査段が、当該第１方向に対して垂直な第２方向に複数並べられた構成を有しており、
   上記主面の法線方向を、上記セパレータ捲回体に対して照射される電磁波の強度が最も高い方向に対して上記第１方向に伸びる軸に従って回転するように傾けて、上記イメージセンサを配置する異物検査方法。
2. 上記セパレータ捲回体は、セパレータが、上記セパレータ捲回体に対して照射される電磁波の強度が最も高い方向に対して垂直な方向に積層された積層体を含んでおり、
   上記主面の法線方向を、上記積層体における積層の方向に傾けて、上記イメージセンサを配置する請求項１に記載の異物検査方法。
3. セパレータ捲回体に付着する異物の側面に対して電磁波を照射可能に電磁波発生源を配置する工程と、
   イメージセンサの主面に設けられた多数の画素によって、上記セパレータ捲回体を透過した上記電磁波の画像を構成する工程とを含んでおり、
   上記セパレータ捲回体は、セパレータが、上記セパレータ捲回体に対して照射される電磁波の強度が最も高い方向に対して垂直な方向に積層された積層体を含んでおり、
   上記主面の法線方向を、上記セパレータ捲回体に対して照射される電磁波の強度が最も高い方向に対して上記積層体における積層の方向に傾けて、上記イメージセンサを配置する異物検査方法。
4. 広がりを有している上記電磁波を発する請求項１から３のいずれか１項に記載の異物検査方法。

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