CN109470723A - 检查装置以及检查方法 - Google Patents

检查装置以及检查方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109470723A
CN109470723A CN201811034810.3A CN201811034810A CN109470723A CN 109470723 A CN109470723 A CN 109470723A CN 201811034810 A CN201811034810 A CN 201811034810A CN 109470723 A CN109470723 A CN 109470723A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
electromagnetic wave
circular profile
profile face
circular
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811034810.3A
Other languages
English (en)
Inventor
加集功士
四宫由隆
屋铺大三郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2018158655A external-priority patent/JP7175675B2/ja
Application filed by Sumitomo Chemical Co Ltd filed Critical Sumitomo Chemical Co Ltd
Publication of CN109470723A publication Critical patent/CN109470723A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/18—Investigating the presence of flaws defects or foreign matter
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/30—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from X-rays
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00—Details of television systems
    • H04N5/30—Transforming light or analogous information into electric information
    • H04N5/32—Transforming X-rays

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Radar Systems Or Details Thereof (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Abstract

本发明涉及检查装置以及检查方法。能高精度且高速地进行对象物的检查。具有电磁波接收区域的传感器在圆形外形面的俯视观察下越是远离中心的位置越适合移动快的被摄体的拍摄。

Description

检查装置以及检查方法
技术领域
本发明涉及检查装置以及检查方法。
背景技术
锂离子二次电池等非水电解液二次电池作为个人计算机、便携电话、便携信息终端等中所用的电池而被广泛使用。特别是，锂离子二次电池与从前的二次电池比较削减了CO2的排出量，作为贡献于节能的电池而受到关注。
过去，推进了非水电解液二次电池用隔板对芯体卷绕而成的隔板卷绕体的开发。还一起研讨了检测附着于隔板卷绕体的异物的检查。
作为检测附着于对象物的异物的检查的一例而能举出专利文献1公开的技术。在专利文献1公开的技术中，将从X射线源出射的X射线用毛细管透镜变换成平行X射线，将该平行X射线对作为对象物的样本照射，用TDI(Time Delay Integration，时间延迟积分)传感器接受透过该样本的平行X射线。在TDI传感器中例如利用专利文献2公开那样的技术。
然而，作为检测外形有圆形的面(隔板卷绕体的情况下是侧面)的对象物上附着的异物的检查，考虑下述的检查方法。另外，以下也将对象物中的外形为圆形的面称作圆形外形面。
即，以穿过构成圆形外形面的外形的圆形的中心在与圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴使对象物旋转。然后对圆形外形面照射电磁波。然后用传感器接受透过圆形外形面的电磁波。然后对通过传感器接受电磁波而得到的图像进行解析，对对象物检查是否附着异物。由此，由于能针对专利文献1公开的技术使异物的检测高效率化，因此能实现检查的高速化。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：JP日本公开专利公报“特开2016-38350号公报(2016年3月22日公开)”
专利文献2：JP日本公开专利公报“特开昭61-22841号公报(1986年1月31日公开)”
发明内容
在此，在对象物旋转的情况下，在圆形外形面的俯视观察中，越远离圆形的中心的位置速度越快。由此，在使上述的对象物旋转而进行的检查中，在例如将圆形的中心附近的图像的取得最佳化的情况下产生下述(A)以及(B)的问题。
(A)越远离圆形的中心的位置则传感器取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分的面积在沿着旋转的方向上越大(换言之，该部分在沿着旋转的方向上延伸)。为此，对于远离圆形的中心的位置的图像，有可能分辨率变差而出现模糊，或者产生与圆形的中心附近的图像(分辨率未变差)的相对的位置偏离。
(B)考虑传感器的电磁波接收区域中的多个图像取得单位(例如像素)矩阵状排列的情况，该矩阵由沿着圆形外形面的某1个半径的行和与该行大致垂直的列构成。在该情况下，越远离圆形的中心的图像取得单位的列，在各图像取得单位间，取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分就越大地偏离。例如在传感器是TDI传感器的情况下，虽然使构成同一图像取得单位的列的在各图像取得单位取得的图像重合，但该偏离关系到重合后的图像的模糊。
即，在使上述的对象物旋转而进行的检查中，由于难以在圆形外形面的整体得到清晰的图像，因此会发生检查的精度变低的问题。
本发明的一个方案目的在于，实现能高精度且高速进行对象物的检查的检查装置以及检查方法。
为了解决上述的课题，本发明的一个方案所涉及的检查装置一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，关于被提供用于检查的状态的上述对象物而具备：对上述圆形外形面照射电磁波的至少1个电磁波产生源；和具有接受透过上述对象物的上述电磁波的电磁波接收区域的图像取得部，上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。
另外，为了解决上述的课题，本发明的一个方案所涉及的检查方法一边使具有外形为圆形的面的圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，关于被提供用于检查的状态的上述对象物而包含如下步骤：对上述圆形外形面照射电磁波；和由图像取得部中所包含的电磁波接收区域接受透过上述对象物的上述电磁波，上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。
发明的效果
根据本发明的一个方案，能实现对象物的检查的高精度化以及高速化。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1以及实施方式2所涉及的检查装置的概略图。
图2是表示使对象物旋转的状态的图，(a)表示圆形外形面的俯视观察，(b)表示从横向观察对象物的状态。
图3的(a)以及(b)是表示本发明的实施方式1所涉及的电磁波接收区域的结构的图，表示圆形外形面的俯视观察。
图4是说明越远离圆形的中心的图像取得单位的列则在各图像取得单位间取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分越大偏离的问题的抑制效果的图。
图5是说明越远离圆形的中心的图像取得单位的列则在各图像取得单位间取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分越大偏离的问题的抑制效果的图。
图6是说明越远离圆形的中心的图像取得单位的列则在各图像取得单位间取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分越大偏离的问题的抑制效果的图。
图7是说明越远离圆形的中心的图像取得单位的列则在各图像取得单位间取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分越大偏离的问题的抑制效果的图。
图8是表示图3的(a)所示的电磁波接收区域的变形例的结构的图，表示圆形外形面的俯视观察。
图9是表示本发明的实施方式2所涉及的电磁波接收区域的结构的图，表示圆形外形面的俯视观察。
图10是表示本发明的实施方式3所涉及的检查装置的概略图。
附图标记的说明
1 对象物
2a以及2b 圆形外形面
3 构成圆形外形面的外形的圆形的中心
4 对象物的旋转轴
5 圆形外形面的缘
10 检查装置
20、20A、20b 电磁波产生源
21、21A、21b 电磁波
30 传感器
31、31a、31c、以及31d 电磁波接收区域
31ca～31ch 小区域
31Da、31db 图像取得单位
具体实施方式
参考图1～图10来说明用于实施本发明的形态。
图1是表示本发明的实施方式1以及实施方式2所涉及的检查装置10的概略图。检查装置10检查对象物1，具体检查在对象物1有无附着异物。检查装置10具备电磁波产生源20以及传感器(图像取得部)30。
对象物1具有外形为圆形的面即圆形外形面2a以及圆形外形面2b。在图1中，圆形外形面2a位于电磁波产生源20侧，圆形外形面2b位于传感器30侧。作为对象物1的形状，能举出圆环状、圆盘状、圆筒状以及圆柱状等。作为对象物1的具体例，能举出非水电解液二次电池用隔板对芯体卷绕而成的隔板卷绕体以及卷绕非水电解液二次电池用隔板的芯体等。
图2是表示使对象物1旋转的状态的图。图2的(a)表示圆形外形面2b的俯视观察。另外，图2的(b)表示从横向观察对象物1的状态。具体地，在图2的(b)中，示出将电磁波产生源20侧设为左侧、将传感器30侧设为右侧来观察的状态。
另外，在各实施方式中，规定相互垂直的3方向的X方向、Y方向以及Z方向。X方向表示对象物1的宽度方向，Y方向表示对象物1的高度方向，Z方向表示与X方向以及Y方向两方垂直且垂直地贯穿圆形外形面2a以及圆形外形面2b的方向。
在对象物1被提供用于检查装置10的检查的状态下，对象物1以穿过构成圆形外形面2b的外形的圆形的中心3且在与圆形外形面2b大致垂直的方向(Z方向)上延伸的线为轴4而旋转。在对象物1与圆形外形面2a之间也成立同样的关系。旋转的方向在圆形外形面2b的俯视观察下设为顺时针，但也可以在圆形外形面2b的俯视观察下设为逆时针。
电磁波产生源20对圆形外形面2a照射电磁波21。作为电磁波21的一例而能举出X射线。从电磁波产生源20对圆形外形面2a照射的电磁波21透过对象物1，从圆形外形面2b离开。
传感器30例如是TDI传感器，具有电磁波接收区域31。电磁波接收区域31具有多个像素，由这些多个像素接受透过对象物1的电磁波21。可以在电磁波接收区域31设置覆盖多个像素的至少1个透镜。传感器30通过在电磁波接收区域31接受电磁波21，能取得圆形外形面2a以及圆形外形面2b中电磁波21所通过的部分的图像。
在以下的实施方式1以及实施方式2中说明作为电磁波接收区域31的具体的结构例的电磁波接收区域31a～电磁波接收区域31c。
〔实施方式1〕
图3的(a)以及(b)是表示本实施方式所涉及的电磁波接收区域31a的结构的图，表示圆形外形面2b的俯视观察。在图3的(a)中，为了使图示简洁而省略圆形外形面2b、中心3以及电磁波接收区域31a以外的结构的图示。图3的(b)是仅图3的(a)所示的电磁波接收区域31a的放大图。
在圆形外形面2b的俯视观察下，电磁波接收区域31a配置得在以图2所示的要领使对象物1进行1个旋转时，圆形外形面2b的全部与电磁波接收区域31a重叠。电磁波接收区域31a具有多个像素311。多个像素311配置成M行N列的矩阵状。该M行的各自沿着圆形外形面2b的半径R，该N列的各自与该M行的各自大致垂直。
在图3的(a)以及(b)中，关于上述M行，从位于上述对象物1的旋转的最上游侧的行起依次设为第1行、第2行、…、第M行。另外，在图3的(a)以及(b)中，关于上述N列，从最靠近中心3位置起依次设为第1列、第2列、…、第N列。在图3的(a)以及(b)中，将配置在第m(1≤m≤M)行第n(1≤n≤N)列的像素311设为像素311(m，n)。
在此，电磁波接收区域3la构成为在圆形外形面2b的俯视观察下，越远离中心3的电磁波接收区域31a的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。在此，所谓“适合移动快的被摄体的拍摄”是指，关于高速移动的被摄体的图像的取得，能取得没有模糊的清晰的图像的程度地确保对应的传感器30的性能。换言之，在将对移动快的被摄体的拍摄的适应性以升序排序的情况下，成为构成第1列的各像素311(1，1)～311(M，1)、构成第2列的各像素311(1，2)～311(M，2)、…、构成第N列的各像素311(1，N)～311(M，N)的顺序。
作为提高对移动快的被摄体的拍摄的适应性的方法，关于与多个像素311分别对应的多个摄像机构(未图示)，考虑将下述(1)或(2)的结构运用在传感器30或其外围装置(图像取得部)中。另外，由于下述(1)以及(2)的结构都能用周知的技术实现，因此这里省略对该结构的详细的说明。
(1)提高取得图像时的快门速度。
(2)按照构成第1行的各像素311(1，1)～311(1，N)、构成第2行的各像素311(2，1)～311(2，N)、…、构成第M行的各像素311(M，1)～311(M，N)的顺序取得图像，并且越提高对移动快的被摄体的拍摄的适应性的列，使图像的连续取得张数越多。
根据上述的结构，图像取得部在圆形外形面2b的俯视观察下越远离中心3的电磁波接收区域31a的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。为此，由于能抑制在远离中心3的位置在电磁波接收区域31a取得的图像中所拍到的圆形外形面2b的部分的面积在沿着旋转的方向上变大，因此能抑制上述的问题(A)。
另外，根据上述的结构，能在电磁波接收区域31a抑制构成同一列的各像素311间的取得的图像中所拍到的圆形外形面2b的部分的偏离。由此能抑制上述的问题(B)。
因此，根据上述的结构，能高精度且高速进行对象物1的检查。
也可以进一步在上述(2)的结构中，对从各像素311得到的图像适宜均等地进行间除，使得圆形外形面2b中的特定的位置始终在图像的中央附近拍到。由此能进一步抑制上述的问题(B)。
这里起参考图4～图7来详细说明上述的问题(B)的抑制效果。图4～图7是说明上述的问题(B)的抑制效果的图。在图4中，参考圆形外形面2b的影像(image)以及多个像素312的影像来进行说明。
在各像素312的尺寸充分小的情况下，取得以轴4为中心的圆形的圆周的图像的(这里圆形外形面2b的俯视观察下相互重合的)像素312的个数近似与该圆形的半径成正比。
若将取得半径r的圆形的圆周的图像的像素312的个数设为2πr个，则取得半径nr(其中1＜n)的圆形的圆周的图像的像素312的个数成为2πnr个。
另外，若参考图4，若将由与取得半径r的圆形的圆周的图像的像素312的1个外切的2个半径构成的中心角设为θ，则该1个像素312的尺寸成为rθ。据此，取得半径r的圆形的圆周的图像的像素312的个数成为2πr/rθ＝2π/θ个。在取得半径nr的圆形的圆周的图像的各像素312的尺寸为rθ的情况下，取得半径nr的圆形的圆周的图像的像素312的个数成为2πnr/rθ＝2πn/θ个。
在此如图5所示那样，在取得圆形外形面2b的图像的情况下，越远离中心3的位置则伴随对象物1的旋转的移动速度越快。为此，在花费相互相同时间取得半径r的圆形的圆周上的图像和半径nr的圆形的圆周上的图像的情况下，半径nr的圆形的圆周上每取得1张图像的移动距离变长。为了消除该移动距离的差异，将与取得半径nr的圆形的圆周的图像的各像素312对应的摄像机构的快门时间设为与取得半径r的圆形的圆周的图像的各像素312对应的摄像机构的快门时间的1/n倍是有效的(参考图6以及图7)。快门时间为1/n倍，换言之快门速度为n倍。在传感器30是TDI传感器的情况下，对取得半径r的圆形的圆周的图像的各像素312累计2π/θ个数据，另一方面，对取得半径nr的圆形的圆周的图像的各像素312累计2πn/θ个数据即可。
图8是表示电磁波接收区域31a的变形例的结构的图，表示圆形外形面2b的俯视观察。在该变形例中，电磁波接收区域31a的一部分是相对于图3的(a)所示的配置沿着伴随对象物1的旋转的圆形外形面2b的移动方向移位的配置。换言之，在该变形例中，电磁波接收区域31a的多个像素311的至少1个配置在与其他像素311分离开的位置。
〔实施方式2〕
图9是表示本实施方式所涉及的电磁波接收区域31c的结构的图，表示圆形外形面2b的俯视观察。在图9中，为了使图示简洁而省略圆形外形面2b、中心3以及电磁波接收区域31c以外的结构的图示。
电磁波接收区域31c被分割成多个(图9中8个)小区域31ca～小区域31ch。小区域31ca～小区域31ch各自具有与电磁波接收区域31a(参考图3的(a)以及(b))同等的结构。并且小区域31ca～小区域31ch配置成与圆形外形面2b的缘5成为同心圆状。
根据上述的结构，由于能在小区域31ca～小区域31ch的每一个接收通过圆形外形面2b中的特定的部分的电磁波21，因此能增加检查所用的数据的种类。
另外，作为电磁波接收区域31而具有多个小区域31ca～小区域31ch的检查装置10优选是以下的结构。即，小区域31ca～小区域31ch各自在相互不同的定时从圆形外形面2b中的同一部分接受电磁波21。然后，该检查装置10通过使小区域31ca～小区域31ch各自接受电磁波21而得到的多个上述同一部分的图像重合，来检查在该同一部分有无附着异物。
根据上述的结构，通过应用TDI传感器的原理来使多个同一部分的图像重合，能提升检查的精度。
〔实施方式3〕
图10是表示本发明的实施方式3所涉及的检查装置10a的概略图。检查装置10a取代电磁波产生源20而具备多个电磁波产生源20a、20b、…，并且取代传感器30而具备传感器30a，这点与检查装置10不同。
传感器30a取代电磁波接收区域31而具有电磁波接收区域31d，这点与传感器30不同。电磁波接收区域31d被分割成多个图像取得单位(例如1像素)31da、31db、…。图像取得单位31da、31db、…分别与电磁波产生源20a、20b、…1对1对应。并且电磁波产生源20a、20b、…各自相对于图像取得单位31da、31db、…当中对应的任一个，配置在与圆形外形面2b大致垂直的方向上。即，电磁波产生源20a、20b、…分别出射电磁波21a、21b、…，电磁波21a、21b、…透过对象物1。图像取得单位31da、31db、…分别接受透过对象物1的电磁波21a、21b、…。
另外，也可以取代检查装置10a的结构而具备比图像取得单位31da、31db、…的个数少的个数的电磁波产生源20a、20b、…。
另外，关于图9所示的小区域31ca～小区域31ch，可以以与图10同样的要领，多个电磁波产生源各自相对于小区域31ca～小区域31ch当中对应的任一个配置在与圆形外形面2b大致垂直的方向上。或者也可以取代该结构而具备比小区域31ca～小区域31ch的个数少的个数的电磁波产生源。
〔附记事项〕
另外，在检查中使用检查装置10并非必须，关于进行与检查装置10的动作同样的动作的检查方法，也包含在本发明的范畴内。
〔总结〕
本发明的一个方案所涉及的检查装置一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，关于被提供用于检查的状态的上述对象物，具备：对上述圆形外形面照射电磁波的至少1个电磁波产生源；和具有接受透过上述对象物的上述电磁波的电磁波接收区域的图像取得部，上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。
另外，本发明的一个方案所涉及的检查方法一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，关于被提供用于检查的状态的上述对象物而包含如下步骤：对上述圆形外形面照射电磁波；和由图像取得部中所含的电磁波接收区域接受透过上述对象物的上述电磁波，上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分则越适合移动快的被摄体的拍摄。
根据上述的结构，在圆形外形面的俯视观察下越是远离构成圆形外形面的外形的圆形的中心的电磁波接收区域的部分则越适合移动快的被摄体的拍摄。由此，由于能抑制在远离圆形的中心的位置、图像取得部取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分的面积在沿着旋转的方向上变大，因此能抑制上述的问题(A)。
另外，根据上述的结构，能在电磁波接收区域抑制构成同一列的各图像取得单位间的取得的图像中所拍到的圆形外形面的部分的偏离。由此能抑制上述的问题(B)。
因此，根据上述的结构，能高精度且高速进行对象物的检查。
另外，在本发明的一个方案所涉及的检查装置中，上述电磁波接收区域被分割成多个小区域，上述多个小区域在上述圆形外形面的俯视观察下配置成与上述圆形外形面的缘成为同心圆状。
另外，在本发明的一个方案所涉及的检查方法中，上述电磁波接收区域被分割成多个小区域，上述多个小区域在上述圆形外形面的俯视观察下配置成与上述圆形外形面的缘成为同心圆状。
根据上述的结构，由于能在每个小区域接收通过圆形外形面中的特定的部分的电磁波，因此能增加检查所用的数据的种类。
另外，在本发明的一个方案所涉及的检查装置中，上述多个小区域各自接受在相互不同的定时通过上述圆形外形面中的同一部分的上述电磁波，上述检查装置通过使上述多个小区域各自接受上述电磁波而得到的多个上述同一部分的图像重合，来检查在该同一部分有无附着异物。
另外，在本发明的一个方案所涉及的检查方法中，上述多个小区域各自接受在相互不同的定时通过上述圆形外形面中的同一部分的上述电磁波，在上述检查方法中通过使上述多个小区域各自接受上述电磁波而得到的多个上述同一部分的图像重合，来检查在该同一部分有无附着异物。
根据上述的结构，通过应用TDI传感器的原理来使多个同一部分的图像重合，能提升检查的精度。
另外，在本发明的一个方案所涉及的检查装置中，上述检查装置具备与上述多个小区域的每一个建立对应的多个电磁波产生源，作为上述至少1个电磁波产生源，上述多个电磁波产生源各自相对于上述多个小区域当中对应的任一个配置在与上述圆形外形面大致垂直的方向上。
另外，在本发明的一个方案所涉及的检查方法中，也可以分别对上述多个小区域从与上述圆形外形面大致垂直的方向产生上述电磁波。
根据上述的结构，能使向各小区域的电磁波的行进方向一致。由此能对应于对象物的厚度等抑制在与各小区域取得的图像之间产生偏离。
另外也可以，在本发明的一个方案所涉及的检查装置中，上述电磁波接收区域由多个图像取得单位构成，上述检查装置具备与上述多个图像取得单位的每一个建立对应的多个电磁波产生源，作为上述至少1个电磁波产生源，上述多个电磁波产生源各自相对于上述多个图像取得单位当中对应的任一个配置在与上述圆形外形面大致垂直的方向上。
另外也可以，在本发明的一个方案所涉及的检查方法中，上述电磁波接收区域由多个图像取得单位构成，分别对上述多个图像取得单位从与上述圆形外形面大致垂直的方向产生上述电磁波。
本发明并不限定于上述的各实施形态，能在权利要求所示的范围内进行种种变更，关于在不同的实施形态分别适宜组合公开的技术的手段而得到的实施形态，也包含在本发明的技术的范围内。

Claims (10)

1.一种检查装置，一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，
上述检查装置的特征在于，
关于被提供用于检查的状态的上述对象物而具备：
对上述圆形外形面照射电磁波的至少1个电磁波产生源；和
具有接受透过上述对象物的上述电磁波的电磁波接收区域的图像取得部，
上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
上述电磁波接收区域被分割成多个小区域，
上述多个小区域在上述圆形外形面的俯视观察下配置成与上述圆形外形面的缘成为同心圆状。
3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，
上述多个小区域各自接受在相互不同的定时通过上述圆形外形面中的同一部分的上述电磁波，
上述检查装置通过使上述多个小区域各自接受上述电磁波而得到的多个上述同一部分的图像重合，来检查在该同一部分有无附着异物。
4.根据权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于，
上述检查装置具备与上述多个小区域的每一个建立对应的多个电磁波产生源，作为上述至少1个电磁波产生源，
上述多个电磁波产生源各自相对于上述多个小区域当中对应的任一个配置在与上述圆形外形面大致垂直的方向上。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，
上述电磁波接收区域由多个图像取得单位构成，
上述检查装置具备与上述多个图像取得单位的每一个建立对应的多个电磁波产生源，作为上述至少1个电磁波产生源，
上述多个电磁波产生源各自相对于上述多个图像取得单位当中对应的任一个配置在与上述圆形外形面大致垂直的方向上。
6.一种检查方法，一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心在与该圆形外形面大致垂直的方向上延伸的线为轴旋转，一边进行检查，
上述检查方法的特征在于，
关于被提供用于检查的状态的上述对象物而包含如下步骤：
对上述圆形外形面照射电磁波；和
由图像取得部中所包含的电磁波接收区域接受透过上述对象物的上述电磁波，
上述图像取得部在上述圆形外形面的俯视观察下越是远离上述圆形的中心的上述电磁波接收区域的部分越适合移动快的被摄体的拍摄。
7.根据权利要求6所述的检查方法，其特征在于，
上述电磁波接收区域被分割成多个小区域，
上述多个小区域在上述圆形外形面的俯视观察下配置成与上述圆形外形面的缘成为同心圆状。
8.根据权利要求7所述的检查方法，其特征在于，
上述多个小区域各自接受在相互不同的定时通过上述圆形外形面中的同一部分的上述电磁波，
在上述检查方法中通过使上述多个小区域各自接受上述电磁波而得到的多个上述同一部分的图像重合，来检查在该同一部分有无附着异物。
9.根据权利要求7或8所述的检查方法，其特征在于，
分别对上述多个小区域从与上述圆形外形面大致垂直的方向产生上述电磁波。
10.根据权利要求6～9中任一项所述的检查方法，其特征在于，
上述电磁波接收区域由多个图像取得单位构成，
分别对上述多个图像取得单位从与上述圆形外形面大致垂直的方向产生上述电磁波。
CN201811034810.3A 2017-09-08 2018-09-05 检查装置以及检查方法 Pending CN109470723A (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-173485 2017-09-08
JP2017173485 2017-09-08
JP2018-158655 2018-08-27
JP2018158655A JP7175675B2 (ja) 2017-09-08 2018-08-27 検査装置および検査方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109470723A true CN109470723A (zh) 2019-03-15

Family

ID=65630914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811034810.3A Pending CN109470723A (zh) 2017-09-08 2018-09-05 检查装置以及检查方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10539517B2 (zh)
CN (1) CN109470723A (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6729801B2 (ja) * 2017-04-26 2020-07-22 株式会社ニコン 検査装置、検査方法および検査対象物の製造方法
JP7175675B2 (ja) * 2017-09-08 2022-11-21 住友化学株式会社 検査装置および検査方法
JP2019175363A (ja) * 2018-03-29 2019-10-10 住友化学株式会社 画像処理装置、異物検査装置、画像処理方法、および異物検査方法
US11703468B2 (en) * 2021-07-01 2023-07-18 Fei Company Method and system for determining sample composition from spectral data

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0166567A3 (en) 1984-06-21 1986-11-26 Picker International, Inc. Imaging system and method
KR100592956B1 (ko) * 2002-06-03 2006-06-23 삼성전자주식회사 방사선 영상 장치 및 초점 조정 방법
JP4916875B2 (ja) * 2006-12-27 2012-04-18 株式会社吉田製作所 多断層像構築方法およびデジタル３次元ｘ線撮影装置
JP5673621B2 (ja) 2012-07-18 2015-02-18 オムロン株式会社 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP6397690B2 (ja) 2014-08-11 2018-09-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ Ｘ線透過検査装置及び異物検出方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20190079030A1 (en) 2019-03-14
US10539517B2 (en) 2020-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109470723A (zh) 检查装置以及检查方法
Kim et al. Event Horizon Telescope imaging of the archetypal blazar 3C 279 at an extreme 20 microarcsecond resolution
Van Weeren et al. The case for electron re-acceleration at galaxy cluster shocks
Fruchter et al. Long γ-ray bursts and core-collapse supernovae have different environments
Kuźmicz et al. Optical and radio properties of extragalactic radio sources with recurrent jet activity
RU2012156197A (ru) Способ неразрушающего контроля и устройство для осуществления способа
Pasham et al. Evidence for a compact object in the aftermath of the extragalactic transient AT2018cow
WO2008013232A1 (en) Spherical aberration correction moderating type lens, spherical aberration correction lens system, electron spectroscopy device, and optical electron microscope
Aleman et al. Herschel Planetary Nebula Survey (HerPlaNS)-First detection of OH+ in planetary nebulae
CN118043648A (zh) 极耳检测方法及检测设备
CN102592933A (zh) 处理和/或分析样品的粒子束装置和方法
JP2022166130A (ja) 画像処理装置、異物検査装置及び画像処理方法
King et al. Discrete knot ejection from the jet in a nearby low-luminosity active galactic nucleus, M81∗
US10852254B2 (en) Foreign object inspection device and foreign object inspection method
Wang et al. Optical system design of artificial compound eye based on field stitching
CN109471181A (zh) 检查装置
CN110333255A (zh) 异物检查装置以及异物检查方法
Mou et al. Asymmetric eROSITA bubbles as the evidence of a circumgalactic medium wind
Zhang et al. Discovery of a radio jet in the Cloverleaf quasar at z= 2.56
JP2019049544A (ja) 検査装置および検査方法
Xu et al. A novel lobster-eye imaging system based on schmidt-type objective for x-ray-backscattering inspection
CN110333254A (zh) 图像处理装置、异物检查装置、图像处理方法以及异物检查方法
CN110333253A (zh) 图像处理装置、异物检查装置、图像处理方法以及异物检查方法
CN101852859B (zh) 一种基于磁镜的光子计数器及探测光子的方法
KR20190028307A (ko) 검사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20190315

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication