JP7016287B2 - 放射線検出装置および検査装置 - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 242
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 66
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 68
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N lutetium atom Chemical compound [Lu] OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- QKEOZZYXWAIQFO-UHFFFAOYSA-M mercury(1+);iodide Chemical compound [Hg]I QKEOZZYXWAIQFO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
図1(A)は、第1実施形態に係る放射線検出装置1の構成を示す斜視図である。本実施形態では、放射線検出装置1は長尺状に延設され、放射線ラインセンサ等と表現されてもよい。
第1実施形態で示された放射線遮蔽部材132は、蛍光体12からの散乱線を遮蔽可能かつシンチレーション光を通過可能に構成されるとよく、例えば、開口132OPには放射線遮蔽用ガラスが設けられてもよい。
第1実施形態で図2(B)を参照しながら述べたとおり、蛍光体12からの散乱線は、端部101Ea及び101Ebで更に散乱し、二次散乱を生じる可能性がある。そのため、第1実施形態で示された放射線遮蔽部材131及び132は、互いに係合あるいは嵌合するように設置されるとよい。即ち、放射線遮蔽部材131及び132の一方が他方に対して単に当接するのではなく、一方が他方に対して係合あるいは嵌合し、Y方向で見たときもそれらが互いに重なるとよい。
第1実施形態で示された放射線遮蔽部材131~133の重量は比較的大きいため、放射線検出装置1の軽量化等を目的として、放射線遮蔽部材131~133の一部は、放射線耐性の比較的高い材料、例えば筐体10同様の材料、に置き換えられてもよい。
第1~第4実施形態では、放射線を蛍光体12により光に変換してから該光をラインセンサ111により検出する方式、いわゆる間接変換方式、の態様を例示したが、本発明は、これに限られるものではない。即ち、各実施形態の内容は、放射線を直接的に電気信号に変換する方式、いわゆる直接変換方式、にも適用可能である。
上述の各実施形態の放射線検出装置1は、所定の検査を行うための検査装置(検査システム)に適用される。この検査装置の例としては、工場等の製造ラインにおける製品検査装置、空港等の搭乗手続の際に用いられる荷物検査装置、医療用の放射線撮像装置等、多様な放射線検査装置が挙げられる。
Claims (16)
- 放射線を検出するための複数のセンサ部が所定方向に配列されたセンサ基板と、
前記センサ基板を支持する支持部材と、
前記複数のセンサ部の配列方向における前記支持部材の端部と、該端部と前記センサ基板との間に配置された放射線遮蔽部材と、
前記放射線を光に変換可能に構成された蛍光体と、を備え、
前記センサ基板は、その面方向が前記放射線の入射方向と直交しない姿勢で固定されており、
前記蛍光体は、前記センサ基板から離間した位置において、前記変換された光を前記センサ基板に向けて出射する姿勢で固定されている
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 前記支持部材は、前記複数のセンサ部の配列方向で向かい合うように前記端部を一対含むと共に、該一対の端部の間において前記センサ基板を支持しており、
前記放射線遮蔽部材は、前記一対の端部のそれぞれと前記センサ基板との間に配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の放射線検出装置。 - 前記放射線遮蔽部材は、前記支持部材よりも放射線透過率の低い材料で構成されている
ことを特徴とする請求項1または請求項2記載の放射線検出装置。 - 前記放射線遮蔽部材は、前記複数のセンサ部の配列方向と交差する姿勢で設置された板状部材である
ことを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1項記載の放射線検出装置。 - 前記放射線を光に変換可能に構成された蛍光体を更に備え、
前記蛍光体は、前記センサ基板上に前記複数のセンサ部を覆うように配置されている
ことを特徴とする請求項1から請求項4の何れか1項記載の放射線検出装置。 - 前記センサ基板は、その面方向が前記放射線の入射方向と平行姿勢となるように固定されている
ことを特徴とする請求項1から請求項5の何れか1項記載の放射線検出装置。 - 前記蛍光体は、前記センサ基板から前記複数のセンサ部の配列方向および前記放射線の入射方向の双方と交差する方向に離間した位置に配置されている
ことを特徴とする請求項6記載の放射線検出装置。 - 前記センサ基板と前記蛍光体との間に配されると共に前記蛍光体の光を前記複数のセンサ部に通過可能に構成された第2の放射線遮蔽部材を更に備える
ことを特徴とする請求項6または請求項7記載の放射線検出装置。 - 前記第2の放射線遮蔽部材は、前記蛍光体の光を前記複数のセンサ部に通過させるための開口を有しており、
前記放射線検出装置は、前記第2の放射線遮蔽部材の前記開口を覆うように配置され且つ前記放射線を遮蔽可能に構成された透光性の板材を更に備える
ことを特徴とする請求項8記載の放射線検出装置。 - 前記蛍光体は、前記センサ基板から前記複数のセンサ部の配列方向および前記放射線の入射方向の双方と交差する方向に離間した位置に配置されており、
前記放射線遮蔽部材は、前記交差する方向で見たときに前記蛍光体と重なるように配置されている
ことを特徴とする請求項9記載の放射線検出装置。 - 前記複数のセンサ部の配列方向での前記端部の厚さは、前記端部から前記センサ基板までの距離より大きい
ことを特徴とする請求項1から請求項10の何れか1項記載の放射線検出装置。 - 放射線を検出するための複数のセンサ部が所定方向に配列されたセンサ基板と、
前記センサ基板を支持する支持部材と、
前記複数のセンサ部の配列方向における前記支持部材の端部と、該端部と前記センサ基板との間に配置された放射線遮蔽部材と、
前記放射線を光に変換可能に構成された蛍光体と、を備える
前記放射線遮蔽部材は、前記複数のセンサ部の配列方向と交差する姿勢で設置された板状部材であり、前記配列方向と垂直な方向で見た場合に前記蛍光体より内側に位置している
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 放射線を検出するための複数のセンサ部が所定方向に配列されたセンサ基板と、
前記センサ基板を支持する支持部材と、
前記複数のセンサ部の配列方向における前記支持部材の端部と、該端部と前記センサ基板との間に配置された放射線遮蔽部材と、
前記放射線を光に変換可能に構成され、前記配列方向において前記複数のセンサ部より長く延在するように前記センサ基板上に配置された蛍光体と、を備える
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 放射線を検出するための複数のセンサ部が所定方向に配列されたセンサ基板と、
前記センサ基板を支持する支持部材と、
前記複数のセンサ部の配列方向における前記支持部材の端部と、該端部と前記センサ基板との間に配置された放射線遮蔽部材と、
前記放射線を光に変換可能に構成され、前記センサ基板上に前記複数のセンサ部を覆うように配置された蛍光体と、
前記センサ基板と前記蛍光体との間に配されると共に前記蛍光体の光を前記複数のセンサ部に通過可能に構成された第2の放射線遮蔽部材と、を備える
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 放射線を検出するための複数のセンサ部が所定方向に配列されたセンサ基板と、
前記センサ基板を支持する支持部材と、
前記複数のセンサ部の配列方向における前記支持部材の端部と、該端部と前記センサ基板との間に配置された放射線遮蔽部材と、を備え、
前記複数のセンサ部の配列方向での前記端部の厚さは、前記端部から前記センサ基板までの距離より大きい
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 請求項1から請求項15の何れか1項記載の放射線検出装置と、
前記放射線を発生する放射線源と、を具備する
ことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018087484A JP7016287B2 (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 放射線検出装置および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018087484A JP7016287B2 (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 放射線検出装置および検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019191115A JP2019191115A (ja) | 2019-10-31 |
JP7016287B2 true JP7016287B2 (ja) | 2022-02-04 |
Family
ID=68390016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018087484A Active JP7016287B2 (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 放射線検出装置および検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7016287B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018040582A (ja) | 2016-09-05 | 2018-03-15 | キヤノン・コンポーネンツ株式会社 | 放射線検出器 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07280944A (ja) * | 1994-04-06 | 1995-10-27 | Morita Mfg Co Ltd | X線画像センサ、そのホルダおよびその位置決め具 |
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2018
- 2018-04-27 JP JP2018087484A patent/JP7016287B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018040582A (ja) | 2016-09-05 | 2018-03-15 | キヤノン・コンポーネンツ株式会社 | 放射線検出器 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019191115A (ja) | 2019-10-31 |
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