JP7068540B1 - 高周波電源装置及び高周波電力の出力制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の位相差制御は、制御信号間の位相差である制御信号間位相差φdによりパルス幅を変調するPWM制御である。PWM制御によりスイッチング素子を駆動するパルス信号のデューティ比(Duty)を可変とする。この第1の位相差制御(PWM制御)では、高周波電源装置のダミー抵抗による内部損失が無いため、高効率化が図られる。
本発明の高周波電源装置の態様は、一対の増幅器と、一対の増幅器の増幅器出力を合成して高周波パルスの出力電力を生成する合成器とを備える。出力電力を制御する制御部は、一対の増幅器に供給する直流電圧Vdcを制御する直流電圧制御により出力電力を制御する第1制御部と、一対の増幅器の増幅器出力を制御する制御信号の位相差φ(φd、φs)により出力電力を位相差制御する第2制御部とを備える。出力電力の出力レベルに応じて、第1制御部による直流電圧制御と第2制御部による位相差制御とを切り替える。
(a)高出力レベル範囲に対して、直流電圧制御の直流電圧指令値Vref*を演算し、
(b)低出力レベル範囲に対して、位相差制御の位相差指令値φ*(φd*、φs*)を演算し、出力電力の出力レベルに応じて直流電圧制御と位相差制御とを切り替えて出力電力を制御する。
電力制御部は、出力電力指令値に基づいて出力電力の出力レベルを判定し、出力レベルの高低に応じて直流電圧制御あるいは位相差制御の何れの制御を適用するかを判定し、出力レベルが高出力レベル範囲にあるか、あるいは低出力レベル範囲にあるかにより直流電圧制御と位相差制御とを切り替える。
直流電圧制御部は、高出力レベル範囲において、電力制御部の直流電圧制御により得られた直流電圧指令値Vref*に基づいて増幅器に供給する直流電圧Vdcを可変とし、これにより増幅器の出力電力を制御する。
制御信号生成部は、低出力レベル範囲において、電力制御部の位相差制御により得られた位相差指令値φ*(φd*、φs*)に基づいて、2つの増幅器に入力する一対の制御信号の位相差φ(φd、φs)を制御する。制御信号の位相差φ(φd、φs)は、電力制御部の位相差制御により得られた位相差指令値φ*(φd*、φs*)に対応している。
(a)位相差制御の第1の制御態様
位相差制御の第1の制御態様は、PWM制御(デューティ制御)による制御態様である。低出力レベル範囲の内、高出力レベル側の出力電力に対しては、PWM制御により制御信号間位相差指令値φd*を用いてPWM制御により制御信号間位相差φdを有する制御信号を生成し、出力電力を制御する。
位相差制御の第2の制御態様は、位相シフト制御(PS制御)による制御態様である。低出力レベル範囲の低出力レベル側の出力電力に対しては、制御信号セット間位相差指令値φs*を用いて位相シフト制御により制御信号セット間位相差φsを有する制御信号を生成して出力電力を制御する。
位相差制御の第3の制御態様は、第1の制御態様のPWM制御(デューティ制御)と第2の制御態様の位相シフト制御(PS制御)とからなる制御態様である。
本発明の高周波電力の出力制御方法の態様は、一対の増幅器を制御し、高周波パルス出力の出力電力を可変とする高周波電力の制御方法であり、出力レベルに応じて直流電圧制御と位相差制御とを切り替える。
(b)出力レベルが低出力レベル範囲では、一対の増幅器に入力する複数の制御信号の位相差φ(φd、φs)を制御する位相差制御により出力電力を制御する。
直流電圧制御は、高出力レベル範囲において直流電圧指令値Vref*を求め、求めた直流電圧指令値Vref*に基づいて増幅器に供給する直流電圧Vdcを可変とし、これにより増幅器の出力電力を制御する。
位相差制御は低出力レベル範囲に適用される。低出力レベル範囲を高出力レベル側と低出力レベル側とに区分し、高出力レベル側の出力電力については、制御信号間位相差φdを用いたPWM制御(デューティ制御)で制御し、低出力レベル側の出力電力については、制御信号セット間位相差φsを用いた位相シフト制御(PS制御)で制御する。
第1の制御態様において、位相差φは増幅器に入力する制御信号の制御信号間位相差φdであり、位相差制御は、パルス幅を制御信号間位相差φdにより制御し、増幅器のスイッチング素子のゲート信号のデューティ比(Duty)を制御するPWM制御により高周波パルス出力の出力電力を制御する。
第2の制御態様において、位相差φは増幅器に入力する制御信号の制御信号セット間位相差φsであり、位相差制御は、位相シフト制御(PS制御)による制御態様である。
位相差制御の第3の制御態様は、第1の制御態様のPWM制御(デューティ制御)と第2の制御態様の位相シフト制御(PS制御)とからなる制御態様である。
電力制御部による制御信号間の位相差制御は第1の形態-第3の形態の複数形態を備える。
第1形態において、電力制御部は、高周波パルス出力の出力電力フィードバック値FWD_FBと出力電力指令値FWD_ref*との比較に基づいて、各増幅器に入力する制御信号の一対の制御信号間の制御信号間位相差指令値φd*を求める位相差制御を行う。
第2形態において、電力制御部は、各増幅器の増幅器出力の比較に基づいて、各増幅器において、制御信号の一対の信号間の制御信号間位相差指令値φd*を調整し、2つの増幅器の増幅器出力を均衡化する位相差制御を行う。
第3形態において、電力制御部は、2つの増幅器の各増幅器において、一方の増幅器に入力する一対の制御信号の信号間の第1の制御信号間位相差φda、及び他方の増幅器に入力する一対の制御信号の信号間の第2の制御信号間位相差φdbを同一の位相差量とする制御信号間位相差指令値φda*及びφdb*を調整する位相差制御を行う。
電力制御部は、高周波パルス出力の出力電力フィードバック値FWD_FBと出力電力指令値FWD_ref*との比較に基づいて、2つの信号セット間の位相差指令値φs*を求める。位相差制御部は、制御信号セット間の位相差指令値φs*に基づいて、位相差φsを有する制御信号を生成する位相シフト制御を行う。
(1)PWM制御の制御態様
PWM制御は第1の制御態様-第3の制御態様の複数の制御態様を含む。
PWM制御の第1の制御態様において、高周波パルス出力の出力電力フィードバック値FWD_FBと出力電力指令値FWD_ref*との比較に基づいて、各増幅器に入力する制御信号の一対の信号間の制御信号間位相差指令値φd*を求める。
PWM制御の第2の制御態様において、各増幅器の増幅器出力の比較に基づいて、各増幅器において、制御信号の一対の信号間の制御信号間位相差指令値φd*を調整し、一対の増幅器の増幅器出力を均衡化する。
PWM制御の第3の制御態様において、一対の増幅器の各増幅器において、一方の増幅器に入力する一対の制御信号の信号間の第1の制御信号間位相差φda、及び他方の増幅器に入力する一対の制御信号の信号間の第2の制御信号間位相差φdbを同一の位相差量とする制御信号間位相差指令値φda*及びφdb*を調整する位相差制御を行う。
位相シフト制御において、高周波パルス出力の出力電力フィードバック値FWD_FBと出力電力指令値FWD_ref*との比較に基づいて、2つの制御信号のセット間の制御信号セット間位相差指令値φs*を求める。
本発明において、制御信号は位相が互いに逆相の位相関係にある差動信号の形態を用いることにより、増幅器のスイッチング素子の駆動において、耐ノイズ性が高まる。本発明では、制御信号として差動信号を用いることが望ましいが、シングルエンド信号を用いた動作を除くものではない。
1-1.制御概要
本発明の制御概要を図1、図2を用いて説明する。図1は本発明による制御を説明するための概要図であり、図2は本発明による直流電圧制御と位相差制御の使い分けを説明するための図であり、図2(a)は直流電圧制御(CNTL1)により電力出力を制御する場合を示し、図2(b)及び図2(c)は位相差制御(CNTL2)により電力出力を制御する場合を示している。また、図2(b)は位相差制御(CNTL2)をPWM制御により行う場合であり、図2(c)は位相差制御(CNTL2)を位相シフト制御により行う場合である。
直流電圧制御による出力電力の制御では、高出力レベル範囲において、増幅器に供給する直流電圧Vdcを可変とする。
本発明の位相差制御に用いる制御信号は、シングルエンド信号あるいは差動信号を用いることができるが、出力が1kw以上で周波数範囲が27MHz~100MHzの高周波のパルス出力に適用される高周波電源装置及び高周波電力の出力制御では、位相差やデューティ情報を正確に伝送するためには耐ノイズ性が高い差動信号が好適である。以後の説明では差動信号による制御信号について説明する。なお、差動信号は、位相が互いに逆相関係にある2つの信号であり、2つの信号の差分によりシングルエンド信号に変換することができる。
DutyA=φda/180[deg] …(1)
DutyB=φdb/180[deg] …(2)
で表される。
(i)高出力レベルに対して第1の位相差制御のPWM制御を適用する態様
(ii)低出力レベルに対して第2の位相差制御の位相シフト制御(PS制御)を適用する態様
とすることができる。
図2(b)は、位相差制御(CNTL2)による出力電力の制御において、第1の位相差制御のPWM制御のみによる電力出力の制御態様を示し、図中の横軸において一点鎖線を挟んで左方は制御信号における制御態様を示し、右方は増幅器における制御態様を示している。また図中の縦軸は出力電力を示し、下側の破線を境に上方は高出力レベル側を示し、下方は低出力レベル側を示している。
図2(c)は、位相差制御(CNTL2)による出力電力の制御において、第2の位相差制御の位相シフト制御のみによる電力出力の制御態様を示している。図中の横軸において一点鎖線を挟んで左方は制御信号における制御態様を示し、右方は増幅器における制御態様を示している。また図中の縦軸は出力電力を示し、下側の破線を境に上方は高出力レベル側を示し、下方は低出力レベル側を示している。
本発明は、高出力電圧範囲及び低出力電圧範囲の各出力電圧範囲において、出力電力の変化特性を任意に設定することができる。図3、4は変化特性例を示している。ここでは、高出力電圧High、低出力電圧Low1、Low2、零出力電圧の4つの出力電圧範囲の例を示している。
図3は各出力電圧範囲内において一定の出力電圧により出力電力を一定とする態様例である。高出力電圧範囲において、Highの一定出力電力を出力する場合には、制御信号間位相差φda、φdb、制御信号セット間位相差φsを固定し、直流電圧Vdcを可変とする直流電圧制御により出力電力を制御する。このとき直流電圧Vdcを一定電圧とすることにより出力電力を一定とする。
この一定出力電力の態様によれば、各出力電圧範囲間において出力電力は階段状の電力変化となる。
図4(a)は各出力電圧範囲内において出力電力を線形的に可変とする態様例である。高出力電圧範囲において、Highのレベルで出力電力を線形的に可変とする場合には、制御信号間位相差φda、φdb、制御信号セット間位相差φsを固定し、直流電圧Vdcを可変とする直流電圧制御により出力電力を制御する。このとき出力電力が線形的に可変となるように、直流電圧Vdcは出力電力の線形変化に対してルート関数的(平方根関数的)に可変とする。
図4(b)は各出力電圧範囲内において出力電力を指数関数的に可変とする態様例である。高出力電圧範囲において、Highのレベルで出力電力を指数関数的に可変とする場合には、制御信号間位相差φda、φdb、制御信号セット間位相差φsを固定し、直流電圧Vdcを可変とする直流電圧制御により出力電力を制御する。このとき直流電圧Vdcは出力電力が指数関数的に可変となるように可変とする。
零出力電圧の場合には、直流電圧制御、あるいは位相差制御により出力電圧が零出力電圧となるように設定しておき、出力電圧の可変制御は行わない。
図5はD級、F級、EF級のスイッチングモード方式によるプッシュプル増幅器のPWM制御時における出力電圧波形を示している。出力電圧波形Vddは、ドレイン-ドレイン間電圧を示している。
Vac=(4/π)・Vds・sin{(π/2)・Duty}・sin(ωs・t)
…(3)
Vac:正弦波電圧
Vds:ドレイン-ソース間電圧
Duty:デューティ比
ωs:基本波の角周波数
本発明の高周波電力の出力制御方法を図7のフローチャートを用いて説明する。以下のフローチャートではSの符号を用いて各工程の流れを表している。
図8~図10を用いて本発明の高周波電源装置の構成例を説明する。
3-1.構成例1
構成例1を図8に基づいて説明する。高周波電源装置1は、一対の増幅器2A、2Bと、増幅器2A、2Bの増幅器出力を合成して高周波パルス出力を生成する合成器5とを備える。
電力制御部10は出力電力を制御するための指令値を演算し、制御信号生成部12は電力制御部10の演算で求めた位相差制御指令値に基づいて位相制御差制御のための制御信号を生成する。
直流電圧演算部10aは、出力電力指令値FWD_ref*と出力電力フィードバック値FWD_FBとの差分に基づいて出力電力を出力電力指令値FWD_ref*に一致させるための直流電圧指令値Vref*を演算する。
位相差演算部10bは、出力電力指令値FWD_ref*と出力電力フィードバック値FWD_FBとの差分に基づいて出力電力を位相差制御するための位相差指令値φ*を演算する。位相差指令値φ*は、PWM制御のための制御信号間位相差指令値φda*、φdb*、及び位相差制御(PS制御)のための制御信号セット間位相差指令値φs*を含み、制御信号生成部12は位相差指令値φ*(φda*、φdb*、φs*)に基づいて位相差φ(φda、φdb、φs)を備えた制御信号を生成する。
高周波電源装置1は、出力電力を制御する直流電圧制御部11と、一対の増幅器2A、2Bに入力する制御信号の位相差φ(φd、φs)を、電力制御部10が演算する位相差指令値φ*(φd*、φs*)に基づいて差動信号を生成し、出力電力を制御する制御信号生成部12とを備える。
直流電圧制御を行う構成として直流電圧制御部11を備える。直流電圧制御部11は、直流電圧指令値Vref*に基づいて操作量αを生成する。直流電源を構成するAC/DCコンバータ6は操作量αに基づいて制御され、直流電圧指令値Vref*に応じた直流電圧Vdcの出力電圧を増幅器2A、2Bに供給する。
位相差制御を行う構成として制御信号生成部12を備える。制御信号生成部12は、PWM制御を担う位相差制御機能部12Aa、12Ab、及び位相シフト制御を担う位相差制御機能部12Bを備える。
PWM制御を担う位相差制御機能部12Aa、12Abは、それぞれ増幅器2Aを制御するための制御信号Sig1a、Sig2a、及び増幅器2Bを制御するための制御信号Sig1b、Sig2bを生成する。制御信号Sig1a、Sig2a、Sig1b、Sig2bを位相が互いに逆相関係にある差動信号により構成される場合には、各増幅器には一対の差動信号を含む二対の制御信号が入力される。これにより、増幅器2Aに入力される制御信号Sig1a、Sig2aは、一対の差動信号を含む二対の制御信号からなるセット信号Sigaを構成し、増幅器2Bに入力される制御信号Sig1b、Sig2bにおいても同様に、一対の差動信号を含む二対の制御信号からなるセット信号Sigbを構成する。したがって、セット信号Siga及びセット信号Sigbに含まれる信号数は4信号となる。
例えば、差分(FWD_ref*)-(FWD_FB)が正の値であるときには、出力電力フィードバック値FWD_FBが出力電力指令値FWD_ref*よりも小さいことから、制御信号間位相差指令値φd*を増加させ、パルス幅を広げるデューティ比Dutyを最大デューティ比Duty_maxに近づけることにより出力電力フィードバック値FWD_FBを出力電力指令値FWD_ref*に近づける。
位相シフト制御を担う位相差制御機能部12Bは、それぞれ増幅器2A、2Bを制御するための制御信号Sig1a、Sig2aのセット信号Sigaと制御信号Sig1b、Sig2bのセット信号Sigbとのセット信号間に制御信号セット間位相差φsを付与する。
例えば、差分(FWD_ref*)-(FWD_FB)が正の値であるときには、出力電力フィードバック値FWD_FBが出力電力指令値FWD_ref*よりも小さいことから、制御信号セット間位相差指令値φs*を0[deg]に近づけることにより出力電力フィードバック値FWD_FBを出力電力指令値FWD_ref*に近づける。
構成例2を図9に基づいて説明する。構成例2は、制御信号生成部12で生成した制御信号間位相差φdが、電力制御部10の演算で得られた制御信号間位相差指令値φd*と一致しているか否かを判定し、不一致の場合には制御信号生成部12で生成する制御信号間位相差φdが制御信号間位相差指令値φd*と一致するように調整する。
構成例3を図10に基づいて説明する。構成例3は、増幅器2A、2Bで生成した増幅器出力間に差異が発生しているか否かを判定し、不一致の場合には、制御信号生成部12で生成する制御信号セット間位相差φsを調整する。図10において、丸印付きの符号c、符号dは、増幅器2A、増幅器2Bの増幅器出力を電力制御部10にフィードバックして制御信号セット間位相差φsを求める経路を示している。
図11は電力制御部の要部の構成例を示している。ここでは、出力電力フィードバック値FWD_FBがHigh出力とLow出力の2段階の出力レベルである例を示している。
3-5a.高出力レベル(直流電圧制御)の信号例
図12は本発明の高周波電源装置の各部の信号の概略を示し、高出力レベル範囲において直流電圧制御を行う際の概略信号例である。
図13は本発明の高周波電源装置の各部の信号の概略を示し、低出力レベル範囲においてPWM制御による位相差制御を行う際の概略信号例である。
図14は本発明の高周波電源装置の各部の信号の概略を示し、低出力レベル範囲において位相シフト制御による位相差制御を行う際の概略信号例である。
ゲート信号電圧Vgs1aとゲート信号電圧Vgs1bとの位相差は増幅器2Aと増幅器2Bの増幅器出力間位相差φsampであり、制御信号セット間位相差φsに対応している。増幅器出力間位相差φsampは、制御信号セット間位相差指令値φs*が可変値に応じた角度なる。
図15の構成例は、図1で示した高周波電源装置を1ユニットとし、複数ユニットを並列接続する構成を示している。
2 増幅器
2、2A、2B 増幅器
3、3A、3B 駆動回路
4、4A、4B サーキュレータ/アイソレータ
5 合成器
6 直流電源
7 信号分配器
10 電力制御部
10a 直流電圧演算部
10a1、10b1 電力コントローラ
10b 位相差演算部
11 直流電圧制御部
12 制御信号生成部
12Aa、12Ab、12B 位相差制御機能部
A-N ユニット
DT_min 最小必要デットタイム
DT、DTA、DTB デットタイム
Duty_max 最大デューティ比
Duty_min 最小デューティ比
Duty、DutyA、DutyB デューティ比
FWD_ref* 出力電力指令値
FWD_FB 出力電力フィードバック値
FWD 出力電力
Gsig1a、Gsig2a ゲート信号
Gsig1b、Gsig2b ゲート信号
P,N 差動信号
Pout 出力電力
Sig1a、Sig2a 制御信号
Sig1b、Sig2b 制御信号
Siga、Sigb セット信号
Vac 正弦波電圧
Vdc 直流電圧
Vdc_FB フィードバック電圧
Vdc_max 最大値
Vdc_min 最小値
Vdc* 直流電圧指令値
Vdd 出力電圧波形
Vds ドレイン-ソース間電圧
Vgs ゲート信号電圧
Vgs1a、Vgs2a ゲート信号電圧
Vgs1b、Vgs2b ゲート信号電圧
Vref* 直流電圧指令値
α 操作量
φ 位相差
φ* 位相差指令値
φd 制御信号間位相差
φd* 制御信号間位相差指令値
φda 制御信号間位相差
φda* 制御信号間位相差指令値
φdb 制御信号間位相差
φdb* 制御信号間位相差指令値
φs 制御信号セット間位相差
φs* 制御信号セット間位相差指令値
φsamp 増幅器出力間位相差
Claims (20)
- 一対の増幅器と、
前記一対の増幅器の増幅器出力を合成して高周波パルスの出力電力を生成する合成器と、
を備え、
前記一対の増幅器に供給する直流電圧Vdcを制御する直流電圧制御により前記出力電力を制御する第1制御部と、
前記一対の増幅器の増幅器出力を制御する制御信号の位相差φにより前記出力電力を位相差制御する第2制御部と、
を備え、
前記出力電力の出力レベルに応じて、前記第1制御部による直流電圧制御と前記第2制御部による位相差制御とを切り替え、出力レベルが高出力レベルのときは直流電圧制御し、出力レベルが低出力レベルのときは位相差制御する、
高周波電源装置。 - 一対の増幅器と、
前記一対の増幅器の各増幅器出力を合成して高周波パルスの出力電力を生成する合成器と、
高周波パルス出力の出力電力の制御において、直流電圧制御に用いる直流電圧指令値Vref*、及び位相差制御に用いる位相差指令値φ*を演算する電力制御部と、
前記一対の増幅器に供給する直流電圧Vdcを前記直流電圧指令値Vref*に基づいて直流電圧制御する直流電圧制御部と、
前記一対の増幅器を前記位相差指令値φ*に基づいて位相差制御する制御信号を生成する制御信号生成部と、
を備え、
前記電力制御部は、前記出力電力の出力レベルにおいて、
(a)高出力レベル範囲に対して、前記直流電圧制御の直流電圧指令値Vref*を演算し、
(b)低出力レベル範囲に対して、前記位相差制御の位相差指令値φ*を演算し、
前記出力電力の出力レベルに応じて前記直流電圧制御と前記位相差制御とを切り替えて出力電力を制御する、
高周波電源装置。 - 前記各増幅器に入力する制御信号は、位相が互いに逆相の位相関係にある差動信号である、請求項2に記載の高周波電源装置。
- 前記位相差φは、前記一対の増幅器の各増幅器に入力する各二対の制御信号の信号間の制御信号間位相差φdであり、
前記電力制御部は、前記制御信号間の位相差指令値φd*を演算し、
前記制御信号生成部は、
制御信号位相差制御により、各増幅器に対して、前記位相差指令値φd*に基づいて制御信号間位相差φdの各二対の制御信号を生成し、
前記制御信号位相差制御された制御信号により、各増幅器のスイッチング素子のゲート信号のデューティ比を制御するPWM制御により高周波パルス出力の出力電力を制御する、
請求項3に記載の高周波電源装置。 - 前記位相差φは、前記一対の増幅器の各増幅器に入力する各二対の制御信号の信号間の制御信号間位相差φd、及び各増幅器に入力する二対の前記制御信号を信号セットとして、各増幅器に入力する信号セット間の制御信号セット間位相差φsを含み、
前記電力制御部は、前記制御信号間の位相差指令値φd*、及び制御信号セット間位相差指令値φs*を演算し、
前記制御信号生成部は、前記低出力レベル範囲において高出力レベル側と低出力レベル側とで制御を切り替え、
(a)前記高出力レベル側では、制御信号位相差制御により、各増幅器に対して、前記位相差指令値φd*に基づいて制御信号間位相差φdの各二対の制御信号を生成し、
前記制御信号位相差制御された制御信号により、各増幅器のスイッチング素子のゲート信号のデューティ比を制御するPWM制御により高周波パルス出力の出力電力を制御し、
(b)前記低出力レベル側では、位相シフト制御により、一対の増幅器間において、前記制御信号セット間位相差指令値φs*に基づいて制御信号セット間位相差φsの二対の制御信号の信号セットを生成し、位相シフト制御された二対の制御信号の信号セットにより、一対の増幅器間のゲート信号の位相差を制御し、前記ゲート信号の位相差により高周波パルス出力の出力電力を制御し、
(c)前記制御信号位相差制御及び位相シフト制御により生成された前記一対の増幅器の増幅器出力を合成して高周波パルス出力を生成する
請求項3に記載の高周波電源装置。 - 前記電力制御部は、
高周波パルス出力の出力電力フィードバック値FWD_FBと出力電力指令値FWD_ref*との比較に基づいて、各増幅器に入力する二対の制御信号の信号間の制御信号間位相差指令値φd*を求める、
請求項4又は5に記載の高周波電源装置。 - 前記電力制御部は、前記各増幅器の増幅器出力の比較に基づいて、各増幅器において、二対の制御信号の信号間の制御信号間位相差指令値φd*を調整し、一対の増幅器の増幅器出力を均衡化する、
請求項4又は5に記載の高周波電源装置。 - 前記電力制御部は、前記一対の増幅器の各増幅器において、一方の増幅器に入力する二対の制御信号の信号間の第1の制御信号間位相差φda、及び他方の増幅器に入力する二対の制御信号の信号間の第2の制御信号間位相差φdbを同一の位相差量とする制御信号間位相差指令値φda*及びφda*を調整する、
請求項4又は5に記載の高周波電源装置。 - 前記電力制御部は、高周波パルス出力の出力電力フィードバック値FWD_FBと出力電力指令値FWD_ref*との比較に基づいて、前記信号セット間の制御信号セット間位相差指令値φs*を求める、
請求項5に記載の高周波電源装置。 - 前記直流電圧制御部は、前記増幅器に供給される直流電圧のフィードバック電圧Vdc_FBと直流電圧指令値Vref*との差に基づいて得られる操作量αによりAD/DCコンバータの直流出力電圧を制御する、
請求項2に記載の高周波電源装置。 - 前記増幅器は、スイッチングモード方式による電力増幅器であり、前記制御信号により位相差を有して動作する2つのスイッチング素子の直列回路である、
請求項1から9の何れか一つに記載の高周波電源装置。 - 一対の増幅器を制御し、高周波パルス出力の出力電力を可変とする高周波電力の出力制御方法であり、
出力レベルに応じて直流電圧制御と位相差制御(CNTL2)とを切り替え、
(a)出力レベルが高出力レベル範囲では、前記一対の増幅器に供給する直流電圧Vdcを制御する直流電圧制御により出力電力を制御し、
(b)出力レベルが低出力レベル範囲では、前記一対の増幅器に入力する制御信号の位相差φを制御する位相差制御により出力電力を制御する、
高周波電力の出力制御方法。 - 前記各増幅器に入力する制御信号は、位相が互いに逆相の位相関係にある差動信号である、
請求項12に記載の高周波電力の出力制御方法。 - 前記位相差φは、前記一対の増幅器の各増幅器に入力する各二対の制御信号の信号間の制御信号間位相差φdであり、
前記位相差制御は、
パルス幅を前記制御信号間位相差φdとする制御信号を生成し、
前記制御信号により、各増幅器のスイッチング素子のゲート信号のデューティ比を制御するPWM制御により高周波パルス出力の出力電力を制御し、
請求項13に記載の高周波電力の出力制御方法。 - 前記位相差φは、前記各増幅器に入力する二対の前記制御信号の信号間の制御信号間位相差φd、及び各増幅器に入力する二対の前記制御信号を信号セットとして、一対の増幅器に入力する信号セット間の制御信号セット間位相差φsであり、
前記位相差制御は、前記低出力レベル範囲において高出力レベル側と低出力レベル側とで制御を切り替え、
(a)前記高出力レベル側では、パルス幅を前記制御信号間位相差φdとする制御信号を生成し、前記制御信号により、各増幅器のスイッチング素子のゲート信号のデューティ比を制御するPWM制御により高周波パルス出力の出力電力を制御し、
(b)前記低出力レベル側では、制御信号の信号セット間の制御信号セット間位相差φsを有する制御信号を生成し、前記制御信号により、前記一対の増幅器のゲート信号の位相差を位相シフト制御して高周波パルス出力の出力電力を制御し、
(c)前記一対の増幅器の増幅器出力を合成して高周波パルス出力を生成する、
請求項13に記載の高周波電力の出力制御方法。 - 前記位相差制御において、高周波パルス出力の出力電力フィードバック値FWD_FBと出力電力指令値FWD_ref*との比較に基づいて、各増幅器に入力する制御信号の二対の信号間の制御信号間位相差指令値φd*を求める、
請求項14又は15に記載の高周波電力の出力制御方法。 - 前記位相差制御において、前記各増幅器の増幅器出力の比較に基づいて、各増幅器において、制御信号の二対の信号間の制御信号間位相差指令値φd*を調整し、一対の増幅器の増幅器出力を均衡化する、
請求項14又は15に記載の高周波電力の出力制御方法。 - 前記位相差制御において、
前記一対の増幅器の各増幅器において、一方の増幅器に入力する二対の制御信号の信号間の第1の制御信号間位相差φda、及び他方の増幅器に入力する二対の制御信号の信号間の第2の制御信号間位相差φdbを同一の位相差量とする制御信号間位相差指令値φda*及びφda*を調整する、
請求項14に記載の高周波電力の出力制御方法。 - 前記位相シフト制御において、高周波パルス出力の出力電力フィードバック値FWD_FBと出力電力指令値FWD_ref*との比較に基づいて、前記信号セット間の制御信号セット間位相差指令値φs*を求める、
請求項15に記載の高周波電力の出力制御方法。 - 前記直流電圧制御は、前記増幅器に供給される直流電圧のフィードバック電圧Vdc_FBと直流電圧指令値Vref*との差に基づいて出力電圧を制御する、請求項12に記載の高周波電力の出力制御方法。
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---|---|---|---|---|
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WO2024053135A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社京三製作所 | 高周波電源装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015533065A (ja) | 2012-10-30 | 2015-11-16 | イーティーエー デバイシズ, インコーポレイテッド | 伝送機アーキテクチャおよび関連方法 |
WO2016093269A1 (ja) | 2014-12-12 | 2016-06-16 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源 |
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Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2015533065A (ja) | 2012-10-30 | 2015-11-16 | イーティーエー デバイシズ, インコーポレイテッド | 伝送機アーキテクチャおよび関連方法 |
WO2016093269A1 (ja) | 2014-12-12 | 2016-06-16 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源 |
US20210050819A1 (en) | 2018-02-05 | 2021-02-18 | Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) | H-bridge power amplifier arrangement |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024029113A1 (ja) * | 2022-08-04 | 2024-02-08 | 株式会社京三製作所 | 高周波電源装置 |
WO2024053135A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社京三製作所 | 高周波電源装置 |
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