JP7023542B2 - 炭化珪素インゴットの製造方法及び炭化珪素インゴット製造用システム - Google Patents
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Description
上記の目的を達成するために、一実施例に係る炭化珪素インゴットの製造方法は、内部空間を有する反応容器200に、原料300と炭化珪素種結晶を互いに対向するように配置する準備ステップと;前記内部空間の温度、圧力及び雰囲気を調節して前記原料を昇華させ、前記種結晶から成長した炭化珪素インゴット100を設ける成長ステップと;前記反応容器を冷却させ、前記炭化珪素インゴットを回収する冷却ステップと;を含み、前記反応容器は、外面を取り囲む断熱材と、前記反応容器又は前記内部空間の温度を調節する加熱手段とを含み、前記成長ステップは、前記内部空間を事前成長開始温度から進行温度まで昇温させる第1成長過程と;前記進行温度を維持する第2成長過程と;を含んで炭化珪素インゴットを設け、前記事前成長開始温度は、前記内部空間の減圧が始まる温度であり、前記進行温度は、前記内部空間の減圧が完了し、前記減圧された圧力下で炭化珪素インゴットの成長を誘導する温度であり、温度差は、前記内部空間の上部温度と前記内部空間の下部温度との差であり、前記事前成長開始温度において前記温度差は40℃~60℃であり、前記内部空間の上部230は、前記炭化珪素種結晶が位置した領域であり、前記内部空間の下部240は、前記原料が位置した領域である。
上記の目的を達成するために、具現例に係る炭化珪素インゴットの製造装置は、内部空間を有する反応容器200と;前記反応容器の外面を取り囲む断熱材400と;前記反応容器又は前記内部空間の温度を調節する加熱手段600と;を含んで炭化珪素インゴットを製造し、前記内部空間の上部230に炭化珪素種結晶110が位置し、前記内部空間の下部240に原料300が位置し、前記加熱手段は、前記反応容器の上下方向に移動可能に設置されて内部空間の上部と内部空間の下部との温度差を調節し、前記炭化珪素インゴットは、常温から900℃まで5℃/minで昇温し、900℃で10時間酸化熱処理したとき、炭化珪素種結晶と接する炭化珪素インゴットの後面の損失面積が、後面全体の面積に対して5%以下である。前記熱処理は、酸素や窒素などの特定のガスを適用していない大気雰囲気の加熱炉で進行することができる。
上記の目的を達成するために、一実施例に係る炭化珪素インゴットは、常温から900℃まで5℃/minで昇温し、900℃で10時間酸化熱処理したとき、炭化珪素種結晶と接する炭化珪素インゴットの後面の損失面積が、後面全体の面積に対して5%以下であってもよく、または3.2%以下であってもよい。前記損失面積は、前記後面全体の面積に対して0%超であってもよく、または0.001%以上であってもよい。前記熱処理は、酸素や窒素などの特定のガスを適用していない大気雰囲気の加熱炉で進行することができる。
上記の目的を達成するために、一実施例に係るウエハの製造方法は、前記炭化珪素インゴットの製造方法を通じて製造された炭化珪素インゴットを切断してウエハを設ける切断ステップと;前記設けられたウエハの厚さを平坦化し、表面を研磨する加工ステップと;を含むことができる。
図3に炭化珪素インゴットの製造装置の一例を示したように、反応容器200の内部空間の下部に原料である炭化珪素粉末を装入し、その上部に炭化珪素種結晶を配置した。このとき、炭化珪素種結晶は、直径6インチの4H炭化珪素結晶からなるものを適用し、C面((000-1)面)が内部空間の下部の炭化珪素原料に向かうように通常の方法により固定した。
前記実施例において、第1成長過程の開始温度、進行温度及び温度差を、表1の比較例の条件に変更して進行した。
前記製造された炭化珪素インゴットを種結晶から切断して分離した。種結晶と接していた面である後面の損失を評価するために、前記製造されたインゴットを大気雰囲気の加熱炉にて5℃/minの速度で常温から900℃まで昇温させ、900℃で10時間酸化熱処理を進行した後、後面の損失面積を目視で把握した。損失面積が全面積の5%を超えると、後面が損失したものと判断した。
110 種結晶
200 反応容器
210 本体
220 蓋
230 内部空間の上部
240 内部空間の下部
300 原料
400 断熱材
500 反応チャンバ、石英管
600 加熱手段
700 真空排気装置
800 マスフローコントローラ
810 配管
Claims (13)
- 内部空間を有する反応容器に、原料と炭化珪素種結晶を互いに対向するように配置する準備ステップと;
前記内部空間の温度、圧力及び雰囲気を調節して前記原料を昇華させ、前記種結晶から成長した炭化珪素インゴットを設ける成長ステップと;
前記反応容器を冷却させ、前記炭化珪素インゴットを回収する冷却ステップと;を含み、
前記反応容器は、外面を取り囲む断熱材と、前記反応容器又は前記内部空間の温度を調節する加熱手段とを含み、
前記成長ステップは、前記内部空間を事前成長開始温度から進行温度まで昇温させる第1成長過程と;前記進行温度を維持する第2成長過程と;を含んで炭化珪素インゴットを設け、
前記事前成長開始温度は、前記内部空間の減圧が始まる温度であり、
前記進行温度は、前記内部空間の減圧が完了し、前記減圧された圧力下で炭化珪素インゴットの成長を誘導する温度であり、
温度差は、前記内部空間の上部温度と前記内部空間の下部温度との差であり、
前記事前成長開始温度において前記温度差は40℃~60℃であり、
前記内部空間の上部は、前記炭化珪素種結晶が位置した領域であり、
前記内部空間の下部は、前記原料が位置した領域である、炭化珪素インゴットの製造方法。 - 前記成長ステップの前に、
大気状態の前記内部空間を減圧する減圧ステップと;
減圧された前記内部空間に不活性ガスを注入し、前記事前成長開始温度まで昇温させる昇温ステップと;を含む、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。 - 前記第1成長過程の昇温速度は、前記昇温ステップと前記第1成長過程全体の平均昇温速度よりも小さい、請求項2に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。
- 前記加熱手段は、前記反応容器の上下方向に移動可能に設置され、
前記加熱手段は、前記成長ステップで前記内部空間の上部と前記内部空間の下部との温度差を誘導する、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。 - 前記事前成長開始温度は、前記内部空間の下部を基準として1500℃~1700℃である、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。
- 前記成長ステップの進行温度は、前記内部空間の下部を基準として2100℃~2500℃である、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。
- 前記進行温度において温度差は、前記事前成長開始温度においての温度差よりも70℃~120℃大きい、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。
- 前記第1成長過程の進行温度において前記温度差は110℃~160℃である、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。
- 前記第1成長過程の減圧は1torr~50torrまで進行する、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。
- 前記炭化珪素種結晶は、4インチ以上の4H炭化珪素を含む、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。
- 前記第1成長過程の昇温速度は1℃/min~5℃/minである、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。
- 前記冷却ステップの回収は、前記炭化珪素種結晶と接する前記炭化珪素インゴットの後面を切断して進行し、
前記回収された炭化珪素インゴットは、常温から900℃まで5℃/minで昇温し、900℃で10時間酸化熱処理したとき、前記後面の損失面積が、後面全体の面積に対して5%以下である、請求項1に記載の炭化珪素インゴットの製造方法。 - 内部空間を有する反応容器と;
前記反応容器の外面を取り囲む断熱材と;
前記反応容器又は前記内部空間の温度を調節する加熱手段と;を含んで炭化珪素インゴットを製造し、
前記内部空間の上部に炭化珪素種結晶が位置し、
前記内部空間の下部に原料が位置し、
前記加熱手段は、前記反応容器の上下方向に移動可能に設置されて内部空間の上部と内部空間の下部との温度差を調節し、
前記炭化珪素インゴットは、常温から900℃まで5℃/minで昇温し、900℃で10時間酸化熱処理したとき、炭化珪素種結晶と接する炭化珪素インゴットの後面の損失面積が、後面全体の面積に対して5%以下であり、
事前成長開始温度は、前記内部空間の減圧が始まる温度であり、
進行温度は、前記内部空間の減圧が完了し、前記減圧された圧力下で炭化珪素インゴットの成長を誘導する温度であり、
前記加熱手段は、前記事前成長開始温度において前記内部空間の上部と内部空間の下部との温度差が40℃~60℃になるように誘導する、炭化珪素インゴット製造用システム。
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