CN109471181A - 检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够高精度且高速地进行对象物的检查的检测装置。检测装置具备电磁波接收区域，电磁波接收区域分别具有在圆形外形面的俯视观察下在圆形的直径上并排设置的m个小区域。

Description

检查装置
技术领域
本发明涉及检查装置。
背景技术
锂离子二次电池等非水电解液二次电池广泛用作个人计算机、便携电话、便携信息终端等所使用的电池。尤其是锂离子二次电池与以往的二次电池相比，作为能削减CO2的排出量且有助于节能的电池而受到关注。
以往，非水电解液二次电池用隔膜卷绕于芯部而成的隔膜卷绕体的开发不断进展。并且，研究了对附着于该隔膜卷绕体的异物进行检测的检查。
作为对附着于对象物的异物进行检测的检查的一例，举出专利文献1所公开的技术。在专利文献1所公开的技术中，利用毛细管透镜将从X射线源射出的X射线转换成平行X射线，向作为对象物的试样照射该平行X射线，利用TDI(Time Delay Integration)传感器来接收透过了该试样的平行X射线。在TDI传感器中，例如利用了专利文献2所公开的技术。
然而，作为对附着于具有外形为圆形的面(在隔膜卷绕体的情况下为侧面)的对象物的异物进行检测的检查，考虑下述的检查方法。需要说明的是，以下，将对象物中的外形为圆形的面也称为圆形外形面。
即，将穿过构成圆形外形面的外形的圆形的中心且沿与圆形外形面大致垂直的方向延伸的线作为轴而使对象物旋转。然后，向圆形外形面照射电磁波。然后，利用TDI传感器来接收透过了对象物的该电磁波。然后，对通过TDI传感器接收该电磁波而得到的图像进行解析，来检测附着于对象物的异物。由此，相对于专利文献1所公开的技术而言，能够使异物的检测高效率化，因此，能够实现检查的高速化。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本公开专利公报“日本特开2016-38350号公报(2016年3月22日公开)”
专利文献2：日本公开专利公报“日本特开昭61-22841号公报(1986年1月31日公开)”
通常，构成TDI传感器的多个像素呈矩阵状配置，且各像素处的图像的获取统一被实施。以下，以该通常的情况为例，针对在穿过构成圆形外形面200b(以及圆形外形面200a)的外形的圆形的中心300且沿与圆形外形面200b大致垂直的方向延伸的轴400上放置电磁波产生源2000、且使上述对象物100以该轴为中心旋转而对对象物100进行的检查中所产生的问题，参照图8的(a)～(c)来进行说明。将构成包含俯视观察圆形外形面200b时的距中心300的距离可近似为WA(以下，仅称为距离WA)的点在内的像素列A的各像素设为像素A1～像素Ap，将圆形外形面200b中的、像素A1～像素Ap处的来自电磁波产生源2000的电磁波2100的获取对象区域设为区域EA1～区域EAp。将构成包含距中心300的距离可近似为与距离WA不同的WB的点在内的像素列B的各像素设为像素B1～像素Br，将圆形外形面200b中的、像素B1～像素Br处的电磁波2100的获取对象区域设为区域EB1～区域EBr。需要说明的是，为了方便，在表示像素A1～像素Ap以及像素B1～像素Br中的任意一个的情况下，分别称为像素Am以及像素Bn。同样地，为了方便，在表示区域EA1～区域EAp以及区域EB1～区域EBr中的任意一个的情况下，分别称为区域EAm以及区域EBn。另外，将从中心300接收电磁波2100的像素的部分设为点300′。
当向要移动的对象物100照射电磁波2100时，在不同的时间通过了对象物100的某一特定区域的电磁波2100由不同的像素接收。在TDI传感器中，对在不同的时间通过了同一区域的电磁波2100的信息进行累计而得到解析用图像。
在上述检查中，利用像素A1～像素Ap来接收通过了以轴400为轴进行旋转的对象物100上的某一区域EAm的电磁波2100，对这些信息进行累计而得到解析用图像片APAm。在区域EA1～区域EAp的全部区域实施该操作，将解析用图像片APA1～解析用图像片APAp结合而得到解析用图像APA。
同样地，利用像素B1～像素Br来接收通过了以轴400为轴进行旋转的对象物100上的某一区域EBn的电磁波2100，对这些信息进行累计而得到解析用图像片APBn。在此，在圆形外形面200b的俯视观察下，区域EAm与区域EBn的距中心300的距离不同，因此，接收通过了区域EBn的电磁波2100的像素B1～像素Br的个数与接收通过了区域EAm的电磁波2100的像素A1～像素Ap的个数不同。其结果是，当欲根据像素A1～像素Ap的像素的间隔来累计像素B1～像素Br的接收信息时，会累计到通过了与区域EBn不同的区域Ebo的电磁波2100的信息，因此，所得到的解析用图像片APBn的像变得不鲜明。反之也一样。
即，本发明人发现，在使上述的对象物旋转而进行的检查中，无法在检查区域整个面上同时得到鲜明的图像，因此，产生检查的精度变低这样的问题。
发明内容
本发明的一方案的目的在于，实现能够高精度且高速地进行对象物的检查的检查装置。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题，本发明的一方案的检查装置一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心且沿与该圆形外形面大致垂直的方向延伸的线为轴进行旋转，一边对该对象物进行检查，所述检查装置的特征在于，针对用来检查的状态的所述对象物，将以下的m、n分别设为2以上的自然数，所述检查装置具备：向所述对象物照射通过所述圆形外形面的电磁波的至少一个电磁波产生源；以及接收透过了所述对象物的所述电磁波的n个电磁波接收区域，所述n个电磁波接收区域分别具有m个小区域，m×n个所述小区域分别以满足下述(1)以及(2)中的任一个的方式配置。
(1)在所述n个电磁波接收区域的各自中，在所述圆形外形面的俯视观察下在所述圆形的直径上并排设置。
(2)相对于所述(1)，成为距所述圆形的中心的分开距离彼此相同的n个所述小区域的组中的至少一组以所述线为轴而旋转了的配置。
发明效果
根据本发明的一方案，能够高精度且高速地进行对象物的检查。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1以及实施方式2的检查装置的概要图。
图2是表示使对象物旋转的状态的图，(a)示出圆形外形面的俯视状态，(b)示出横向观察对象物的状态。
图3是表示本发明的实施方式1的n个电磁波接收区域的结构的图，示出圆形外形面的俯视状态。
图4是表示本发明的实施方式2的n个电磁波接收区域的结构的图，示出圆形外形面的俯视状态。
图5示出本发明的实施方式1的使用n个电磁波接收区域进行的检查的具体例，(a)示出圆形外形面上的各图像获取对象区域，(b)示出各图像获取对象区域与各电磁波接收区域的按照经过时间的对应关系。
图6是表示本发明的第一变形例的n个电磁波接收区域的结构的图，示出圆形外形面的俯视状态。
图7是表示本发明的第二变形例的n个电磁波接收区域的结构的图，示出圆形外形面的俯视状态。
图8的(a)～(c)是对现有技术的问题进行说明的图。
附图标记说明
1 对象物
2a，2b 圆形外形面
3 中心
4 轴
10 检查装置
20 电磁波产生源
21 电磁波
30 传感器
31、31a、31aa、31ab、31b 电磁波接收部
321～323 电磁波接收区域
3211～323m 小区域
331～333 直径
具体实施方式
参照图1～图7对用于实施本发明的实施方式进行说明。
图1是表示本发明的实施方式1以及实施方式2的检查装置10的概要图。检查装置10对对象物1进行检查，具体而言，检测附着于对象物1的异物。检查装置10具备电磁波产生源20以及传感器30。
对象物1具有外形为圆形的面即圆形外形面2a以及圆形外形面2b。在图1中，圆形外形面2a位于电磁波产生源20这一侧，圆形外形面2b位于传感器30这一侧。作为对象物1的形状，可举出面包圈状、圆盘状、圆筒状(参照图2的(a))以及圆柱状等。作为对象物1的具体例，可举出将非水电解液二次电池用隔膜卷绕于芯部而成的隔膜卷绕体、以及供非水电解液二次电池用隔膜卷绕的芯部等。
图2是表示使对象物1旋转的状态的图。图2的(a)示出圆形外形面2b的俯视状态。另外，图2的(b)示出横向观察对象物1的状态。具体而言，在图2的(b)中，示出将电磁波产生源20这一侧设为左侧且将传感器30这一侧设为右侧进行观察时的状态。
需要说明的是，在图1～图7中，规定了彼此垂直的三个方向、即X方向、Y方向以及Z方向。X方向表示对象物1的宽度方向，Y方向表示对象物1的高度方向，Z方向表示与X方向以及Y方向的两方垂直且垂直地贯穿圆形外形面2a以及圆形外形面2b的方向。
在对象物1处于供检查装置10进行检查的状态下，对象物1以穿过构成圆形外形面2b的外形的圆形的中心3且沿与圆形外形面2b大致垂直的方向(与Z方向平行的方向)延伸的线为轴4而进行旋转。同样的关系也在对象物1与圆形外形面2a之间成立。旋转的方向是在圆形外形面2b的俯视观察下绕顺时针的方向，也可以是在圆形外形面2b的俯视观察下绕逆时针的方向。
电磁波产生源20向对象物1照射通过圆形外形面2a以及圆形外形面2b的电磁波21。电磁波产生源20相对于中心3配置在与圆形外形面2b大致垂直的方向上。作为电磁波21的一例，可举出X射线。向圆形外形面2a照射电磁波21，电磁波21透过对象物1而从圆形外形面2b射出。
传感器30具有电磁波接收部31。传感器30利用电磁波接收部31接收透过了对象物1的电磁波21，由此，能够获取圆形外形面2a以及圆形外形面2b上的通过了电磁波21的部分的图像。之后叙述电磁波接收部31的具体结构，但也可以设置覆盖电磁波接收部31的至少一个透镜。
在以下的实施方式1以及实施方式2中，分别针对作为电磁波接收部31的具体结构例的电磁波接收部31a以及电磁波接收部31b进行说明。
〔实施方式1〕
图3是表示本发明的实施方式1的电磁波接收部31a(n个电磁波接收区域)的结构的图，示出圆形外形面2b的俯视状态。电磁波接收部31a具有三个电磁波接收区域321～电磁波接收区域323。
电磁波接收区域321具有由小区域3211、小区域3212、…、小区域321(m-1)以及小区域321m构成的m个小区域。而且，小区域3211、小区域3212、…、小区域321(m-1)以及小区域321m在圆形外形面2b的俯视观察下，在构成圆形外形面2b的外形的圆形的直径331上从中心3侧朝向该圆形的缘侧依次并排设置。
电磁波接收区域322具有由小区域3221、小区域3222、…、小区域322(m-1)以及小区域322m构成的m个小区域。而且，小区域3221、小区域3222、…、小区域322(m-1)以及小区域322m在圆形外形面2b的俯视观察下，在构成圆形外形面2b的外形的圆形的直径332上从中心3侧朝向该圆形的缘侧依次并排设置。
电磁波接收区域323具有由小区域3231、小区域3232、…、小区域323(m-1)以及小区域323m构成的m个小区域。而且，小区域3231、小区域3232、…、小区域323(m-1)以及小区域323m在圆形外形面2b的俯视观察下，在构成圆形外形面2b的外形的圆形的直径333上从中心3侧朝向该圆形的缘侧依次并排设置。
即，三个电磁波接收区域321～电磁波接收区域323分别具有在圆形外形面2b的俯视观察下在构成圆形外形面2b的外形的圆形的直径(分别为直径331～直径333)上并排设置的m个小区域。这些小区域分别对应于将电磁波接收部31a在功能上分割成3×m(n×m)个时的一个单位，至少包含一个像素。
根据电磁波接收部31a，分别配置有三个电磁波接收区域321～电磁波接收区域323的m个小区域，以抵消越是远离中心3的位置则圆形外形面2b的(进而对象物1的)旋转速度越快这种情况。由此，能够防止上述的对通过了区域EBn的电磁波21进行接收的小区域(具体例：像素)的个数与上述的对通过了区域EAm的电磁波21进行接收的小区域的个数不同的情况。结果是，能够在检查区域整个面上同时得到鲜明的图像。因此，在上述的使对象物1旋转而进行的检查(高速)中，能够进行高精度的检查。
另外，在电磁波接收区域321中，优选构成为，越是在圆形外形面2b的俯视观察下远离中心3的小区域，即，越是从小区域3211朝向小区域321m，越适于移动快的被拍摄体的拍摄。作为实现该结构的方法的一例，可举出越是从小区域3211朝向小区域321m、越加快用于使所对应的至少一个像素适当地接收电磁波21的快门速度的方法。由此，在圆形外形面2b的俯视观察下远离中心3的小区域中，能够降低因旋转速度快而使从接收到的电磁波21得到的图像模糊的可能性。在电磁波接收区域322以及电磁波接收区域323也是同样的，这样的结构也可以在电磁波接收区域321～电磁波接收区域323中的至少一个区域实现。
〔实施方式2〕
图4是表示本发明的实施方式2的电磁波接收部31b(n个电磁波接收区域)的结构的图，示出圆形外形面2b的俯视状态。
除了以下说明的点之外，电磁波接收部31b是与电磁波接收部31a同样的结构。需要说明的是，以下“圆周方向”是指沿着构成圆形外形面2b(以及圆形外形面2a)的外形的圆形的圆周的方向。
在电磁波接收区域321中，小区域3212的圆周方向的尺寸大于小区域3211的圆周方向的尺寸，…，小区域321m的圆周方向的尺寸大于小区域321(m-1)的圆周方向的尺寸。
在电磁波接收区域322中，小区域3222的圆周方向的尺寸大于小区域3221的圆周方向的尺寸，…，小区域322m的圆周方向的尺寸大于小区域322(m-1)的圆周方向的尺寸。
在电磁波接收区域323中，小区域3232的圆周方向的尺寸大于小区域3231的圆周方向的尺寸，…，小区域323m的圆周方向的尺寸大于小区域323(m-1)的圆周方向的尺寸。
即，关于各个电磁波接收区域321～电磁波接收区域323，m个小区域设计为，越是在圆形外形面2b的俯视观察下远离中心3的小区域，圆周方向的尺寸越大。由此，在圆形外形面2b的俯视观察下远离中心3的小区域中，能够增加接收电磁波21的量，因此，能够降低从接收到的电磁波21得到的图像变暗的可能性。以上的结构也可以在电磁波接收区域321～电磁波接收区域323中的至少一个区域实现。
另外，伴随着以上的结构，电磁波接收部31b大致地成为从以圆形外形面2b的外侧(圆形的缘侧)端部为圆弧的扇形减去以圆形外形面2b的内侧(中心3侧)端部为圆弧的扇形而得到的形状。
(附记事项)
在以上的实施方式1以及实施方式2中，示出电磁波接收区域的个数为三个(即，n＝3)的情况的例子。但是，电磁波接收区域的个数只要为两个以上的话，可以为任意个数。换言之，表示电磁波接收区域的个数的n为2以上的自然数即可。
在以上的实施方式1以及实施方式2中，示出各电磁波接收区域中的小区域的个数至少为四个(即，4≤m)的情况的例子。但是，各电磁波接收区域中的小区域的个数只要为两个以上的话，可以为任意个数。换言之，表示各电磁波接收区域的小区域的个数的m为2以上的自然数即可。
另外，检查装置10优选为以下的结构。即，电磁波接收区域321～电磁波接收区域323分别在彼此不同的时机从圆形外形面2b上的同一部分接收电磁波21。然后，该检查装置10通过对解析用图像进行解析来检测附着于该同一部分的异物，该解析用图像是对通过电磁波接收区域321～电磁波接收区域323分别接收电磁波21所得的三个(n个)上述同一部分的图像进行累计而得到的图像。作为该检查装置10的传感器30的一例，举出TDI传感器。
图5示出使用电磁波接收部31a进行的检查的具体例。图5的(a)示出圆形外形面2b上的作为各图像获取对象区域的区域E1～区域E5。图5的(b)示出区域E1～区域E5的各个区域与电磁波接收区域321～电磁波接收区域323的各个区域的按照经过时间的对应关系。
在时刻t1，电磁波接收区域321获取区域E2的图像，电磁波接收区域322获取区域E1的图像，电磁波接收区域323获取区域E3的图像。
在时刻t1之后的时刻t2，随着对象物1的旋转，电磁波接收区域321获取区域E3的图像，电磁波接收区域322获取区域E2的图像，电磁波接收区域323获取区域E4的图像。
在时刻t2之后的时刻t3，随着对象物1的旋转，电磁波接收区域321获取区域E4的图像，电磁波接收区域322获取区域E3的图像，电磁波接收区域323获取区域E5的图像。
由此，分别在电磁波接收区域321～电磁波接收区域323得到区域E3的图像。然后，检查装置10对在电磁波接收区域321～电磁波接收区域323分别得到的区域E3的图像进行累计，作成解析用的区域E3的图像。这样，该检查装置10能够得到比仅在电磁波接收区域321～电磁波接收区域323中的任一区域得到的区域E3的图像更鲜明的解析用的区域E3的图像。
根据上述结构，通过对多个区域E3的图像进行累计，能够提高针对区域E3的检查精度。关于区域E1、区域E2、区域E4以及区域E5也是同样的。
需要说明的是，在图5中，作为电磁波接收区域321～电磁波接收区域323获取图像的区域(换言之，检查对象区域)，示出区域E1～区域E5。但是，可以获取圆形外形面2b的全部或任意一部分的图像(设为检查对象区域)。
此外，代替电磁波产生源20，检查装置10也可以具备m×n个电磁波产生源，这些m×n个电磁波产生源也可以分别针对n个电磁波接收区域的m个小区域而配置在与圆形外形面2b大致垂直的方向上。即，m×n个电磁波产生源与全部的小区域也可以按照1对1的对应关系配置。另外，代替电磁波产生源20，检查装置10也可以具有小于m×n个的个数的电磁波产生源、以及将从各电磁波产生源产生的电磁波通过反射或折射而向与小区域3211～323m大致垂直的方向引导的机构(未图示)。
在电磁波21相对于某一小区域的入射方向从与圆形外形面2b大致垂直的方向倾斜的情况下，根据对象物1的厚度的不同而有可能在该小区域与电磁波21之间产生偏差。而且，该小区域与电磁波21之间的偏差可能成为区域EB1～区域EBr之间的偏差的主要原因。根据上述结构，能够抑制该小区域与电磁波21之间的偏差，因此，能够降低区域EB1～区域EBr之间产生偏差的可能性。
〔变形例〕
图6是表示电磁波接收部31a的第一变形例的电磁波接收部31aa的结构的图，示出圆形外形面2b的俯视状态。
电磁波接收部31aa在下述点与电磁波接收部31a不同。即，电磁波接收部31aa相对于电磁波接收部31a而言，成为小区域3212、小区域3222以及小区域3232沿着以中心3为中心的圆周C2、换言之以轴4(参照图1)为轴而旋转了的配置。该旋转的角度未特别限定。
图7是表示电磁波接收部31a的第二变形例的电磁波接收部31ab的结构的图，示出圆形外形面2b的俯视状态。
电磁波接收部31ab在下述点与电磁波接收部31a不同。即，电磁波接收部31ab相对于电磁波接收部31a而言，成为小区域3212、小区域3222以及小区域3232沿着以中心3为中心的圆周C2、换言之以轴4为轴而旋转了的配置。此外，电磁波接收部31ab相对于电磁波接收部31a而言，成为小区域321(m-1)、小区域322(m-1)以及小区域323(m-1)沿着以中心3为中心的圆周C(m-1)、换言之以轴4为轴而旋转了的配置。需要说明的是，电磁波接收部31ab中的这些小区域的旋转角度彼此不同，但这些小区域的旋转角度也可以彼此相同。
电磁波接收部31aa以及电磁波接收部31ab相对于电磁波接收部31a而言，均可以说是距中心3的分开距离彼此相同的三个小区域的组中的至少一组以轴4为轴而旋转了的配置。在电磁波接收部31a中，在此所说的“三个小区域的组”是指小区域3211、小区域3221及小区域3231的组、小区域3212、小区域3222及小区域3232的组、…、小区域321(m-1)、小区域322(m-1)及小区域323(m-1)的组、以及小区域321m、小区域322m及小区域323m的组，总计m个组。
〔总结〕
本发明的一方案的检查装置一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心且沿与该圆形外形面大致垂直的方向延伸的线为轴进行旋转，一边对该对象物进行检查，所述检查装置的特征在于，针对用来检查的状态的所述对象物，将以下的m、n分别设为2以上的自然数，所述检查装置具备：向所述对象物照射通过所述圆形外形面的电磁波的至少一个电磁波产生源；以及接收透过了所述对象物的所述电磁波的n个电磁波接收区域，所述n个电磁波接收区域分别具有m个小区域，m×n个所述小区域分别以满足下述(1)以及(2)中的任一个的方式配置。
(1)在所述n个电磁波接收区域的各自中，在所述圆形外形面的俯视观察下在所述圆形的直径上并排设置。
(2)相对于所述(1)，成为距所述圆形的中心的分开距离彼此相同的n个所述小区域的组中的至少一组以所述线为轴而旋转了的配置。
根据上述结构，分别配置有n个电磁波接收区域的m个小区域，以抵消越是远离圆形外形面的中心的位置则圆形外形面的(进而对象物的)旋转速度越快这种情况。由此，能够防止上述的对通过了区域Ebn的电磁波进行接收的像素的个数与上述的对通过了区域EAm的电磁波进行接收的像素的个数不同的情况。结果是，能够在检查区域整个面上同时得到鲜明的图像。因此，在上述的使对象物旋转而进行的检查(高速)中，能够进行高精度的检查。
另外，本发明的一方案的检查装置优选的是，在所述n个电磁波接收区域中的至少一个电磁波接收区域中，所述m个小区域越是在所述圆形外形面的俯视观察下远离所述圆形的中心的小区域，则沿着所述圆形的圆周的方向上的尺寸越大。
根据上述结构，在圆形外形面的俯视观察下远离圆形的中心的小区域，能够增加接收电磁波的量，因此，能够降低从接收到的电磁波得到的图像变暗的可能性。
另外，本发明的一方案的检查装置优选的是，在所述n个电磁波接收区域中的至少一个电磁波接收区域中，所述m个小区域越是在所述圆形外形面的俯视观察下远离所述圆形的中心的小区域，则越适于移动快的被拍摄体的拍摄。
根据上述结构，在圆形外形面的俯视观察下远离圆形的中心的小区域，能够降低因旋转速度快而使从接收到的电磁波得到的图像模糊的可能性。
另外，本发明的一方案的检查装置优选的是，所述检查装置具备m×n个电磁波产生源，所述m×n个电磁波产生源分别相对于所述n个电磁波接收区域的所述m个小区域而配置在与所述圆形外形面大致垂直的方向上。
在电磁波相对于某一小区域的入射方向从与圆形外形面大致垂直的方向倾斜的情况下，根据与圆形外形面大致垂直的方向上的对象物的尺寸(以下，也称为对象物的厚度)的不同，而有可能在该小区域与该电磁波之间产生偏差。而且，该小区域与该电磁波之间的偏差可能成为区域EB1～区域EBr之间的偏差的主要原因。根据上述结构，能够抑制该小区域与该电磁波之间的偏差，因此，能够降低区域EBI～区域EBr之间产生偏差的可能性。
另外，本发明的一方案的检查装置优选的是，所述检查装置具备一个电磁波产生源，所述一个电磁波产生源相对于所述圆形的中心而配置在与所述圆形外形面大致垂直的方向上。
根据上述结构，能够向各小区域均匀地照射电磁波，因此，能够降低从由特定的小区域接收到的电磁波得到的图像变暗的可能性。
另外，本发明的一方案的检查装置优选的是，所述n个电磁波接收区域分别在彼此不同的时机从所述圆形外形面中的同一部分接收所述电磁波，所述检查装置通过对解析用图像进行解析来检测附着于该同一部分的异物，该解析用图像是对通过所述n个电磁波接收区域分别接收所述电磁波所得的n个所述同一部分的图像进行累计而得到的图像。
根据上述结构，通过基于TDI传感器的要领对多个同一部分的图像进行累积，从而能够提高检查的精度。
本发明不局限于上述各实施方式，能够在技术方案所限定的范围内进行各种变更，对不同的实施方式分别公开的技术方案适当组合而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围内。

Claims (6)

1.一种检查装置，其一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心且沿与该圆形外形面大致垂直的方向延伸的线为轴进行旋转，一边对该对象物进行检查，
所述检查装置的特征在于，
针对用来检查的状态的所述对象物，将以下的m、n分别设为2以上的自然数，
所述检查装置具备：
向所述对象物照射通过所述圆形外形面的电磁波的至少一个电磁波产生源；以及
接收透过了所述对象物的所述电磁波的n个电磁波接收区域，所述n个电磁波接收区域分别具有m个小区域，
m×n个所述小区域分别以满足下述(1)以及(2)中的任一个的方式配置，
(1)在所述n个电磁波接收区域的各自中，在所述圆形外形面的俯视观察下在所述圆形的直径上并排设置，
(2)相对于所述(1)，成为距所述圆形的中心的分开距离彼此相同的n个所述小区域的组中的至少一组以所述线为轴而旋转了的配置。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
在所述n个电磁波接收区域中的至少一个电磁波接收区域中，
所述m个小区域越是在所述圆形外形面的俯视观察下远离所述圆形的中心的小区域，则沿着所述圆形的圆周的方向上的尺寸越大。
3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
在所述n个电磁波接收区域中的至少一个电磁波接收区域中，
所述m个小区域越是在所述圆形外形面的俯视观察下远离所述圆形的中心的小区域，则越适于移动快的被拍摄体的拍摄。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，
所述检查装置具备m×n个电磁波产生源，
所述m×n个电磁波产生源分别相对于所述n个电磁波接收区域的所述m个小区域而配置在与所述圆形外形面大致垂直的方向上。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，
所述检查装置具备一个电磁波产生源，
所述一个电磁波产生源相对于所述圆形的中心而配置在与所述圆形外形面大致垂直的方向上。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的检查装置，其中，
所述n个电磁波接收区域分别在彼此不同的时机从所述圆形外形面中的同一部分接收所述电磁波，
所述检查装置通过对解析用图像进行解析来检测附着于该同一部分的异物，该解析用图像是对通过所述n个电磁波接收区域分别接收所述电磁波所得的n个所述同一部分的图像进行累计而得到的图像。
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