JP7068797B2 - 電子部品 - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品に関し、例えば複数の誘電体層が積層された電子部品に関する。
スマートホンや携帯電話等の無線通信端末には、不要な妨害波を除去するフィルタが用いられている。フィルタとして、誘電体層を積層した積層体を用いることが知られている。電子部品の小型化のため、積層体の下面にランド電極を有するLGA(Land Grid Array)を用いることが知られている。
積層体の内部の導電体パターンまたは積層体の外部の端子が金属材料と絶縁体材料を含むことが知られている(例えば特許文献1から3)。積層体内のビア配線を太くすることが知られている(例えば特許文献4および5)。積層体内の導電体パターンと積層体の外部の端子とを接続する配線を複数設けることが知られている(例えば特許文献6および7)。
特開2009-170848号公報 特開2004-55554号公報 特開2014-170874号公報 特開2007-129048号公報 特開2015-41776号公報 特開2017-59749号公報 特開2015-76567号公報
端子とビア配線との接触抵抗を低くするためビア配線を太くすると、小型化が難しくなる。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、端子とビア配線との間を低抵抗化しかつ小型化することを目的とする。
本発明は、セラミック材料からなり積層された複数の誘電体層と、各々前記複数の誘電体層のうち1つの誘電体層の表面に形成され回路素子の少なくとも一部を構成する複数の導電体パターンと、前記複数の誘電体層のうち最も外側の誘電体層の外側の面に設けられ、1または複数の導電体層を含み、前記1または複数の導電体層のうち前記外側の面に接する導電体層は金属材料と絶縁体材料とを含み、高周波信号が入力する入力端子と、グランド端子と、を含む複数の端子と、前記複数の誘電体層のうち前記最も外側の誘電体層以外の少なくとも1つの誘電体層を貫通し、前記複数の導電体パターンのうち少なくとも2つの導電体パターン間を電気的に接続する第1ビア配線と、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記入力端子と前記複数の導電体パターンのうち少なくとも1つの導電体パターンとを電気的に接続する第2ビア配線と、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記グランド端子と前記複数の導電体パターンのうち少なくとも1つとを電気的に接続する第3ビア配線と、を備え、前記第2ビア配線の1つと前記入力端子とが接触する第1接触面積は、前記第1ビア配線の1つにおける前記外側の面に平行な断面積より大きく、前記第3ビア配線の1つと前記グランド端子とが接触する第2接触面積は前記第1接触面積より小さい電子部品である。
上記構成において、前記複数の端子は高周波信号が出力される出力端子を含み、前記電子部品は、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記出力端子と前記複数の導電体パターンのうち少なくとも1つとを電気的に接続する第4ビア配線を備え、前記第4ビア配線の1つと前記出力端子とが接触する第3接触面積は前記第1接触面積より小さい構成とすることができる。
本発明は、セラミック材料からなり積層された複数の誘電体層と、各々前記複数の誘電体層のうち1つの誘電体層の表面に形成され回路素子の少なくとも一部を構成する複数の導電体パターンと、前記複数の誘電体層のうち最も外側の誘電体層の外側の面に設けられ、1または複数の導電体層を含み、前記1または複数の導電体層のうち前記外側の面に接する導電体層は金属材料と絶縁体材料とを含み、高周波信号が入力する入力端子と、高周波信号が出力する出力端子と、を含む複数の端子と、前記複数の誘電体層のうち前記最も外側の誘電体層以外の少なくとも1つの誘電体層を貫通し、前記複数の導電体パターンのうち少なくとも2つの導電体パターン間を電気的に接続する第1ビア配線と、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記入力端子と前記複数の導電体パターンのうち第1キャパシタを形成する1つの第1導電体パターンとを互いに並列に接続する複数の第2ビア配線と、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記出力端子と前記複数の導電体パターンのうち第2キャパシタを形成する1つの第2導電体パターンとを互いに接続する1または複数の第4ビア配線と、を備え、前記1または複数の第4ビア配線が複数のとき、前記複数の第4ビア配線は、前記出力端子と前記1つの第2導電体パターンとの間に並列に接続され、前記複数の第4ビア配線の個数は前記複数の第2ビア配線の個数より少ない電子部品である。
上記構成において、前記複数の第2ビア配線の1つと前記入力端子とが接触する第1接触面積は前記1または複数の第4ビア配線の1つと前記出力端子とが接触する第3接触面積と略等しい構成とすることができる。
本発明は、セラミック材料からなり積層された複数の誘電体層と、各々前記複数の誘電体層のうち1つの誘電体層の表面に形成され回路素子の少なくとも一部を構成する複数の導電体パターンと、前記複数の誘電体層のうち最も外側の誘電体層の外側の面に設けられ、1または複数の導電体層を含み、前記1または複数の導電体層のうち前記外側の面に接する導電体層は金属材料と絶縁体材料とを含む1または複数の端子と、前記複数の誘電体層のうち前記最も外側の誘電体層以外の少なくとも1つの誘電体層を貫通し、前記複数の導電体パターンのうち少なくとも2つの導電体パターン間を電気的に接続する第1ビア配線と、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記1または複数の端子のうち高周波信号が入力する入力端子と前記複数の導電体パターンのうちキャパシタを形成する1つの導電体パターンとを互いに並列に接続する複数の第2ビア配線と、を備え、前記複数の第2ビア配線の1つと前記入力端子とが接触する第1接触面積は前記第1ビア配線の1つにおける前記外側の面に平行な断面積と略等しい電子部品である。
上記構成において、前記1または複数の端子は、グランド端子を含み、前記電子部品は、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記グランド端子と前記複数の導電体パターンのうち少なくとも1つの導電体パターンとを電気的に接続する第3ビア配線を備え、前記第3ビア配線の1つと前記グランド端子とが接触する第2接触面積は、前記第1接触面積と略等しい構成とすることができる。
上記構成において、前記絶縁体材料は前記最も外側の誘電体層に含まれる材料と同じ材料を含む構成とすることができる。
上記構成において、前記絶縁体材料は、酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび酸化アルミニウムの少なくとも1つである構成とすることができる。
上記構成において、前記回路素子は、インダクタおよび/またはキャパシタを含む構成とすることができる。
上記構成において、前記1または複数の端子は、高周波信号が入力する入力端子と高周波信号が出力する出力端子とを含み、前記回路素子は前記入力端子と前記出力端子との間に接続されたフィルタを含む、前記入力端子は、パワーアンプの出力に接続され、前記出力端子はアンテナに接続される構成とすることができる。
本発明によれば、端子とビア配線との間を低抵抗化しかつ小型化することができる。
図1は、実施例1に係る電子部品の回路図である。 図2は、実施例1に係る電子部品の斜視図である。 図3(a)および図3(b)は、実施例1に係る電子部品の断面図である。 図4は、実施例1に係る電子部品の解体斜視図である。 図5(a)および図5(b)は、比較例1に係る電子部品の断面図である。 図6は、実施例1および比較例1におけるD2/D1に対する抵抗値および寿命を示す図である。 図7は、実施例1および比較例1において入力電力に対する寿命を示す図である。 図8(a)および図8(b)は、実施例1の変形例1に係る電子部品の断面図である。 図9は、実施例1の変形例2に係る電子部品の断面図である。 図10(a)および図10(b)は、実施例2に係る電子部品の断面図である。 図11は、実施例2の変形例1に係る電子部品の断面図である。 図12は、実施例3に係るフロントエンド回路の回路図である。
以下、図面を参照し本発明の実施例について説明する。
実施例1として、バンドパスフィルタ(BPF)を例に説明する。図1は、実施例1に係る電子部品の回路図である。図1に示すように、BPF108は、入力端子Tin、出力端子Tout、グランド端子Tgnd、キャパシタC1からC9、およびストリップ線路L1からL5を有する。キャパシタC5からC7は、入力端子Tinと出力端子Toutとの間に直列に接続されている。
キャパシタC8およびC9は、入力端子Tinと出力端子Toutとの間に直列に接続され、かつキャパシタC5からC7と並列に接続されている。キャパシタC1からC4は、それぞれ入力端子T1、ノードN1、N2および出力端子Toutとグランド端子Tgndとの間に接続されている。ストリップ線路L1およびL4は、それぞれ入力端子Tinおよび出力端子Toutとグランド端子Tgndとの間に接続されている。ストリップ線路L2およびL3は、それぞれノードN1およびN2とノードN3との間に接続されている。ストリップ線路L5は、ノードN3とグランド端子Tgndとの間に接続されている。
BPF108は、入力端子Tinに入力した高周波信号のうち通過帯域の信号を出力端子Toutに通過させ、他の周波数帯域の信号を抑圧する。
図2は、実施例1に係る電子部品の斜視図、図3(a)および図3(b)は、断面図である。図2に示すように、電子部品100は、積層体10を有している。積層体10の下面に端子14が設けられている。端子14としては、例えば入力端子Tin、出力端子Toutおよびグランド端子Tgndである。
図3(a)および図3(b)に示すように、積層体10においてセラミック材料からなる複数の誘電体層11aから11eが積層されている。誘電体層11bから11eの上面にそれぞれ導電体パターン12bから12eが設けられている。誘電体層11eの下面に端子14が設けられている。端子14は、例えばLGAであり、誘電体層11eの下面内にのみ設けられている。端子14は、誘電体層11eの下面に接する導電体層14aと、導電体層14aの下に設けられた導電体層14bと、を有する。誘電体層11bから11eを貫通するようにそれぞれビア配線13bから13dおよび15が設けられている。ビア配線13bから13dおよび15は、例えば円柱状形状である。ビア配線13bから13dは、導電体パターン12bから12eの少なくとも1つと接続する。ビア配線15は導電体パターン12bから12eの少なくとも1つと端子14とを接続する。ビア配線15の径D2は、ビア配線13bから13dの径D1より大きい。
図4は、実施例1に係る電子部品の解体斜視図である。図3(a)および図3(b)は、図4におけるそれぞれA-A断面およびB-B断面に相当する。図4では、ビア配線13bから13dおよび15の接続を破線で示す。図4に示すように、導電体パターン12aは方向識別マークとなる。ストリップ線路L1からL4は、導電体パターン12bにより形成される。ストリップ線路L5は、ビア配線13bから13dにより形成される。キャパシタC5からC9は、誘電体層11cを挟む導電体パターン12cと12dとにより形成される。キャパシタC1からC4は、誘電体層11dを挟む導電体パターン12dと12eとにより形成される。
誘電体層11aから11eは、セラミック材料からなり、主成分として例えばSi、CaおよびMgの酸化物(例えばディオプサイド結晶であるCaMgSi)を含む。誘電体層11aから11eの主成分は、Si、Caおよび/またはMg以外の酸化物でもよい。さらに、誘電体層11aから11eは、絶縁体材料としてTi、ZrおよびAlの少なくとも1つの酸化物を含んでもよい。
導電体パターン12aから12e、ビア配線13bから13dおよび15、並びに導電体層14aは、例えばAg、Pd、Pt、Cu、Ni、Au、Au-Pd合金またはAg-Pt合金を含む金属層である。導電体層14aは、上記金属材料に加え絶縁体材料を含む。絶縁体材料は、例えば、酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび/または酸化アルミニウムであり、例えば誘電体層11aから11eが含む材料の少なくとも一部と同じ材料である。導電体層14bは、例えばNi膜およびSn膜である。Sn膜は、電子部品100をマザーボード等に実装するための半田層であり、Ni膜は、半田層と導電体層14aとの間の相互拡散を抑制するためのバリア層である。
積層体10は、例えば以下のようにして製造される。誘電体層11aから11eは例えばドクターブレード法を用い作製する。誘電体層11bから11eを貫通するビア配線13bから13dおよび15を形成する。例えば誘電体層11aから11eを貫通するビアホールをレーザ光照射により形成する。スキージ法等を用いビアホール内にビア配線13bから13dおよび15を形成する。誘電体層11aから11eの表面に導電体パターン12aから12eおよび導電体層14aを形成する。導電体パターン12aから12eおよび導電体層14aは例えばスクリーン印刷法または転写法を用い形成する。誘電体層11aから11eを積層して積層体10を形成する。誘電体層11aから11eの積層には例えば熱加圧または接着剤を用いる。積層体10を例えば700℃以上で焼成する。これにより、誘電体層11aから11eが焼結体となる。導電体層14a下に導電体層14bを形成する。導電体層14bの形成には、例えばバレルメッキ法等のメッキ法を用いる。
特許文献1に記載されているように、導電体層14aが絶縁体材料を含まない場合、導電体層14aと誘電体層11eとの接合強度が低くなる。このため、積層体10の焼結時に端子14が誘電体層11eから剥離しやすくなる。また、端子14および/または誘電体層11eにクラックが発生する。導電体層14aが金属材料と絶縁体材料とを含むことにより、端子14の剥離および/またはクラックを抑制できる。特に、導電体層14aが含む絶縁体材料が誘電体層11aから11eが含む材料の少なくとも一部と同じ場合、導電体層14aと誘電体層11eとの接合強度を高くできる。絶縁体材料としては、酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび/または酸化アルミニウムが好ましい。
[比較例1]
図5(a)および図5(b)は、比較例1に係る電子部品の断面図である。図5(a)および図5(b)に示すように、電子部品110において、誘電体層11eを貫通するビア配線13eの径D2はビア配線13bから13dの径D1と実質的に同じである。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。
比較例1では、導電体層14aは絶縁体材料を含むため、導電体層14aとビア配線13eとの間の電気的接合が阻害される。これにより、ビア配線13eと端子14との接触抵抗値が上昇する。例えば入力端子Tinに高電力の高周波信号が入力した場合、ビア配線13eと端子14との接触抵抗が高いと発熱し、ビア配線13eと端子14との接合部分付近が溶断してしまう可能性がある。一方、ビア配線13bから13eの径を大きくすると、電子部品が大型化してしまう。このように、電子部品を小型化しかつ端子14とビア配線13eとの間の接触抵抗を低抵抗化することが難しい。
[実施例1と比較例1の比較]
実施例1では、誘電体層11eを貫通するビア配線15と導電体層14aとの接触面積を、他のビア配線13bから13dの径より大きくする。これにより、電子部品の小型化が可能となり、かつ端子14とビア配線13eとの間の接触抵抗の低抵抗化が可能となる。
実施例1および比較例1において、入力端子Tinと出力端子Toutとの間の抵抗を測定した。測定した抵抗値を用いD2/D1に対する抵抗値を算出した。抵抗値は、ビア配線13bから13dおよび15ならびにストリップ線路L1を介した抵抗となる。また、入力端子Tinに高周波信号を入力したときの電子部品の寿命を測定した。寿命は、環境温度を175℃として、高電力の高周波信号を入力端子Tinに印加し、電子部品が破壊されるまでの時間とした。
各条件は以下である。
誘電体層11aから11eの材料:Si、CaおよびMgの酸化物を主成分とし、TiOを3重量%(酸化物換算)含む。
誘電体層11aから11eの厚さ:それぞれ30μm、400μm、10μm、10μmおよび30μm
導電体パターン12bの材料:Agを主成分とし、TiOを13重量%(酸化物換算)含む。
ストリップ線路L1の導電体パターン12bの寸法:長さ:1400μm、幅:100μm、厚さ:20μm
ビア配線13bから13dおよび15の材料:Agを主成分とする。
ビア配線13bから13dの径D1:65μm
ビア配線15または13eの径D2:実施例1:120μm、比較例1:65μm
導電体層14aの材料:Agを主成分とし、TiOを13重量%(酸化物換算)含む。
導電体層14aの厚さ:10μm
高周波信号の周波数:3800MHz
高周波信号の電力:39.98dBm
図6は、実施例1および比較例1におけるD2/D1に対する抵抗値および寿命を示す図である。図6において、実線は算出した抵抗値を示し、ドットは寿命の測定結果を示す。図6に示すように、D2/D1が大きくなると抵抗値が低くなる。これは、導電体層14aとビア配線15との間の接触抵抗が低くなったためと考えられる。比較例1の寿命は約2時間であるが、実施例1では約16時間である。
図7は、実施例1および比較例1において入力電力に対する寿命を示す図である。ドットは測定点であり、直線は近似線である。図7に示すように、実施例1では比較例1より寿命が長い。実用的な電力である入力電力が35dBmでは、実施例1は比較例1より2桁寿命が長い。このように、導電体層14aとビア配線15との接触抵抗を低くすることにより、入力端子Tinに高電力の高周波信号が入力したときの寿命が長くなる。
[実施例1の変形例1]
図8(a)および図8(b)は、実施例1の変形例1に係る電子部品の断面図である。図8(a)に示すように、電子部品101において、ビア配線15は入力端子Tinおよび出力端子Toutに接触し、ビア配線13eはグランド端子Tgndに接触する。ビア配線13eの径D3は、ビア配線15の径D2より小さく、ビア配線13bから13dの径D1と同程度である。低抵抗化が求められるのは、主に高周波信号が通過する端子である。よって、入力端子Tinおよび出力端子Toutに接触するビア配線15の径D2をD1およびD3より大きくしてもよい。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図8(b)に示すように、電子部品102において、ビア配線15は入力端子Tinに接触し、ビア配線13eは出力端子Toutおよびグランド端子Tgndに接触する。高電力の高周波信号により破壊されるのは、入力端子Tinの近傍である。よって、入力端子Tinに接触するビア配線15の径D2をビア配線13bから13dの径D1およびグランド端子Tgndおよび出力端子Toutと接触するビア配線13eの径D3より大きくしてもよい。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
[実施例1の変形例2]
図9は、実施例1の変形例2に係る電子部品の断面図である。図9に示すように、電子部品103において、ビア配線15は、端子14側の径が大きくなるような円錐台形状である。このように、導電体層14aとビア配線15の接触面積が大きくなれば、ビア配線15の形状は任意に選択できる。
実施例1およびその変形例によれば、導電体パターン12bから12eの各々は、複数の誘電体層11bから11eのうち1つの誘電体層の表面に形成され積層体10内に設けられ回路素子(例えばキャパシタおよび/またはインダクタ)の少なくとも一部を構成する。1または複数の端子14は、誘電体層11e(最も外側の誘電体層、すなわち誘電体層11aから11eの積層方向において最も外側に位置する誘電体層)の下面(外側の面、すなわち他の誘電体層11dと接する面とは反対側の面)に設けられ、1または複数の導電体層14aおよび14bを含む。誘電体層11eの下面に接する導電体層14aは、金属材料と絶縁体材料とを含む。ビア配線13bから13d(第1ビア配線)は、誘電体層11e以外の誘電体層11bから11dの少なくとも1つの誘電体層を貫通し、複数の導電体パターン12bから12eのうち少なくとも2つの導電体パターン間を電気的に接続する。
ビア配線15(第2ビア配線)は、誘電体層11eを貫通し、端子14と導電体パターン12bから12eのうち少なくとも1つの導電体パターンとを電気的に接続する。ビア配線15が端子14と接触する第1接触面積は、ビア配線13bから13dの断面積(誘電体層11eの下面に平行な面における断面積)より大きい。
これにより、端子14とビア配線15との接触抵抗を低くできる。また、ビア配線13bから13dを小さくできるため、電子部品を小型化できる。
ビア配線15は、1または複数の端子14のうち少なくとも1つの端子14と複数の導電体パターンのうち少なくとも1つの導電体パターンとを電気的に接続すればよい。これにより、ビア配線15と端子14との接触抵抗を抑制できる。
実施例1のように、ビア配線15はすべての端子14に接続されていてもよい。これにより、全ての端子14と回路素子との間の抵抗を低減できる。ビア配線15と端子14との第1接触面積は、ビア配線13bから13dの断面積の1.5倍以上が好ましく2倍以上がより好ましく、4倍以上がさらに好ましい。
実施例1およびその変形例1のように、ビア配線15が接触する端子14は、高周波信号が入力する入力端子Tinを含む。これにより、電子部品の破壊を抑制できる。
ビア配線13bから13dの断面積およびビア配線15の接触面積がばらついている場合、入力端子Tinに接触するビア配線15の接触面積のうち最も小さな接触面積がビア配線13bから13dの断面積のうち最も大きな断面積より大きければよい。最も小さな接触面積は最も大きな断面積の1.5倍以上が好ましく、2倍以上が好ましく、4倍以上がさらに好ましい。
実施例1の変形例1のように、ビア配線13e(第3ビア配線)は、誘電体層11eを貫通し、グランド端子Tgndと複数の導電体パターン12bから12eのうち少なくとも1つの導電体パターンとを電気的に接続する。ビア配線13eがグランド端子Tgndと接触する第2接触面積はビア配線15が入力端子Tinに接触する第1接触面積より小さい。グランド端子Tgndは大電力が加わりにくい端子14である。よって、グランド端子Tgndに接するビア配線13eの接触面積を小さくする。これにより、電子部品の小型化が可能となる。
ビア配線13eの端子14との接触面積は、ビア配線13bから13dの断面積と製造誤差程度に略同じである。入力端子Tinに接触するビア配線15の第1接触面積のうち最も小さな第1接触面積は、端子14(グランド端子Tgndおよび/または出力端子Tout)に接触するビア配線13eの第2接触面積のうち最も大きな第2接触面積より大きければよい。最も小さな第1接触面積は最も大きな第2接触面積の1.5倍以上が好ましく、2倍以上が好ましく、4倍以上がさらに好ましい。
図10(a)および図10(b)は、実施例2に係る電子部品の断面図である。図10(a)および図10(b)に示すように、電子部品104において、誘電体層11eを貫通し、入力端子Tinおよび出力端子Toutと接続するビア配線13eの径D2は、ビア配線13bから13dの径D1と製造誤差程度に略同じである。また、径D2は、誘電体層11eを貫通し、グランド端子Tgndと接続するビア配線13eの径D3と製造誤差程度に略同じである。
複数のビア配線15a(ビア配線13dと13eがつながったビア配線)は、入力端子Tinと、導電体パターン12dにより形成されたキャパシタC5の電極16aと、を電気的接続する。複数のビア配線15aは、出力端子Toutと、導電体パターン12dにより形成されたキャパシタC7の電極16bと、を電気的接続する。複数のビア配線15aは、例えば平面形状が矩形である入力端子Tinおよび出力端子Toutのそれぞれ矩形の4頂点付近に接続される。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
実施例2では、入力端子Tinと電極16aとを接続するビア配線15aを複数設ける。出力端子Toutと電極16bとを接続するビア配線15aを複数設ける。これにより、ビア配線15aと入力端子Tinおよび出力端子Toutとの接触抵抗を比較例1より低くできる。よって、入力端子Tinに大電力の高周波信号が入力しても入力端子Tin付近が破壊されることを抑制できる。
[実施例2の変形例1]
図11は、実施例2の変形例1に係る電子部品の断面図である。図11に示すように、電子部品105において、出力端子Toutに接続されるビア配線13eは1つである。その他の構成は実施例1と同じであり説明書省略する。実施例2の変形例1のように、出力端子Toutに接続されるビア配線13eの個数は入力端子Tinに接続されるビア配線13eの個数より少なくともよい。
実施例1およびその変形例によれば、複数のビア配線13eは、誘電体層11eを貫通し、入力端子Tinと複数の導電体パターン12bから12eのうちキャパシタを形成する1つの導電体パターン12d(電極16a)とを互いに並列に接続する。このように、複数のビア配線13eが入力端子Tinに接続されていてもよい。
複数のビア配線15aと入力端子Tinとがそれぞれ接触する第1接触面積はビア配線13bから13dの断面積と製造誤差程度に略等しい。これにより、ビア配線15aの径をビア配線13bから13dの径とほぼ同じとできる。よって、製造工程を簡略化することができる。また、電子部品の小型化が可能となる。
グランド端子Tgndと導電体パターン12bから12eのうち少なくとも1つの導電体パターンとを電気的に接続するビア配線13eがグランド端子Tgndと接触する第2接触面積はビア配線15aが入力端子Tinと接触する第1接触面積と製造誤差程度に略等しい。これにより、ビア配線15aの径をビア配線13eの径とほぼ同じとできる。よって、製造工程を簡略化することができる。また、電子部品の小型化が可能となる。
実施例1、2およびそれらの変形例において、導電体層14aに含まれる絶縁体材料は誘電体層11eに含まれる材料と同じ材料を含む。これにより、端子14と誘電体層11eとの接合強度を高くできる。
導電体層14aに含まれる絶縁体材料は、酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび酸化アルミニウムの少なくとも1つであることが好ましい。これにより、端子14と誘電体層11eとの接合強度をより高くできる。
誘電体層11aから11eに含まれる絶縁体材料は、酸化物換算で0.1重量%以上50重量%以下が好ましく、1重量%以上10重量%以下が好ましい。導電体層14aに含まれる絶縁体材料は、酸化物換算で0.1重量%以上66重量%以下が好ましく、1重量%以上20重量%以下がより好ましい。
導電体層14bは、例えば導電体層14aと同じ金属材料を含んでもよい。この場合、導電体層14bは絶縁体材料を含まない、または、導電体層14bの絶縁体材料の濃度は導電体層14aの絶縁体材料の濃度より低い。これにより、端子14の抵抗を低くできる。
また、導電体層14bは、Ni膜およびSn膜のように半田層を含んでもよい。
誘電体層11aから11eが5層の例を説明したが、誘電体層11aから11eの層数は任意に設定できる。積層体10に含まれる回路素子としてキャパシタおよびストリップ線路(またはインダクタ)を例に説明したが、回路素子はキャパシタのみでもよいし、インダクタのみでもよい。電子部品として、バンドパスフィルタを例に説明したが、電子部品は、ハイパスフィルタ、ローパスフィルタ等のフィルタでもよい。電子部品は、ダイプレクサ、デュプレクサ、トリプレクサまたはクワッドプレクサ等のマルチプレクサでもよい。
実施例3は、実施例1、2およびそれらの変形例が用いられる回路の例である。図12は、実施例3に係るフロントエンド回路の回路図である。図12に示すように、フロントエンド回路106は、ハイパスフィルタ(HPF)31、バンドパスフィルタ(BPF)32、ローパスフィルタ(LPF)33、スイッチ34、デュプレクサ37、パワーアンプ(PA)38およびローノイズアンプ(LNA)39を備えている。
アンテナ端子Taにアンテナ30が接続される。アンテナ端子Taには、HPF31、BPF32およびLPF33の一端が共通に接続されている。HPF31、BPF32およびLPF33の他端には各々スイッチ34が接続されている。HPF31はハイバンドの高周波信号を通過させ他の周波数の信号を抑圧する。BPF32はハイバンドより周波数の低いミドルバンドの高周波信号を通過させ他の周波数の信号を抑圧する。LPF33はミドルバンドより周波数の低いローバンドの高周波信号を通過させ他の周波数の信号を抑圧する。
スイッチ34には複数のデュプレクサ37の共通端子Naが接続されている。スイッチ34は、複数のデュプレクサ37から1つを選択し、HPF31、BPF32およびLPF33の他端に接続する。デュプレクサ37はBPFである送信フィルタ35とBPFである受信フィルタ36を有している。送信フィルタ35および受信フィルタ36はそれぞれPA38およびLNA39に接続されている。
送信端子Txに入力された送信信号はPA38により増幅される。送信フィルタ35は増幅された信号のうち送信帯域の高周波信号を共通端子Naに出力し他の周波数の信号を抑圧する。濾過された送信信号がスイッチ34と、HPF31、BPF32またはLPF33と、を通過しアンテナ30から出力される。
アンテナ30に入力された受信信号は、HPF31、BPF32またはLPF33と、スイッチ34と、を通過する。受信フィルタ36は、共通端子Naに入力した高周波信号のうち受信帯域の信号を通過させ他の周波数の信号を抑圧する。濾過された受信信号は、LNA39により増幅され受信端子Rxに出力される。
実施例1、2およびそれらの変形例は、例えばBPF32、送信フィルタ35および受信フィルタ36の少なくとも1つに用いられる。特に、BPF32および送信フィルタ35には、30dBm以上の高電力の高周波信号が印加される。そこで、入力端子Tinがパワーアンプの出力に接続され、出力端子Toutがアンテナ30に接続されるフィルタを、実施例1、2およびそれらの変形例とする。これにより、大電力の高周波信号により電子部品が破壊されることまたは寿命が短くなることを抑制できる。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 積層体
11a-11e 誘電体層
12a-12e 導電体パターン
13b-13e、15、15a ビア配線
14 端子
14a、14b 導電体層
16 電極

Claims (10)

  1. セラミック材料からなり積層された複数の誘電体層と、
    各々前記複数の誘電体層のうち1つの誘電体層の表面に形成され回路素子の少なくとも一部を構成する複数の導電体パターンと、
    前記複数の誘電体層のうち最も外側の誘電体層の外側の面に設けられ、1または複数の導電体層を含み、前記1または複数の導電体層のうち前記外側の面に接する導電体層は金属材料と絶縁体材料とを含み、高周波信号が入力する入力端子と、グランド端子と、を含む複数の端子と、
    前記複数の誘電体層のうち前記最も外側の誘電体層以外の少なくとも1つの誘電体層を貫通し、前記複数の導電体パターンのうち少なくとも2つの導電体パターン間を電気的に接続する第1ビア配線と、
    前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記入力端子と前記複数の導電体パターンのうち少なくとも1つの導電体パターンとを電気的に接続する第2ビア配線と、
    前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記グランド端子と前記複数の導電体パターンのうち少なくとも1つとを電気的に接続する第3ビア配線と、
    を備え、
    前記第2ビア配線の1つと前記入力端子とが接触する第1接触面積は、前記第1ビア配線の1つにおける前記外側の面に平行な断面積より大きく、
    前記第3ビア配線の1つと前記グランド端子とが接触する第2接触面積は前記第1接触面積より小さい電子部品。
  2. 前記複数の端子は高周波信号が出力される出力端子を含み、
    前記電子部品は、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記出力端子と前記複数の導電体パターンのうち少なくとも1つとを電気的に接続する第4ビア配線を備え、
    前記第4ビア配線の1つと前記出力端子とが接触する第3接触面積は前記第1接触面積より小さい請求項1に記載の電子部品。
  3. セラミック材料からなり積層された複数の誘電体層と、
    各々前記複数の誘電体層のうち1つの誘電体層の表面に形成され回路素子の少なくとも一部を構成する複数の導電体パターンと、
    前記複数の誘電体層のうち最も外側の誘電体層の外側の面に設けられ、1または複数の導電体層を含み、前記1または複数の導電体層のうち前記外側の面に接する導電体層は金属材料と絶縁体材料とを含み、高周波信号が入力する入力端子と、高周波信号が出力する出力端子と、を含む複数の端子と、
    前記複数の誘電体層のうち前記最も外側の誘電体層以外の少なくとも1つの誘電体層を貫通し、前記複数の導電体パターンのうち少なくとも2つの導電体パターン間を電気的に接続する第1ビア配線と、
    前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記入力端子と前記複数の導電体パターンのうち第1キャパシタを形成する1つの第1導電体パターンとを互いに並列に接続する複数の第2ビア配線と、
    前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記出力端子と前記複数の導電体パターンのうち第2キャパシタを形成する1つの第2導電体パターンとを互いに接続する1または複数の第4ビア配線と、
    を備え
    前記1または複数の第4ビア配線が複数のとき、前記1または複数の第4ビア配線は、前記出力端子と前記1つの第2導電体パターンとの間に並列に接続され、
    前記1または複数の第4ビア配線の個数は前記複数の第2ビア配線の個数より少ない電子部品。
  4. 前記複数の第2ビア配線の1つと前記入力端子とが接触する第1接触面積は前記1または複数の第4ビア配線の1つと前記出力端子とが接触する第3接触面積と略等しい請求項3に記載の電子部品。
  5. セラミック材料からなり積層された複数の誘電体層と、
    各々前記複数の誘電体層のうち1つの誘電体層の表面に形成され回路素子の少なくとも一部を構成する複数の導電体パターンと、
    前記複数の誘電体層のうち最も外側の誘電体層の外側の面に設けられ、1または複数の導電体層を含み、前記1または複数の導電体層のうち前記外側の面に接する導電体層は金属材料と絶縁体材料とを含む1または複数の端子と、
    前記複数の誘電体層のうち前記最も外側の誘電体層以外の少なくとも1つの誘電体層を貫通し、前記複数の導電体パターンのうち少なくとも2つの導電体パターン間を電気的に接続する第1ビア配線と、
    前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記1または複数の端子のうち高周波信号が入力する入力端子と前記複数の導電体パターンのうちキャパシタを形成する1つの導電体パターンとを互いに並列に接続する複数の第2ビア配線と、
    を備え、
    前記複数の第2ビア配線の1つと前記入力端子と接触する第1接触面積は前記第1ビア配線の1つにおける前記外側の面に平行な断面積と略等しい電子部品
  6. 前記1または複数の端子は、グランド端子を含み、
    前記電子部品は、前記最も外側の誘電体層を貫通し、前記グランド端子と前記複数の導電体パターンのうち少なくとも1つの導電体パターンとを電気的に接続する第3ビア配線を備え
    前記第3ビア配線の1つと前記グランド端子とが接触する第2接触面積は、前記第1接触面積と略等しい請求項5に記載の電子部品。
  7. 前記絶縁体材料は前記最も外側の誘電体層に含まれる材料と同じ材料を含む請求項1から6のいずれか一項に記載の電子部品。
  8. 前記絶縁体材料は、酸化チタン、酸化ジルコニウムおよび酸化アルミニウムの少なくとも1つである請求項7に記載の電子部品。
  9. 前記回路素子は、インダクタおよび/またはキャパシタを含む請求項1から8のいずれか一項に記載の電子部品。
  10. 前記回路素子は前記入力端子と前記出力端子との間に接続されたフィルタを含
    前記入力端子は、パワーアンプの出力に接続され、
    前記出力端子はアンテナに接続される請求項2から4のいずれか一項に記載の電子部品。
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