JP7024818B2 - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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特許文献1 特開2002-270841号公報
Claims (11)
- 活性領域と、前記活性領域よりも外側に設けられ、前記活性領域を囲む耐圧構造部とを有する半導体基板を備え、
前記活性領域は、
前記半導体基板のおもて面側に形成され、且つ、溝部を有するLOCOS膜からなる素子絶縁膜と、
前記素子絶縁膜の前記溝部に設けられた温度検出用ダイオードと、
前記温度検出用ダイオードおよび前記素子絶縁膜のおもて面を覆うコンタクトホールを有する層間絶縁膜と
を有し、
前記耐圧構造部は、
前記半導体基板のおもて面に形成された1以上のLOCOS膜からなるフィールド絶縁膜と、
前記フィールド絶縁膜のおもて面を覆う前記層間絶縁膜と
を有し、
前記素子絶縁膜の前記溝部が設けられていない領域の膜厚は、前記フィールド絶縁膜の膜厚と同一である
半導体装置。 - 前記半導体基板は、前記活性領域のおもて面に第1リセス部を備え、
前記素子絶縁膜は、前記第1リセス部に設けられる
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板は、前記耐圧構造部のおもて面に1以上の第2リセス部を備え、
前記フィールド絶縁膜は前記第2リセス部に設けられる
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記温度検出用ダイオードのおもて面は、前記半導体基板のおもて面と同一またはより低い位置に設けられる
請求項2または3に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板のおもて面側に形成されたゲート電極およびゲート絶縁膜を更に備え、
前記素子絶縁膜の前記溝部が設けられていない領域における膜厚が、前記ゲート絶縁膜の膜厚より大きい
請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記素子絶縁膜の前記溝部が設けられた領域における膜厚が、前記ゲート絶縁膜の膜厚より大きい
請求項5に記載の半導体装置。 - 前記素子絶縁膜の前記溝部が設けられた領域における膜厚が、300nm以上である
請求項6に記載の半導体装置。 - 前記素子絶縁膜の前記溝部が設けられていない領域の幅が、前記ゲート絶縁膜の膜厚より大きい
請求項5から7のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板のおもて面側にはゲートトレンチが形成され、
前記ゲート電極および前記ゲート絶縁膜は、前記ゲートトレンチの内部に形成され、
前記素子絶縁膜の前記溝部の幅は、前記ゲートトレンチの幅よりも大きい
請求項5から8のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記耐圧構造部は、
2以上の隣接する前記フィールド絶縁膜と、
隣接する前記フィールド絶縁膜の間に、ガードリングと
を更に有する
請求項1から9のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板は、前記活性領域と前記耐圧構造部の間に設けられたパッド領域とを有し、
前記パッド領域は、前記温度検出用ダイオードと接続するパッドを有する
請求項1から10のいずれか一項に記載の半導体装置。
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