JP7000912B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
4:絶縁膜
6:第1領域
7:半導体層
10:第1半導体領域
14:ドレイン領域
16:ドリフト領域
18:ベース領域
20:ソース領域
22:ソース電極
50:第2半導体領域
52:第1領域
54:第2領域
60:第3領域
64:ゲート電極
100:半導体装置
Claims (6)
- 横型の半導体装置であり、
半導体層が、その表面から裏面に至る絶縁膜によって第1半導体領域と第2半導体領域に分離されており、
前記第1半導体領域と前記第2半導体領域の双方に接しているドレイン電極と、
前記ドレイン電極から離れた位置で前記第1半導体領域に接しているソース電極と、
前記ドレイン電極から離れた位置で前記第2半導体領域に接しているゲート電極と、
を備えており、
前記第1半導体領域は、
前記ドレイン電極に接続されているn型のドレイン領域と、
前記ドレイン領域に隣接して設けられており、前記ドレイン領域より不純物濃度が低いn型のドリフト領域と、
前記ドレイン領域とは反対側で前記ドリフト領域に隣接して設けられているp型のベース領域と、
前記ベース領域の表層に設けられているとともに前記ソース電極に接続されており、前記ベース領域によって前記ドリフト領域から分離されているn型のソース領域と、を有しており、
前記第2半導体領域は、
前記ドレイン電極に接続されているp型の第1領域と、
前記第1領域に隣接して設けられているn型の第2領域と、
前記第2領域に隣接して設けられており、前記ゲート電極に接続されているp型の第3領域と、を有している半導体装置。 - 前記絶縁膜を介して、前記ドリフト領域と前記ベース領域の界面が、前記第2領域と前記第3領域の界面と対向している請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第3領域が、前記第3領域よりもp型の不純物濃度が濃い第4領域を介して前記ゲート電極に接続されている請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記第2領域内の前記第1領域及び前記第3領域から離れた位置に、前記第2領域よりもn型の不純物濃度が濃い第5領域が設けられている請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体層を平面視したときに、前記第1半導体領域の両側に前記絶縁膜を介して前記第2半導体領域が設けられている請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体層は、SOI基板の活性層を含んでいる請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体装置。
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JP5157276B2 (ja) * | 2007-06-19 | 2013-03-06 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
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Patent Citations (6)
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