JP7070561B2 - 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバ母材 - Google Patents
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Description
本発明は、アルカリ金属が添加された光ファイバ母材の製造方法および該製造方法により製造された光ファイバ母材に関するものである。
光ファイバ用母材の製造方法の一つとして、従来、ガラス原料を火炎加水分解反応させて生成したガラス微粒子を回転する出発材等に堆積させてゆき(スス付け)、得られた多孔質母材を焼結(透明ガラス化)する方法が行われている。この焼結工程は、He雰囲気中で行われるのが一般的である。これは、ガラス中での溶解度の大きいガス雰囲気中で焼結した場合に容易に透明なガラスが得られるからである。具体的にはArまたはN2雰囲気中では得られた透明ガラス内に残留気泡が生じるが、溶解度の大きいHe雰囲気中では、残留気泡のない透明なガラスを得やすいことが判っている。このため、多孔質母材はHe雰囲気下で焼結するのが一般的である。
上述のように焼結されたガラス部分を含む光ファイバ用母材は、線引き工程において、外径100~200μmの細い光ファイバに紡糸される。この線引き工程で、線引きされた光ファイバに、突発的に外径(ガラス径)が1μm以上変動する現象(以下「スパイク」と記す)が生じることがある。これは、光ファイバ母材内に生じたHeを主成分(99%以上)とする気泡が原因であることが知られている。なお、特許文献1~3には、焼結後の透明なガラス内の残留He濃度を低減するための方法が記載されている。
発明者らは、従来の光ファイバ母材の製造方法について検討した結果、以下のような課題を発見した。すなわち、上記特許文献1~3に記載の従来技術は、焼結後の透明なガラスに対してHeガス以外の雰囲気中あるいは真空中で加熱処理を行うことで、初期He濃度(焼結によるガラス透明化時点の残留He濃度)を調整(母材線引き時のスパイクの発生を抑制)していた。しかしながら、アルカリ金属を含むガラスでは、残留He濃度をより低減させる必要がある。なお、アルカリ金属が添加された光ファイバ母材に関しては、上記特許文献4に、ガラス結晶化による失透を防ぐため、アルカリ金属をガラス内に急激に拡散させることを目的として、1500℃以上に対象ガラスを加熱することが記載されている。
しかしながら、上記特許文献1~4の何れも、Heガスの気泡発生を効果的に抑制するための適切な加熱時間(アニール時間)については言及されていない。特に、この加熱時間は対象ガラスの外径に大きく依存するが、加熱対象となるガラスの大きさに対する適正な加熱時間を設定できないのが現状である。したがって、アルカリ金属を含む光ファイバ母材の製造過程において根拠なく長時間の加熱処理が行われると、該光ファイバ母材の製造時間が全体的に必要以上に長くなる。また、従来技術のような初期He濃度を基準としたHe濃度の調整(不十分なHe濃度の低減)がアルカリ金属を含む光ファイバ母材の製造に適用された場合、スパイク発生を抑制するため、母材線引きに過剰な処理時間が必要になる(スパイク発生を抑制するために線引き速度を低下させる必要がある)。結果、このような状況では、アルカリ金属を含む光ファイバ母材の製造歩留まりの低下の要因となるなどの課題があった。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたものであり、母材線引き時の突発的なスパイク発生を効果的に抑制するための構造を備えた、アルカリ金属を含む光ファイバ母材の製造方法および該製造方法により得られた光ファイバ母材を提供することを目的としている。
上述の課題を解決するため、本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法では、スパイク(母材線引きにより得られる光ファイバに1μm以上の外径変動が突発的に発生する現象)の発生原因となる残留He濃度を調整するため、焼結後かつアルカリ金属添加前の所定外径を有する透明ガラスロッドが、アニール時間と残留He濃度との関係が予め外径ごとに記録された実績データを参照して決定されたアニール時間だけ、Heガスを含まない雰囲気中でアニールされる。また、実績データは、透明ガラスロッドのアニール処理実績として、製造された光ファイバ母材の残留He濃度の実測データとアニール時間が追加される。
上述のように本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法によれば、母材線引き時の突発的なスパイク発生を効果的に抑制することを可能にする光ファイバ母材が得られる。
[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施形態の内容をそれぞれ個別に列挙して説明する。
最初に本願発明の実施形態の内容をそれぞれ個別に列挙して説明する。
(1)本実施形態の一態様は、コア母材と該コア母材の外周に設けられたクラッド部により構成された光ファイバ母材の製造方法に関する。なお、コア母材は、それぞれがシリカガラスを主成分とする1または複数のガラス領域で構成され、長手方向に沿ってアルカリ金属の添加領域が形成された中心ロッドを含む。クラッド部も、それぞれがシリカガラスを主成分とする1または複数のガラス領域で構成されている。この態様において、当該製造方法は、コア母材製造工程と、クラッド部製造工程と、測定工程と、を少なくとも備える。コア母材製造工程は、少なくとも、ロッド製造工程と、添加工程と、拡径工程を含む。ロッド製造工程では、長手方向に沿ってガラス微粒子が堆積された多孔質ロッドに対するCl(塩素)ガスを含む雰囲気中での脱水処理、および、該脱水処理後の多孔質ロッドに対するHe(ヘリウム)ガスを含む雰囲気中での焼結を経て得られる、中心ロッドとなるべき所定外径の透明ガラスロッドが製造される。添加工程では、透明ガラスロッドの長手方向に沿って、該透明ガラスロッド内にアルカリ金属が添加される。拡径工程では、例えば、得られた中心ロッドを利用したロッドインコラップス法等により、添加工程を経て得られた中心ロッド(アルカリ金属の添加領域を含む)の外周に周辺コア部が形成される。なお、クラッド部形成工程では、コア母材製造工程を経て得られたコア母材の外周に1または複数のガラス領域で構成されたクラッド部が形成される。また、測定工程では、クラッド部製造工程を経て得られた光ファイバ母材から切り出されたサンプル母材のうち、上述の中心ロッドに相当する領域内における残留He濃度が測定される。
(2)特に、本実施形態の一態様において、コア母材製造工程は、ロッド製造工程と添加工程との間において実施されるアニール時間決定工程と、第1アニール処理工程を備える。アニール時間決定工程では、透明ガラスロッドの特定外径に依存する、アニール時間と残留He濃度との関係を示すHe濃度-時間テーブルを含む実績データを参照して、該透明ガラスロッドに対するアニール処理の時間が決定される。第1アニール処理工程では、少なくとも決定されたアニール時間、N2(窒素)ガス、Ar(アルゴン)ガス等の、Heガスを含まない雰囲気中で透明ガラスロッドがアニールされる。一方、測定工程は、サンプル母材における中心領域(中心ロッドに相当する領域)の残留He濃度の測定の他、実績データの更新作業を行う。具体的に測定工程では、第1アニール処理工程においてアニール対象となった透明ガラスロッドに関する外径ごとの処理実績として、アニール時間決定工程により決定されたアニール時間と、測定された残留He濃度を追加していくことにより、実績データが更新される。
(3)本実施形態の一態様として、当該製造方法は、クラッド部製造工程と測定工程の間において、クラッド部製造工程を経て得られた光ファイバ母材を、Heガスを含まない雰囲気中で所定時間だけアニールする第2アニール処理工程を更に備えてもよい。この場合、第2アニール処理工程におけるアニール時間は固定されていてもよい。また、第1アニール処理工程におけるアニール時間は、第2アニール処理工程におけるアニール時間よりも長いのが好ましい。
(4)本実施形態に係る光ファイバ母材は、上述の種々の態様に係る光ファイバ母材の製造方法により得られる。具体的に、その一態様として、当該光ファイバ母材は、中心ロッドにおける残留He濃度の最大値が、0.15[重量ppm]以下に調節されているのが好ましい。通常、ガラス中にアルカリ金属が含まれている光ファイバ用母材は、加熱によりガラス結晶化(アルカリ金属を含むガラス領域の結晶化)が起こり易くなる。特に、微小な結晶核があると、それを起点に気泡が発生し易い。従来は、初期He濃度(焼結によるガラス透明化時点の残留He濃度)に対する変化量調整により十分スパイクを抑制できたが、アルカリ金属を含むガラスでは、残留He濃度をより低減させる必要がある。すなわち、初期He濃度を基準としたHe濃度の調整では、スパイク発生を抑制するため、母材線引きに過剰な処理時間が必要になる(スパイク発生を抑制するために線引き速度を低下させる必要がある)。そこで、本実施形態では、アルカリ金属が添加されるべき母材中心部分における残留He濃度の絶対量を、予めアルカリ金属の添加前に、適正範囲内に調整することで、適正な処理時間でかつ安定な母材線引きが実現可能になる。
(5)更に、本実施形態の一態様として、中心ロッドにおけるCl濃度の最大値が、1000ppm以下に調整されているのが好ましい。Cl濃度が高いとアルカリ金属を含むガラス領域の結晶化が促進され、母材線引き時におけるスパイク発生が起き易くなる。スパイクの発生抑制にはCl濃度が低く、かつ、残留He濃度が所定値以下であることが好ましい。アルカリ金属を含むガラス領域の結晶化は、アニール時間を長くすると特に顕著となる。したがって、本実施形態によれば、残留He濃度とともにCl濃度を低く調整することにより、アルカリ金属を含む母材中心部分の結晶化が効果的に抑制される。
以上、この[本願発明の実施形態の説明]の欄に列挙された各態様は、残りの全ての態様のそれぞれに対して、または、これら残りの態様の全ての組み合わせに対して適用可能である。
[本願発明の実施形態の詳細]
本願発明に係る光ファイバ母材の製造方法および光ファイバ母材の具体例を、以下に添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、これら例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図されている。また、図面の説明において同一の要素には同一符号を付して重複する説明を省略する。
本願発明に係る光ファイバ母材の製造方法および光ファイバ母材の具体例を、以下に添付の図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、これら例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図されている。また、図面の説明において同一の要素には同一符号を付して重複する説明を省略する。
本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法により製造される光ファイバ母材は、図1に示されたフローチャートに従って製造され、コア母材と該コア母材の外周に設けられたクラッド部により構成される。コア母材は、それぞれがシリカガラスを主成分とする1または複数のガラス領域で構成され、長手方向に沿ってアルカリ金属の添加領域が形成された中心ロッドを含む。クラッド部も、それぞれがシリカガラスを主成分とする1または複数のガラス領域で構成されている。なお、コア母材は、光ファイバ母材を線引きすることにより得られる光ファイバのコアに相当する部分であり、クラッド部は、該光ファイバのクラッド(コアよりも低い屈折率を有する)に相当する部分である。また、図1は、本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法を説明するためのフローチャートである。
図1に示されたように、本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法は、コア母材製造工程と、クラッド部製造工程と、測定工程と、を少なくとも備える。また、コア母材製造工程は、少なくとも、ロッド製造工程と、添加工程と、拡径工程を含む。ロッド製造工程では、まず、長手方向に沿ってガラス微粒子が堆積された多孔質ロッド(スス体)が製造される(ステップST10:スス付け工程)。なお、ステップST10のスス付け工程では、図2に示されたように、VAD(Vapor-phase Axial Deposition)法またはOVD(Outside Vapor Deposition)法により多孔質ロッドが製造される。続いて、図3に示された加熱装置内において、得られた多孔質ロッドに対するClガスを含む雰囲気中での脱水処理、および、該脱水処理後の多孔質ロッドに対するHeガスを含む雰囲気中での焼結が順次実行される(ステップST20:脱水・焼結工程)。このように、ステップST20の脱水・焼結工程を経て外径Rの透明ガラスロッドが得られる。
製造された外径Rの透明ガラスロッドは、一旦、図4に示された加熱装置内に設置され、添加工程前に、アニール時間決定工程(ステップST30)および第1アニール処理工程(ステップST40)が該透明ガラスロッドに対して行われる。ステップST30のアニール時間決定工程は、上述の製造過程で透明ガラスロッド内に残留するHeの濃度を調整するための工程であって、最終的に得られる光ファイバ母材の線引き時に突発的に発生するスパイク(線引きされた光ファイバに突発的に発生する1μm以上の外径変動)の原因となるHeガスに起因した気泡の発生を抑制するために行われる。このアニール時間決定工程では、透明ガラスロッドの外径ごとに用意された、アニール時間と残留He濃度との関係が格納された実績データ700を用いて、該透明ガラスロッドに対するアニール処理の時間が決定される(ステップST30)。なお、実績データ700には、特定外径の中心ロッドに依存するアニール時間と残留He濃度との関係を示すHe濃度-時間テーブル(理論値)が含まれる。また、他の外径に依存するアニール時間と残留He濃度の関係(理論値)は、既知のテーブルデータ(理論値)から算出可能である。第1アニール処理工程では、決定されたアニール時間だけ、Heガスを含まない雰囲気中、例えばN2ガス雰囲気中で透明ガラスロッドがアニールされる(ステップST40)。このアニール処理により、透明ガラスロッド内に残留するHeおよびClそれぞれの濃度は低減される。なお、この第1アニール処理工程は、Arガス等の雰囲気中で行われてもよい。
次に、アニールされた透明ガラスロッドには、添加工程が施される。添加工程では、アニール後の透明ガラスロッドを延伸した後、長手方向に沿って延びた穴が該透明ガラスロッドの中心領域に形成される(ステップST50)。続いて、図5に示されたように、透明ガラスロッドに形成された穴の内周面に、CVD(Chemical Vapor Deposition)法により、例えばK(カリウム)などのアルカリ金属が添加される(ステップST60)。その後、ロッドインコラップス法(ステップST70)によりコア母材が得られる。なお、ステップST70のロッドインコラップス法では、図6に示されたように、ステップST60後の透明ガラスロッドがコラップスされることにより、中心ロッドが得られる(ステップST71)。更に、中心ロッドの外周には、所望の外径を有するコア母材を得るため、周辺コア部がロッドインコラップス法により設けられる(ステップST72)。なお、ロッドインコラップス法には、ガラスロッドと該ガラスロッドが挿入されたガラスチューブを一体化させた後、所望の外径になるまで一体化されたガラス体を延伸する工程も含まれる。また、中心ロッドの外周に設けられる周辺コア部は、複数層で構成されてもよく、ステップST70のロッドインコラップス法が複数回行われることで(ステップST80:拡径処理)、所望外径のコア母材が得られる(ステップST73)。
以上のように、コア母材製造工程は、ステップST10~ステップST80により構成されており、このコア母材製造工程により得られたコア母材の外周に、F(フッ素)が添加されたクラッド部が形成される(ステップST90:クラッド部製造工程)。ステップ90のクラッド部製造工程は、図2に示されたように、OVD法によりコア母材の外周にFを添加しながらガラス微粒子を堆積させることにより多孔質ロッドを製造する。その後、図3に示された加熱装置内で脱水および焼結が行われるとともに、所望外径の光ファイバ母材を得るため、得られた焼結体に対して延伸処理が施される。なお、ステップST90のクラッド部製造工程において製造されるクラッド部は、屈折率の異なる複数層で構成されてもよい。
ステップST90のクラッド部製造工程の後には、クラッド部における残留He濃度を調整するため、第2アニール処理が行われ(ステップST100)、光ファイバ母材が得られる。なお、この第2アニール処理は、母材外径に関わらず一定の条件下(例えば、アニール時間:5時間、アニール温度:1050℃)で行われればよい。なお、アニール温度の下限値は900℃~1000℃の範囲に設定され、アニール温度の上限値は1000℃~1100℃の範囲に設定されるのが好ましい。上述のように、アルカリ金属を含む光ファイバ母材、特に、アルカリ金属の添加領域近傍のガラス領域ではガラス結晶化が起こり易く、この微小結晶核を起点としてHeガスの気泡が発生する可能性が高くなる。そのため、第1アニール処理では、アルカリ金属添加前の透明ガラスロッドに対して十分なアニールを行うことで残留するHeおよびClの濃度を低減する必要がある。そのため、第1アニール処理におけるアニール時間は、第2アニール処理におけるアニール時間よりも長く設定される。
更に、本実施形態では、アニール時間決定工程(ステップST30)および第1アニール処理工程(ステップST40)を含む、ステップST10~ステップST80で構成されるコア母材製造工程、ステップST90のクラッド部製造工程、および、ステップST100の第2アニール処理工程を経て得られた光ファイバ母材に対して、残留He濃度の測定および実績データの更新(テーブル作成)が行われる(ステップST110)。すなわち、図7に示されたように、ステップST110の測定工程では、まず、得られた光ファイバ母材からから輪切り状に切り出されたサンプル母材のうち、上述の中心ロッドに相当する領域内における残留He濃度が測定される。残留Heは、高周波加熱型昇温脱離法にて定量する。この方法で残留Heを定量する場合、定量したい領域の試料の重量を用いるため、サンプル母材からアルカリ金属の添加領域(中心ロッド)以外の不必要な領域を割断や研磨などの前処理で除去することで、中心ロッドの残留Heの定量を可能とした。本法で中心ロッドに相当する領域の残留Heを調査した結果、スパイク抑制には、He濃度の最大値は0.15[重量ppm]以下であるのが好ましく、更にガラス結晶化を抑制するためには、Cl濃度が1000ppm以下であるのがより好ましい。また、この測定工程では、サンプル母材における中心領域(中心ロッドに相当する領域)の残留He濃度の測定の他、実績データの更新作業、すなわち、第1アニール処理工程(ステップST40)においてアニール対象となった透明ガラスロッドに関する処理実績として、アニール時間決定工程により決定されたアニール時間と、測定された残留He濃度を追加していくことにより、実績データが更新される。
以下、上述の各ステップの動作を、図2~図10を用いて詳細に説明する。
図2は、上述のスス付け工程(コア母材製造工程におけるステップST10およびステップST90のクラッド部製造工程)を説明するための図である。なお、図2に示されたように、スス付け工程には、少なくとも、タイプAのVAD(Vapor-phase Axial Deposition)法と、タイプBのOVD(Outside Vapor Deposition)法がある。
具体的に、VAD法によるスス付け工程(タイプA)では、所定のスス付け装置により多孔質体220が形成される。このスス付け装置は、少なくとも排気口を備えた容器と、多孔質体220を支持するための支持機構を備えている。すなわち、支持機構には矢印S1で示された方向に回転可能な支持棒が設けられており、この支持棒の先端には多孔質体220(スス体)を成長させるための出発棒210が取り付けられている。更に、VAD法によるスス付け工程では、多孔質体220(スス体)を堆積させるためのバーナー230が設けられており、ガス供給システムからはバーナー230に対して所望の材料ガス(例えばGeCl4、SiCl4等)、燃焼ガス(H2及びO2)、及びArやHe等のキャリアガスが供給される。なお、材料ガスは、屈折率調整用の添加物を含んでもよい。
多孔質体220の製造中、バーナー230の火炎中では、ガス供給システムから供給された材料ガスの加水分解反応によりガラス微粒子が生成され、これらガラス微粒子が出発棒210の下側表面に堆積していく。この間、支持機構は、出発棒210を矢印S1で示された方向に回転させながら、矢印S2で示された方向に沿って出発棒210を引き上げる動作を行っている。この動作により、多孔質体220が出発棒210の下側表面に、該出発棒210の下方に向かって成長していき、最終的に中心ロッドとなるべき多孔質ロッド310(図3)が得られる。
OVD法によるスス付け工程(タイプB)では、このスス付け装置も、少なくとも排気口を備えた容器と、心棒240およびその外周に堆積される多孔質体を支持するための支持機構を備えている。すなわち、支持機構は、心棒240を矢印S1で示された方向に回転可能である、多孔質体を該心棒240の外周に堆積させながら、矢印S2で示された方向に心棒240を往復移動させることにより、心棒240の外周に多孔質体が得られる。なお、ステップST90のクラッド部製造工程では、心棒240として、コア母材製造工程により製造されたコア母材110が利用される。また、このOVD法によるスス付け工程を実行する装置には、心棒240の外周に多孔質体を堆積させるためのバーナー230が設けられており、ガス供給システムからはバーナー230に対して屈折率調整用の添加物を含む所望の材料ガス(例えばGeCl4、SiCl4等)、燃焼ガス(H2及びO2)、及びArやHe等のキャリアガスが供給される。
図3は、コア母材製造工程における脱水・焼結工程(ステップST20)およびクラッド製造工程(ステップST90)における脱水・焼結工程を説明するための図である。図3の装置は、図2に示されたスス付け装置により得られた多孔質ロッド310を内部に設置した状態で、脱水処理および焼結処理(透明ガラス化)を行う。なお、図3の装置は、ヒーター300を備えた加熱容器350を有する。加熱容器350にはガス導入口350Aとガス排気口350Bが設けられている。また、加熱容器350の上部には支持機構が設けられており、該支持機構は、多孔質ロッド310を支持した状態で、矢印S3で示された方向に該多孔質ロッド310を回転させるとともに、多孔質ロッド310を矢印S4で示された方向に移動させることにより、ヒーター300に対する該多孔質ロッド310の相対位置を変えていく。
ステップST20の脱水処理では、まず、支持機構が、多孔質ロッド310を矢印S3で示された方向に回転させながら、矢印S4で示された方向に移動させることにより、該多孔質ロッド310がヒーター300により加熱される。その間、ガス導入口350AからHeガスおよびClガスが加熱容器350内に導入され、これら導入されたガスがガス排気口350Bから排出される。この工程を経て、多孔質ロッド310内のOH基が除去される。
引き続き、ステップST20の焼結工程でも、支持機構が、脱水処理後の多孔質ロッド310を矢印S3で示された方向に回転させながら、矢印S4で示された方向に移動させることにより、該多孔質ロッド310がヒーター300により加熱される。多孔質ロッド310の加熱温度は1500℃程度であり、その間、ガス導入口350AからHeガスのみが加熱容器350内に導入され、導入されたHeガスがガス排気口350Bから排出される。この工程を経て、透明ガラスロッド320Aが得られる。
上述のように焼結工程を経て得られた外径Rの透明ガラスロッド320Aは、アルカリ金属が添加される前に、図4に示されたアニール装置によりアニールされる(ステップST40:第1アニール処理)。図4のアニール装置は、ヒーター410を備えた加熱容器400を有する。加熱容器400には、N2ガス(Heガスを含まない雰囲気)のみを供給するためのガス導入口400Aと、N2ガスを排気するための排気口400Bを有する。更に、加熱容器400内には温度計420が設置されており、温度制御部430がヒーター410の加熱温度を制御することにより、加熱容器400内の温度(1050℃に設定)が管理されている。なお、温度制御部430による第1アニール処理は、ステップST30において実績データ700を参照して決定されたアニール時間だけ行われる。
ステップST40の第1アニール処理後に行われる添加工程では、第1アニール処理後の透明ガラスロッドに対して所定外径になるよう延伸処理が行われる。続いて、延伸された透明ガラスロッドの中心領域に、該透明ガラスロッドの長手方向に沿って穴が形成される。図5には、このように穴510が形成された透明ガラスロッド500にアルカリ金属をCVD法により添加する添加工程が示されている。
具体的に、ステップST60のアルカリ金属添加では、アルカリ金属としてカリウム(K)が透明ガラスロッド500に設けられた穴510の内表面に添加される。原料としては臭化カリウム(KBr)が用いられる(外部熱源でKBrを加熱してKBr蒸気を発生させる)。酸素をキャリアガスとしてKBr蒸気を透明ガラスロッド500の穴510内に導入しながら、透明ガラスロッド500をバーナー(酸水素バーナー)520によって外側から加熱する。バーナー520による加熱中、透明ガラスロッド500は矢印S5で示された方向に回転させられ、また、バーナー520が矢印S6で示された方向に沿って複数回移動する。これにより、K元素を透明ガラスロッド500に形成された穴510の内表面に拡散添加させる。
ステップST70のロッドインコラップスは、図6に示されたように、透明ガラスロッド500の中実化(ステップST71)、中実化された透明ガラスロッド(中心ロッド600)への周辺コア部の形成(ステップST72)、および、延伸処理(ステップST73)で構成されている。すなわち、ステップST60のアルカリ金属添加が行われた透明ガラスロッド500は、ステップST71において中実化され、中心ロッド600が得られる。
更に、図6のステップST72では、ステップST71により得られた中心ロッド600が、周辺コア部となるべきガラスチューブ620に形成された挿入孔625に、矢印S8で示された方向に沿って挿入される。このような挿入状態で、中心ロッド600とガラスチューブ620が、加熱により一体化される。なお、このステップST72のロッドインコラップス法は複数回行われてもよい。さらに、図6のステップST73において、一体化されたロッドを延伸することにより、所望の外径を有するコア母材110が得られる。なお、コア母材110は、中心コア部111と周辺コア部112により構成され、該中心コア部111が上述の中心ロッド600に相当する領域である。
上述のように製造されたコア母材110の外周にクラッド部を設けるクラッド部製造工程(ステップST90)では、まず、コア母材110の外周に、図2に示されたタイプBのOVD法により多孔質体(スス体)が堆積される。続いて、得られた多孔質体に対して、図3の装置により脱水処理、焼結処理(ガラス透明化)、および、延伸処理が行われ、所定外径を有する光ファイバ母材が得られる。
得られた光ファイバ母材には、第2アニール処理が行われる(ステップST100)。この第2アニール処理も、図4に示されたアニール装置により行われるが、アニール時間は、光ファイバ母材の外径の大小には関係なく一定時間(例えば5時間)でよい。また、アニール温度は1050℃程度である。したがって、第2アニール処理のアニール時間は、第1アニール処理(ステップST60)のアニール時間よりも短くてよい。
図7には、上述の第2アニール処理が行われた光ファイバ母材100が示されている。なお、図7に示されたように、第2アニール処理後の光ファイバ母材100は、コア母材110と、その外周に設けられたクラッド部120を備える。更に、コア母材110は、アルカリ金属が添加された中心コア部111(図6の中心ロッド600に相当)と、周辺コア部112を備える。ステップST110の測定工程では、図7に示されたように、光ファイバ母材100の一部100Aが、サンプル母材として、該光ファイバ母材100から切り取られる。続いて、この切り取られたサンプル母材100Aの中心ロッドに相当する領域(中心コア部111)における残留He濃度が測定される。また、測定された残留He濃度は、ステップST30で決定された、第1アニール処理のためのアニール時間とともに、実績データ700に追加される。
図8には、上述のように製造された光ファイバ母材100の屈折率分布の一例が示されている。図8に示された屈折率分布150の例では、コア部(コア母材)110には、屈折率調整用の不純物は添加されていないが、クラッド部120にはFが添加されており、コア部110の屈折率よりもクラッド部の屈折率が低く設定されている。
また、ステップST30のアニール時間決定工程において利用される実績データ700は、例えば、図9に示されたように、中心ロッド(中心コア部111に相当)の外径ごとにアニール時間とアニール処理後の残留He濃度の関係が記録されている。また、この実績データ700は、光ファイバ母材100が製造されるごと、すなわち、ステップST110の測定工程が行われるごとに、ステップST30で決定されたアニール時間と残留He濃度の実測値が追加され、随時更新される。なお、図9には、アニール時間ごとに残留He濃度の理論値(中心ロッドの外径R=30mmに依存するHe濃度-時間テーブル)と実測値が示されており、図10は、図9に示された実績データ700のうち、外径R=30mmの中心ロッドのHe濃度-時間テーブル(理論値)をプロットした図である。また、図10において、横軸の熱処理時間はアニール時間を意味し、縦軸のHe濃度は残留He濃度を意味している。
なお、図9の実績データ700には外径Rが30mmの中心ロッドに関するアニール時間と残留He濃度の関係が示されているが、アニール時間と中心ロッドの外径との関係は、基準外径Rを有する中心ロッドのアニール時間と残留He濃度との既知の関係(図9に示された外径30mmに依存するHe濃度-時間テーブル)から、外径RT(mm)の中心ロッドに対するアニール時間が決定される。すなわち、残留He濃度C[重量ppm]とアニール時間T[hour]の関係が分かっている中心ロッドの外径Rを基準外径とした場合(外径Rを有する中心ロッドを基準ロッドという)、外径RTの中心ロッド内の残留He濃度をC[重量ppm]以下に調整するためには、アニール時間T(基準ロッドの残留He濃度をC[重量ppm]以下に調整するために必要なアニール時間)に外径比(RT/R)の二乗で規定される数値(RT/R)2を掛けたアニール時間TT(=C×(RT/R)2)だけ、外径RTの中心ロッドをアニールすればよい(アニール温度は900℃~1100℃程度)。具体的には、基準外径Rを30mmに設定した場合(図9の例)、外径60mmの中心ロッドの残留He濃度を0.127[重量ppm]以下に調節するためには、基準ロッドに対して必要なアニール時間10[hour]を4倍(外径比2(=60mm/30mm)の二乗で規定される数値)したアニール時間(40[hour])が必要になる。また、発明者の所見によれば、中心コア部(中心ロッド)111における残留He濃度の最大値が0.15[重量ppm]以下に調整されていれば母材線引き時のスパイク発生は効果的に抑制され、この時、中心コア部111におけるCl濃度は1000ppm以下であった。したがって、図9および図10から分かるように、外径30mmの中心ロッドに対して行われる、第1アニール処理工程(ステップST40)でのアニール時間は7.5時間以上であればよい。
以上のように製造された光ファイバ母材100を、線引きすることにより光ファイバが得られる。すなわち、図11に示されたように、光ファイバ母材100の一端が、ヒーター900により加熱されながら矢印S9で示された方向に線引きされることにより、図8に示された屈折率分布と同じ形状を有する光ファイバが得られる。
以上の本発明の説明から、本発明を様々に変形しうることは明らかである。そのような変形は、本発明の思想および範囲から逸脱するものとは認めることはできず、すべての当業者にとって自明である改良は、以下の請求の範囲に含まれるものである。
100…光ファイバ母材、110…コア母材(コア部)、111、600…中心ロッド(中心コア部)、112…周辺コア部、120…クラッド部、230、520…バーナー、410、900…ヒーター、420…温度計、430…温度制御部、700…実績データ(He濃度-時間テーブル含む)。
Claims (4)
- 長手方向に沿ってアルカリ金属の添加領域が形成された中心ロッドを含む、シリカガラスを主成分とするコア母材と、前記コア母材の外周に設けられた、シリカガラスを主成分とするクラッド部と、を備えた光ファイバ母材の製造方法であって、
前記長手方向に沿ってガラス微粒子が堆積された多孔質ロッドに対するClガスを含む雰囲気中での脱水処理、および、前記脱水処理後の多孔質ロッドに対するHeガスを含む雰囲気中での焼結を経て得られる、前記中心ロッドとなるべき所定外径の透明ガラスロッドを製造するロッド製造工程と、前記長手方向に沿って、前記透明ガラスロッド内に前記アルカリ金属を添加する添加工程と、前記添加工程を経て得られた前記中心ロッドの外周に周辺コア部を形成する拡径工程と、を含むコア母材製造工程と、
前記コア母材製造工程を経て得られた前記コア母材の外周に前記クラッド部を形成するクラッド部製造工程と、
前記クラッド部製造工程を経て得られた前記光ファイバ母材から切り出されたサンプル母材のうち、前記中心ロッドに相当する領域内における残留He濃度を測定する測定工程と、を備え、
前記コア母材製造工程は、前記ロッド製造工程と前記添加工程との間に行われる工程として、前記透明ガラスロッドの特定外径に依存する、アニール時間と残留He濃度との関係を示すテーブルを含む実績データを参照して、前記透明ガラスロッドに対するアニール処理の時間を決定するアニール時間決定工程と、少なくとも決定された前記アニール時間、前記Heガスを含まない雰囲気中で前記透明ガラスロッドをアニールする第1アニール処理工程と、を含み、
前記測定工程は、前記第1アニール処理工程においてアニール対象となった前記透明ガラスロッドに関する外径ごとの処理実績として、前記アニール時間決定工程により決定されたアニール時間と、測定された前記残留He濃度を追加していくことにより、前記実績データを更新する、
ことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 前記クラッド部製造工程と前記測定工程の間において、前記クラッド部製造工程を経て得られた前記光ファイバ母材を、前記Heガスを含まない雰囲気中で所定時間だけアニールする第2アニール処理工程を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記第1アニール処理工程におけるアニール時間が、前記第2アニール処理工程におけるアニール時間よりも長いことを特徴とする請求項2に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 長手方向に沿ってアルカリ金属の添加領域が形成された中心ロッドを含む、シリカガラスを主成分とするコア母材と、前記コア母材の外周に設けられた、シリカガラスを主成分とするクラッド部と、を備えた光ファイバ母材であって、
前記中心ロッドにおけるCl濃度の最大値が1000ppm以下であり、かつ、前記中心ロッドにおける残留He濃度の最大値が0.15[重量ppm]以下であることを特徴とする光ファイバ母材。
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Citations (7)
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
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GB9210327D0 (en) * | 1992-05-14 | 1992-07-01 | Tsl Group Plc | Heat treatment facility for synthetic vitreous silica bodies |
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US20040057692A1 (en) | 2002-08-28 | 2004-03-25 | Ball Laura J. | Low loss optical fiber and method for making same |
US8798412B2 (en) * | 2003-08-29 | 2014-08-05 | Corning Incorporated | Optical fiber containing an alkali metal oxide and methods and apparatus for manufacturing same |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003300736A (ja) | 2002-04-03 | 2003-10-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法 |
JP2013032241A (ja) | 2011-08-01 | 2013-02-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材製造方法 |
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WO2014119415A1 (ja) | 2013-01-29 | 2014-08-07 | 古河電気工業株式会社 | ガラス母材の製造方法および光ファイバ |
JP2014166941A (ja) | 2013-02-04 | 2014-09-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材および光ファイバ母材製造方法 |
WO2015107931A1 (ja) | 2014-01-16 | 2015-07-23 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバの製造方法 |
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