JP2019049544A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011255 nonaqueous electrolyte Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
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- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/652—Specific applications or type of materials impurities, foreign matter, trace amounts
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
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- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
図3の(a)および(b)は、本実施の形態に係る電磁波受信領域31aの構成を示す図であり、円形外形面2bの平面視を示している。図3の(a)においては、図示を簡潔にするために、円形外形面2b、中心3、および電磁波受信領域31a以外の構成の図示を省略している。図3の(b)は、図3の(a)に示す電磁波受信領域31aのみの拡大図である。
図9は、本実施の形態に係る電磁波受信領域31cの構成を示す図であり、円形外形面2bの平面視を示している。図9においては、図示を簡潔にするために、円形外形面2b、中心3、および電磁波受信領域31c以外の構成の図示を省略している。
図10は、本発明の実施の形態3に係る検査装置10aを示す概略図である。検査装置10aは、電磁波発生源20の代わりに、複数の電磁波発生源20a、20b、・・・を備えている点、ならびに、センサ30の代わりに、センサ30aを備えている点が、検査装置10と異なっている。
なお、検査において検査装置10を用いることは必須でなく、検査装置10の動作と同様の動作を行う検査方法についても、本発明の範疇に含まれる。
2aおよび2b 円形外形面
3 円形外形面の外形を構成する円形の中心
4 対象物の回転軸
5 円形外形面の縁
10 検査装置
20、20a、20b、・・・ 電磁波発生源
21、21a、21b、・・・ 電磁波
30 センサ
31、31a、31c、および31d 電磁波受信領域
31ca〜31ch 小領域
31da、31db、・・・ 画像取得単位
Claims (10)
- 外形が円形の面である円形外形面を有している対象物を、当該円形の中心を通り当該円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として回転させながら検査する検査装置であって、
検査に供されている状態の上記対象物に関し、
上記円形外形面に対して電磁波を照射する少なくとも1つの電磁波発生源と、
上記対象物を透過した上記電磁波を受ける電磁波受信領域を有している画像取得部とを備えており、
上記画像取得部は、上記円形外形面の平面視において、上記円形の中心から離れた上記電磁波受信領域の部分ほど、移動の速い被写体の撮影に適している検査装置。 - 上記電磁波受信領域は、複数の小領域に分割されており、
上記複数の小領域は、上記円形外形面の平面視において、上記円形外形面の縁と同心円状に配置されている請求項1に記載の検査装置。 - 上記複数の小領域の各々は、互いに異なるタイミングで上記円形外形面における同一部分を通過する上記電磁波を受け、
上記検査装置は、上記複数の小領域の各々が上記電磁波を受けることによって得られた、複数の上記同一部分の画像を重ねあわせることにより、当該同一部分に付着する異物の有無を検査する請求項2に記載の検査装置。 - 上記検査装置は、上記少なくとも1つの電磁波発生源として、上記複数の小領域毎に対応付けられた、複数の電磁波発生源を備えており、
上記複数の電磁波発生源の各々は、上記複数の小領域のうち対応するいずれかに対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されている請求項2または3に記載の検査装置。 - 上記電磁波受信領域は、複数の画像取得単位からなり、
上記検査装置は、上記少なくとも1つの電磁波発生源として、上記複数の画像取得単位毎に対応付けられた、複数の電磁波発生源を備えており、
上記複数の電磁波発生源の各々は、上記複数の画像取得単位のうち対応するいずれかに対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されている請求項1から4のいずれか1項に記載の検査装置。 - 外形が円形の面である円形外形面を有している対象物を、当該円形の中心を通り当該円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として回転させながら検査する検査方法であって、
検査に供されている状態の上記対象物に関し、
上記円形外形面に対して電磁波を照射する工程と、
上記対象物を透過した上記電磁波を、画像取得部に含まれる電磁波受信領域によって受ける工程とを含んでおり、
上記画像取得部は、上記円形外形面の平面視において、上記円形の中心から離れた上記電磁波受信領域の部分ほど、移動の速い被写体の撮影に適している検査方法。 - 上記電磁波受信領域は、複数の小領域に分割されており、
上記複数の小領域は、上記円形外形面の平面視において、上記円形外形面の縁と同心円状に配置されている請求項6に記載の検査方法。 - 上記複数の小領域の各々は、互いに異なるタイミングで上記円形外形面における同一部分を通過する上記電磁波を受け、
上記検査方法にて、上記複数の小領域の各々が上記電磁波を受けることによって得られた、複数の上記同一部分の画像を重ねあわせることにより、当該同一部分に付着する異物の有無を検査する請求項7に記載の検査方法。 - 上記複数の小領域のそれぞれに対して上記円形外形面と略垂直な方向から、上記電磁波を発生させる請求項7または8に記載の検査方法。
- 上記電磁波受信領域は、複数の画像取得単位からなり、
上記複数の画像取得単位のそれぞれに対して上記円形外形面と略垂直な方向から、上記電磁波を発生させる請求項6から9のいずれか1項に記載の検査方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020180104415A KR20190028306A (ko) | 2017-09-08 | 2018-09-03 | 검사 장치 및 검사 방법 |
US16/122,122 US10539517B2 (en) | 2017-09-08 | 2018-09-05 | Checking device and checking method |
CN201811034810.3A CN109470723A (zh) | 2017-09-08 | 2018-09-05 | 检查装置以及检查方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017173485 | 2017-09-08 | ||
JP2017173485 | 2017-09-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019049544A true JP2019049544A (ja) | 2019-03-28 |
JP7175675B2 JP7175675B2 (ja) | 2022-11-21 |
Family
ID=65905519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018158655A Active JP7175675B2 (ja) | 2017-09-08 | 2018-08-27 | 検査装置および検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7175675B2 (ja) |
KR (1) | KR20190028306A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2018
- 2018-08-27 JP JP2018158655A patent/JP7175675B2/ja active Active
- 2018-09-03 KR KR1020180104415A patent/KR20190028306A/ko unknown
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Publication number | Publication date |
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JP7175675B2 (ja) | 2022-11-21 |
KR20190028306A (ko) | 2019-03-18 |
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