JP5502132B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線を用いて電池素子等を検査するための検査装置に関するものである。

電気素子の１つとして、リチウムイオン電池等の二次電池として用いられる電池素子が知られている。かかる電池素子は、例えば正極活物質が塗布された正電極箔と、負極活物質が塗布された負電極箔とが、絶縁材からなる２枚のセパレータを介して重ね合わされた状態で捲回されることにより製造される。

このような電池素子では、その捲回途中等において、正電極箔と負電極箔との間で巻きズレが発生するおそれがある。巻きズレが発生すると、短絡等の原因となり、製品品質の低下を招くおそれがある。

そのため、電池素子の捲回後には、該電池素子において電極箔の巻きズレが発生していないか否かを検査する。かかる検査に際し、例えばＸ線検査装置を用いるという技術がある（例えば、特許文献１等参照）。

特開２０１０−１０２９０１号公報

従来のＸ線検査装置では、例えば図８に示すように、Ｘ線源９２から電池素子９１に向けＸ線を照射し、該電池素子９１を透過したＸ線をＸ線エリアカメラ９３で撮像（露光）することにより、電池素子９１のＸ線透過画像を取得する構成となっている。そして、該Ｘ線透過画像を基に、正電極箔９４又は負電極箔９５の巻きズレの発生の有無を検査する。

尚、正電極箔９４と負電極箔９５との間に介在するセパレータは、通常、Ｘ線を透過しやすい素材により構成されており、Ｘ線透過画像にほとんど映らないため、図８における電池素子９１の断面においては、説明の便宜上、セパレータの図示を省略している。

しかしながら、上記Ｘ線検査装置において、Ｘ線源９２から発せられたＸ線は、可視光のように集光できないため、放射状（図８の前後左右方向）に拡散する。そのため、該Ｘ線をＸ線エリアカメラ９３により二次元撮像する上記構成では、取得したＸ線透過画像において、その画像中心（Ｘ線源９２の真下に相当する位置）から離れた周辺部で歪みが生じる。

従って、電池素子９１における巻軸線９６方向の端部において正電極箔９４及び負電極箔９５の位置がそれぞれ揃い、巻きズレの生じていない良品の電池素子９１であっても、あたかも巻きズレが生じているかのようなＸ線透過画像が撮像されてしまうおそれがある。

例えば図８に示した電池素子９１では、最上層の負電極箔９５の端部Ａ１と、最下層の負電極箔９５の端部Ｂ１の位置が上下方向に揃っているにも拘わらず、該端部Ａ１，Ｂ１を透過するＸ線がＸ線エリアカメラ９３の撮像面に投影される位置Ａ２，Ｂ２は、巻軸線９６方向に所定量Ｗだけずれる。結果として、正電極箔９４又は負電極箔９５の巻きズレの発生の有無を適正に検出することが困難となるおそれがある。

特に近年では、巻軸方向に長く、また比較的厚みのある大型の電池素子も見受けられることから、上記不具合がより顕著に現れるおそれがある。また、分解能を高めるため、拡大率を大きくした場合にも画像周辺部の歪みは大きくなる。

上記問題は、電極箔等を捲回したタイプの電池素子等に限らず、矩形状の電極箔等を積層したタイプの電池素子等においても発生する問題である。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、電極箔の位置ズレ検査に係る検査精度の向上を図ることのできる検査装置を提供することにある。

以下、上記課題を解決するのに適した各手段につき項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する手段に特有の作用効果を付記する。

手段１．絶縁素材よりなるセパレータを介して正負両電極箔が重ね合わされてなる電気素子（蓄電素子）における特定方向への前記電極箔の位置ズレを検査する検査装置であって、
前記特定方向を搬送方向として所定の搬送手段により搬送（例えば水平搬送）される前記電気素子に対し、前記特定方向と直交する第１方向（例えば鉛直方向）からＸ線を照射する照射手段と、
前記第１方向に沿って前記照射手段と対向するように配置されると共に、前記電気素子を透過するＸ線を検出可能なＸ線検出素子を前記搬送方向と直交する第２方向（例えば水平方向）に沿って直線状に複数配置した検出素子列（例えばＸ線ラインセンサ）を有し、前記電気素子が所定量搬送される毎に撮像したＸ線透過画像データを順次出力する撮像手段（例えばＸ線ラインセンサカメラ）と、
前記撮像手段から出力される画像信号を処理する画像処理手段とを備え、
前記電気素子のＸ線透過画像を基に、該電気素子における前記特定方向への前記電極箔の位置ズレを検査することを特徴とする検査装置。

上記手段１によれば、自身の特定方向（例えば巻軸線方向）を搬送方向として電気素子を連続搬送しつつ、該電気素子に対し前記特定方向と直交する方向からＸ線を照射し、該電池素子を透過したＸ線を例えばＸ線ラインセンサカメラ等の撮像手段により一次元的に順次撮像（露光）していくことにより、電気素子全体のＸ線透過画像を取得することが可能となる。

これにより、電極箔の重なり方向（捲回型素子の径方向、積層型素子の積層方向）における各電極箔の位置の違いに影響を受けることなく、電極箔の位置ズレを検出したい方向である電気素子の特定方向への歪みを抑えたＸ線透過画像を取得することができる。結果として、電極箔の位置ズレ検査に係る検査精度の向上を図ることができる。

また、電気素子の搬送を一旦停止又は搬送速度を低下等させる必要もないため、検査効率の向上を図ることができる。

手段２．前記撮像手段は、前記検出素子列を前記搬送方向に複数列備えていることを特徴とする手段１に記載の検査装置。

上記手段２によれば、電気素子の搬送方向に上記検出素子列を複数列備えた構成の撮像手段（例えばＸ線ＴＤＩカメラ）を用いることにより、検査精度及び検査効率のさらなる向上を図ることができる。

例えばＸ線ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｌａｙ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）カメラは、シンチレータによる光変換層を持つ複数のＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）がワークの搬送方向と直交する方向に並んだＣＣＤ列を、該搬送方向に複数列備え、連続搬送されるワークを各ＣＣＤ列にて繰り返し撮像（露光）して得た画像データを一列ずつシフトながら重ね合せ、最終的に１つの画像データとして出力する構成となっている。

例えば、１列目のＣＣＤ列で得られた画像データは、そのまま２列目のＣＣＤに転送され、２列目のＣＣＤ列では、１列目のＣＣＤ列から送られてきた画像データに、２列目のＣＣＤ列で得られた画像データを加算し、更に３列目のＣＣＤ列に転送するといったように、ｎ列目のＣＣＤで得られた画像データを、ｎ−１列目までに累積された画像データに加算して、ｎ＋１列目に転送するといった手順を繰り返し、ＣＣＤ列の列数だけ積分露光することで、短時間で高感度のＸ線透過画像を取得することができる。換言すれば、撮像手段の感度不足を補うために、ワークの搬送を一旦停止又は搬送速度を低下等させる必要もない。

手段３．前記電気素子は、帯状の前記セパレータを介して、帯状の前記正負両電極箔を重ね合わせた状態で捲回した捲回型素子であって、
前記特定方向は、前記捲回型素子の巻軸線方向であることを特徴とする手段１又は２に記載の検査装置。

上記手段３によれば、捲回型素子の捲回時における電極箔の巻きズレを検査することができる。

手段４．前記電気素子は、矩形状の前記セパレータを介して、矩形状の前記正負両電極箔を交互に積層した積層型素子であって、
前記特定方向は、矩形状の前記電極箔の所定辺部に沿った方向であり、
前記照射手段は、前記特定方向と直交する前記第１方向かつ前記電極箔の積層方向と平行する方向（例えば鉛直方向）から前記積層型素子に対しＸ線を照射することを特徴とする手段１又は２に記載の検査装置。

上記手段４によれば、電極箔の積層時において発生する電極箔の所定辺方向への位置ズレを検査することができる。

検査装置の概略構成図である。 検査装置の電気的構成を示すブロック図である。 電池素子の構成を示す断面模式図である。 Ｘ線照射装置、Ｘ線ラインセンサカメラ及び電池素子の位置関係等を説明するための模式図である。 （ａ）は、巻きズレのない良品の電池素子の巻軸線方向の一端部近傍を示す断面図であり、（ｂ）は、その一端部近傍をＸ線撮像したＸ線透過画像を示す模式図である。 （ａ）は、巻きズレの発生した不良品の電池素子の巻軸線方向の一端部近傍を示す断面図であり、（ｂ）は、その一端部近傍をＸ線撮像したＸ線透過画像を示す模式図である。 積層型電池を示す分解斜視図である。 従来のＸ線照射装置、Ｘ線エリアカメラ及び電池素子の位置関係等を説明するための模式図である。

以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。まず、本実施形態の検査装置によって検査される電気素子（蓄電素子）としてのリチウムイオン電池素子の構成について説明する。

図３に示すように、リチウムイオン電池素子１（以下、単に「電池素子１」という）は、帯状の２枚のセパレータ２，３を介して、帯状の正電極箔４及び負電極箔５が重ね合わされた状態で捲回されることで製造される。図３は、電池素子１をその径方向（巻軸線Ｈと直交する平面）に沿って切断した断面図であり、ここでは、説明の便宜上、セパレータ２，３及び電極箔４，５の相互の間隔をあけて示している。

セパレータ２，３は、異なる電極箔４，５同士が互いに接触して短絡を起こしてしまうのを防止すべく、ポリプロピレン（ＰＰ）等の絶縁体により構成されている。

電極箔４，５は、金属箔よりなる電極箔本体の表裏両面に活物質が塗布されることにより構成されている。例えば正電極箔４にはアルミニウム箔が用いられ、その表裏両面に正極活物質が塗布されている。負電極箔５には銅箔が用いられ、その表裏両面に負極活物質が塗布されている。

そして、上記活物質を介して、正電極箔４及び負電極箔５間におけるイオン交換がなされる。より詳しくは、充電時には、正電極箔４側から負電極箔５側へとイオンが移動し、放電時には、負電極箔５側から正電極箔４側へとイオンが移動する。

また、正電極箔４から図示しない正極リードが延出するとともに、負電極箔５から図示しない負極リードが延出している。

リチウムイオン電池を得るに際しては、捲回された電池素子１が筒状をなす電池容器（図示せず）内に配設される。そして、正極リードを正極端子部品（図示せず）に接続するとともに、同じく負極リードを負極端子部品（図示せず）に接続し、両端子部品が前記電気容器の両端開口に塞ぐように設けられることで、リチウムイオン電池を得ることができる。

尚、電池素子１は、その捲回後、電池容器内に配設される前段階に各種検査を受けることとなる。

ここで、電池素子１における電極箔４，５の巻きズレ（位置ズレ）を検査する検査装置について詳しく説明する。図１は、検査装置１０を模式的に示す概略構成図である。

検査装置１０は、電池素子１を搬送する搬送手段としてのコンベア１３と、電池素子１に対しＸ線を照射する照射手段としてのＸ線照射装置１４と、該Ｘ線の照射された電池素子１のＸ線透過画像を撮像する撮像手段としてのＸ線ラインセンサカメラ１５と、検査装置１０内における各種制御や画像処理、演算処理を実施するための制御装置１６とを備えている。

尚、図示は省略するが、本実施形態に係る検査装置１０は、外部へのＸ線の漏洩を抑えるため、上記コンベア１３、Ｘ線照射装置１４、Ｘ線ラインセンサカメラ１５、及び、制御装置１６が遮蔽ボックス内に収容された構成となっている。また、遮蔽ボックスには、電池素子１を搬入・搬出するための開口部や、該開口部を覆う鉛ゴム製の暖簾等も設けられている。

コンベア１３は、電池素子１が載置される搬送ベルト１３ａと、該搬送ベルト１３ａを駆動する駆動モータ等からなる駆動部１３ｂとを備え、該駆動部１３ｂが制御装置１６に駆動制御されることにより、搬送ベルト１３ａ上に載置された電池素子１を図１中の矢印Ｃ方向へ水平方向に沿って一定速度で連続搬送する。搬送ベルト１３ａは、Ｘ線を透過しやすい素材により形成されている。

後述するように、ここで、電池素子１は、自身の巻軸線Ｈがコンベア１３の搬送方向（矢印Ｃ方向）に沿うように載置される。したがって、巻軸線Ｈ方向が本実施形態における電池素子１の特定方向に相当する。

Ｘ線照射装置１４は、Ｘ線を発生させるＸ線源や、該Ｘ線源から発生させたＸ線を絞るコリメータ等（図示略）を備え、コンベア１３の上方に配置されている。そして、Ｘ線照射装置１４は、コンベア１３の幅方向への広がりを有するファンビーム状のＸ線を鉛直方向に沿って下方に向け照射する（図１，４参照）。つまり、図４に示すように、Ｘ線照射装置１４から照射されるＸ線の光軸Ｊ方向（鉛直方向）と、電池素子１の巻軸線Ｈ方向とが直交した状態となる。従って、Ｘ線の光軸Ｊ方向（鉛直方向）が本実施形態における第１方向に相当する。尚、正電極箔４と負電極箔５との間に介在するセパレータ２，３は、Ｘ線を透過しやすいＰＰ等の素材により構成されており、Ｘ線透過画像にほとんど映らないため、図４における電池素子１の断面においては、説明の便宜上、セパレータの図示を省略している（図５，６も同様）。

Ｘ線ラインセンサカメラ１５は、鉛直方向に沿ってＸ線照射装置１４と対向するように、並行する上下の搬送ベルト１３ａ間に配置されている。

Ｘ線ラインセンサカメラ１５は、コンベア１３の幅方向に沿って１列にＸ線検出素子としてのシンチレータによる光変換層を持つＣＣＤが複数配置された検出素子列としてのＸ線ラインセンサ１５ａを備え、これにより電池素子１等を透過したＸ線を撮像（露光）し、Ｘ線透過画像データとして出力する。コンベア１３の幅方向が本実施形態における第２方向に相当する。

Ｘ線ラインセンサカメラ１５によって撮像されたＸ線透過画像データは、該カメラ１５内部においてデジタル信号に変換された上で、デジタル信号の形で制御装置１６に入力される。そして、制御装置１６は、該Ｘ線透過画像データを画像処理する等して、後述する検査処理等を実施する。

次に、制御装置１６の電気的構成について図２を参照して詳しく説明する。図２は、検査装置１０の電気的構成を示すブロック図である。

図２に示すように、制御装置１６は、Ｘ線照射装置１４を制御する照射制御部２１と、Ｘ線ラインセンサカメラ１５の撮像タイミングを制御するカメラ制御部２２と、コンベア１３を制御するコンベア制御部２３と、Ｘ線ラインセンサカメラ１５から取得したＸ線透過画像データを記憶する画像データ記憶部２４と、画像データ記憶部２４に記憶されたＸ線透過画像データを基に電池素子１における電極箔４，５の巻きズレを検査するなど、各種画像処理や演算処理を行う演算処理部２５とを備えている。ここで、画像データ記憶部２４や演算処理部２５等により本実施形態における画像処理手段が構成される。

なお、図示は省略するが、検査装置１０は、この他にも、キーボードやタッチパネルで構成される入力手段、ＣＲＴや液晶などの表示画面を有する表示手段、検査における判定基準値や各種演算結果、検査結果等を格納するための各種記憶手段、検査結果等を出力する出力手段等を備えている。

カメラ制御部２２は、Ｘ線ラインセンサカメラ１５が撮像するＸ線透過画像データを、画像データ記憶部２４に取り込むタイミングを制御するものである。かかるタイミングはコンベア１３に設けられた図示しないエンコーダからの信号に基づいて制御され、電池素子１を所定量搬送する毎に撮像が行われる。

画像データ記憶部２４は、Ｘ線ラインセンサカメラ１５により撮像されたＸ線透過画像データを時系列で順次記憶していく。これにより、電池素子１全体のＸ線透過画像が生成されることとなる。

演算処理部２５は、画像データ記憶部２４に記憶生成された電池素子１全体のＸ線透過画像を基に、電池素子１の巻軸線Ｈ方向における電極箔４，５の巻きズレを検査する。

次に検査装置１０にて実行される巻きズレ検査の手順について詳しく説明する。

まず、所定の捲回機による捲回を終えた電池素子１が検査装置１０へ移送され、コンベア１３上に載置される。ここで、電池素子１は、自身の巻軸線Ｈがコンベア１３の搬送方向に沿うように載置される。

続いて、制御装置１６（コンベア制御部２３）は、コンベア１３を駆動制御して電池素子１を定速で連続搬送する。そして、制御装置１６（照射制御部２１及びカメラ制御部２２）は、コンベア１３に設けられた図示しないエンコーダからの信号に基づいて、Ｘ線照射装置１４及びＸ線ラインセンサカメラ１５を駆動制御する。

より詳しくは、電池素子１が所定量Δｘ搬送される毎、つまり所定時間Δｔが経過する毎に、Ｘ線照射装置１４からＸ線を照射すると共に、該Ｘ線の照射された電池素子１をＸ線ラインセンサカメラ１５により撮像する。本実施形態では、搬送方向におけるＸ線ラインセンサ１５ａの幅、すなわちＣＣＤ１つ分の幅に相当する距離が、前記所定量Δｘとして設定されている。

Ｘ線ラインセンサカメラ１５によって撮像されたＸ線透過画像データは、該カメラ１５内部においてデジタル信号に変換された上で、デジタル信号の形で制御装置１６（画像データ記憶部２４）に入力される。

画像データ記憶部２４は、Ｘ線ラインセンサカメラ１５から入力したＸ線透過画像データを時系列で順次記憶していく。

そして、電池素子１が所定量Δｘ搬送される毎に上記一連の処理が繰り返し行われ、Ｘ線の照射される位置が相対移動していくことで、画像データ記憶部２４には、電池素子１全体のＸ線透過画像（二次元データ）が生成されていくこととなる。

このように、１つ分の電池素子１のＸ線透過画像が生成されると、当該Ｘ線透過画像に基づき、演算処理部２５により巻きズレ検査が実施される。ここで、本実施形態における検査方法について図５，６を参照して説明する。

図５（ａ）は、巻きズレのない良品の電池素子１の巻軸線Ｈ方向の一端部近傍を示す断面図であり、図５（ｂ）は、その一端部近傍をＸ線撮像したＸ線透過画像を示す模式図である。一方、図６（ａ）は、巻きズレの発生した不良品の電池素子１の巻軸線Ｈ方向の一端部近傍を示す断面図であり、図６（ｂ）は、その一端部近傍をＸ線撮像したＸ線透過画像を示す模式図である。尚、本実施形態では、正電極箔４及び負電極箔５の端部が巻軸線Ｈ方向に異なる位置でそれぞれ揃った電池素子１が巻きズレのない良品となる。

Ｘ線透過画像上において、電池素子１に対応する部分は、Ｘ線の透過量が少なく、輝度の低い「暗部」として現れる。一方、Ｘ線の透過量の多い搬送ベルト１３ａ等の背景部分に関しては、輝度の高い「明部」として現れる。特に電極箔４，５の積層数が多い部分ほど、より暗く現れ、少ない部分ほど、より明るく現れる。

従って、Ｘ線透過画像における各画素の輝度の違い（Ｘ線の透過量の違い）に基づき、巻きズレの有無を検出することができる。

例えば図５に示すように、正電極箔４及び負電極箔５の端部がそれぞれ揃っている良品の場合には、Ｘ線透過画像において、電池素子１に対応する部分が輝度の異なる２つの領域に分かれる。一方、図６に示すように、負電極箔５の巻きズレが１箇所発生している不良品の場合には、電池素子１に対応する部分が輝度の異なる３つの領域に分かれる。

そして、電極箔４，５の巻きズレがある場合には、その巻きズレ量を算出し、当該巻きズレ量が予め設定された許容範囲内にあるか否かを判定する。ここで、許容範囲内であれば、良品と判定し、許容範囲内になければ、不良品と判定する。

検査装置１０での判断結果は、該検査装置１０の下流側に配置される図示しない振分機構に送られる。該振分機構は、電池素子１が検査装置１０にて良品と判断された場合には、該電池素子１を正規のラインへ送り、電池素子１が不良品と判断された場合には、該電池素子１を不良品排出機構へと振り分ける。

以上詳述したように、本実施形態によれば、自身の巻軸線Ｈ方向を搬送方向として電池素子１を水平方向に連続搬送しつつ、該電池素子１に対し鉛直上方からファンビーム状のＸ線を照射し、該電池素子１を透過したＸ線をＸ線ラインセンサカメラ１５により一次元的に順次撮像していくことにより、電池素子１全体のＸ線透過画像を取得する。

これにより、電池素子１の径方向における各電極箔４，５の位置の違いに影響を受けることなく、電極箔４，５の巻きズレを検出したい方向である電池素子１の巻軸線Ｈ方向への歪みを抑えたＸ線透過画像を取得することができる。結果として、電極箔４，５の巻きズレ検査に係る検査精度の向上を図ることができる。また、電池素子１の搬送を一旦停止又は搬送速度を低下等させる必要もないため、検査効率の向上を図ることができる。

尚、上記実施形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。勿論、以下において例示しない他の応用例、変更例も当然可能である。

（ａ）上記実施形態では、検査装置１０によって、リチウムイオン電池の電池素子１が検査される構成となっているが、検査装置１０によって検査される対象（素子）はこれに限定されるものではなく、例えば、コンデンサの素子等を検査する構成としてもよい。

（ｂ）上記実施形態では、断面略円形状に捲回された電池素子１が検査される構成となっているが、検査対象となる電池素子１の形状はこれに限定されるものではなく、例えば断面楕円形状、断面長円形状、断面多角形状、断面扁平状など、断面非円形状の電池素子を検査する構成としてもよい。

また、上記実施形態では、正電極箔４及び負電極箔５の端部がそれぞれ異なる位置で揃う電池素子１を検査対象としているが、これに限らず、正電極箔４及び負電極箔５の端部が全て同じ位置で揃う電池素子を検査対象としてもよい。

（ｃ）上記実施形態では、帯状のセパレータ２，３及び帯状の電極箔４，５が重ね合わされた状態で捲回された電池素子１（捲回型素子）が検査対象となっているが、検査対象はこれに限定されるものではない。

例えば矩形状のセパレータを介して、矩形状の正負両電極箔を交互に積層した積層型電池等の積層型素子を検査対象としてもよい。図７に示すように、積層型電池４０は、下から順に負電極箔４１、セパレータ４２、正電極箔４３、セパレータ４４、再び負電極箔４１、・・・といった順序で繰り返し積層されることで製造される。

（ｄ）セパレータ２，３や電極箔４，５の材質は上記実施形態に限定されるものではない。例えば上記実施形態では、セパレータ２，３をＰＰにより形成することとしているが、他の絶縁性材料によってセパレータ２，３を形成することとしてもよい。

（ｅ）上記実施形態では、搬送手段としてコンベア１３を採用しているが、これに限らず、例えば電池素子１を把持して搬送する構成を採用してもよい。

また、電池素子１の姿勢が変化しないよう、コンベア１３に位置決め手段（収容凹部等）を備えた構成としてもよい。

（ｆ）上記実施形態では、撮像手段としてシンチレータを使用したＣＣＤカメラとしたが、Ｘ線をダイレクトに入射して撮像するカメラとしてもよい。

（ｇ）上記実施形態では、撮像手段としてＣＣＤを１列に並べたＸ線ラインセンサカメラ１５を採用しているが、これに限らず、例えばＣＣＤ列を複数列備えたＸ線ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｌａｙ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）カメラを採用してもよい。これにより、検査精度及び検査効率のさらなる向上を図ることができる。

１…電池素子、２，３…セパレータ、４…正電極箔、５…負電極箔、１０…検査装置、１３…コンベア、１４…Ｘ線照射装置、１５…Ｘ線ラインセンサカメラ、１６…制御装置、２４…画像データ記憶部、２５…演算処理部、Ｈ…巻軸線。

Claims (4)

1. 絶縁素材よりなるセパレータを介して正負両電極箔が重ね合わされてなる電気素子における特定方向への前記電極箔の位置ズレを検査する検査装置であって、
   前記特定方向を搬送方向として所定の搬送手段により搬送される前記電気素子に対し、前記特定方向と直交する第１方向からＸ線を照射する照射手段と、
   前記第１方向に沿って前記照射手段と対向するように配置されると共に、前記電気素子を透過するＸ線を検出可能なＸ線検出素子を前記搬送方向と直交する第２方向に沿って直線状に複数配置した検出素子列を有し、前記電気素子が所定量搬送される毎に撮像したＸ線透過画像データを順次出力する撮像手段と、
   前記撮像手段から出力される画像信号を処理する画像処理手段とを備え、
   前記電気素子のＸ線透過画像を基に、該電気素子における前記特定方向への前記電極箔の位置ズレを検査することを特徴とする検査装置。
2. 前記撮像手段は、前記検出素子列を前記搬送方向に複数列備えていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記電気素子は、帯状の前記セパレータを介して、帯状の前記正負両電極箔を重ね合わせた状態で捲回した捲回型素子であって、
   前記特定方向は、前記捲回型素子の巻軸線方向であることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 前記電気素子は、矩形状の前記セパレータを介して、矩形状の前記正負両電極箔を交互に積層した積層型素子であって、
   前記特定方向は、矩形状の前記電極箔の所定辺部に沿った方向であり、
   前記照射手段は、前記特定方向と直交する前記第１方向かつ前記電極箔の積層方向と平行する方向から前記積層型素子に対しＸ線を照射することを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。

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