CN111693550A - 放射线检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的放射线检查装置包括:放射线源;检测器,与放射线源相向设置;搬送机构,具有穿过放射线源与检测器之间的被检测物的检查位置的直线状的搬送路径,搬送被检测物;遮蔽箱,包围放射线源及检测器;搬入口,设置在遮蔽箱,且将被检测物搬入遮蔽箱的内部;以及搬出口,设置在遮蔽箱,且将被检测物朝遮蔽箱的外部搬出;搬送机构具有穿过搬入口的直线状的搬入路径、及穿过搬出口的直线状的搬出路径,且搬入口、搬出口、搬入路径及搬出路径从搬送路径的延长线上偏移来设置。

Description

放射线检查装置
技术领域
本发明的实施方式涉及一种检测透过了被检测物的放射线并形成被检测物的图像的放射线检查装置。
背景技术
已知有一种放射线检查装置,其对被检测物照射以X射线为代表的放射线,检测因透过被检测物而衰减的放射线的二维分布并进行图像化,由此进行被检测物的非破坏检查。例如,在被检测物为锂离子电池等卷绕结构体的情况下,放射线检查装置对卷绕结构体的内部的尺寸、异物进行在线检查。由此,可发现卷绕结构的卷绕偏移、电极等的标签偏移、卷绕结构体内部的异物。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利第4829949号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
以前的放射线检查装置包括:放射线源,对被检测物照射放射线;检测器,与放射线源相向设置,检测透过了被检测物的放射线;遮蔽箱,收容放射线源及检测器,遮蔽朝外部泄漏的放射线;以及搬送机构,将被检测物搬入遮蔽箱内,并搬送至放射线源与检测器之间的检查位置为止,且将已结束检查的被检测物朝遮蔽箱的外部搬出。以前,所述搬送机构变成如下的机构,其具有:搬送部,在遮蔽箱的内部,将排列成规定间距的被检测物以圆形轨道依次搬送至检测位置;搬入部,将所述被检测物搬入遮蔽箱内部;以及搬出部,将被检测物朝遮蔽箱外部搬出;且搬入部、搬送部、搬出部分别被独立地分割。进而,搬送机构具有中转部,所述中转部变成将被检测物从搬入部交接至搬送部,并且从搬送部交接至搬出部的机构。如此,以前的放射线检查装置变成装置构成复杂、且重量大的装置。
因此,已对将搬送机构设为形成一条搬送路径的机构,而使装置构成简易化及轻量化进行了研究,但若遮蔽箱的搬入口、搬出口、及检查位置排列在一直线上,且搬入口、搬出口离检查位置近,则存在已照射至检查位置上的被检测物的放射线散射,由此放射线经由搬入口、搬出口而泄漏的线量增大这一问题。
为了解决所述问题,本实施方式的目的在于提供一种可使装置构成简易化及轻量化,并且减少放射线的泄漏线量的放射线检查装置。
[解决问题的技术手段]
为了达成所述目的,本实施方式的放射线检查装置包括:放射线源;检测器,与所述放射线源相向设置;搬送机构,具有穿过所述放射线源与所述检测器之间的被检测物的检查位置的直线状的搬送路径,搬送所述被检测物;遮蔽箱,包围所述放射线源及所述检测器;搬入口,设置在所述遮蔽箱,且将所述被检测物搬入所述遮蔽箱的内部;以及搬出口,设置在所述遮蔽箱,且将所述被检测物朝所述遮蔽箱的外部搬出;所述搬送机构具有穿过所述搬入口的直线状的搬入路径、及穿过所述搬出口的直线状的搬出路径,且所述搬入口、所述搬出口、所述搬入路径及所述搬出路径从所述搬送路径的延长线上偏移来设置。
本实施方式的放射线检查装置包括:放射线源;检测器,与所述放射线源相向设置;搬送机构,穿过所述放射线源与所述检测器之间的检查位置来搬送被检测物;遮蔽箱,包围所述放射线源及所述检测器;搬入口,设置在所述遮蔽箱,且将所述被检测物搬入所述遮蔽箱的内部;搬出口,设置在所述遮蔽箱,且将所述被检测物朝所述遮蔽箱的外部搬出;以及遮蔽构件,遮蔽从所述放射线源对所述被检测物照射放射线后从所述被检测物中散射的散射线;所述搬入口、所述检查位置、及所述搬出口设置在一直线上,所述搬送机构具有在所述一直线上搬送所述被检测物的搬送路径,且所述遮蔽构件是将所述搬入口作为一端,朝所述遮蔽箱的外部延长的通道,或者将所述搬出口作为一端,朝所述遮蔽箱的外部延长的通道。
附图说明
图1是表示第一实施方式的放射线检查装置的构成的一例的平面图。
图2是表示第二实施方式的放射线检查装置的构成的一例的平面图。
图3是表示第三实施方式的放射线检查装置的构成的一例的侧面图。
图4是表示第四实施方式的放射线检查装置的构成的一例的平面图。
图5是表示其他实施方式的放射线检查装置的构成的一例的平面图。
图6是表示其他实施方式的放射线检查装置的构成的另一例(其一)的平面图。
图7是表示其他实施方式的放射线检查装置的构成的另一例(其二)的平面图。
图8是表示其他实施方式的放射线检查装置的构成的另一例(其三)的平面图。
[符号的说明]
1:放射线检查装置
2:放射线源
3:检测器
4:遮蔽箱
40:内部遮蔽箱
40a:入口
40b:出口
41:搬入口
42:搬出口
5:搬送机构
51:搬入路径
52、55:搬送路径
53:搬出路径
54:中间路径
6:处理装置
7:显示装置
8:遮蔽构件
81:遮蔽板
82、83:遮蔽通道
100:被检测物
D、D':偏移量
L、L':距离
P:检查位置
具体实施方式
(第一实施方式)
以下,一边参照附图,一边对第一实施方式的放射线检查装置进行详细说明。
(构成)
图1是表示第一实施方式的放射线检查装置的构成的一例的平面图。放射线检查装置1对被检测物100照射放射线,并检测透过了被检测物100的放射线,且根据检测结果来形成被检测物100内的透视图像。被检测物100只要是通过放射线来进行非破坏检查者,则并无特别限定,例如为圆筒型电池、方型电池、层叠型电池,铝电解电容器、电双层电容器等电化学电容器等卷绕结构体。
如图1所示,所述放射线检查装置1包括:放射线源2、检测器3、遮蔽箱4、搬送机构5、处理装置6、以及显示装置7。放射线源2、检测器3、遮蔽箱4、以及搬送机构5设置在未图示的载置台上。
放射线源2朝被检测物100照射放射线光束。放射线例如为X射线。放射线光束是将焦点作为顶点而扩大成角锥形状的放射线的束。所述放射线源2例如为X射线管。X射线管在真空内设置0°以上的靶角度来使灯丝与钨等的靶相向。灯丝被施加按照摄影条件的管电流及管电压,并射出电子束。靶通过经加速的电子束的碰撞而产生X射线。
检测器3与放射线源2的焦点相向来配置。所述检测器3例如包含图像增强器(Image Intensifier,I.I.)与相机、或平板探测器(Flat Panel Detector,FPD)。I.I.将包含若被放射线激发则发光的碘化铯等的闪烁体面扩展成二维状,将已射入的放射线的二维分布转换成荧光像,并使荧光像的光度翻倍。相机一并设置电荷耦合器件(Charge CoupledDevice,CCD)或互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)等拍摄元件,拍摄荧光像。FPD沿着闪烁体面具有光电二极管与薄膜晶体管(ThinFilm Transistor,TFT)开关。光电二极管将荧光像转换成电荷并蓄积,TFT开关若被赋予开启(ON)信号,则输出已被蓄积在光电二极管中的电荷。
即,检测器3检测对应于放射线的透过路径而衰减的放射线强度的二维分布,并输出与所述放射线强度成比例的透过数据。而且,透过数据是放射线强度、表示放射线强度的电荷量、或表示放射线强度的亮度值,例如被数字化成256灰阶等。
此处,放射线源2与检测器3设置有两组,以放射线源2的照射方向变成平行的方式并列地设置。例如,一组放射线源2与检测器3对被检测物100的上部进行摄影,另一组放射线源2与检测器3对被检测物100的下部进行摄影。
遮蔽箱4包围放射线源2与检测器3,遮蔽放射线。遮蔽箱4包含铅等遮蔽放射线的材料来构成。遮蔽箱4例如为长方体形状。在遮蔽箱4设置有将被检测物100搬入内部的搬入口41、将内部的被检测物100朝外部搬出的搬出口42。搬入口41、搬出口42是设置在长方体的相向的两面的例如四角形状的切口。搬入口41、搬出口42从后述的搬送路径52的延长线上偏移来设置。所述偏移是水平方向的偏移。换言之,所述偏移的方向是在载置台的载置面扩展的水平面(图1的XY平面)上,与搬送路径52正交的方向。
搬送机构5是搬送被检测物100的机构。搬送机构5例如为带式输送机、链式输送机等输送机。当被检测物100为卷绕结构体时,搬送机构5在使被检测物100相对于水平面垂直的状态下进行搬送。即,放射线源2的放射线照射至卷绕结构体(大致多重筒体)的曲面。
搬送机构5的被检测物100的搬送路径进入遮蔽箱4后弯曲,呈直线状地穿过检查位置P后再次弯曲,朝遮蔽箱4外延长。具体而言,搬送机构5具有:穿过搬入口41的直线状的搬入路径51,穿过放射线源2与检测器3之间的检查位置P的直线状的搬送路径52,穿过搬出口42的直线状的搬出路径53,以及将路径51、路径52连接,并将路径52、路径53连接的中间路径54。检查位置P是将放射线源2与检测器3连结的直线与搬送路径52的交叉位置。此处,放射线源2的照射方向与搬送路径52正交。
路径51~路径53在X轴方向上延长且平行,搬入路径51与搬出路径53从搬送路径52的延长线上偏移来设置。在本实施方式中,所述偏移是水平方向(Y轴方向)的偏移。换言之,是在载置台的载置面扩展的水平面上,与搬送路径52正交的方向。中间路径54是相对于搬送路径52倾斜地延长的直线路径。
处理装置6控制放射线源2、检测器3及搬送机构5,对被检测物100进行摄影,且生成被检测物100的图像。所述处理装置6是所谓的计算机,且包含中央处理器(CentralProcessing Unit,CPU)、硬盘驱动器(Hard Disk Drive,HDD)或固态驱动器(Solid StateDrive,SSD)等存储器,随机存取存储器(Random Access Memory,RAM)及驱动电路。存储器存储程序,RAM将程序展开,且暂时地存储数据,CPU对程序进行处理,驱动电路按照CPU的处理结果对各部供给电力。
显示装置7是液晶显示器或有机电致发光(Electroluminescence,EL)显示器等监视器。所述显示装置7将由处理装置6所生成的被检测物100的图像显示在画面上。
(作用)
对本实施方式的放射线检查装置1的作用进行说明。在搬送路径52,每隔规定间隔设置有被检测物100,搬送机构5朝一方向搬送这些被检测物100。放射线源2在被检测物100正被搬送的期间内,对被检测物100照射放射线。检测器3通过处理装置6的控制,在被检测物100已来到检查位置P时检测透过了被检测物100的放射线,并将透过数据输出至处理装置6。处理装置6根据所述透过数据来生成被检测物100的透视图像,并将其显示在显示装置7的画面。
此处,若通过放射线源2来对被检测物100照射放射线,则朝所有方向散射。将所述已散射的放射线称为散射线。所述散射线的强度根据下述(1)~下述(6)的条件而变化。
(1)与放射线源2至被检测物100间的距离(焦物距(Focus to Object Distance,FOD))的平方成反比
(2)与被检测物100上的散射位置至散射线测定点之间的距离的平方成反比
(3)与来自放射线源2的直接线强度成比例
(4)根据被检测物100的材质而变化(若为吸收系数大的物质,则自吸收大,散射线强度变小)
(5)相对于放射线的照射方向的散射角度
(6)与朝被检测物100的放射线照射面积成比例
通常,为了获得高画质的透视图像,需要高扩大率且使信噪比(Signal/Noise,S/N)变大,使FOD变小来使放射线高输出。在此情况下,散射线的强度变大。
如上所述,散射线朝所有方向散射,但存在相对于放射线的照射方向呈直角地散射的散射线的强度变得最大的倾向,尤其在被检测物100为卷绕结构体的情况下,所述倾向显著。
因此,在本实施方式中,将搬入口41、搬出口42、搬入路径51及搬出路径53从搬送路径52的延长线上偏移来设置。由此,散射线最大的部分由遮蔽箱4遮蔽,因此可减少朝遮蔽箱4外部泄漏的放射线的线量。
例如,当将放射线源2的管电压设为150kV,将从放射线源2至最接近的被检测物100为止的距离(FOD)设为80mm,将从检查位置P至遮蔽箱4为止的距离L、距离L'设为250mm,将被检测物100设为圆筒型锂离子电池,将搬入口41及搬出口42的偏移量D、偏移量D'设为400mm时,与无偏移的情况(D、D'=0)相比,可将搬入口41、搬出口42处的散射线的泄漏线量减少至约1/4左右为止。
(效果)
本实施方式的放射线检查装置1包括:放射线源2;检测器3,与放射线源2相向设置;搬送机构5,具有穿过放射线源2与检测器3之间的被检测物100的检查位置P的直线状的搬送路径52,搬送被检测物100;遮蔽箱4,包围放射线源2及检测器3;搬入口41,设置在遮蔽箱4,且将被检测物100搬入遮蔽箱4的内部;以及搬出口42,设置在遮蔽箱4,且将被检测物100朝遮蔽箱4的外部搬出;搬送机构5具有穿过搬入口41的直线状的搬入路径51、及穿过搬出口42的直线状的搬出路径53,且搬入口41、搬出口42、搬入路径51及搬出路径53从搬送路径52的延长线上偏移来设置。具体而言,将搬入口41、搬出口42、搬入路径51及搬出路径53的偏移的方向设为水平方向。
由此,与以圆形轨道搬送被检测物100并进行检查的以前的放射线检查装置相比,可使装置构成简易化及轻量化。另外,由于可简化装置构成,因此可提升维护性。另外,即便在呈直线状地搬送被检测物100的情况下,也可以减少放射线的泄漏线量,特别是搬入口41、搬出口42处的起因于来自被检测物100的散射线的泄漏线量。
(第一实施方式的变形例)
在第一实施方式中,将中间路径54设为相对于搬送路径52倾斜地延长的路径,但也可以设为相对于搬送路径52正交的路径。由此,可缩短搬入口41与搬出口42之间的搬送机构5的路径,因此可使遮蔽箱4小型化,可减小放射线检查装置1的设置面积。另外,用于遮蔽箱4的铅等遮蔽放射线的材料少也没问题,因此可降低成本。
(第二实施方式)
(构成)
参照附图对第二实施方式的放射线检查装置进行详细说明。对与第一实施方式相同的构成及相同的功能赋予相同的符号并省略详细的说明。
图2是表示第二实施方式的放射线检查装置1的构成的一例的平面图。如图2所示,本实施方式的放射线检查装置1包括遮蔽构件8。遮蔽构件8是如下的遮蔽板81,即遮蔽从放射线源2对被检测物100照射放射线后从被检测物100中散射的散射线。所述遮蔽板81包含铅等遮蔽放射线的材料来构成。
此处,遮蔽板81设置有多块,设置在将检查位置P与搬入口41的边缘连结的线上、及将检查位置P与搬出口42的边缘连结的线上。换言之,遮蔽板81以与由检查位置P和搬入口41或搬出口42的开口缘所形成的锥状的区域重叠的方式设置。此处,搬入口41、搬出口42为四角形状,因此所述区域为四角锥状。只要在所述线上,则遮蔽板81也可以设置在遮蔽箱4的内外。例如,遮蔽板81可设置在遮蔽箱4的内侧且放射线源2的焦点与搬入口41或搬出口42之间,也能够以比搬入口41的边缘更靠近搬入路径51的方式设置,也能够以比搬出口42的边缘更靠近搬出路径53的方式设置。
(作用及效果)
(1)本实施方式的放射线检查装置1包括遮蔽构件8,所述遮蔽构件8遮蔽从放射线源2对被检测物100照射放射线后从被检测物100中散射的散射线。由此,可进一步减少放射线的泄漏线量。
另外,例如在管电压为150kV的情况下,X射线的相对于铅的1/2价层,即为了使X射线泄漏线量变成一半而需要的铅的厚度约为0.3mm,当以与第一实施方式的条件(FOD=80mm,L=250mm,D、D'=400mm)相同的条件进行了偏移时,可将遮蔽所需要的铅的厚度削减约0.6mm。换言之,在使泄漏线量变成相同的情况下,通过使搬入口41、搬出口42、搬入路径51、及搬出路径53相对于搬送路径52偏移,可使遮蔽板81的厚度变薄,可削减成本。
(2)遮蔽构件8(此处为遮蔽板81)设置在将检查位置P与搬入口41或搬出口42的边缘连结的线上。由此,来自被检测物100的散射线前往搬入口41或搬出口42的路径被阻断,因此可更有效地减少放射线的泄漏线量。
(第二实施方式的变形例)
遮蔽构件8也可以是具有切口的遮蔽板81,并以被检测物100穿过所述切口的方式设置在搬送机构5。所述遮蔽板81例如在四角形状的板状体的一边设置成为切口的狭缝,而构成为大致U字形状。遮蔽板81例如以横跨搬送机构5的搬入路径51、搬送路径52、搬出路径53、中间路径54的至少任一者的方式设置。换言之,遮蔽板81以被检测物100穿过其切口的方式设置在搬送机构5。通过设置此种遮蔽板81,可进一步减少放射线的泄漏线量。尤其,通过以横跨中间路径54的方式设置遮蔽板81,可堵塞由检查位置P与搬入口41或搬出口42所形成的区域(图2的由点划线包围的区域),因此可进一步减少泄漏线量。
(第三实施方式)
参照附图对第三实施方式的放射线检查装置进行详细说明。对与第一实施方式相同的构成及相同的功能赋予相同的符号并省略详细的说明。
图3是表示第三实施方式的放射线检查装置的构成的一例的侧面图。如图3所示,本实施方式的放射线检查装置1的搬入口41、搬出口42、搬入路径51、及搬出路径53并非如第一实施方式那样从搬送路径52的延长线上朝水平方向偏移,而从搬送路径52的延长线上朝高度方向偏移来设置。所谓高度方向,是指与在载置台上扩展的水平面(图3的XY平面)正交的方向,此处为图3的Z轴方向。此处,搬送路径52设置在比搬入口41、搬出口42、搬入路径51、及搬出路径53更上方。
如此,即便使搬入口41、搬出口42、搬入路径51、及搬出路径53的偏移朝高度方向偏移,也可以与第一实施方式同样地,使装置构成比以前的放射线检查装置简化及轻量化,并且也可以减少放射线的泄漏线量。
(第四实施方式)
参照附图对第四实施方式的放射线检查装置进行详细说明。对与第二实施方式相同的构成及相同的功能赋予相同的符号并省略详细的说明。
图4是表示第四实施方式的放射线检查装置的构成的一例的平面图。如图4所示,本实施方式的搬送机构5的搬送路径55是一条直线状的路径,从搬入口41进入遮蔽箱4内,穿过检查位置P,从搬出口42朝遮蔽箱4外出去。换言之,搬入口41、检查位置P、及搬出口42设置在一直线上。
在本实施方式中,在遮蔽箱4设置有将搬入口41作为一端朝外部延长的遮蔽通道82、将搬出口42作为一端朝外部延长的遮蔽通道83。遮蔽通道82、遮蔽通道83是代替遮蔽板81的遮蔽构件8的一形态,且遮蔽散射线。遮蔽通道82、遮蔽通道83包含铅等遮蔽放射线的材料来构成,例如为筒形状。遮蔽通道82、遮蔽通道83的长度可适宜设定。例如,可设为遮蔽通道82、遮蔽通道83的端部的泄漏线量充分变小的长度。
根据本实施方式,将搬送机构5的搬送路径设为直线状,搬入口41、检查位置P、及搬出口42设置在一直线上。由此,与第一实施方式同样地,可使装置构成比以前的放射线检查装置简化及轻量化,并可提升维护性。
另外,散射线的强度与被检测物100上的散射位置至散射线测定点间的距离的平方成反比,因此通过设置遮蔽通道82、遮蔽通道83,可使成为被检测物100的实际的搬入口、搬出口的遮蔽通道82、遮蔽通道83的一端远离作为遮蔽通道82、遮蔽通道83的另一端的搬入口41、搬出口42,因此可减少放射线的泄漏线量。
(其他实施方式)
在本说明书中,对本发明的实施方式进行了说明,但所述实施方式是作为例子来提示者,并不意图对发明的范围进行限定。如以上那样的实施方式能够以其他各种形态来实施,在不脱离发明的范围的范围内,可进行各种省略或替换、变更。与包含在发明的范围或主旨中同样地,实施方式或其变形包含在权利要求中记载的发明及其均等的范围内。
例如,第一实施方式至第三实施方式的偏移量D、偏移量D'可以相同,也可以不同。另外,也可以使搬入路径51或搬出路径53的一者朝水平方向偏移,使搬入路径51或搬出路径53的另一者朝高度方向偏移。
另外,第二实施方式的遮蔽构件8(遮蔽板81)也可以应用于第一实施方式的变形例、第三实施方式、第四实施方式。
在第四实施方式中,遮蔽通道82、遮蔽通道83以将搬入口41,搬出口42作为一端,朝遮蔽箱4的外部延长的方式设置,但也能够以朝遮蔽箱4的内部延长的方式设置。例如,所述遮蔽通道82、遮蔽通道83可将一端设为搬入口41、搬出口42而朝检查位置P的方向延长,另一端位于检查位置P附近来设置。所述另一端例如设为不碰上已从最近的放射线源2照射的锥状的放射线光束的程度。如此使遮蔽通道82、遮蔽通道83朝遮蔽箱4的内部延长,由此已从位于检查位置P的被检测物100中散射的散射线由遮蔽通道82、遮蔽通道83遮蔽,因此可减少搬入口41、搬出部42处的放射线的泄漏线量。
另外,在第一实施方式至第四实施方式及变形例中,以使放射线源2的照射方向与搬送机构5搬送的被检测物100的搬送路径正交的方式,设置放射线源2与检测器3,但放射线源2也可以使放射线的照射方向相对于搬送路径倾斜来设置。由此,最强的方向的散射线从搬入口41、搬出口42离开并由遮蔽箱4遮蔽,因此可减少放射线的泄漏线量。
此种布局可应用于第一实施方式至第四实施方式及变形例的任一者。例如,如图5所示,也可以应用于第一实施方式,如图6所示,也可以应用于第四实施方式。但是,也可以不必存在遮蔽通道82、遮蔽通道83。另外,放射线源2的照射方向可在放射线源2与检测器3的各组中不同(参照图6),也可以相同(参照图5)。即,所述照射方向可在放射线源2与检测器3的组彼此中斜交,也可以平行。
另外,如图7所示,放射线检查装置1也可以包括覆盖放射线源2与检测器3的组的内部遮蔽箱40。内部遮蔽箱40设置在遮蔽箱4的内部。内部遮蔽箱40包含铅等遮蔽放射线的材料来构成,例如为长方体形状。内部遮蔽箱40覆盖放射线源2与检测器3的各组。换言之,检查位置P位于内部遮蔽箱40的内部,在内部遮蔽箱40设置有被检测物100穿过的入口40a、出口40b。如此,通过设置内部遮蔽箱40,可遮蔽已从位于检查位置P的被检测物100中散射的散射线,因此可减少朝放射线检查装置1外部的放射线的泄漏线量。另外,可通过内部遮蔽箱40来减少散射线,因此可使遮蔽箱4的铅等遮蔽构件的厚度变薄,因此可使装置整体轻量化。如图8所示,所述内部遮蔽箱40也可以应用于第四实施方式。

Claims (11)

1.一种放射线检查装置,其特征在于,包括:
放射线源;
检测器,与所述放射线源相向设置;
搬送机构,具有穿过所述放射线源与所述检测器之间的被检测物的检查位置的直线状的搬送路径,搬送所述被检测物;
遮蔽箱,包围所述放射线源及所述检测器;
搬入口,设置在所述遮蔽箱,且将所述被检测物搬入所述遮蔽箱的内部;以及
搬出口,设置在所述遮蔽箱,且将所述被检测物朝所述遮蔽箱的外部搬出;
所述搬送机构具有穿过所述搬入口的直线状的搬入路径、及穿过所述搬出口的直线状的搬出路径,且
所述搬入口、所述搬出口、所述搬入路径及所述搬出路径从所述搬送路径的延长线上偏移来设置。
2.根据权利要求1所述的放射线检查装置,其中,
所述搬入口、所述搬出口、所述搬入路径及所述搬出路径的偏移方向为水平方向或高度方向。
3.根据权利要求1或2所述的放射线检查装置,其中,
包括遮蔽构件,所述遮蔽构件遮蔽从所述放射线源对所述被检测物照射放射线后从所述被检测物中散射的散射线。
4.根据权利要求3所述的放射线检查装置,其中,
所述遮蔽构件设置在将所述检查位置与所述搬入口或所述搬出口的边缘连结的线上。
5.根据权利要求3所述的放射线检查装置,其中,
所述遮蔽构件是具有切口的遮蔽板,且以所述被检测物穿过所述切口的方式设置在所述搬送机构。
6.根据权利要求3所述的放射线检查装置,其中,
所述遮蔽构件是将所述搬入口作为一端,朝所述遮蔽箱的外部延长的遮蔽通道,或者将所述搬出口作为一端,朝所述遮蔽箱的外部延长的遮蔽通道。
7.根据权利要求3所述的放射线检查装置,其中,
所述遮蔽构件是将所述搬入口作为一端,朝所述遮蔽箱的内部延长的遮蔽通道,或者将所述搬出口作为一端,朝所述遮蔽箱的内部延长的遮蔽通道。
8.一种放射线检查装置,其特征在于,包括:
放射线源;
检测器,与所述放射线源相向设置;
搬送机构,穿过所述放射线源与所述检测器之间的检查位置来搬送被检测物;
遮蔽箱,包围所述放射线源及所述检测器;
搬入口,设置在所述遮蔽箱,且将所述被检测物搬入所述遮蔽箱的内部;
搬出口,设置在所述遮蔽箱,且将所述被检测物朝所述遮蔽箱的外部搬出;以及
遮蔽构件,遮蔽从所述放射线源对所述被检测物照射放射线后从所述被检测物中散射的散射线;
所述搬入口、所述检查位置、及所述搬出口设置在一直线上,
所述搬送机构具有在所述一直线上搬送所述被检测物的搬送路径,且
所述遮蔽构件是将所述搬入口作为一端,朝所述遮蔽箱的外部延长的通道,或者将所述搬出口作为一端,朝所述遮蔽箱的外部延长的通道。
9.根据权利要求8所述的放射线检查装置,其中,
所述通道从所述搬入口或所述搬出口朝所述遮蔽箱的内部延长。
10.根据权利要求8或9所述的放射线检查装置,其中,
所述放射线源使放射线的照射方向相对于所述搬送路径倾斜来设置。
11.根据权利要求8或9所述的放射线检查装置,其中,
包括内部遮蔽箱,所述内部遮蔽箱设置在所述遮蔽箱的内部,且覆盖所述放射线源与所述检测器的组。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021203119A1 (de) * 2021-03-29 2022-09-29 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Inspektionssystem und Verfahren zur Inspektion wenigstens eines Prüfobjekts
CN113063808B (zh) * 2021-03-29 2024-09-03 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 用于检验至少一个测试物体的检验系统和方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0949883A (ja) * 1995-08-07 1997-02-18 Toshiba Corp 異物検査装置
JPH09250992A (ja) * 1996-03-14 1997-09-22 Toshiba Fa Syst Eng Kk 異物検査装置
CN103376273A (zh) * 2012-04-12 2013-10-30 株式会社堀场制作所 X射线检测装置
JP2016144582A (ja) * 2015-02-09 2016-08-12 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その制御方法およびプログラム
JP2018077091A (ja) * 2016-11-08 2018-05-17 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置
JP2018077208A (ja) * 2016-11-02 2018-05-17 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012068126A (ja) * 2010-09-24 2012-04-05 Ishida Co Ltd X線検査装置
JP2012078303A (ja) * 2010-10-06 2012-04-19 Yamato Scale Co Ltd X線検査装置
DE202011051843U1 (de) 2011-11-02 2011-11-15 Wipotec Wiege- Und Positioniersysteme Gmbh Prüfgerät
JP6780309B2 (ja) 2016-06-10 2020-11-04 オムロン株式会社 検査装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0949883A (ja) * 1995-08-07 1997-02-18 Toshiba Corp 異物検査装置
JPH09250992A (ja) * 1996-03-14 1997-09-22 Toshiba Fa Syst Eng Kk 異物検査装置
CN103376273A (zh) * 2012-04-12 2013-10-30 株式会社堀场制作所 X射线检测装置
JP2016144582A (ja) * 2015-02-09 2016-08-12 キヤノン株式会社 放射線撮像装置、その制御方法およびプログラム
JP2018077208A (ja) * 2016-11-02 2018-05-17 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置
JP2018077091A (ja) * 2016-11-08 2018-05-17 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置

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