JP7007943B2 - 振動波モータ及び振動波モータを備えたレンズ駆動装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動波モータ及び振動波モータを備えたレンズ駆動装置に関する。

特許文献１で開示された駆動装置は、防振機構に適用されているため２軸で撮像素子を駆動しているが、１軸のみの構成に着目すると、振動子と摺動板を押圧機構で挟持し、摺動板側にはボールを配置した構成とすることで動力を取り出している。

特許第５２３０９９４号明細書

しかしながら特許文献１で開示された駆動装置では、衝撃力により押圧機構の反押圧方向に力が働いた場合、振動子、摺動板、ボールが押圧方向に変位することで脱落してしまう。特に摺動板の重量は比較的重く、落下衝撃等により数１００～数１０００Ｇの力が発生した場合には、振動子へのダメージは深刻であり、破壊の危険性は高まる。

本発明の目的は、構成部材の脱落を防止した振動波モータを提供する。

上記目的を達成するために、振動波モータは、振動体と圧電素子とを備えた振動子と、摩擦部材と、前記振動子と前記摩擦部材とを接触させる方向に加圧する加圧手段と、を備え、前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを前記加圧手段の加圧方向と直交する方向に相対移動させ、前記振動子及び前記摩擦部材は、前記振動子と前記摩擦部材との前記相対移動の方向への移動に伴って移動しない固定部材に対して、前記加圧方向と平行な方向に移動可能であり、前記加圧方向と平行な方向における前記摩擦部材の移動可能量が前記加圧方向と平行な方向における前記振動子の移動可能量より小さくなるように、前記摩擦部材の前記移動可能量を規制する第１の規制手段と前記振動子の前記移動可能量を規制する第２の規制手段とを備えることを特徴とする。

本発明によれば、構成部材の脱落を防止した振動波モータを提供することができる。

実施例１の振動波モータ１００の要部断面図である。 実施例１の振動波モータ１００の要部断面図である。 実施例１の振動波モータ１００の分解図である。 （Ａ）、（Ｂ）衝撃力が加わった状態を示す実施例１の振動波モータ１００の要部断面図である。 実施例２の振動波モータ２００の要部断面図である。 衝撃力が加わった状態を示す実施例２の振動波モータ２００の要部断面図である。 レンズ駆動装置１０とカメラ装置１の概略図である。 フォーカスユニット２０の要部断面図である。

（実施例１）
以下に、本発明の実施例１を添付の図１～３に基づいて詳細に説明する。図面において、相対移動の方向をＸ方向、加圧方向をＺ方向、Ｘ方向、Ｚ方向のいずれにも直交する方向をＹ方向と定義する。

図１は、本発明の実施例１における振動波モータ１００を図２の断面線Ｉ－Ｉに沿って断面にした要部断面図である。図２は、振動波モータ１００を図１の断面線ＩＩ－ＩＩに沿って断面にした要部断面図である。図３は、振動波モータ１００の構成を模式的に示した分解図である。

振動波モータ１００（超音波モータ）は、振動体１０１と圧電素子１０２で構成される振動子１０３を備える。振動体１０１と圧電素子１０２は、接着剤等の手段により固着され、振動体１０１は、２つの突起部を備え、後述する摩擦部材１１６に摩擦接触している。図２においてはそのうち１つの突起部のみが示されている。

振動子保持部材１０５は、振動子１０３の全体を保持している。振動遮断部材１０４は、圧電素子１０２のＺ方向の上部に配置され、振動子１０３で発生する振動が振動遮断部材１０４のＺ方向の上部に設けられた他の部材へ伝達するのを防止している。なお、振動遮断部材１０４としては、フェルトなどの繊維からなる部材が用いられることが多い。

加圧力を伝達する第１の伝達部材１０６及び第２の伝達部材１０７は、振動遮断部材１０４のＺ方向の上部に配置される。加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄは、振動子１０３を摩擦部材１１６へ加圧するための加圧力を発生し、本実施例１では４つの引っ張りコイルバネにより構成されている。この４つの引っ張りコイルバネは、紙面奥行方向（Ｙ方向）に並んで配置されるため、図１では加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂのみが示される。なお、第１の伝達部材１０６、第２の伝達部材１０７と加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄは、請求項の記載における加圧手段に対応している。

保持部材１０９は、振動子保持部材１０５を保持する部材であって、保持部材１０９と振動子保持部材１０５との間には、転動コロ１１０Ａ、１１０Ｂとガタ寄せバネ１１１が備えられている。このような構成によって、保持部材１０９と振動子保持部材１０５は、Ｘ方向にガタなく連結されるとともに、振動子保持部材１０５は保持部材１０９に対してＺ方向に移動可能に保持されている。すなわち、振動子１０３を保持する振動子保持部材１０５が保持部材１０９に保持されることにより、振動子１０３は保持部材１０９に保持される。そして、保持部材１０９には、３つのネジ部材１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃが係合する孔が設けられ、不図示の筐体にこれら３つのネジ部材１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃにより保持部材１０９が固定されている。また、保持部材１０９には、落下等の衝撃力による摩擦部材１１６のＺ方向の移動を規制する規制部１０９ａ、１０９ｂが備えられている。なお、規制部１０９ａ、１０９ｂは、請求項の記載における第１の規制手段に対応している。

固定側案内部材１１２は、２つの転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂ（転動部材）を保持するガイド溝１１２ａ、１１２ｂを備えるとともに、保持部材１０９に連結されている。可動側案内部材１１４は、２つの転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂを保持するガイド溝１１４ａ、１１４ｂを備える。２つの転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂは、加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄの加圧力により固定側案内部材１１２と可動側案内部材１１４で挟持されている。

摩擦部材保持部材１１５は、可動側案内部材１１４と摩擦部材１１６を保持する。更に摩擦部材保持部材１１５は、Ｙ方向に延びた長穴部１１５ａを備え、この長穴部１１５ａ内には、棒状のガイド部材１１７がＸ方向に伸延して配置され、長穴部１１５ａの内部で摩擦部材保持部材１１５とＺ方向で遊嵌している。ガイド部材１１７は、摩擦部材１１６を保持する摩擦部材保持部材１１５をＸ方向に案内し、振動波モータ１００の外側に設けられた不図示の筐体によりその両端が保持されている。摩擦部材１１６は、Ｚ方向の上面側に振動子１０３と接触する摩擦接触面を備え、下面側は摩擦部材保持部材１１５に固定されている。すなわち、振動子１０３及び摩擦部材１１６は、保持部材１０９に対して略加圧方向に移動可能に構成されている。

上記の構成により、可動側案内部材１１４と摩擦部材保持部材１１５と摩擦部材１１６は、一体となった状態で、固定側案内部材１１２に対して転動ボール１１３Ａ、１１３ＢによりＸ方向に移動可能に案内される。更に、Ｘ方向に平行で転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂの中心付近を通過する軸を中心にする回転を規制するガイド部材１１７が摩擦部材保持部材１１５の延びた長穴部１１５ａに遊嵌している。そのため、可動側案内部材１１４と摩擦部材保持部材１１５と摩擦部材１１６を安定してＸ方向に直線駆動することが可能となっている。

振動波モータ１００は、動力取り出し部１１８を備えており、この動力取り出し部１１８に駆動対象となる被駆動部材が連結されることで、被駆動部材の直線駆動が可能となる。更に振動波モータ１００は、ネジ部材１２１により保持部材１０９に固定された規制部材１１９を備えており、規制部材１１９は、落下等の衝撃力による振動子１０３のＺ方向の移動を規制している。なお、規制部材１１９は、請求項の記載における第２の規制手段に対応している。

以上のように本発明の振動波モータ１００は構成され、振動子１０３に発生する高周波振動（超音波領域の周波数の高周波振動）により摩擦部材１１６をＸ方向へ相対移動させることで直線駆動を実現している。本実施例１では、摩擦部材１１６が移動し、振動子１０３が固定されている。なお、実際には振動子１０３の圧電素子１０２には駆動電圧を供給するためのフレキシブルプリント基板と、駆動電圧を発生する駆動回路が存在するが、図示及び説明を省略している。

ところで、振動波モータ１００に落下等による衝撃力が加わり、加圧手段による加圧力以上の力が加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄを引き延ばす方向に発生した場合について考えてみる。例えば、図２において、衝撃力により摩擦部材１１６がガイド部材１１７を中心に回転し、振動子１０３がＺ方向へ押し上げられると、転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂがガイド溝１１２ａ、１１２ｂ、１１４ａ、１１４ｂから脱落する恐れがある。また、加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄが引き伸ばされて塑性変形する危険性が生じる。

しかしながら、振動波モータ１００には、振動子１０３と摩擦部材１１６のＺ方向への移動を規制する規制部材１１９が設けられており、構成部材の脱落が防止されている。一方、振動子１０３と摩擦部材１１６の衝突により振動子１０３が破損する危険性については、本発明では規制部１０９ａ、１０９ｂが設けられている。これらの規制部１０９ａ、１０９ｂ、規制部材１１９に当接する部材のクリアランスを工夫することで、衝撃力による上記破損を回避している。以下詳細を説明する。

図４（Ａ）、（Ｂ）は、図２と同様に振動波モータ１００の要部断面図である。図４（Ａ）は、落下等により弱い衝撃力が加わった第１の状態を、図４（Ｂ）は落下等により強い衝撃力が加わった第２の状態をそれぞれ示す。なお、図において不図示である部材等には括弧を付して記載する。図４（Ａ）において、可動側案内部材１１４、摩擦部材保持部材１１５、摩擦部材１１６は一体となってガイド部材１１７を中心に反時計回り（ＣＣＷ）に回転し、摩擦部材保持部材１１５が規制部１０９ａ（１０９ｂ）と当接している。したがって、規制部１０９ａ（１０９ｂ）により摩擦部材１１６のＺ方向の移動が規制されている。このとき、転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂの脱落を防止するための摩擦部材１１６と規制部１０９ａ（１０９ｂ）とのＺ方向の間隙は、ガイド溝１１２ａ、１１２ｂ、１１４ａ、１１４ｂへの転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂの嵌入量に基づいて決められている。

そして、摩擦部材１１６の回転により、Ｚ方向の上部に配置された振動子１０３、振動遮断部材１０４、振動子保持部材１０５、第１の伝達部材１０６、第２の伝達部材１０７は一体となってＺ方向に移動している。しかしながら、図４（Ａ）においては、規制部材１１９と第２の伝達部材１０７は接触しておらず、Ｚ方向のクリアランスＣを隔てている。なお、振動子１０３には加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄによる加圧力以外の力は働いていない。また、厳密にはバネが伸びることにより加圧力は増加するが、衝撃力と比較すると十分に小さいためその増加は無視している。

図４（Ｂ）は、図４（Ａ）より更に強い衝撃力が加わった第２の状態を示す。可動側案内部材１１４、摩擦部材保持部材１１５、摩擦部材１１６は、図４（Ａ）と同様に一体となってガイド部材１１７を中心に反時計回り（ＣＣＷ）に回転し、摩擦部材保持部材１１５が規制部１０９ａ、１０９ｂに当接する。したがって、規制部１０９ａ、１０９ｂにより摩擦部材１１６のＺ方向の移動が規制される。一方、摩擦部材１１６のＺ方向の上部に配置された振動子１０３、振動遮断部材１０４、振動子保持部材１０５、第１の伝達部材１０６、第２の伝達部材１０７が一体となってＺ方向に移動し、第２の伝達部材１０７が規制部材１１９に当接している。したがって、規制部材１１９により振動子１０３のＺ方向の移動が規制されている。このとき、振動子１０３は摩擦部材１１６に接触していないため、振動子１０３が衝撃力により摩擦部材１１６と衝突して破損することを防止できる。

そして、図２で示した通常状態における摩擦部材１１６の位置を点線１１６’で示すと、規制部材１１９により規制された際の振動子１０３のＺ方向の移動は移動量Ｄ１となる。また、規制部１０９ａ、１０９ｂにより規制された際の摩擦部材１１６のＺ方向の移動は移動量Ｄ２となる。このとき、移動量Ｄ１と移動量Ｄ２が下記の式（１）の大小関係となるように規制部１０９ａ、１０９ｂ、規制部材１１９のＺ方向の寸法が設定される。また、振動子１０３と摩擦部材１１６の間には、間隙（Ｄ１－Ｄ２）が生じている。
Ｄ１＞Ｄ２ （１）

式（１）の大小関係により、振動子１０３と摩擦部材１１６は、強い衝撃力が加わった際には、接触せずに離間することとなる。これにより、振動子１０３が摩擦部材１１６に衝突しその際の衝撃力により破損することを防止している。また、加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄは、Ｚ方向に伸ばされるが規制部材１１９が設けられているため、塑性変形が防止されるとともに、加圧バネ１０８Ａ、１０８Ｂ、１０８Ｃ、１０８Ｄが外れることがない。更に規制部１０９ａ、１０９ｂにより規制された際の摩擦部材１１６の移動量Ｄ２は、転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂの直径より小さいため、摩擦部材１１６が移動しても転動ボール１１３Ａ、１１３Ｂが脱落することがない。

以上のような構成により、実施例１では、振動波モータ１００に衝撃力が加わった場合でも、構成部材の脱落と振動子１０３へのダメージを防止することができるので、良好なモータ性能を維持することが可能となる。

（実施例２）
実施例２は、実施例１とは異なり、第１の振動子２０３Ａ、第２の振動子２０３Ｂの２つを備えており、高推力タイプの振動波モータ２００となっている。なお、実施例１と同様な構成については、詳細な説明を省略する。また、第１の振動子２０３Ａの構成と同様な構成を有する第２の振動子２０３Ｂ及びこれに関係する部材については括弧書きで示し、その詳細な説明を省略する。なお、図において不図示である部材等には括弧を付して記載する。

図５は、本発明の実施例２における振動波モータ２００をＹ方向に沿って断面にした要部断面図である。上記のように振動波モータ２００は、第１の振動子２０３Ａ、第２の振動子２０３Ｂの２つを備えており、それぞれに対応するように各部材が備えられている。第１の振動子２０３Ａは、振動体２０１Ａと圧電素子２０２Ａで構成されている。振動体２０１Ａと圧電素子２０２Ａは、接着剤等の手段により固着され、実施例１と同様に２つの突起部を備え、摩擦部材２１６Ａに摩擦接触している。図５においてはそのうち１つの突起部のみが示されている。第２の振動子２０３Ｂの構成も第１の振動子２０３Ａと同様である。

振動子保持部材２０５Ａは、第１の振動子２０３Ａの全体を保持している。振動遮断部材２０４Ａは、圧電素子２０２ＡのＺ方向の上部に配置され、第１の振動子２０３Ａで発生する振動が振動遮断部材２０４ＡのＺ方向の上部に設けられた他の部材へ伝達するのを防止している。

加圧力を伝達する第１の伝達部材２０６Ａ（２０６Ｂ）、第２の伝達部材２０７Ａ（２０７Ｂ）、第３の伝達部材２１９Ａ（２１９Ｂ）及び転動ボール２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ、２２０Ｄは、振動遮断部材２０４Ａ（２０４Ｂ）のＺ方向の上部に配置される。加圧バネ２０８Ａ、２０８Ｂ、２０８Ｃ、２０８Ｄは、本実施例２では４つの圧縮コイルバネにより構成され、紙面奥行方向（Ｘ方向）に並んで配置されるため加圧バネ２０８Ａ、２０８Ｂのみが示される。また、転動ボール２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ、２２０Ｄも、紙面奥行方向（Ｘ方向）に並んで配置されるため転動ボール２２０Ａ、２２０Ｂのみが示されている。

加圧バネ２０８Ａ～２０８ＤのＺ方向のバネ力により、第２の伝達部材２０７Ａ（２０７Ｂ）は、転動ボール２２０Ａ～２２０Ｄを支点として回転することが可能である。一方、第２の伝達部材２０７Ａ（２０７Ｂ）は、第１の伝達部材２０６Ａ（２０６Ｂ）に備えられたＺ方向に突出する当接部と当接し、この当接部を介してバネ力を伝達し、第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）を摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）に摩擦接触させる。なお、第１の伝達部材２０６Ａ（２０６Ｂ）、第２の伝達部材２０７Ａ（２０７Ｂ）、第３の伝達部材２１９Ａ（２１９Ｂ）、加圧バネ２０８Ａ～２０８Ｄと転動ボール２２０Ａ～２２０Ｄは、請求項の記載における加圧手段に対応している。

保持部材２０９は、振動子保持部材２０５Ａ（２０５Ｂ）を保持する部材であって、保持部材２０９と振動子保持部材２０５Ａ（２０５Ｂ）との間には、転動コロ（不図示）とガタ寄せバネ（不図示）が備えられている。このような構成によって、保持部材２０９と振動子保持部材２０５Ａ（２０５Ｂ）は、Ｘ方向にガタなく連結されるとともに、振動子保持部材２０５Ａ（２０５Ｂ）は保持部材２０９に対してＺ方向に移動可能に保持されている。また、保持部材２０９には、落下等の衝撃力による摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）のＺ方向の移動を規制する規制部２０９ａ、２０９ｂが備えられている。規制部２０９ａ、２０９ｂは図５の紙面奥行方向（Ｘ方向）に配置されるため、規制部２０９ａのみが示されている。なお、規制部２０９ａ、２０９ｂは、請求項の記載における第１の規制手段に対応している。

更に保持部材２０９には、落下等の衝撃力による第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）のＺ方向の移動を規制する規制部２０９ｃ、２０９ｄが備えられている。規制部２０９ｃ、２０９ｄは、請求項の記載における第２の規制手段に対応している。第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）及び摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）の働きの規制については後ほど詳細に説明する。

摩擦部材保持部材２１５は、可動側案内部材２１４と摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）を保持する。更に摩擦部材保持部材２１５は、Ｙ方向に延びた長穴部２１５ａを備え、この長穴部２１５ａには、棒状のガイド部材２１７がＸ方向に伸延して配置され、長穴部２１５ａの内部で摩擦部材保持部材２１５とＺ方向で遊嵌している。ガイド部材２１７は、摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）を保持する摩擦部材保持部材２１５をＸ方向に案内し、振動波モータ２００の外側に設けられた不図示の筐体によりその両端が保持されている。摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）は、Ｚ方向の上面側に第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）と接触する摩擦接触面を備え、下面側は摩擦部材保持部材２１５に固定されている。すなわち、第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）及び摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）は、保持部材２０９に対して略加圧方向に移動可能に構成されている。

上記の構成により、可動側案内部材２１４と摩擦部材保持部材２１５と摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）は、一体となった状態で、固定側案内部材２１２に対して転動ボール２１３Ａ、２１３ＢによりＸ方向に移動可能に案内される。更に、Ｘ方向に平行で転動ボール２１３Ａ、２１３Ｂの中心付近を通過する軸を中心にする回転を規制するガイド部材２１７が摩擦部材保持部材２１５の延びた長穴部２１５ａに遊嵌している。そのため、可動側案内部材２１４と摩擦部材保持部材２１５と摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）を安定してＸ方向に直線駆動することが可能となっている。

振動波モータ２００は、動力取り出し部２１８を備えており、この動力取り出し部２１８に駆動対象となる被駆動部材が連結されることで、被駆動部材の直線駆動が可能となる。第３の伝達部材２１９Ａ（２１９Ｂ）は、第２の伝達部材２０７Ａ（２０７Ｂ）と転動ボール２２０Ａ～２２０Ｄを介して加圧バネ２０８Ａ～２０８Ｄのバネ力を受ける。しかしながら、第３の伝達部材２１９Ａ（２１９Ｂ）は、ネジ部材により保持部材２０９に固定されているため、第２の伝達部材２０７Ａ（２０７Ｂ）と転動ボール２２０Ａ～２２０ＤのＺ方向の移動を規制する。

以上のように本発明の振動波モータ２００は構成され、第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）に発生する高周波振動により摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）をＸ方向へ相対移動させることで直線駆動を実現している。第１の振動子２０３Ａ、第２の振動子２０３Ｂの２つを備えているため、実施例１と比べて約２倍の推力を得ることができる。次に、落下等の衝撃力発生時における第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）、摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）の挙動について以下詳細に説明する。

図６は、図５と同様に振動波モータ２００の要部断面図であって、落下等により衝撃力が加わった状態を示す。図６において、可動側案内部材２１４、摩擦部材保持部材２１５、摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）は一体となってガイド部材２１７を中心に時計回り（ＣＷ）に回転し、摩擦部材保持部材２１５が規制部２０９ａ（２０９ｂ）と当接する。したがって、規制部２０９ａ（２０９ｂ）により摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）のＺ方向の移動が規制される。

一方、摩擦部材２１６ＡのＺ方向の上部に配置された第１の振動子２０３Ａ、振動遮断部材２０４Ａ、振動子保持部材２０５Ａ、第１の伝達部材２０６Ａは、一体となってＺ方向に移動する。第２の伝達部材２０７Ａの一方の端部は、第１の伝達部材２０６Ａが有するＺ方向に突出した当接部と当接しており、第２の伝達部材２０７Ａが転動ボール２２０Ａ（２２０Ｃ）の中心を通過しＸ方向に平行な軸周りに反時計周り（ＣＣＷ）に回転する。そして、第２の伝達部材２０７Ａの他方の端部が規制部２０９ｃに当接するまで第２の伝達部材２０７Ａは回転する。その結果、規制部２０９ｃにより第１の振動子２０３ＡのＺ方向の移動が規制される。このとき、第１の振動子２０３Ａは摩擦部材２１６Ａに接触していないため、第１の振動子２０３Ａが衝撃力により摩擦部材２１６Ａと衝突して破損することを防止できる。

そして、図５で示した通常状態における摩擦部材２１６Ａの位置を点線２１６Ａ’で示すと、規制部２０９ｃにより規制された際の第１の振動子２０３ＡのＺ方向の移動は移動量Ａ１となる。また、規制部２０９ａ（２０９ｂ）により規制された際の摩擦部材２１６ＡのＺ方向の移動は移動量Ａ２となる。このとき、移動量Ａ１と移動量Ａ２が下記の式（２）の大小関係となるように、規制部２０９ａ、２０９ｂ、２０９ｃのＺ方向の寸法が設定される。また、第１の振動子２０３Ａと摩擦部材２１６Ａの間には、間隙（Ａ１－Ａ２）が生じている。
Ａ１＞Ａ２ （２）

同様に、摩擦部材２１６ＢのＺ方向の上部に配置された第２の振動子２０３Ｂ、振動遮断部材２０４Ｂ、振動子保持部材２０５Ｂ、第１の伝達部材２０６Ｂは、一体となってＺ方向に移動する。第２の伝達部材２０７Ｂの一方の端部は、第１の伝達部材２０６Ｂが有するＺ方向に突出した当接部と当接しており、第２の伝達部材２０７Ｂが転動ボール２２０Ｂ（２２０Ｄ）の中心を通過しＸ方向に平行な軸周りに時計周り（ＣＷ）に回転する。そして、第２の伝達部材２０７Ｂの他方の端部が規制部２０９ｄに当接するまで第２の伝達部材２０７Ｂは回転する。その結果、規制部２０９ｄにより第２の振動子２０３ＢのＺ方向の移動が規制される。このとき、第２の振動子２０３Ｂは摩擦部材２１６Ｂに接触していないため、第２の振動子２０３Ｂが衝撃力により摩擦部材２１６Ｂと衝突して破損することを防止できる。

そして、図５で示した通常状態における摩擦部材２１６Ｂの位置を点線２１６Ｂ’で示すと、規制部２０９ｄにより規制された際の第２の振動子２０３ＢのＺ方向の移動は移動量Ｂ１となる。また、規制部２０９ａ（２０９ｂ）により規制された際の摩擦部材２１６ＢのＺ方向の移動は移動量Ｂ２となる。このとき、移動量Ｂ１と移動量Ｂ２が下記の式（３）の大小関係となるように、規制部２０９ａ、２０９ｂ、２０９ｄのＺ方向の寸法が設定される。また、第２の振動子２０３Ｂと摩擦部材２１６Ｂの間には、間隙（Ｂ１－Ｂ２）が生じている。
Ｂ１＞Ｂ２ （３）

式（２）、（３）の大小関係により、第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）と摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）は、強い衝撃力が加わった際には、接触せずに離間することとなる。これにより、第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）が摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）の衝撃力により破損することを防止している。

なお、図５に示すように規制部２０９ｃと第２の伝達部材２０７ＡのクリアランスＣ１と、規制部２０９ｄと第２の伝達部材２０７ＢのクリアランスＣ２は、クリアランスＣ１の方がクリアランスＣ２より大きく設定されている。これは、図６に示すように摩擦部材２１６Ａ（２１６Ｂ）がガイド部材２１７を中心に回転することにより、摩擦部材２１６ＡのＺ方向の移動量Ａ２の方が摩擦部材２１６ＢのＺ方向の移動量Ｂ２より大きくなっている。そして、摩擦部材２１６Ａの移動量Ａ２は、転動ボール２１３Ａ、２１３Ｂの直径より小さいため、摩擦部材２１６Ａが移動しても転動ボール２１３Ａ、２１３Ｂが脱落することがない。

以上のような構成により、実施例２では、振動波モータ２００に衝撃力が働いた場合にも、構成部材の脱落と第１の振動子２０３Ａ（２０３Ｂ）へのダメージを防止することができるので、良好なモータ性能を維持することが可能となる。

（適用例）
次に、実施例１の振動波モータ１００をレンズ駆動装置１０に用いた適用例を説明する。図７はレンズ駆動装置１０とカメラ装置１の概略図である。レンズ駆動装置１０は、レンズ部１１及びフォーカスユニット２０を備え、フォーカスユニット２０の内部に振動波モータ１００とフォーカスレンズ部１２を備える。レンズ駆動装置１０は、カメラ装置１に取り付けられており、レンズ部１１、フォーカスレンズ部１２を通過した光束を受光する撮像素子２を備える。上記構成により、撮像素子２で得られる画像信号をもとに焦点検出を行い、焦点検出結果に基づき振動波モータ１００でフォーカスレンズ部１２をＸ方向に駆動する。そして、フォーカスレンズ部１２を駆動させることにより、撮像素子２上で合焦するように振動波モータ１００が駆動制御される。

図８は、フォーカスユニット２０をＸ方向に直交する平面で切断した要部断面図である。鏡筒２１には、フォーカス鏡筒２２が保持されるとともに、Ｚ方向の上部に振動波モータ１００が固定されている。フォーカス鏡筒２２は、フォーカスレンズ部１２を保持し、２本のガイドバー２３Ａ、２３ＢによりＸ方向に移動可能に保持される。フォーカス鏡筒２２の上部には連結部２４が備えられ、この連結部２４は振動波モータ１００の動力取り出し部１１８と連結することで、Ｘ方向にフォーカス鏡筒２２を駆動することが可能となっている。

鏡筒２１のＺ方向の下部にはエンコーダー２５が備えられ、フォーカス鏡筒２２のＺ方向の下部に備えられたスケール２６をエンコーダー２５で読み取ることにより、鏡筒２１に対するフォーカス鏡筒２２の位置を検出している。

更に鏡筒２１には、カムフォロア２７ａ、２７ｂ、２７ｃが接続されており、カム溝が形成されたカム筒２８、直進溝が形成された直進案内筒２９に係合することで、鏡筒２１全体が、レンズ駆動装置１０のズーム動作に伴いＸ方向に移動可能に構成される。

以上のような構成で、レンズ駆動装置１０に衝撃力が働いた場合にも、振動波モータ１００の構成部材の脱落と振動子１０３へのダメージを防止することで、良好なモータ性能を維持することが可能となる。また、実施例２の振動波モータ２００をレンズ駆動装置１０に用いても同様な効果が得られる。

１０ レンズ駆動装置
１２ フォーカスレンズ部（レンズ部）
２３Ａ、２３Ｂ ガイドバー（案内部材）
１００、２００ 振動波モータ
１０１、２０１Ａ（Ｂ） 振動体
１０２、２０２Ａ（Ｂ） 圧電素子
１０３、２０３Ａ（Ｂ） 振動子
１１６、２１６Ａ（Ｂ） 摩擦部材
１０６、２０６Ａ（Ｂ） 第１の伝達部材（加圧手段）
１０７、２０７Ａ（Ｂ） 第２の伝達部材（加圧手段）
１１７、２１７ ガイド部材
１０８Ａ～Ｄ 加圧バネ（加圧手段）
１０９ 保持部材
１０９ａ、１０９ｂ 規制部（第１の規制手段）
１１３Ａ、１１３Ｂ 転動ボール（転動部材）
１１９ 規制部材（第２の規制手段）
２０９ａ、２０９ｂ 規制部（第１の規制手段）
２０９ｃ、２０９ｄ 規制部（第２の規制手段）
２１３Ａ、２１３Ｂ 転動ボール（転動部材）
２１９Ａ（Ｂ） 第３の伝達部材（加圧手段）
Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２ 移動量
Ｄ１、Ｄ２ 移動量

Claims (11)

1. 振動体と圧電素子とを備えた振動子と、
   摩擦部材と、
   前記振動子と前記摩擦部材とを接触させる方向に加圧する加圧手段と、
   を備え、
   前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを前記加圧手段の加圧方向と直交する方向に相対移動させ、
   前記振動子及び前記摩擦部材は、前記振動子と前記摩擦部材との前記相対移動の方向への移動に伴って移動しない固定部材に対して、前記加圧方向と平行な方向に移動可能であり、
   前記加圧方向と平行な方向における前記摩擦部材の移動可能量が前記加圧方向と平行な方向における前記振動子の移動可能量より小さくなるように、前記摩擦部材の前記移動可能量を規制する第１の規制手段と前記振動子の前記移動可能量を規制する第２の規制手段とを備えることを特徴とする、振動波モータ。
2. 前記振動子は、少なくとも第１の振動子と第２の振動子とを備え、前記第１の規制手段は、前記加圧方向から見たときに前記第１の振動子と前記第２の振動子の間に配置されることを特徴する、請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記摩擦部材を案内するガイド部材を備え、前記摩擦部材は前記ガイド部材を中心に回転することを特徴とする、請求項１又は２に記載の振動波モータ。
4. 前記摩擦部材を案内する転動部材を備え、前記第１の規制手段により規制された前記摩擦部材の前記移動可能量は、前記転動部材の大きさより小さいことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波モータ。
5. 前記振動子と前記摩擦部材との前記相対移動をガイドするガイド機構を備え、
   前記ガイド機構は、前記相対移動の方向への移動に伴って移動する第１のガイド部と、前記相対移動の方向への移動に伴って移動しない第２のガイド部と、前記第１のガイド部と前記第２のガイド部との間に配置される転動部材とを有し、
   前記第１のガイド部と前記第２のガイド部の一方は、前記摩擦部材の前記加圧方向と平行な方向への移動に伴って前記加圧方向と平行な方向へ移動し、
   前記摩擦部材の前記移動可能量は、前記転動部材が前記第１のガイド部と前記第２のガイド部との間から脱落しないように前記第２の規制手段によって規制されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の振動波モータ。
6. 前記摩擦部材が前記相対移動の方向に移動し、前記振動子が固定されていることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
7. 前記第１の規制手段と前記第２の規制手段は、前記固定部材に備えられていることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波モータ。
8. 前記振動は、超音波領域の周波数の高周波振動であり、前記振動波モータは超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波モータと、
   前記振動波モータにより駆動されるレンズ部と、
   該レンズ部を直進に移動可能に保持する案内部材と、
   を備えたことを特徴とする、レンズ駆動装置。
10. 振動体と圧電素子とを備えた振動子と、
    摩擦部材と、
    前記振動子と前記摩擦部材とを接触させる加圧手段と、
    被駆動部材と、
    を備え、
    前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを前記加圧手段の加圧方向と直交する方向に相対移動させることで前記被駆動部材を移動させ、
    前記振動子及び前記摩擦部材は、前記振動子と前記摩擦部材との前記相対移動の方向への移動に伴って移動しない固定部材に対して、前記加圧方向と平行な方向に移動可能であり、
    前記加圧方向と平行な方向における前記摩擦部材の移動可能量を規制する第１の規制手段と、前記第１の規制手段とは異なる前記加圧方向と平行な方向における前記振動子の移動可能量を規制する第２の規制手段と、によって、前記加圧方向と平行な方向における前記摩擦部材の移動可能量が前記振動子の移動可能量より小さくなるように、前記摩擦部材の前記移動可能量と前記振動子の前記移動可能量とが規制されていることを特徴とする、駆動装置。
11. レンズを備え、
    前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摩擦部材とを前記加圧手段の前記加圧方向と直交する方向に前記相対移動させることで前記レンズを移動させることを特徴とする、請求項１０に記載の駆動装置。

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