JP7026192B6 - 異方性ボンド磁性粉及びその作製方法 - Google Patents

異方性ボンド磁性粉及びその作製方法 Download PDF

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Description

本発明は、磁性材料の技術分野に関し、具体的には、異方性ボンド磁性粉及びその作製方法に関する。
異方性ボンド磁性粉RTB(ここで、Rは希土類元素、Tは遷移元素、Bはホウ素を表す)から加工された磁石は、今まで最高の総合的性能の永久磁性材料として、工業で広く使用されている。しかしながら、RTB系希土類磁石は、温度変化に敏感で、そのキュリー温度が低く、熱安定性が悪く、高温になると、保磁力が急激に低下してしまう。異方性磁石は、保磁力が低く、自動車のモータなど温度の熱安定性が厳しく要求される応用分野を満足させることができないため、室温での磁石の保磁力が高温動作環境での熱減磁の問題を解消するのに十分に高くなるように、まず高保磁力の磁性粉を製造し、さらに加工して高保磁力の磁石を得る必要がある。
中国特許CN1345073Aには、異方性磁性粉の製造方法が開示されており、拡散源にTb又はDyを含有する水素化物が用いられ、且つRFeBH中の希土類元素がNd又はPrである場合、拡散源自体が水素を含み、また、重希土類元素Tb又はDyなどでは、拡散源から水素を除去するために、より高い脱水素温度が必要になり、拡散熱処理後、高温脱水素工程が行われるが、この工程では、拡散源中の水素ではなく、主にRFeBH中の水素が除去される。この場合、拡散源中の水素を除去するには、さらに高い拡散熱処理温度が必要になり、この場合、高温により結晶粒が成長し、最終的に製品の品質や性能に影響を及ぼす。また、Tb又はDyは、原子径が比較的小さく、拡散時に内部に入りやすい。つまり、拡散は、内部及び粒界に同時に発生するプロセスであるが、主相の内部に拡散源の元素が過剰に導入され、主相の構造が破壊され、最終的に製品の品質や性能に影響を及ぼす。
中国特許CN107424694Aには、希土類異方性磁石粉末及びその製造方法ならびにボンド磁石が開示されており、拡散源中の希土類元素RとNdを含有する原料粉末のR’がNd又はPrであり、原料粉末と拡散源に水素化物が用いられる場合を例として、Cuを添加した拡散源はより高い融点を有し、その他の成分が同じである場合、Cuを添加した拡散源の融点は680℃に近く、拡散熱処理工程において、液体の拡散源である粒界相により固体の原料粉末である主相が囲まれるように粒界拡散されるが、拡散源の融点が高いので、粒界拡散の作業温度を高め、結晶粒が高温で成長し、製品の品質や性能に影響を及ぼす。
本発明は、上記の課題を解決するために、異方性ボンド磁性粉及びその作製方法を提供するものであり、この方法では、粒界拡散の作業温度を低下させ、結晶粒の成長量を低下させ、異方性磁石の保磁力を向上させるとともに、磁気エネルギー積及び残留磁束の損失を低減する。
本発明は、上記の目的を達成するために、下記の形態を採用することを意図している。
本発明の第1の形態では、異方性ボンド磁性粉が提供される。前記異方性ボンド磁性粉の一般式は、RTB(ここで、RはNd又はPrNdを含有する希土類元素であり、RはLa、Ceの1種又は2種であり、Tは遷移元素であり、Bはホウ素である)であり、
前記異方性ボンド磁性粉RTBの各成分の質量分率は、Ndが28%~34.5%であり、Prの含有量が≦5%であり、Bの含有量が0.8%~1.2%であり、全質量に占めるLaとCeとの質量の合計の割合は≦0.1%であり、Tは残部であり、
前記異方性ボンド磁性粉は、RTの水素化物RTHを希土類元素の拡散源として使用して、NdTB又はPrNdTBの水素化物RTBHに対して400~700℃の作業温度で粒界拡散を行い、HDDRの高温脱水素工程により得られるものである。
さらに、前記R元素の粒界相における含有量と主相における含有量との比は、3より大きい。
さらに、前記異方性ボンド磁性粉は、2:14:1を粒界構造とする主相RTBと、主相を囲む粒界相を含む。
本発明の第2の形態では、異方性ボンド磁性粉の作製方法が提供される。前記異方性ボンド磁性粉の作製方法は、
母合金を精錬して、固体インゴットRTB、及びRTをそれぞれ形成するステップと、
前記固体インゴットRTBをHDDR炉に入れて、水素吸蔵、高温水素化、水素排出の工程を経て、希土類水素化物RTBHを作製するステップと、
前記固体インゴットRTに対して、温度500℃未満の水素処理を行い、水素化物拡散源RTHを作製するステップと、
前記希土類水素化物RTBHと拡散源RTHを混合するステップと、
混合された希土類水素化物RTBHと拡散源RTHを熱処理するステップと、
高真空脱水素を行い、前記異方性ボンド磁性粉を得るステップ、
を含む。
さらに、前記母合金を精錬して、固体インゴットRTB及びRTをそれぞれ形成するステップは、
所定の配合の原料合金を真空誘導炉でアルゴン雰囲気中で精錬して、高温で溶解した原料を厚さ30~35mmの金型に流し込み、金属液体を金型の中で急速に水冷させてインゴットを成形することと、
前記インゴットを真空熱処理炉に入れて、高真空環境で、温度1000℃~1100℃で20時間保温することと、
アルゴンガスを-0.01MPaまで充填し、定圧状態で急速空冷し、室温まで冷却した後、炉から取り出すこと、を含む。
さらに、前記固体インゴットRTBをHDDR炉に入れて、水素吸蔵、高温水素化、水素排出の工程を経て、希土類水素化物RTBHを作製するステップは、
固体インゴットRTBをHDDR炉に入れて、真空状態で300℃まで昇温し、この温度で水素ガスを充填してガス圧を95~100kPaに維持し、300℃に1~2時間保温して水素吸蔵処理を完了することと、
30~35kPaまで真空引きし、790℃まで昇温し、この温度と圧力に180~200分間維持して高温水素化処理を完了することと、
水素ガスを50~70kPaまで充填するとともに、820℃まで昇温して30分間保温することと、
0.1~4kPaまで真空引きし、20分間保温して水素排出工程を完了することを含む。
さらに、前記固体インゴットRTに対して、温度500℃未満の水素処理を行い、水素化物拡散源RTHを作製するステップは、
前記固体インゴットRTを粗粉砕した後、気固反応炉に入れて、真空状態で300~500℃まで昇温し、この温度で水素ガスを充填してガス圧を95~100kPaに維持し、80分間保温して水素吸蔵・分解することと、
真空引きすると同時に、室温まで冷却して水素化物拡散源RTHを得ることを含む。
さらに、前記希土類水素化物RTBHと拡散源RTHを混合するステップは、
ブレンダーによってArとNの混合雰囲気で15~30分間混合することを含む。
さらに、前記混合された希土類水素化物RTBHと拡散源RTHを熱処理するステップは、
ArとNの混合雰囲気を熱処理雰囲気として選択することが好ましく、希土類水素化物RTBHと拡散源RTBHの混合粉末を400~700℃且つ真空状態で、0.5~2時間保温して熱処理工程を完了することを含む。
さらに、前記高真空脱水素を行い、前記異方性ボンド磁性粉を得るステップは、温度600~850℃でガス圧を0.1Pa以下に維持し、真空引きを60~80分間続け、好ましくは、600~700℃で、高真空脱水素を前記拡散熱処理と同時に行うことと、
その後、室温まで急速に冷却することを含む。
上述したように、本発明は、一般式がRTB(ここで、RはNd又はPrNdを含有する希土類元素であり、RはLa、Ceの1種又は2種であり、Tは遷移元素であり、Bはホウ素である)である異方性ボンド磁性粉及びその作製方法を提供するものであり、この作製方法は、母合金を精錬してインゴットを作製するステップと、希土類水素化物RTBHを作製するステップと、水素化物拡散源RTHを作製するステップと、混合・熱処理・高真空脱水素を行うステップを含み、最終的にこの異方性ボンド磁性粉が得られる。本発明では、拡散源としてLa、Ce水素化物を用いることで、低い脱水素温度で拡散源中の水素を除去して、高温での結晶粒の成長を回避し、製品の品質を確保することができる。
本発明の上記の解決手段は、下記の有利な技術的効果を有する。
(1)従来技術におけるTb、Dy元素の代わりにLa、Ce元素を用いることで、コストを節約し、重希土類資源を保護することができる。
(2)拡散源としてLa、Ceの水素化物を使用し、かつRFeBH中の希土類元素がNd又はPrである場合、La、Ceは、Nd又はPrよりも低い脱水素温度で拡散源中の水素が除去され、拡散熱処理及び高温脱水素工程が相対的に低い温度で行われ、この脱水素温度では、RFeBH中の水素も、拡散源中の水素も除去でき、より高い拡散熱処理温度を必要とせず、高温での結晶粒の成長を回避し、保磁力を向上させるとともに、磁気エネルギー積及び残留磁束の損失を低減する。
本発明の目的、解決手段、及び利点をより明確にするために、以下、具体的な実施形態を参照しながら、本発明をさらに詳細に説明する。これらの説明は例示的なものに過ぎず、本発明の範囲を限定することを意図するものではないことを理解されたい。なお、以下の説明では、本発明の概念を不必要に曖昧にしないため、公知の構造及び技術の説明は省略する。
本発明の第1の形態では、RTB(ここで、RはNd又はPrNdを含有する希土類元素を表し、RはLa、Ceの1種又は2種を表し、Tは遷移元素を表し、Bはホウ素を表す)である希土類異方性ボンド磁性粉が提供される。粒界相Rにより主相Rが囲まれるシェル構造が形成されており、主相の体積と粒界相の体積との比は10から30の間である。従来技術におけるTb、Dy元素の代わりにLa、Ce元素を用いることで、コストを節約し、重希土類資源を保護することができる。本発明では、RTの水素化物RTHを希土類元素の拡散源とし、拡散源RTについて、R元素としてTb又はDyの代わりにLa又はCeを用いることにより、RはRより融点が低いので、低温で一部の液相の拡散源により固相である主相を囲む反応を行うことができる。NdTB又はPrNdTBの水素化物RTBH系磁石粉末に対して400~700℃の作業温度で粒界拡散を行い、HDDRの高温脱水素工程を経て、成分がRTBからなる希土類異方性ボンド磁性粉が得られる。この異方性ボンド磁性粉の粒子は2:14:1を粒界構造とする主相RTBと、主相を囲む粒界相を含む。
ここで、RTHにおいて、Ndの質量分率は70%-80%であり、Prの質量分率は≦5%であり、Laの質量分率は≦0.05%であり、Ceの質量分率は≦0.05%であり、Hの質量分率は≦0.1%であり、Tは残部であり、RTBHにおいて、Ndの質量分率は28%-29.5%であり、Prの質量分率は≦5%であり、Bの含有量は0.9%-1.2%であり、Hの質量分率は≦0.1%であり、Tは残部であり、RTHの添加割合は、RTBHの質量100%に対して、RTHの質量は0.1%~10%である。
さらに、前記Rは、拡散プロセス中、ほとんど結晶粒外の拡散であり、一部は結晶粒内の拡散であるため、粒界相における含有量と主相における含有量との比は3より大きい。好ましくは、前記R元素は粒界相における含有量と主相における含有量との比は3超10未満である。本発明において、拡散源RTについて、R元素としてTb又はDyの代わりにLa又はCeを用いる場合、発生する拡散反応は、内部の反応ではなく、ほとんど粒界相に集中する。La又はCeは、拡散プロセス中、ほとんど結晶粒外の拡散であり、一部は結晶粒内の拡散であるため、粒界相における含有量と主相における含有量との比は3より大きい。適切な拡散プロセスにより、保磁力を大幅に向上させることができる。しかし、拡散源を過剰に添加すると、磁気エネルギー積及び残留磁気が大幅に減少する反面、主相におけるLa又はCeが増加し、主相の破壊が不可避であり、最終的に主相生成物が不純になってしまう。したがって、R元素の粒界相における含有量と主相における含有量との比を3超10未満にすることが好ましい。
本発明の第2の形態では、希土類異方性ボンド磁性粉RTBの作製方法が提供され、前記作製方法は、以下のステップを含む。
ステップ1では、母合金を精錬して、固体インゴットRTB、及びRTをそれぞれ形成する。前者のRTBを例とすると、
所定の配合の原料合金を真空誘導炉で高純度アルゴン雰囲気中で精錬し、高温で溶解した原料を厚さ30~35mmの金型に流し込み、金属液体を金型の中で急速に水冷させてインゴットを成形する。前記インゴットを真空熱処理炉に入れて、高真空環境で、1000℃~1100℃で20時間保温し、アルゴンガスを-0.01MPaまで充填し、定圧状態で急速空冷し、室温まで冷却した後、炉から取り出す。このとき、生成物は異方性のない固体インゴットRTBである。
上述した方法と同様に、固体インゴットRTを作製する。
ステップ2では、主成分が希土類水素化物RTBHである異方性粉末を作製する。固体インゴットRTBをHDDR炉に入れて、水素吸蔵、高温水素化、水素排出の工程を経て、希土類水素化物RTBHを作製する。
具体的には、前記インゴットRTBをHDDR炉に入れて、真空状態で300℃まで昇温し、この温度で水素ガスを充填してガス圧を95~100kPaに維持し、300℃に1~2時間保温して水素吸蔵・分解工程を完了する。
次に、30~35kPaまで真空引きし、790℃まで昇温し、この温度と圧力に180~200分間維持して高温水素化工程を完了する。
そして、水素ガスを50~70kPaまで充填するとともに、820℃まで昇温して30分間保温する。
最後に、0.1~4kPaまで真空引きし、20分間保温して、第1排気工程を完了する。この時、高温脱水素工程を完了していないため、完全なHDDR工程ではない。
この反応中、RTB結晶間構造の水素吸蔵は、膨張係数が異なるため破断が発生し、平均結晶粒子径が300nmで相構造が2:14:1である微粉末が形成される。高温水素化工程で不均化分解反応が起こり、主相RTBの構造がR+FeB+Feの3相の組織に分解され、主相のC軸の方向に沿った結晶構造が生成され、生成物に異方性を持たせる。第1排気工程では3相のうちRの水素が除去されるとともに、FeB相の結晶配向は、多結晶再結合水素化物RTBHに変換されるが、高温脱水素工程を経ていないため、完全なHDDR工程による生成物RTBとは異なっている。
ステップ3では、水素処理温度が500℃未満の水素処理方法で、主成分がRTHである拡散源を作製する。
具体的には、水素処理では、固体インゴットRTを粗粉砕した後、気固反応炉に入れて、真空状態で300~500℃まで昇温し、この温度で水素ガスを充填してガス圧を95~100kPaに維持し、80分間保温して水素吸蔵・分解し、真空引きすると同時に、室温まで冷却して水素化物RTHである拡散源を得る。
拡散源として、Tb、Dyの水素化物の代わりに、La、Ceの水素化物を使用し、且つRFeBH中の希土類元素がNd又はPrである場合、La、Ceは、Nd又はPrよりも低い脱水素温度で、水素を拡散源から除去することができ、拡散熱処理後、RFeBH中の水素も拡散源中の水素も除去できる脱水素温度で高温脱水素工程を行うことで、より高い拡散熱処理温度を必要とせず、高温での結晶粒の成長を回避し、製品の品質や性能を確保することができる。
ステップ4では、原料粉末である希土類水素化物と拡散源を混合し、混合粉末を得る。具体的には、ブレンダーによってArとNの混合雰囲気で粉末を15~30分間混合する。
ステップ5では、混合粉末を熱処理する。前記熱処理のステップでは、熱処理雰囲気はArとNの混合雰囲気であることが好ましい。つまり、希土類水素化物RTBHと拡散源RTBHの混合粉末を400~700℃、真空状態で、0.5~2時間保温して熱処理工程を完了する。
ステップ6では、高真空脱水素を行い異方性ボンド磁性粉を得る。具体的には、温度600~850℃でガス圧を0.1Pa以下に維持し、真空引きを60~80分間続け、その後、室温まで急速に冷却する。このステップは熱処理の後でも、相対的に低温で拡散熱処理と同時でも、即ち、600~700℃で、拡散熱処理と高真空脱水素を同時に行ってもよい。
実施例を挙げる。
実施例1:A1-B1~B3
一:RTB及びRTインゴット原料の製造
表1と表2の組成に従って原料合金を秤量する。ここで、合金全体を100%として、各元素は質量分率wt%で表される。真空誘導炉により、高純度のアルゴン雰囲気中で精錬し、高温で溶解した原料を厚さ30~35mmの金型に流し込み、金属液体を金型の中で急速に水冷させてインゴットを成形した。
前記インゴットを真空熱処理炉に入れて、真空環境で、1000℃~1100℃に20時間保温し、アルゴンガスを-0.01MPaまで充填し、定圧状態で急速空冷し、室温まで冷却した後、炉から取り出した。この場合、生成物は、固体インゴットRTBであり、インゴットを粗粉砕して平均粒子径20~35mmのペレットにした。
ここで、インゴットは、SCキャスティング法で作製したストリップ材により置換されてもよい。
Figure 0007026192000001
Figure 0007026192000002
二:RTBH及びRTHの作製
固体インゴット又はSC法で作製したストリップであるRTBをHDDR炉に入れて、真空状態で300℃まで昇温し、その後、この温度で水素ガスを充填してガス圧を95~100kPaに維持し、300℃に1~2時間保温して、水素吸蔵・分解工程を完了した。水素ガス圧を30~35kPaに制御し、790℃まで昇温し続け、この温度と圧力に180~200分間維持して、そして50~70kPaまで水素ガスを充填し、さらに820℃まで昇温し続け、30分間保温して高温水素化工程を完了した。0.1~4kPaまで真空引きし、20分間保温して、第1排気工程を完了して、RTBHを得た。
拡散源は、水素処理の方法で、500℃未満で作製した。固体インゴット又はSCストリップであるRTを気固反応炉に入れて、真空状態で300~500℃まで昇温し、この温度で水素ガスを充填して、ガス圧を95~100kPaに維持し、80分間保温して、水素吸蔵・分解し、真空引きすると同時に室温まで冷却して、粒子径が300um以下の水素化物RTHである拡散源を得て、この粉末を粉砕して80um未満のRTH微粉末を得た。
三:混合工程
TBHとRTH微粉末を混合するステップである。
四:拡散熱処理
混合粉末を400~700℃、10-2Paの真空状態で熱処理する。
五:高真空脱水素
熱処理した粉末を600~850℃、10-4Paの真空状態で熱処理する。
実施例2:A1-B4~B6、実施例1と同じ方法で得た。
実施例3:A1又はA2-B7、実施例1と同じ方法で得た。
Figure 0007026192000003
上記の表から分かるように、La又はCeを含有する拡散源を加えることで、拡散反応がより容易になり、400℃で良好な拡散反応が起こり、磁性粉の保磁力が大幅に向上し、La及びCeの質量分率がそれぞれ0.01%である場合、保磁力は1406kA/mに達したが、La又はCeを含有しない拡散反応では、低温になると、拡散後の保磁力は1052kA/mのみであった。また、Dy水素化物を含有する拡散源を用いることより、La又はCe水素化物を含有する拡散源は、低温でより脱水素されやすく、本実験では、600℃の低温で、拡散反応と同時に、脱水素反応が起こり、この脱水素温度では、RFeBH中の水素も拡散源中の水素も除去でき、より高い拡散熱処理温度を必要とせず、高温での結晶粒の成長を回避し、保磁力の性能の向上として現れた。
上述したように、本発明は、一般式がRTB(ここで、RはNd又はPrNdを含有する希土類元素であり、RはLa、Ceの1種又は2種であり、Tは遷移元素であり、Bはホウ素である)である異方性ボンド磁性粉及びその作製方法を提供するものであり、この作製方法は、母合金を精錬してインゴットを作製するステップと、希土類水素化物RTBHを作製するステップと、水素化物拡散源RTHを作製するステップと、混合・熱処理・高真空脱水素を行うステップを含み、最終的にこの異方性ボンド磁性粉が得られる。本発明では、拡散源としてLa、Ce水素化物を用いることで、コストを節約でき、低い脱水素温度で拡散源中の水素を除去して、高温での結晶粒の成長を回避し、製品の品質を確保することができる。
本発明の上述した具体的な実施形態は、本発明の原理を例示的に説明又は解釈するためのものに過ぎず、本発明の限定を構成するものではないことを理解されたい。したがって、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく実施されたいかなる変化、同等の置換、改良なども、本発明の保護範囲内に含まれるべきである。なお、本発明の添付の請求項は、添付の特許請求の範囲及び境界、又はそのような範囲及び境界と同等な形にあるすべての変更及び変形例をカバーすることが意図されている。

Claims (8)

  1. 方性ボンド磁性粉の作製方法であって、
    前記異方性ボンド磁性粉の一般式は、R TB(ここで、R はNd又はPrNdを含有する希土類元素であり、R はLa、Ceの1種又は2種であり、Tは遷移元素であり、Bはホウ素である)であり、
    前記異方性ボンド磁性粉R TBの各成分の質量分率は、Ndが28%~34.5%であり、Prの含有量が≦5%であり、Bの含有量が0.8%~1.2%であり、全質量に占めるLaとCeとの質量の合計の割合は≦0.1%であり、Tは残部であり、
    前記異方性ボンド磁性粉は、R Tの水素化物R TH を希土類元素の拡散源として使用して、NdTB又はPrNdTBの水素化物R TBH に対して400~700℃の作業温度で粒界拡散を行い、HDDRの高温脱水素工程により得られるものであり、
    前記作製方法は、
    母合金を精錬して、固体インゴットRTB、及びRTをそれぞれ形成するステップと、
    前記固体インゴットRTBをHDDR炉に入れて、水素吸蔵、高温水素化、水素排出の工程を経て、希土類水素化物RTBHを作製するステップと、
    前記固体インゴットRTに対して、温度500℃未満の水素処理を行い、水素化物拡散源RTHを作製するステップと、
    前記希土類水素化物RTBHと拡散源RTHを混合するステップと、
    混合された希土類水素化物RTBHと拡散源RTHを熱処理するステップと、
    高真空脱水素を行い、前記異方性ボンド磁性粉を得るステップ、
    を含み、
    前記母合金を精錬して、固体インゴットR TB、及びR Tをそれぞれ形成するステップは、
    所定の配合の原料合金を真空誘導炉でアルゴン雰囲気中で精錬して、高温で溶解した原料を厚さ30~35mmの金型に流し込み、金属液体を金型の中で急速に水冷させてインゴットを成形することと、
    前記インゴットを真空熱処理炉に入れて、高真空環境で、温度1000℃~1100℃で20時間保温することと、
    アルゴンガスを-0.01MPaまで充填し、定圧状態で急速空冷し、室温まで冷却した後、炉から取り出すことを含むことを特徴とする、異方性ボンド磁性粉の作製方法。
  2. 前記R 元素の粒界相における含有量と主相における含有量との比は、3より大きいことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  3. 前記異方性ボンド磁性粉は、2:14:1を粒界構造とする主相R TBと、主相を囲む粒界相を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  4. 前記固体インゴットRTBをHDDR炉に入れて、水素吸蔵、高温水素化、水素排出の工程を経て、希土類水素化物RTBHを作製するステップは、
    固体インゴットRTBをHDDR炉に入れて、真空状態で300℃まで昇温し、この温度で水素ガスを充填してガス圧を95~100kPaに維持し、300℃に1~2時間保温して水素吸蔵処理を完了することと、
    30~35kPaまで真空引きし、790℃まで昇温し、この温度と圧力に180~200分間維持して高温水素化処理を完了することと、
    水素ガスを50~70kPaまで充填するとともに、820℃まで昇温して30分間保温することと、
    0.1~4kPaまで真空引きし、20分間保温して水素排出工程を完了すること、
    を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  5. 前記固体インゴットRTに対して、温度500℃未満の水素処理を行い、水素化物拡散源RTHを作製するステップは、
    前記固体インゴットRTを粗粉砕した後、気固反応炉に入れて、真空状態で300~500℃まで昇温し、この温度で水素ガスを充填してガス圧を95~100kPaに維持し、80分間保温して水素吸蔵・分解することと、
    真空引きすると同時に、室温まで冷却して水素化物拡散源RTHを得ること、
    を含むことを特徴とする、請求項に記載の方法。
  6. 前記希土類水素化物RTBHと拡散源RTHを混合するステップは、
    ブレンダーによってArとNの混合雰囲気で15~30分間混合することを含むことを特徴とする、請求項に記載の方法。
  7. 前記混合された希土類水素化物RTBHと拡散源RTHを熱処理するステップは、
    ArとNの混合雰囲気を熱処理雰囲気として選択、希土類水素化物RTBHと拡散源RTBHの混合粉末を400~700℃且つ真空状態で、0.5~2時間保温して熱処理工程を完了することを含むことを特徴とする、請求項に記載の方法。
  8. 前記高真空脱水素を行い、前記異方性ボンド磁性粉を得るステップは、
    温度600~850℃でガス圧を0.1Pa以下に維持し、真空引きを60~80分間続け、
    の後、室温まで急速に冷却すること、
    を含むことを特徴とする、請求項に記載の方法。
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