JP7061941B2 - エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
1 本体容器
1a 接地線
1b 支持棚
2 誘電体壁
3 アンテナ室
4 処理室
3a 側壁
4a 側壁
11 シャワー筐体
11a ガス流路
11b ガス供給孔
12 ガス供給管
13 高周波アンテナ
14 スペーサ
15 整合器
16 高周波電源
17 給電部材
17a 絶縁部材
18 コンデンサ
21 載置台
22 絶縁体枠
23 支柱
24 ベローズ
25 ゲートバルブ
25a 搬入出口
26 給電棒
27 整合器
28 高周波電源
29 排気管
30 処理ガス供給系
31a,31b 処理ガス供給源
32a,32b バルブ
40 排気装置
50 制御装置
51 制御部
52 記憶部
100 ガラス基板
110 ゲート電極
120 ゲート絶縁膜(積層構造)
130 パシベーション膜(積層構造)
120a、120c、130a 窒化シリコン膜
120b、130b 酸化シリコン膜
140 有機絶縁膜
140a 開口部
140b 上面
150 コンタクトホール
160 導電膜
Claims (10)
- 少なくとも1層の酸化シリコン膜と少なくとも1層の窒化シリコン膜を積層して形成される積層構造を、該積層構造の上に積層された有機絶縁膜に設けられた開口を通してエッチングするエッチング方法であって、
CF系ガスと酸素原子を含むガスとからなる第1の処理ガスにより生成されたプラズマにより前記開口を通して前記積層構造をエッチングする第1の工程と、
CF系ガスと希ガスとからなる、または、CHF系ガスと希ガスとからなる第2の処理ガスにより生成されたプラズマにより前記開口を通して前記積層構造をエッチングする第2の工程と、を有する
ことを特徴とするエッチング方法。 - 前記積層構造の最上層および最下層は、前記窒化シリコン膜であり、
前記積層構造は、前記最上層と前記最下層の間に少なくとも1層の前記酸化シリコン膜を有し、
最上層の前記窒化シリコン膜は、前記第1の工程によりエッチングされ、
少なくとも1層の前記酸化シリコン膜は、前記第2の工程によりエッチングされる
ことを特徴とする請求項1に記載のエッチング方法。 - 前記第1の工程におけるCF系ガスの酸素原子を含むガスに対する比は2乃至5であり、
前記第2の工程におけるCF系ガスの希ガスに対する比、または、CHF系ガスの希ガスに対する比は1乃至5である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエッチング方法。 - 前記第1の処理ガスのCF系ガスは、CF4ガスであり、
前記第1の処理ガスの酸素原子を含むガスは、O2ガスまたはO3ガスであり、
前記第2の処理ガスのCF系ガスは、CF4ガス、C4F8ガス、C5F8ガスのいずれかであり、
前記第2の処理ガスのCHF系ガスは、CHF3ガス、CH2F2ガス、CH3Fガスのいずれかであり、
前記第2の処理ガスの希ガスは、ArガスまたはXeガスである
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のエッチング方法。 - 前記第1の工程及び前記第2の工程により前記積層構造を貫通したのち、前記有機絶縁膜を除去しない
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のエッチング方法。 - 少なくとも1層の酸化シリコン膜と少なくとも1層の窒化シリコン膜を積層して形成される積層構造の上に開口を有する有機絶縁膜を形成する第3の工程と、
CF系ガスと酸素原子を含むガスとからなる第1の処理ガスにより生成されたプラズマにより前記開口を通して前記積層構造をエッチングする第1の工程と、
CF系ガスと希ガスとからなる、または、CHF系ガスと希ガスとからなる第2の処理ガスにより生成されたプラズマにより前記開口を通して前記積層構造をエッチングする第2の工程と、
前記有機絶縁膜の上方に導体膜を形成する第4の工程と、を有する
ことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 前記積層構造の最上層および最下層は、前記窒化シリコン膜であり、
前記積層構造は、前記最上層と前記最下層の間に少なくとも1層の前記酸化シリコン膜を有し、
最上層の前記窒化シリコン膜は、前記第1の工程によりエッチングされ、
少なくとも1層の前記酸化シリコン膜は、前記第2の工程によりエッチングされる
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体デバイスの製造方法。 - 前記第1の工程におけるCF系ガスの酸素原子を含むガスに対する比は2乃至5であり、
前記第2の工程におけるCF系ガスの希ガスに対する比、または、CHF系ガスの希ガスに対する比は1乃至5である
ことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の半導体デバイスの製造方法。 - 前記第4の工程に先立ち、前記有機絶縁膜の上に誘電膜を形成する
ことを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。 - 前記第1の処理ガスのCF系ガスは、CF4ガスであり、
前記第1の処理ガスの酸素原子を含むガスは、O2ガスまたはO3ガスであり、
前記第2の処理ガスのCF系ガスは、CF4ガス、C4F8ガス、C5F8ガスのいずれかであり、
前記第2の処理ガスのCHF系ガスは、CHF3ガス、CH2F2ガス、CH3Fガスのいずれかであり、
前記第2の処理ガスの希ガスは、ArガスまたはXeガスである
ことを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
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