JP2015021784A - 二次元画像検出システム - Google Patents
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Abstract
【課題】微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる二次元画像検出システムを提供する。【解決手段】安定した焦点サイズのX線管3を用いて、X線管3の焦点サイズφ[μm]から設定条件を割り出す。焦点サイズφ[μm]およびφ≰b/2から最小撮影サイズb[μm]を設定し、設定された最小撮影サイズb[μm],X線検出器4の画素ピッチd[μm]およびbε/d≧5から、拡大率εを設定する。【選択図】図1
Description
この発明は、二次元アレイ検出器で検出された光または放射線に基づく二次元画像を検出する二次元画像検出システムに係り、特に、微小サイズの被検体を拡大して撮影または透視する微小観察用に供する二次元アレイ検出器の技術に関する。
二次元画像検出システムは非破壊検査装置などに用いられる。非破壊検査装置で使用する被検体としては、実装基板、多層基板のスルーホール/パターン/はんだ接合部、パレット上に配置された集積回路(IC: Integrated Circuit)のような実装前の電子部品、金属などの鋳物、ビデオデッキのような成型品などがある。
近年、デバイスの集積化のためにIC同士を積み上げる三次元実装が本格的に導入される見込みである。しかし、三次元実装の要素部品であるウェハバンプや、シリコンからなる基板に貫通孔を有して当該貫通孔に電極を挿入したシリコン貫通電極(TSV: Through-Silicon Via)に関する非破壊検査技術はまだ確立されておらず、非破壊で良否を判定することができる手段が開発現場や生産現場で求められている。
バンプのような金属の非破壊検査を行うにはX線による透視撮影やX線CTが挙げられる。X線CTの場合には、二次元アレイ検出器で検出されたX線に基づく二次元画像を再構成して三次元画像を作成することができる。したがって、X線CTでは内部の構造を3次元で観察することができ、欠陥の場所を正確に判別することができる。その一方で、再構成に必要な枚数の二次元画像を取得するのに時間がかかり、再構成の演算を行うのにも時間がかかり、合計の検査時間がかかるという欠点もある。
それに対して、X線による透視撮影では欠陥部分の3次元的な形状はわからないが、検査時間がX線CTに比べ格段に短く、多数の製品の検査には有効である。これらの2つの方式で現在共通して用いられている手法が、被検体をX線管(線源)などの発生源に接近させた拡大撮影である(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、数μmレベルの欠陥を見つけるための拡大撮影におけるシステムの構成条件(設定条件)は不明確であるのが現状である。現在、一般的に流通しているマイクロバンプのサイズは20μmであり、このバンプの中に4μm以上のボイド(欠損)の検出が求められている。このようなサイズのバンプやボイドを撮影または透視するX線透視撮影装置は現在開発途上である。また、そのような微細観察を行う上でのX線管の管球の焦点サイズ,ピクセルサイズ(画素サイズ),拡大率の設定条件が不明確である。焦点サイズが小さいほど優れた分解能が得られ、焦点サイズが1μmを切る(1μm未満)ような管球も存在する。しかし、そのような微小焦点サイズの管球は動作が不安定であり、ある程度の焦点サイズ(例えば焦点サイズ≧1μm)の管球でも微細観察が可能なシステムが必要である。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる二次元画像検出システムを提供することを目的とする。
発明者らは、上記の問題を解決するために鋭意研究した結果、次のような知見を得た。
すなわち、微小サイズの被検体を拡大して撮影または透視するには、分解能(画像解像度)が高ければ高いほど良く、例えば微小サイズのバンプやボイドを観察することができるが、実際の分解能はX線源(X線管球など)の性能に依存する。言い換えれば、X線源の焦点サイズが微小でなければ分解能の向上を見込むことができない。そこで、発想を変えて焦点サイズ以外のパラメータに着目してみた。
上述したように焦点サイズは小さければ小さいほど分解能を向上させることができるが、焦点サイズが小さすぎると発生源(X線の場合には線源であるX線管の管球)の動作が不安定となる。そこで、動作が不安定とならない焦点サイズの発生源を用いた場合に、焦点サイズから拡大率などの設定条件を割り出すことに着目してみた。
下記の知見を得るに至った経緯について、図4〜図7を参照して説明する。図4は、X線透視撮影による拡大撮影における画像のボケを表した模式図であり、図5は、拡大率に対するボケの割合の収束を表したグラフであり、図6は、(2)式の条件の限界値である拡大率62.5倍,ピクセル(画素)ピッチ50μmで、焦点サイズを変化させたときの断面プロファイル(シミュレーション)であり、図7は、(4)式の条件の限界値における直径20μmバンプの断面プロファイル(シミュレーション)である。
図4に示すように、被検体Oのサイズをr0とし,(二次元アレイ)検出器上への被検体Oの投影像のサイズをr1とし,焦点サイズをφとし,ボケの大きさをaとし,拡大率をεとし,線源S・被検体O間の距離(SOD: Source Object Distance)をSODとし、線源S・検出器D間の距離(SID: Source Image Distance)をSIDとする。拡大率εは、ε=SID/SODで表され、r1=ε・r0の関係が成立する。また、相似の関係により、a:(SID−SOD)=φ:SODが成立する。よって、ボケの割合a/r1は、下記(1)式のように表される。
a/r1=φ/r0・(1−1/ε)→φ/r0 (ε→∞)
→0 (ε→1) …(1)
a/r1=φ/r0・(1−1/ε)→φ/r0 (ε→∞)
→0 (ε→1) …(1)
上記(1)式から明らかなように、十分大きな拡大率(ε→∞)での撮影画像では、ボケの割合a/r1は焦点サイズ/被検体Oのサイズ(=φ/r0)に収束する。逆に拡大率εを1に近づける(ε→1)ような近接照射(検出器Dを被検体Oに近づけた状態での撮影)ではボケを小さくすることができ、焦点サイズφが大きくでもボケの小さい画像が得られることになる。図5に示すように、拡大率が10倍程度でボケの割合は既に殆ど収束している。逆に、近接照射によるボケの割合における縮小は5倍程度以下の拡大率で顕著になる。
直径20μmバンプ中の直径4μmボイドを検出する上での1つ目の条件として、4μmボイドをバンプ径(バンプの直径)が占めるピクセル数(画素数)は少なくとも5[pixel]以上必要である。画素を一方向に並べたとして、ボイドの中心を5[pixel]の画素における中央画素とする。
画素数が3[pixel]の場合には、中央画素以外には隣接する画素しか存在しない。したがって、隣接する画素の画素値がノイズ等により変動して、その結果、当該隣接する画素をボイドとして認識しない可能性があり、場合によっては中央画素のみしかボイドを判定することができなくなってしまう恐れがある。これに対して、画素数が5[pixel]の場合には、中央画素以外には隣接する画素の他にも、当該隣接する画素にさらに隣接する画素(両端の画素)が存在する。したがって、たとえ両端の画素の画素値がノイズ等により変動して当該両端の画素をボイドとして認識しなかったとしても、ボイドを判定する際には中央画素以外にも隣接する画素をも使用することができる。以上の理由により、ウェハバンプ検査装置に使用されるボイド判定では少なくとも5[pixel]以上の画素数が必要である。
これにより、直径20μmバンプ中の直径4μmボイドを検出する上での1つ目の条件として、画素ピッチをd[μm]とすると、下記(2)式に示す拡大率εおよび画素ピッチdを用いた条件が得られる。
4ε/d≧5 … (2)
4ε/d≧5 … (2)
図6に示すように、上記(2)式の条件の限界値である拡大率62.5倍,ピクセル(画素)ピッチ50μm(すなわち4ε/50≧5→ε≧62.5)で、焦点サイズを変化させたときの断面プロファイル(シミュレーション)を作成する。ボイドの検出(判定)については、閾値を用いて2値化してボイドの領域を決定する方式で行うので、図6に示す断面プロファイルで、ボイドの部分で画素値が山(極値)になっている必要がある。図6から明らかなように焦点サイズが2μmを越えるとボイドの判定が困難になることが予想される。
これにより、焦点サイズについて、下記(3)式に示す条件を定めた。
φ≦2[μm] … (3)
φ≦2[μm] … (3)
次に、近接照射(検出器Dを被検体Oに近づけた状態での撮影)における設定条件を定める。上記(1)式においてφ(1−1/ε)を、拡大率の違いによるボケの変化を含めた有効焦点サイズと捉えることができる。これにより近接照射における焦点サイズφの条件を拡大率εの関数として定めることができる。上記(3)式を有効焦点サイズに拡張すると下記(4)式が得られる。
φ(1−1/ε)≦2[μm]
∴φ≦2[μm]・ε/(ε−1) … (4)
φ(1−1/ε)≦2[μm]
∴φ≦2[μm]・ε/(ε−1) … (4)
図7に示すように、上記(4)式の条件の限界値における直径20μmバンプの断面プロファイル(シミュレーション)を作成する。表1に各条件の対応表を示す。
SID(線源S・検出器D間の距離)を60cmに固定し、SOD(線源S・被検体O間の距離)を変化させて拡大率を変えている。拡大率εは、ε=SID/SODで表されるので、SIDを60cmに固定した場合には、拡大率εおよびSODは、ε=60[cm]/SOD[cm]の関係が成立する。一方、焦点サイズφおよび拡大率εは、上記(4)式の条件の限界値として、φ=2[μm]・ε/(ε−1)の関係が成立する。さらに、拡大率εおよび画素ピッチ(ピクセルピッチ)dは、上記(2)式の条件の限界値として、4ε/d=5の関係が成立する。このように、SIDを60cmに固定してSODを変化させて作成された近接照射のシミュレーションにおける拡大率,焦点サイズおよびピクセルピッチの対応表が表1となる。
図7から、表1のいずれの条件でも断面プロファイルはほぼ一致し、ボイドの両サイドに谷(極値)が残っているので、上記(4)式の条件が正しいことがわかる。また、被検体と検出器とを数mm以内に互いに近づけて近接照射を行うことにより、表1のように、非常に大きな焦点サイズ(拡大率ε=1.005のときに焦点サイズφ=402μm)の管球を用いた撮影でも直径4μmボイドの検出(判定)が可能になることがわかる。
上記(2)式〜(4)式は、直径4μmボイドを検出する設定条件の割り出しである。最小撮影サイズをb[μm]と一般化した場合には、下記(5)式〜(7)式に一般化した設定条件を割り出すことができると考えられる。
すなわち、最小撮影サイズを、4μm→b[μm]と一般化すると、1つ目の条件として上記(2)式は下記(5)式に一般化することができると考えられる。一方、直径4μmボイドを検出する場合に、検出された4μmボイドの半分の2μm以下が焦点サイズとすると、最小撮影サイズb[μm] の半分の2μm以下が焦点サイズと一般化することができると考えられる。その結果、上記(3)式は下記(6)式に一般化することができると考えられる。よって、1つ目の条件として、下記(5)式および(6)式の関係が成立すると考えられる。
bε/d≧5 … (5)
φ≦b/2 … (6)
bε/d≧5 … (5)
φ≦b/2 … (6)
一方、近接照射における設定条件(2つ目の条件)として、上述したように上記(2)式は下記(5)式に一般化することができると考えられる。一方、有効焦点サイズに拡張すると、上記(6)式の右辺にε/(1−ε)の項が乗算されて、結果的に上記(4)式は下記(7)式に一般化することができると考えられる。よって、2つ目の条件として、(5)式および下記(7)式の関係が成立すると考えられる。
bε/d≧5 … (5)
φ≦b/2・ε/(1−ε) … (7)
bε/d≧5 … (5)
φ≦b/2・ε/(1−ε) … (7)
以上のシミュレーションから、上記(5)式〜(7)式に一般化する。すると、1つ目の条件として、上記(5)式および(6)式の関係が成立するように設定条件を割り出すと、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる知見を得た。一方で、2つ目の条件として、上記(5)式および(7)式の関係が成立するように設定条件を割り出すと、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる知見を得た。
このような知見に基づくこの発明は、次のような構成をとる。
すなわち、この発明に係る二次元画像検出システム(前者の発明)は、光または放射線を発生する発生源と、当該光または当該放射線を電荷情報に変換することで光または放射線を検出する検出素子を二次元アレイ状に配列して構成された二次元アレイ検出器とを備え、当該二次元アレイ検出器で検出された光または放射線に基づく二次元画像を検出する二次元画像検出システムであって、最小撮影サイズをb[μm]とし,前記発生源,被検体および前記二次元アレイ検出器の距離によって決定される拡大率をεとし,前記二次元アレイ検出器の画素ピッチをd[μm]とし,前記発生源の焦点サイズをφ[μm]とした場合に、
bε/d≧5
φ≦b/2
の関係が成立するように、前記焦点サイズに基づいて前記最小撮影サイズを設定するとともに、設定された最小撮影サイズに基づいて前記拡大率を設定することことを特徴とするものである。
すなわち、この発明に係る二次元画像検出システム(前者の発明)は、光または放射線を発生する発生源と、当該光または当該放射線を電荷情報に変換することで光または放射線を検出する検出素子を二次元アレイ状に配列して構成された二次元アレイ検出器とを備え、当該二次元アレイ検出器で検出された光または放射線に基づく二次元画像を検出する二次元画像検出システムであって、最小撮影サイズをb[μm]とし,前記発生源,被検体および前記二次元アレイ検出器の距離によって決定される拡大率をεとし,前記二次元アレイ検出器の画素ピッチをd[μm]とし,前記発生源の焦点サイズをφ[μm]とした場合に、
bε/d≧5
φ≦b/2
の関係が成立するように、前記焦点サイズに基づいて前記最小撮影サイズを設定するとともに、設定された最小撮影サイズに基づいて前記拡大率を設定することことを特徴とするものである。
[作用・効果]この発明に係る二次元画像検出システム(前者の発明)によれば、従来の分解能(画像解像度)のパラメータから設定条件を割り出す発想を変えて、安定した焦点サイズの発生源を用いた場合に、発生源の焦点サイズφ[μm]から設定条件を割り出す。焦点サイズφ[μm]およびφ≦b/2(上記(6)式)から最小撮影サイズb[μm]を設定することができ、設定された最小撮影サイズb[μm],二次元アレイ検出器の画素ピッチd[μm]およびbε/d≧5(上記(5)式)から、拡大率εを設定することができる。よって、安定した焦点サイズφ[μm]の発生源を用いた場合において、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。その結果、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる。
また、前者の発明とは別のこの発明に係る二次元画像検出システム(後者の発明)は、光または放射線を発生する発生源と、当該光または当該放射線を電荷情報に変換することで光または放射線を検出する検出素子を二次元アレイ状に配列して構成された二次元アレイ検出器とを備え、当該二次元アレイ検出器で検出された光または放射線に基づく二次元画像を検出する二次元画像検出システムであって、最小撮影サイズをb[μm]とし,前記発生源,被検体および前記二次元アレイ検出器の距離によって決定される拡大率をεとし,前記二次元アレイ検出器の画素ピッチをd[μm]とし,前記発生源の焦点サイズをφ[μm]とした場合に、
bε/d≧5
φ≦b/2・ε/(ε−1)
の関係が成立するように、前記焦点サイズに基づいて前記最小撮影サイズおよび前記拡大率を設定することを特徴とするものである。
bε/d≧5
φ≦b/2・ε/(ε−1)
の関係が成立するように、前記焦点サイズに基づいて前記最小撮影サイズおよび前記拡大率を設定することを特徴とするものである。
[作用・効果]この発明に係る二次元画像検出システム(後者の発明)によれば、前者の発明と同様に、従来の分解能(画像解像度)のパラメータから設定条件を割り出す発想を変えて、安定した焦点サイズの発生源を用いた場合に、発生源の焦点サイズφ[μm]から設定条件を割り出す。後者の発明の場合には、最小撮影サイズb[μm]を設定する際に、拡大率εをも同時に設定する。すなわち、拡大率εの違いによるボケの変化を含めた有効焦点サイズに拡張すると、焦点サイズφ[μm],拡大率εおよびφ≦b/2・ε/(ε−1)(上記(7)式)とともに、最小撮影サイズb[μm],二次元アレイ検出器の画素ピッチd[μm]およびbε/d≧5(上記(5)式)から、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。よって、安定した焦点サイズφ[μm]の発生源を用いた場合において、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。その結果、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる。また、上記(5)式および(7)式から、拡大率εを限りなく“1”に近づけることも可能で、近接照射における設定条件をも割り出すことができる。このように近接照射の設定条件の明確化により、大きな焦点サイズでも必要な分解能が得られる。
これらの発明に係る二次元画像検出システム(前者および後者の発明)において、上述した二次元アレイ検出器の一例は、放射線を電荷情報に直接に変換する直接変換膜を有していることである。後述する間接変換膜を有した二次元アレイ検出器では放射線の反応位置(放射線による発光位置)と蛍光体が光を捕えた位置とでズレが生じる。これに対して、直接変換膜を有した二次元アレイ検出器では、放射線の反応位置から、電子・ホール(正孔)からなる電荷が、電荷情報を収集する収集電極(画素電極)に向かってドリフトするので、間接変換膜を有した二次元アレイ検出器よりも優れた位置分解能を得ることができる。よって、直接変換膜を有した二次元アレイ検出器では、ボケを小さくすることができる。
また、これらの発明に係る二次元画像検出システム(前者および後者の発明)において、上述した二次元アレイ検出器の他の一例は、放射線を光に一旦に変換して、一旦に変換された当該光を電荷情報に変換することで、放射線を電荷情報に間接的に変換する間接変換膜を有していることである。間接変換膜を有した二次元アレイ検出器では、上述した直接変換膜を有した二次元アレイ検出器よりもノイズを低減させることができる。よって、間接変換膜を有した二次元アレイ検出器では、低線量の放射線で高画質の画像を得ることができる。
この発明に係る二次元画像検出システム(前者の発明)によれば、安定した焦点サイズφ[μm]の発生源を用いた場合において、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。その結果、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる。
この発明に係る二次元画像検出システム(後者の発明)によれば、安定した焦点サイズφ[μm]の発生源を用いた場合において、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。その結果、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる。近接照射の設定条件の明確化により、大きな焦点サイズでも必要な分解能が得られる。
この発明に係る二次元画像検出システム(後者の発明)によれば、安定した焦点サイズφ[μm]の発生源を用いた場合において、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。その結果、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる。近接照射の設定条件の明確化により、大きな焦点サイズでも必要な分解能が得られる。
以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。
図1は、実施例に係る二次元画像検出システムの概略構成図およびブロック図であり、図2は、実施例に係るX線検出器の概略断面図であり、図3は、実施例に係るX線検出器の等価回路図である。本実施例では、放射線としてX線を例に採って説明するとともに、発生源としてマイクロフォーカス管のX線管を例に採って説明し、非破壊検査装置に用いられる二次元画像検出システムを例に採って説明する。
図1は、実施例に係る二次元画像検出システムの概略構成図およびブロック図であり、図2は、実施例に係るX線検出器の概略断面図であり、図3は、実施例に係るX線検出器の等価回路図である。本実施例では、放射線としてX線を例に採って説明するとともに、発生源としてマイクロフォーカス管のX線管を例に採って説明し、非破壊検査装置に用いられる二次元画像検出システムを例に採って説明する。
図1に示すように、二次元画像検出システム1は、被検体Oを載置するステージ2と、そのステージ2を間に挟んで互いに対向するように配置されたX線管3およびX線検出器4とを備えている。本実施例では、X線管3は、上述したようにマイクロフォーカス管のX線管で構成されており、コーンビーム状にX線を照射する。X線検出器4の具体的な構成については後述する。X線管3は、この発明における発生源に相当し、X線検出器4は、この発明における二次元アレイ検出器に相当する。
その他に、二次元画像検出システム1は、図1に示すように、ステージ2を3軸(x軸,y軸,z軸)方向に移動させるステージ駆動機構5を備えている。ステージ駆動機構5のモータ(図示省略)を駆動させることで、水平面(xy平面)上にステージ2を移動させ、当該水平面に直交し、X線管3とX線検出器4とを結ぶ鉛直軸(z軸)方向にステージ2を移動させることが可能である。このように移動させることで、観察位置を変更する、あるいは拡大率を変更することができる。
その他に、二次元画像検出システム1は、X線検出器4で検出された複数の二次元画像に基づいて画像処理を行う画像処理部6と、これらを統括制御するコントローラ7と、画像処理部6で画像処理が行われた画像を出力(モニタに表示出力あるいはプリンタに印刷出力)する画像出力部8と、設定条件を割り出す条件割り出し部9とを備えている。
画像処理部6は、複数の二次元画像を積算してフレーム平均を行うことで、ノイズを低減させた二次元画像を取得する。このように取得された二次元画像を出力することで撮影する。もちろん、複数の二次元画像を画像出力部8のモニタ(図示省略)に逐次にリアルタイムに表示出力することで透視を行ってもよいし、複数の二次元画像を再構成して三次元画像を作成するX線CTを行ってもよい。
X線CTの場合には、ステージ2が鉛直軸心周りに回転しながら、X線管3からX線を照射してステージ2に載置された被検体Oを透過したX線をX線検出器4が検出する。X線CTで近接照射を行う場合には、鉛直軸(z軸)方向からラミノ角傾いた斜め方向からX線を照射することでステージ2の大きさの制約を受けることなくX線管3を被検体Oに近接させることができる。その他にも、X線CTの場合には、ステージ2の周りをX線管3およびX線検出器4が回転しながらX線を照射してもよいし、ステージ2の向きを一定に固定した状態でステージ2を円軌道上に移動させつつ、それに同期してX線検出器4が同心円の円軌道上を移動しながらX線を照射してもよい。
画像処理部6やコントローラ7や条件割り出し部9は、中央演算処理装置(CPU)などで構成されている。条件割り出し部9の具体的な機能については後述する。
X線検出器4は、図2に示すように、アクティブマトリックス基板11と、X線を電荷情報に直接に変換する直接変換膜からなるX線感応型の半導体12と、バイアス電圧印加用の共通電極13とを備えている。アクティブマトリックス基板11は、図3に示すように、X線の入射面側に複数の収集電極(「画素電極」とも呼ばれている)41を形成し、各収集電極41で収集される電荷の蓄積・読み出し用電気回路42を配設して構成されている。各収集電極41についてはX線検出有効エリアSA内で2次元状マトリックス配列で設定している。X線感応型の半導体12は、この発明における直接変換膜に相当する。
図3に示すようにアクティブマトリクス基板1は、上述したように収集電極(画素電極)41を形成し、蓄積・読み出し用電気回路42を配設している。蓄積・読み出し用電気回路42は、コンデンサ42Aやスイッチング素子としてのTFT(薄膜電界効果トランジスタ)42Bおよびゲート線42a,データ線42bなどからなり、各収集電極41毎に1個のコンデンサ42Aおよび1個のTFT42Bが対応付けて接続されている。収集電極(画素電極)41,コンデンサ42AおよびTFT42Bは、この発明における検出素子に相当する。
また、アクティブマトリックス基板11の蓄積・読み出し用電気回路42の周囲にはゲートドライバ43と電荷電圧変換型増幅器44とマルチプレクサ45とA/D変換器46とを配設して接続している。これらのゲートドライバ43、電荷電圧変換型増幅器44、マルチプレクサ45、A/D変換器46は、アクティブマトリックス基板11とは別基板で接続されている。なお、ゲートドライバ43、電荷電圧変換型増幅器44、マルチプレクサ45、A/D変換器45の一部または全部を、アクティブマトリックス基板11(図2を参照)に内蔵してもよい。
X線検出器4は、「フラットパネル型X線検出器(FPD)」とも呼ばれている。X線検出器4は、X線を電荷情報に変換することでX線を検出する検出素子(収集電極(画素電極)41,コンデンサ42AおよびTFT42B)を二次元アレイ状に配列して構成されている。
X線検出器4によってX線を検出する際には、バイアス供給電源(図示省略)からバイアス電圧を、バイアス電圧給電用のリード線(図示省略)を介してバイアス電圧印加用の共通電極13に印加する。バイアス電圧を印加した状態で、X線の入射に伴ってX線感応型の半導体12で電荷を生成する。この生成された電荷を収集電極41で一旦収集する。蓄積・読み出し用電気回路42によって、収集された電荷を各収集電極41毎のX線検出信号として取り出す。
具体的には、収集電極41で収集された電荷がコンデンサ42Aに一旦蓄積される。そして、ゲートドライバ43からゲート線42aを介して読み出し信号を各TFT42Bのゲートに順に与える。読み出し信号を与えることで、読み出し信号が与えられたTFT42BがOFFからONに移行する。その移行したTFT42Bのソースに接続されたデータ線42bがマルチプレクサ45によって順に切り換え接続されるのにしたがって、コンデンサ42Aに蓄積された電荷を、TFT42Bからデータ線42bを介して読み出す。読み出された電荷を電荷電圧変換型増幅器44で増幅して、マルチプレクサ45によって各収集電極41毎のX線検出信号としてA/D変換器46に送り出してアナログ値からディジタル値に変換する。
さらに、A/D変換器46でのディジタル値を、画像処理部6(図1を参照)に送り込んで、二次元画像等を出力する。2次元状マトリックス配列の各収集電極41は、二次元画像の各画素に対応する電極にそれぞれ対応している。X線検出信号を取り出すことで、X線検出有効エリアSAに投影されるX線の二次元強度分布に応じた二次元画像を作成することができる。つまり、X線検出器4は、X線検出有効エリアSAに投影されるX線の二次元強度分布を検出することができる二次元アレイ検出器である。
このようにして、本実施例のX線検出器4は、X線を電荷情報に直接に変換する直接変換膜からなるX線感応型の半導体12を有している。間接変換膜を有した二次元アレイ検出器では放射線(本実施例ではX線)では放射線(X線)の反応位置(放射線による発光位置)と蛍光体が光を捕えた位置とでズレが生じる。これに対して、直接変換膜を有した二次元アレイ検出器(X線検出器4)では、放射線(X線)の反応位置から、電子・ホール(正孔)からなる電荷が、電荷情報を収集する収集電極(画素電極)41に向かってドリフトするので、間接変換膜を有した二次元アレイ検出器よりも優れた位置分解能を得ることができる。よって、直接変換膜を有した二次元アレイ検出器(X線検出器4)では、ボケを小さくすることができる。
なお、X線感応型の半導体12は、CdTe,ZnTe,CdZnTe,HgI2,PbI2,PbO,BiI3,TlBr,Se,Si,GaAs,InP、もしくはこれらを含む混合の結晶物で形成されている。半導体として、CdTe,ZnTe,CdZnTe,HgI2,PbI2,PbO,BiI3,TlBr,GaAsを用いたものは、高感度でノイズ耐性の大きな検出器を得ることができる。Seを用いたものは、均一で大面積の検出器を容易に得ることができる。Si,InPを用いたものは、高エネルギー分解能の検出器を得ることができる。
次に、条件割り出し部9の具体的な機能について説明する。二次元画像検出システム1の出荷時あるいは据え付け時に、二次元画像検出システム1に備えられているX線管3の管球の焦点サイズφ[μm]から設定条件を割り出すように条件割り出し部9を設定する。1つ目の条件として、上記(5)式および(6)式から、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εの設定条件を割り出す。撮影あるいは透視する度に、条件割り出し部9から割り出された、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εの設定条件に対応するようにコントローラ7に当該設定条件を送り込み、コントローラ7は、当該設定条件に対応するようにステージ駆動機構5を制御して、ステージ2を移動させる。割り出された拡大率εに合致した位置にまでステージ2を移動させたら、当該位置にて撮影あるいは透視を行う。
上述した1つ目の条件以外にも、近接照射を行う場合には、2つ目の条件として、上記(5)式および(7)式から、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εの設定条件を割り出す。撮影あるいは透視する度に、条件割り出し部9から割り出された、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εの設定条件に対応するようにコントローラ7に当該設定条件を送り込み、コントローラ7は、当該条件に対応するようにステージ駆動機構5を制御して、ステージ2を移動させる。割り出された拡大率εに合致した位置にまでステージ2を移動させたら、当該位置にて撮影あるいは透視を行う。
ここでは、二次元画像検出システム1の出荷時あるいは据え付け時に、X線管3の管球の焦点サイズφ[μm]から設定条件を割り出すように条件割り出し部9を設定したら当該設定条件は不変であるとしたが、これに限定されない。例えば、安定した焦点サイズφ[μm]のX線管3を用いた場合においても、使用の都度、上記(5)式および(6)式から、あるいは上記(5)式および(7)式から、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εの設定条件を再度割り出すようにしてもよい。
上述の二次元画像検出システム1によれば、従来の分解能(画像解像度)のパラメータから設定条件を割り出す発想を変えて、安定した焦点サイズφ[μm]の発生源(本実施例ではX線管3)を用いた場合において、発生源(X線管3)の焦点サイズφ[μm]から設定条件を割り出す。焦点サイズφ[μm]およびφ≦b/2(上記(6)式)から最小撮影サイズb[μm]を設定することができ、設定された最小撮影サイズb[μm],二次元アレイ検出器(本実施例ではX線検出器4)の画素ピッチd[μm]およびbε/d≧5(上記(5)式)から、拡大率εを設定することができる。よって、安定した焦点サイズφ[μm]の発生源(X線管3)を用いた場合において、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。その結果、微小サイズの被検体Oを拡大して安定して撮影または透視することができる。
また、最小撮影サイズb[μm]を設定する際に、拡大率εをも同時に設定してもよい。すなわち、拡大率εの違いによるボケの変化を含めた有効焦点サイズに拡張すると、焦点サイズφ[μm],拡大率εおよびφ≦b/2・ε/(ε−1)(上記(7)式)とともに、最小撮影サイズb[μm],二次元アレイ検出器(X線検出器4)の画素ピッチd[μm]およびbε/d≧5(上記(5)式)から、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。よって、安定した焦点サイズφ[μm]の発生源(X線管3)を用いた場合において、最小撮影サイズb[μm]および拡大率εを設定することができる。その結果、微小サイズの被検体を拡大して安定して撮影または透視することができる。また、上記(5)式および(7)式から、拡大率εを限りなく“1”に近づけることも可能で、近接照射における設定条件をも割り出すことができる。このように近接照射の設定条件の明確化により、大きな焦点サイズでも必要な分解能が得られる。
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
(1)上述した実施例では、放射線はX線であって、X線を検出するX線検出器を例に採って説明したが、X線以外の放射線(α線、β線、γ線)を検出する放射線検出器、あるいは光を検出する光検出器にも適用することができる。
(2)上述した実施例では、放射線(実施例ではX線)を電荷情報に直接に変換する直接変換膜を有した二次元アレイ検出器(実施例ではX線検出器)であったが、放射線を光に一旦に変換して、一旦に変換された当該光を電荷情報に変換することで、放射線を電荷情報に間接的に変換する間接変換膜を有した二次元アレイ検出器に適用してもよい。例えば、イメージインテンシファイア(I.I)あるいは蛍光体(例えばCsIやNaIなど)と、光感応型の半導体あるいはフォトダイオードとを組み合わせた間接変換膜を有した二次元アレイ検出器を使用する。間接変換膜を有した二次元アレイ検出器では、上述した直接変換膜を有した二次元アレイ検出器よりもノイズを低減させることができる。よって、間接変換膜を有した二次元アレイ検出器では、低線量の放射線で高画質の画像を得ることができる。
(3)上述した実施例では、基板(実施例ではアクティブマトリックス基板)上に半導体(実施例ではX線感応型の半導体)を形成し、当該半導体の上に共通電極13を形成した構造の二次元アレイ検出器であったが、放射線や光に対して透過性を有する支持基板(例えば、ガラスやセラミック(Al2O3,AlN)やシリコン)に共通電極を形成し、当該共通電極に半導体を形成した構造と、検出素子などの読み出しパターンを形成した構造の対向基板とを画素毎に電気的に接続した二次元アレイ検出器であってもよい。また、支持基板をグラファイト基板のような導電性材料で形成する場合には、共通電極を省略することができる。
(4)上述した実施例では、微小の焦点サイズ(例えば数μm以下)のX線を出力するマイクロフォーカス管のX線管であったが、必ずしも微小の焦点サイズのX線を出力するX線管に限定されない。上述した表1のように、非常に大きな焦点サイズ(φ=402μm)のX線を出力するX線管に適用することもできる。
以上のように、この発明は、マイクロフォーカス管のX線管を備え、非破壊検査装置に用いられる二次元画像検出システムに適している。
3 … X線管
4 … X線検出器
12 … (X線感応型の)半導体
41 … 収集電極(画素電極)
42A … コンデンサ
42B … TFT(薄膜電界効果トランジスタ)
b … 最小撮影サイズ
ε … 拡大率
d … 画素ピッチ
φ … 焦点サイズ
O … 被検体
4 … X線検出器
12 … (X線感応型の)半導体
41 … 収集電極(画素電極)
42A … コンデンサ
42B … TFT(薄膜電界効果トランジスタ)
b … 最小撮影サイズ
ε … 拡大率
d … 画素ピッチ
φ … 焦点サイズ
O … 被検体
Claims (4)
- 光または放射線を発生する発生源と、
当該光または当該放射線を電荷情報に変換することで光または放射線を検出する検出素子を二次元アレイ状に配列して構成された二次元アレイ検出器と
を備え、当該二次元アレイ検出器で検出された光または放射線に基づく二次元画像を検出する二次元画像検出システムであって、
最小撮影サイズをb[μm]とし,前記発生源,被検体および前記二次元アレイ検出器の距離によって決定される拡大率をεとし,前記二次元アレイ検出器の画素ピッチをd[μm]とし,前記発生源の焦点サイズをφ[μm]とした場合に、
bε/d≧5
φ≦b/2
の関係が成立するように、前記焦点サイズに基づいて前記最小撮影サイズを設定するとともに、設定された最小撮影サイズに基づいて前記拡大率を設定する、二次元画像検出システム。 - 光または放射線を発生する発生源と、
当該光または当該放射線を電荷情報に変換することで光または放射線を検出する検出素子を二次元アレイ状に配列して構成された二次元アレイ検出器と
を備え、当該二次元アレイ検出器で検出された光または放射線に基づく二次元画像を検出する二次元画像検出システムであって、
最小撮影サイズをb[μm]とし,前記発生源,被検体および前記二次元アレイ検出器の距離によって決定される拡大率をεとし,前記二次元アレイ検出器の画素ピッチをd[μm]とし,前記発生源の焦点サイズをφ[μm]とした場合に、
bε/d≧5
φ≦b/2・ε/(ε−1)
の関係が成立するように、前記焦点サイズに基づいて前記最小撮影サイズおよび前記拡大率を設定する、二次元画像検出システム。 - 請求項1または請求項2に記載の二次元画像検出システムにおいて、
前記二次元アレイ検出器は、前記放射線を前記電荷情報に直接に変換する直接変換膜を有している、二次元画像検出システム。 - 請求項1または請求項2に記載の二次元画像検出システムにおいて、
前記二次元アレイ検出器は、前記放射線を光に一旦に変換して、一旦に変換された当該光を前記電荷情報に変換することで、前記放射線を前記電荷情報に間接的に変換する間接変換膜を有している、二次元画像検出システム。
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