JP7098242B2 - 収容容器の製造方法及び収容方法 - Google Patents
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Description
13 収容部
13a 底部
13b 側壁
13c 凹部
13d 上面
15 蓋部
15a 表面
15b 裏面
15c 中央部
15d 外周部
15e 段差部
15f 凸部
21 基板
21a 表面
21b 裏面
21c 第1加工溝
21d 底面
21e 第2加工溝
21f カーフ(切り口)
23 テープ
25 環状フレーム
25a 開口
31 接着剤
2 切削装置
4 保持テーブル(チャックテーブル)
6 切削ユニット
8 スピンドルハウジング
10 第1切削ブレード
12 ブレードカバー
14 接続部
16 ノズル
18 第2切削ブレード
Claims (2)
- 凹部を備える収容部と、
該凹部を塞ぐように該収容部に接合される蓋部と、を備える収容容器の製造方法であって、
基板を切削装置の保持テーブルによって保持する保持工程と、
第1切削ブレードを該基板に切り込ませることにより、第1の方向に沿う複数の第1加工溝と、該第1の方向と交差する第2の方向に沿う複数の第2加工溝とを該基板に形成する加工溝形成工程と、
該第1切削ブレードよりも幅の小さい第2切削ブレードを該第1加工溝の底面及び該第2加工溝の底面に切り込ませることにより、該基板を、中央部と、該中央部よりも厚さが小さく該収容部と接合するための接着剤が接着される外周部とを備える複数の該蓋部に分割する分割工程と、を備え、
該第2切削ブレードに含まれる砥粒の粒径は、該第1切削ブレードに含まれる砥粒の粒径よりも小さいことを特徴とする収容容器の製造方法。 - 請求項1に記載の収容容器の製造方法によって製造された収容容器にデバイスを収容する収容方法であって、
該蓋部の該外周部に該接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
デバイスが配置された該凹部に該中央部が挿入されるように、該収容部と該蓋部とを該接着剤を介して接合する接合工程と、を備えることを特徴とする収容方法。
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