JP7072014B2 - バイオセンサー、および、その形成方法 - Google Patents
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(2)導波路、アパーチャー構造、あるいは、遮蔽層を設置することにより、クロストークを適切に回避できる。
この形態において、バイオセンサーは、同じ波長を有する光線をろ過するフィルターを有する。図9Aは、バイオセンサー上の検体126aの配置を説明する図である。図9Bは、図9Aの線A-A’に沿った断面図である。いくつかの実施形態において、バイオセンサーは、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’、および、有機カラーフィルター110bを有し、同じ波長を有する光線をろ過する。この実施形態において、1つの検体により発射される光線は、光線下の画素に対して、1画素分離れた位置にある画素に到達することができる。つまり、光線下の画素を囲む最も近い8つの画素にも光線は届く。たとえば、図9Aに示されるように、画素1041は、検体126a1により発射される光線下にあり、画素1042~1049は、画素1041から1画素分離れた位置の画素であり、検体126a1により発射される光線は、画素1042~1049に到達する。
この形態において、バイオセンサーは、それぞれ、異なる波長の光線をろ過する二種のフィルターを有する。図10Aは、バイオセンサー300上の検体126aの配置を有する。図10Bは、図10Aの線B-B’に沿った断面図である。いくつかの実施形態において、バイオセンサーは、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’、および、有機カラーフィルター110bを有し、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’は一種の光線をろ過し、有機カラーフィルター110bは別の種類の光線をろ過する。この実施形態において、一検体により照射される光線が光線を囲む最も近い6つの画素に到達することができると仮定する。たとえば、図10Aに示されるように、検体126a1により発射される光線は、画素1041、1045、1046、1047、1048、および、1049に到達する。
この形態において、バイオセンサーは三種のフィルターを有し、異なる波長の光線をそれぞれろ過する。たとえば、図12Cに示されるように、バイオセンサーは、有機カラーフィルター110b、有機カラーフィルター110c、および、有機カラーフィルター110dを有する。あるいは、図12Bに示されるように、バイオセンサーは、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’、および、有機カラーフィルター110bを有する。この形態において、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’が製造されて、一種の光線だけをろ過する。しかし、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’は、本質的に、角感応するので、光線が、大きい入射角で、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’ に進入するとき、スペクトルシフトの現象が発生する。その結果、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’は、実際、二種以上の光線をろ過することができる。図12Aは、バイオセンサー上の検体126aの配置を示す図である。図12Bは、図12Aの線A-A’の断面図である。この実施形態において、一検体により照射される光線は、一画素が、光線下の画素から離れる画素に到達することができると仮定する。つまり、図9Aで記述されるように、その画素を囲む最も近い8個の画素は光線下方にある。
この形態において、バイオセンサーは、四種のフィルターを有し、それぞれ、異なる波長の光線をろ過する。たとえば、図14E~図14Gに示されるように、バイオセンサーは、有機カラーフィルター110b、有機カラーフィルター110c、有機カラーフィルター110d、および、有機カラーフィルター110eを有する。あるいは、図14B~図14Dに示されるように、バイオセンサーは、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’、有機カラーフィルター110b、および、有機カラーフィルター110cを有する。この形態において、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’が製造されて、一種の光線だけをろ過する。しかし、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’は本質的に、角感応するので、光線が、大きい入射角で、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’に進入するとき、スペクトルシフト現象が発生する。その結果、ピクセル化誘電干渉フィルター110a’は、実際に、二種以上の光線をろ過することができる。図14Aは、バイオセンサー上の検体126aの配置を説明する。図14B、図14C、および、図14Dは、それぞれ、図14Aの線A-A’、B-B’、および、C-C’に沿った断面図である。この実施形態において、図9Aで前述されるように、一検体により照射される光線は、一画素が、光線下の画素から離れる画素に到達することができると仮定する。
(1)フィルターはピクセル化されるので、フィルターは、強い接着、および、化学的抵抗、あるいは、機械的抵抗が提供され、よって、有機カラーフィルター間の直接接触により生じる剥離問題を防止することができる。
(2)導波路、アパーチャー構造、あるいは、遮蔽層を設置することにより、クロストークがうまく回避される。
102…基板
104、1042~1049…画素
106…フォトダイオード
108…材料層
108’ …格子壁
110…フィルター材料層
110’ …ピクセル化フィルター
110a…材料層
110a’…ピクセル化誘電干渉フィルター
110b、110c…有機カラーフィルター
112…中間層
114…励起光阻止層
116…固定化層
116’…サブ固定化層
118a…下クラッド層
118b…上クラッド層
120、120’…導波路
122a…下酸化層
122b…上酸化層
124…不透明材料
124’…アパーチャー構造
126、126a、126b…検体
128…励起光
Claims (10)
- 励起光を照射された検体から発射された光線を感知するバイオセンサーであって、
平面視において正方形に区画された領域である画素を複数有する基板と、
前記基板中の前記複数の画素にそれぞれ対応する位置に設置されるとともに、前記検体から発射された光線を感知する複数のフォトダイオードと、
前記基板の前記画素上に設置され、所定の波長を有する光線をフィルターするピクセル化フィルターと、
前記ピクセル化フィルター上に設置され、前記励起光が前記ピクセル化フィルターに照射されるのを阻止する励起光阻止層と、
前記励起光阻止層上に設置され、前記検体を固定する固定化層と、
を有し、
前記ピクセル化フィルターは、有機カラーフィルター及び誘電干渉フィルターを有し、
前記有機カラーフィルターと前記誘電干渉フィルターとは、前記基板の主面に平行な方向に交互に配置されており、
前記有機カラーフィルターは、他の前記有機カラーフィルターと接触しておらず、
前記有機カラーフィルターは、前記誘電干渉フィルターによって囲まれていると共に、前記誘電干渉フィルターに接触していることを特徴とするバイオセンサー。 - 前記誘電干渉フィルターは、バンドパスフィルター、ショートパスフィルター、ロングパスフィルター、あるいは、マルチバンドパスフィルターのうち少なくともいずれか一種のフィルターであることを特徴とする請求項1に記載のバイオセンサー。
- 前記有機カラーフィルターは、それぞれ、前記画素の一つに対応する位置に設置され、
前記誘電干渉フィルターは、それぞれ、前記画素の一つに対応する位置に設置されること、或いは
前記有機カラーフィルターは、それぞれ、前記画素の一つに対応する位置に設置され、
前記誘電干渉フィルターは、それぞれ、前記の画素の二つに対応する位置に設置されることを特徴とする請求項2に記載のバイオセンサー。 - 前記有機カラーフィルターは、前記誘電干渉フィルターにより隔離されることを特徴とする請求項2に記載のバイオセンサー。
- 前記ピクセル化フィルターは有機カラーフィルターであり、
前記ピクセル化フィルターは格子壁により隔離されることを特徴とする請求項1に記載のバイオセンサー。 - 固定化層中に組み込まれるアパーチャー構造を有することを特徴とする請求項1に記載のバイオセンサー。
- 前記固定化層中に組み込まれる導波路を有することを特徴とする請求項1に記載のバイオセンサー。
- 前記固定化層中に組み込まれるアパーチャー構造、および、
前記アパーチャー構造上に設置される導波路、
を有することを特徴とする請求項1に記載のバイオセンサー。 - 前記励起光阻止層は、金属層が組み込まれる誘電干渉フィルターであることを特徴とする請求項1に記載のバイオセンサー。
- 励起光を照射された検体から発射された光線を感知するバイオセンサーの形成方法であって、
平面視において正方形に区画された領域である画素を複数有する基板を提供する工程と、
前記検体から発射された光線を感知する複数のフォトダイオードを前記基板中に形成する工程であり、前記複数のフォトダイオードを前記複数の画素とそれぞれ対応する位置に形成する工程と、
有機カラーフィルター及び誘電干渉フィルターを含み、所定の波長を有する光線をフィルターするピクセル化フィルターを、前記有機カラーフィルターと前記誘電干渉フィルターとが前記基板の主面に平行な方向に交互に配置されると共に、前記有機カラーフィルターが他の前記有機カラーフィルターと接触しないように、前記基板の前記画素上に形成する工程と、
前記励起光が前記ピクセル化フィルターに照射されるのを阻止する励起光阻止層を前記ピクセル化フィルター上に形成する工程と、
前記検体を固定する固定化層を前記励起光阻止層上に形成する工程と、
を有し、
前記有機カラーフィルターは、前記誘電干渉フィルターによって囲まれていると共に、前記誘電干渉フィルターに接触していることを特徴とするバイオセンサーの形成方法。
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