JP6988358B2 - ワーク保持治具、電子部品処理装置および電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ワークを保持するワーク保持機構を有するワーク保持治具、当該ワーク保持治具を有する電子部品処理装置、および当該ワーク保持治具を用いた電子部品の製造方法に関する。

電子部品の製造時には、特許文献１の図７等に記載されているようなワーク保持治具に複数のワークを保持させ、スキージ等によって、一度に複数のワークの処理予定面に電極膜（端子電極）を形成する場合がある。

複数の処理予定面を具備する電子部品において、各処理予定面に電極膜を形成するには、処理予定面に電極膜を形成する都度、ワーク保持治具からワークを取り外し、電極膜の形成されていない処理予定面が印刷用スクリーン等を向くように、向きを変える必要がある。

しかしながら、一旦、ワーク保持治具からワークを取り外すと、そのワークを元の位置に正確に再配置することは容易ではない。位置ずれした状態で電極膜の形成を行うと、所望の位置に電極膜が形成されなかったり、所望の形状の電極膜が得られなかったり、あるいは電極膜の一部に欠損が生じたりするなど、不具合が生じるおそれがある。

特開平７−２０１６５３号公報

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、ワークの複数の処理予定面に連続した処理を高精度で行うことができるワーク保持治具、電子部品処理装置および電子部品の製造方法を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明に係るワーク保持治具は、
ワークを保持するワーク保持機構を有するワーク保持治具であって、
前記ワーク保持機構は、前記ワークの３面が当接する第１当接面と、第２当接面と、第３当接面とを持つワーク収容部を有し、
前記ワーク収容部は、前記ワーク収容部に収容されるワークの少なくとも２つの処理予定面が露出するように、少なくとも前記第１当接面の反対側と、前記第２当接面の反対側とが開放していることを特徴とする。

本発明に係るワーク保持治具は、ワークを保持するワーク保持機構を有する。そして、ワーク保持機構は、第１当接面と、第２当接面と、第３当接面とを持つワーク収容部を有し、ワーク収容部は、ワーク収容部に収容されるワークの少なくとも２つの処理予定面が露出するように、少なくとも第１当接面の反対側と、第２当接面の反対側とが開放している。そのため、ワーク収容部にワークを収容すると、ワークの少なくとも２つの処理予定面が、少なくともワーク収容部の第１当接面の反対側と、第２当接面の反対側とから露出する。

本発明では、このワーク収容部から露出したワークの処理予定面を印刷用スクリーン等に向けることで、当該処理予定面に電極膜を形成することが可能である。そして、ワーク収容部から露出したワークのいずれかの処理予定面（たとえば、第１当接面の反対側から露出した処理予定面）に電極膜を形成した後は、ワーク保持治具を所定角度だけ回転させ、ワーク収容部から露出した他のいずれかの処理予定面（たとえば、第２当接面の反対側から露出した処理予定面）を印刷用スクリーン等に向けることで、当該処理予定面に電極膜を形成することができる。

すなわち、本発明では、従来とは異なり、処理予定面に電極膜を形成する都度、ワークをワーク保持治具から取り外し、ワークの向きを変える必要がなく、ワーク収容部から露出した少なくとも２つの処理予定面に、連続的に電極膜を形成することが可能である。したがって、ワークの取り外しに起因して生じ得る電極膜の位置ずれや欠損等の不具合を防止し、ワークの所定位置に電極膜を高精度で形成することができる。

また、本発明に係るワーク保持治具を用いることにより、ワークの処理予定面に、電極膜だけではなく、その他の機能被膜（たとえば、絶縁膜）を形成することも可能である。また、処理予定面には、被膜形成処理だけではなく、その他の処理（たとえば、エッチング等の表面処理）を行うことも可能である。いずれの処理についても、上述した要領でワーク保持治具を所定角度だけ回転させ、処理対象の処理予定面を順次シフトしていくことにより、ワークの複数の処理予定面に連続した処理を高精度で行うことができる。

また、ワークが第１当接面と、第２当接面と、第３当接面とで位置決めされることにより、ワークの位置ずれを防止し、ワークの複数の処理予定面に連続した処理をより高精度で行うことができる。

また、複数のワーク保持治具（たとえば、２つの第１および第２の保持治具）を配列して、これらに保持されたワークの別々の処理予定面に同時に処理を行ってもよい。たとえば、第１のワーク保持治具のワークの第１当接面とは反対側の処理予定面と、第２のワーク保持治具のワークの第２当接面とは反対側の処理予定面とが略面一になるように配置してもよい。このような構成とすることにより、２つのワークの処理予定面に同時に電極膜形成処理などの処理を行うことができる。

好ましくは、前記ワーク収容部に収容してあるワークの２つの前記処理予定面が、それぞれ前記第１当接面の反対側と、前記第２当接面の反対側とから露出するように、前記ワークが前記ワーク収容部に収容される。このような構成とすることにより、第１当接面の反対側から露出した処理予定面と、第２当接面の反対側から露出した処理予定面とに、上述した要領で、連続した処理をより高精度で行うことができる。

好ましくは、２つの前記処理予定面が、前記ワーク収容部の外側に突出するように、前記ワークが前記ワーク収容部に収容される。このような構成とすることにより、ワーク収容部の外側にワークの各処理予定面が突出し、スキージ等によって、各処理予定面に電極膜形成処理などの処理を容易に行うことができる。

好ましくは、前記第１当接面の反対側から突出したワークの処理予定面の突出量と、前記第２当接面の反対側から突出したワークの処理予定面の突出量とが略等しい。このような構成とすることにより、ワーク保持治具を所定角度だけ回転させたときに、いずれの処理予定面が印刷用スクリーン等を向いたとしても、印刷用スクリーン等とワークの処理予定面の間の距離が、常に一定となるように調整しやすくなる。したがって、ワーク保持治具を所定角度だけ回転させる都度、上記距離を調整する必要がなく、スキージ等によって、容易にワークの処理予定面に電極膜を形成することができる。

好ましくは、前記ワーク保持機構は、複数の前記ワーク収容部を具備する。このような構成とすることにより、複数のワークの各々を各ワーク収容部に配置することが可能となり、一度に複数のワークに端子電極を高精度で形成することができる。

好ましくは、前記第２当接面には、前記ワーク収容部に収容されるワークとは反対側に向かって凹む凹部が形成してある。このような構成とすることにより、処理予定面に所定の処理を行った後、凹部にピン等を挿入し、このピン等で掻き出すように、第２当接面に固定してあるワークを押し出すことにより、ワーク収容部からワークを取り出すことができる。

好ましくは、前記ワーク保持機構は、第１ワーク保持部と、前記第１ワーク保持部に分離可能に取り付けられる第２ワーク保持部とを有し、前記第１当接面と前記第３当接面とが、前記第１ワーク保持部に形成してあり、前記第２当接面が、前記第２ワーク保持部に形成してある。このような構成とすることにより、下記のような態様で処理を行うことが可能となる。

すなわち、予め、ワーク収容部のサイズ（第１当接面および第３当接面の面積）が各々異なる複数の第１ワーク保持部を準備しておき、処理を行うワークのサイズに応じて、所望のサイズのワーク収容部を有する第１ワーク保持部を選択する。この第１ワーク保持部を第２ワーク保持部に装着して処理を行えば、第２ワーク保持部を変えずに済むため、他品種の電子部品の生産性を向上させることができる。

好ましくは、前記ワーク収容部に収容してあるワークは、前記第２当接面と、前記第３当接面とがなす角部の内側に配置される。このような構成とすることにより、ワーク収容部の角部の内側にワークが固定され、ワークの位置決めを容易に行うことが可能となる。したがって、ワークの位置ずれを防止し、ワークの複数の処理予定面に連続した処理をより高精度で行うことができる。

また、ワーク保持治具は、長手方向に垂直な断面形状が略正方形状であってもよい。このような構成とすることにより、ワーク保持治具を所定角度回転させたときに、印刷用スクリーン等とワークの処理予定面との間の距離を、常に一定とすることが容易になる。

また、複数のワーク保持治具を隣り合うように配列した場合、各ワーク保持治具を所定角度だけ回転させたときに、隣り合うワーク保持治具間で、保持されるワークの処理予定面を略面一にしやすくなり、スクリーン印刷などの処理が行いやすくなる。

前記ワーク収容部に収容してあるワークは、前記第２当接面と、前記第３当接面とがなす角部の外側に配置してもよい。このような構成とすることにより、ワーク収容部の角部の外側にワークが固定され、ワークの位置決めを行うことが可能となる。したがって、ワークの位置ずれを防止し、ワークの複数の処理予定面に連続した処理をより高精度で行うことができる。

また、上記のような構成とすることにより、ワーク収容部にワークを配置すると、ワーク収容部からワークの少なくとも３つの処理予定面が、第１当接面の反対側と、２つの第２当接面の反対側とから露出する。したがって、上述した要領でワーク保持治具を所定角度だけ回転させ、処理対象の少なくとも３つの処理予定面を順次シフトしていくことにより、ワークの複数の処理予定面に連続した処理を高精度で行うことができる。

また、複数のワーク保持治具（たとえば、３つの第１〜第３の保持治具）を配列して、これらに保持されたワークの別々の処理予定面に同時に処理を行ってもよい。たとえば、第１のワーク保持治具のワークの第１当接面とは反対側の処理予定面と、第２のワーク保持治具のワークの第２当接面とは反対側の処理予定面と、第３のワーク保持治具のワークの第２当接面とは反対側の処理予定面とが略面一になるように配置してもよい。このような構成とすることにより、３つのワークの処理予定面に同時に電極膜形成処理などの処理を行うことができる。

好ましくは、前記ワーク収容部に収容してあるワークを、前記第２当接面および前記第３当接面に当接するように引き寄せる引き寄せ手段をさらに有する。このような構成とすることにより、ワーク収容部に収容してあるワークを第２当接面および第３当接面に当接するように引き寄せることが可能となり、ワーク保持治具に対するワークの位置決め精度を向上させることができる。

なお、補助部材をワーク保持機構と着脱自在に構成してもよく、この場合、ワーク保持治具の内部等に塵等（フェライトの粉や欠け等）が蓄積した場合であっても、補助部材をワーク保持機構から取り外し、ワーク保持治具の内部等を掃除することができる。

電子部品処理装置にワーク保持治具を複数具備させてもよい。電子部品処理装置としては、たとえば印刷装置や捺印装置、あるいは塗布装置等が挙げられる。

好ましくは、本発明に係る電子部品の製造方法は、上述したいずれかのワーク保持治具を用いて、少なくとも２つの処理予定面がワーク収容部から露出したワークのいずれかの処理予定面に処理を行う工程と、前記ワーク保持治具を所定角度だけ回転させ、当該ワークの他のいずれかの処理予定面に処理を行う工程とを有する。このような方法で電子部品を製造することにより、ワークの複数の処理予定面に連続した処理を高精度で行うことができる。

あるいは、本発明に係る電子部品の製造方法は、上述したいずれかのワーク保持治具を、隣り合う一方のワーク保持治具のワーク収容部の第１当接面と、隣り合う他方のワーク保持治具のワーク収容部の第２当接面とが同一方向を向くように、所定角度だけ回転させて配列する工程と、
前記一方のワーク保持治具の前記第１当接面の反対側から露出したワークの処理予定面と、前記他方のワーク保持治具の前記第２当接面の反対側から露出したワークの処理予定面とに処理を行う工程とを有していてもよい。

このような方法で電子部品を製造することにより、スキージ等によって、隣り合う一方のワーク保持治具のワーク収容部の第１当接面の反対側に露出した処理予定面と、隣り合う他方のワーク保持治具のワーク収容部の第２当接面の反対側に露出した処理予定面とに、連続した処理をまとめて高精度で行うことができる。

図１Ａは本発明の第一実施形態に係るワーク保持治具の全体斜視図である。 図１Ｂは図１Ａに示すワーク保持治具の部分拡大図である。 図１Ｃは図１Ａに示すワークの拡大図である。 図１Ｄは図１Ｃに示すワークの変形例を示す拡大図である。 図２Ａは図１Ａに示すワーク保持治具を用いて電子部品に端子電極を形成する過程を示す側面図である。 図２Ｂは図２Ａの続きの工程を示す側面図である。 図２Ｃは図２Ｂの続きの工程を示す側面図である。 図２Ｄは図２Ｃの続きの工程を示す側面図である。 図２Ｅは本発明の第二実施形態に係るワーク保持治具を用いて電子部品に異なる態様の端子電極を形成する過程を示す側面図である。 図２Ｆは図２Ｅの続きの工程を示す側面図である。 図２Ｇは図２Ｆの続きの工程を示す側面図である。 図２Ｈは図２Ｇの続きの工程を示す側面図である。 図３は図１Ａに示すワーク保持治具の分解斜視図である。 図４Ａは図１Ａに示すワーク保持治具の異なる配置態様を示す全体斜視図である。 図４Ｂは図４Ａに示すワーク保持治具を回転させたときの全体斜視図である。 図５Ａは本発明の第三実施形態に係るワーク保持治具の全体斜視図である。 図５Ｂは図５Ａに示すワーク保持治具の部分拡大図である。 図６Ａは図５Ａに示すワーク保持治具を用いて電子部品に端子電極を形成する過程を示す側面図である。 図６Ｂは図６Ａの続きの工程を示す側面図である。 図６Ｃは図６Ｂの続きの工程を示す側面図である。

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。

第１実施形態
図１Ａに示すように、本発明の第一実施形態に係るワーク保持治具１Ａ，１Ｂは、ワーク保持機構１０と、ワーク保持機構１０に着脱自在に構成してある補助部材２０とを有する。電子部品処理装置では、複数のワーク保持治具１Ａ，１Ｂが、図１Ａに示すように、各々配列された状態で備えられる。図１Ａに示す例では、２つのワーク保持治具１Ａ，１Ｂが、それぞれ略平行に配列されており、一方のワーク保持治具１Ａは、他方のワーク保持治具１Ｂに対して、Ｙ軸を中心軸として時計回りに９０°回転させてある。

ワーク保持治具１Ａ，１Ｂは、電子部品の製造時において、端子電極を形成するために、複数の電子部品の素体（以下、ワーク５０）を整列保持するための治具である。ワーク保持治具１Ａ，１Ｂは、電子部品処理装置（図示略）の補助治具として用いられ、電子部品処理装置（図示略）に複数具備される。

電子部品処理装置としては、たとえば印刷装置、捺印装置、あるいは塗布装置等が例示される。電子部品の製造時には、たとえば印刷装置に備わるスキージ等によって、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂに保持された複数のワーク５０の処理予定面（本実施形態では、図１Ｂに示す鍔部５２ａ，５２ｂの表面）に電極膜（端子電極）形成処理が施される。

以下において、まず、ワーク５０に電極膜形成処理を施してなる電子部品の詳細について説明する。以下の説明において、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの長手方向と平行な方向をＹ軸方向、Ｙ軸と垂直な方向をＸ軸方向、Ｙ軸およびＸ軸に垂直な方向をＺ軸方向とする。

図１Ｂに示すように、一方のワーク保持時具１Ａに保持されるワーク５０（電子部品の素体）は、ドラムコアからなり、Ｘ軸方向に巻軸を持つ巻芯部５１と、巻芯部５１のＸ軸方向の両端に備えられる一対の鍔部５２ａおよび５２ｂとを有する。鍔部５２ａ，５２ｂは、Ｘ軸方向に関して所定の間隔を空けて、互いに略平行になるように配置されている。巻芯部５１は、一対の鍔部５２ａ，５２ｂにおいて互いに向かい合うそれぞれの面の中央部に接続しており、一対の鍔部５２ａ，５２ｂを接続している。

図１Ｃに示すように、鍔部５２ａ，５２ｂは、略直方形状（略六面体）からなり、上面５２ａ１，５２ｂ１と、上面５２ａ１，５２ｂ１とはＺ軸方向に反対側にある下面５２ａ２，５２ｂ２と、端面５２ａ３，５２ｂ３と、第１側面５２ａ４，５２ｂ４と、第１側面５２ａ４，５２ｂ４とはＹ軸方向に反対側にある第２側面５２ａ５，５２ｂ５と、端面５２ａ３，５２ｂ３とはＸ軸方向に反対側にある内側面５２ａ６，５２ｂ６とを有する。上面５２ａ１，５２ｂ１または下面５２ａ２，５２ｂ２は、たとえば回路基板等に接合される部分である。

図１Ｃに示すように、鍔部５２ａ，５２ｂには、所定パターンの電極膜５３が形成される。電極部５３は、たとえば金属ペースト焼付け膜や金属メッキ膜で構成される。電極膜５３は、上面電極部５３１と、端面電極部５３２と、下面電極部５３３とを有し、これらは電気的および物理的に接続される。

上面電極部５３１は、ＸＹ平面に平行な面からなり、上面５２ａ１，５２ｂ１に形成される。端面電極部５３２は、ＹＺ平面に平行な面からなり、端面５２ａ３，５２ｂ３に形成される。下面電極部５３３は、ＸＹ平面に平行な面からなり、下面５２ａ２，５２ｂ２に形成される。

次に、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの詳細について説明する。ワーク保持治具１Ａおよび１Ｂは、それぞれ同様の構成を有するため、以下の説明では、ワーク保持治具１Ａを参照しつつ、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの詳細について説明する。

ワーク保持治具１Ａにおいて、Ｘ軸方向はワーク保持治具１Ａの長さ方向に対応し、Ｙ軸方向はワーク保持治具１Ａの幅方向に対応し、Ｚ軸方向はワーク保持治具１Ａの高さ方向に対応する。また、以下では、Ｚ軸の矢印方向側を上方とし、Ｚ軸の矢印方向とは反対方向側を下方とする。

図１Ａに示すように、ワーク保持治具１Ａは、Ｙ軸方向に細長い形状を有する。ワーク保持機構１０と補助部材２０との結合時において、ワーク保持治具１Ａの結合体の長手方向に垂直な断面形状は略正方形状である。より詳細には、ワーク保持治具１ＡのＹ軸方向長さは、たとえば２００〜３００ｍｍであり、Ｘ軸方向幅は１０〜３０ｍｍであり、Ｚ軸方向幅は１０〜３０ｍｍである。

ワーク保持機構１０は、複数のワーク収容部１３を有する。ワーク収容部１３は、凹部からなり、上方および側方にワークを受け入れ可能な開放部が形成してある。この開放部を通じて、ワーク収容部１３には、ワーク５０が収容される。

図１Ｂに示すように、ワーク収容部１３は、第１当接面１３１と、第２当接面１３２と、第３当接面１３３と、対向面１３４とを有する。

第１当接面１３１は、ワーク保持治具１の幅方向および長さ方向に平行な面（図示の例では、ＸＹ平面）からなる。第２当接面１３２は、ワーク保持治具１の長さ方向および高さ方向に平行な面（図示の例では、ＹＺ平面）からなる。第３当接面１３３は、ワーク保持治具１の幅方向および高さ方向に平行な面（図示の例では、ＸＺ平面）からなる。対向面１３４は、ワーク保持治具１の長さ方向および高さ方向に平行な面（図示の例では、ＸＺ平面）からなり、第３当接面とはＹ軸方向反対側に配置してある。

第２当接面１３２および第３当接面１３３は、互いに略直角に交差し、角部を形成している。同様に、第２当接面１３２および対向面１３４は、互いに略直角に交差し、角部を形成している。

ワーク収容部１３にワーク５０を収容すると、ワーク収容部１３の第１当接面１３１には、図１Ｃに示すワーク５０の鍔部５２ａ，５２ｂの下面５２ａ２，５２ｂ２が当接する。また、図１Ｂに示すワーク収容部１３の第２当接面１３２には、図１Ｃに示すワーク５０の鍔部５２ｂの端面５２ｂ３が当接する。また、図１Ｂに示すワーク収容部１３の第３当接面１３３には、図１Ｃに示すワーク５０の鍔部５２ａ，５２ｂの第２側面５２ａ５，５２ｂ５が当接する。すなわち、図１Ｂに示す第１当接面１３１と、第２当接面１３２と、第３当接面１３３とには、ワーク５０の３面が当接する。

本実施形態では、第１当接面１３１および第３当接面１３３のＸ軸方向幅は、図１Ｃに示す鍔部５２ａ，５２ｂの端面５２ａ３，５２ｂ３間のＸ軸方向幅よりも若干短くなるように形成してある。また、図１Ｂに示す第２当接面１３２、第３当接面１３３および対向面１３４とのＺ軸方向幅は、鍔部５２ａ，５２ｂのＺ軸方向高さよりも若干小さくなるように形成してある。

そのため、ワーク収容部１３にワーク５０を収容すると、第１当接面１３１の反対側と、第２当接面１３２の反対側とから、ワーク収容部１３に収容してあるワーク５０の処理予定面（所定パターンの電極膜５３が形成される予定面）が、ワーク収容部１３の外側に突出する。

より詳細には、図１Ｃに示す鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１が、図１Ｂに示す第１当接面１３１の反対側から突出するとともに、ワーク収容部１３の外側に露出する。また、図１Ｃに示す鍔部５２ａの端面５２ａ３が、図１Ｂに示す第２当接面１３２の反対側から突出するとともに、ワーク収容部１３の外側に露出する。

なお、ワーク５０を、上下（Ｚ軸方向）および左右（Ｙ軸方向）を反転させた状態でワーク収容部１３の内部に収容した場合には、図１Ｃに示す鍔部５２ａ，５２ｂの下面５２ａ２，５２ｂ２が、図１Ｂに示す第１当接面１３１の反対側から突出するとともに、ワーク収容部１３の外側に露出する。また、図１Ｃに示す鍔部５２ｂの端面５２ｂ３が、図１Ｂに示す第２当接面１３２の反対側から突出するとともに、ワーク収容部１３の外側に露出する。

本実施形態では、第１当接面１３１の反対側から突出した鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１の突出量と、第２当接面１３２の反対側から突出した鍔部５２ａの端面５２ａ３の処理予定面の突出量とが、略等しくなっている。

本実施形態では、ワーク５０をワーク収容部１３に収容すると、ワーク収容部１３の第２当接面１３２および第３当接面１３３に沿うように、ワーク５０の鍔部５２ｂの端面５２ｂ３（図１Ｃ参照）および鍔部５２ａ，５２ｂの第２側面５２ａ５，５２ｂ５（図１Ｃ参照）が配置される。そのため、図１Ｂに示すように、ワーク収容部１３に収容してあるワーク５０は、第２当接面１３２と、第３当接面１３３とがなす角部の内側に配置されることになる。

ワーク５０は、第３当接面１３３側に偏って配置され、ワーク５０の第１側面５２ａ４と対向面１３４との間には隙間が形成されるようになっている。なお、この隙間の大きさは、ワーク５０の大きさ（特に、Ｙ軸方向幅）に応じて適宜設定してもよい。

第２当接面１３２には、ワーク収容部１３に収容してあるワーク５０とは反対側（当該ワーク５０の鍔部５２ｂの端面５２ｂ３（図１Ｃ参照）の法線方向）に向かって凹む凹部１３２ａが形成してある。凹部１３２ａは、第２当接面１３２のうち、第３当接面１３３側に偏って形成してある。

凹部１３２ａは、ワーク保持治具１Ａの上方から見て、長孔形状を有するが、凹部１３２ａの形状は特に限定されるものではなく、適宜変更してもよい。また、凹部１３２ａのＺ軸方向深さは、ワーク収容部１３のＺ軸方向深さと同じであってもよいが、異なっていていてもよい。

凹部１３２ａのＹ軸方向幅は、鍔部５２ａ，５２ｂのＹ軸方向幅よりも小さい。このような構成とすることにより、ワーク５０をワーク収容部１３に収容したときに、ワーク５０が凹部１３２ａの内部に埋没することが防止される。

本実施形態では、ワーク保持機構１０は、第１ワーク保持部１１と、第２ワーク保持部１２と有し、各ワーク保持部１１，１２に分離可能に取り付けられる。図２Ａに示すように、第１ワーク保持部１１および第２ワーク保持部１２は、それぞれ断面において段差部を有し、各段差部を着脱自在に係合させることにより、各ワーク保持部１１，１２を組み合わせることが可能となっている。

図１Ａに示すように、第２ワーク保持部１２には、ねじ穴６０が形成してあり、ねじ穴６０にねじ７０を挿通することにより、第１ワーク保持部１１と第２ワーク保持部１２とを強固に固定することが可能となっている。

本実施形態では、ワーク収容部１３は、第１ワーク保持部１１と第２ワーク保持部１２とを組み合わせることにより形成される。すなわち、ワーク収容部１３は、分離可能に構成してある。以下、ワーク収容部１３の詳細な構造について説明する。

第１ワーク保持部１１は、第１仕切端部１１１と、第２仕切端部１１２と、複数の仕切部１１３と、複数の凹部１１４とを有する。複数の仕切部１１３は、Ｙ軸方向に沿って所定の厚みを有し、第１ワーク保持部１１の長手方向に沿って、所定の間隔を空けつつ配置してある。なお、仕切部１１３のＹ軸方向に沿った厚みは、特に限定されるものではなく、適宜変更してもよい。

第１仕切端部１１１は第１ワーク保持部１１の長手方向一端に形成してあり、第２仕切端部１１２は第１ワーク保持部１１の長手方向他端に形成してある。

複数の凹部１１４の各々は、第１仕切端部１１１とこれに隣り合う仕切部１１３との間と、第２仕切端部１１２とこれに隣り合う仕切部１１３との間と、複数の仕切部１１３の各々の間とに形成してある。凹部１１４の上方は、開放してある。また、第１ワーク保持部１１と第２ワーク保持部１２とが分離している状態において、凹部１１４の側方（幅方向両端）は開放してある。

第２ワーク保持部１２は、端面部１２１を有する。端面部１２１は、第２ワーク保持部１２の幅方向一端を構成し、端面部１２１には上述したワーク収容部１３の凹部１３２ａが形成してある。なお、第２ワーク保持部１２の上面と、仕切部１１３の上面とが面一になっていることが好ましいが、段差が形成されていてもよい。

ワーク保持治具１Ａにおいて、第１ワーク保持部１１に第２ワーク保持部１２が組み合わされると、凹部１１４の側方（Ｘ軸方向一端）に、第２ワーク保持部１２の端面部１２１（図１Ｂに示すワーク収容部１３の第２当接面１３２に対応する部分）が当接する。これにより、凹部１１４の幅方向一端が閉塞し、幅方向他端が開放してあるワーク収容部１３が形成される。

すなわち、図１Ｂに示すように、ワーク収容部１３に収容されるワーク５０の鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１（図１Ｃ参照）と、鍔部５２ａの端面５２ａ３（図１Ｃ参照）が露出するように、第１当接面１３１の反対側と、第２当接面１３２の反対側とが開放してあるワーク収容部１３が形成される。

図１Ｂに示す例では、第１当接面１３１と第３当接面１３３とが、第１ワーク保持部１１に形成してあり、第２当接面１３２が、第２ワーク保持部１２に形成してある。しかしながら、ワーク収容部１３の態様としては、必ずしも、図示の例のように、第１ワーク保持部１１と第２ワーク保持部１２とを組み合わせて構成する必要はなく、たとえば、ワーク収容部１３を第１ワーク保持部１１にのみ形成してもよい。

図３に示すように、ワーク保持機構１０に組み合わされる補助部材２０は、本体部２１と、複数のマグネット２２と、マグネット保持部２３と、位置決め突起２４とを有する。図示の例では、本体部２１は、第１ワーク保持部１１と略同一の長さ、幅および高さを有する。図示の例では、２つの位置決め突起２４が、本体部２１の長手方向両端に形成してある。位置決め突起２４は、ワーク保持機構１０と補助部材２０との装着時に、第１ワーク保持部１１が有する位置決め凹部（図示略）に係合する。

マグネット保持部２３は、本体部２１の長手方向に沿って形成してあり、本体部２１の幅方向一端に配置してある。マグネット保持部２３は、複数（ワーク収容部１３の個数と同様）のマグネット２２を収容するための複数の収容凹部２２０を有する。複数の収容凹部２２０の各々は、マグネット保持部２３の長手方向に沿って、所定の間隔を空けつつ配置してある。

マグネット２２は、略円柱状の形状を有し、収容凹部２２０の内部に収容してある。マグネット２２は、ワーク収容部１３に収容してあるワーク５０を、第１当接面１３１、第２当接面１３２および第３当接面１３３に当接するように引き寄せる引き寄せ手段としての役割を果たす。マグネット２２の一端は、収容凹部２２０の上端から露出し、第１保持部１１のワーク収容部１３の第１当接面１３１を向いている。

マグネット２２は、図１Ｂに示す第１ワーク保持部１１の凹部１１４の下方、すなわちワーク収容部１３の下方に配置してある。より詳細には、図３に示すマグネット２２は、図１Ｂに示すワーク収容部１３のうち、第２当接面１３２と第３当接面１３３とがなす角部に、磁力によって、ワーク５０を引き寄せる役割を果たす。

電子部品の製造では、まず、図２Ａに示すように複数のワーク保持治具１Ａ，１Ｂと、たとえばドラム型のワーク５０とを準備する（ワーク準備工程）。ワーク５０には、図１Ｂに示す巻芯部５１と鍔部５２ａ，５２ｂとが一体に成形される。本実施形態では、ワーク５０の鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１、下面５２ａ２，５２ｂ２および端面５２ａ３，５２ｂ３が処理予定面である。

次に、図２Ａ示すように、複数のワーク５０の各々をワーク保持治具１Ａ，１Ｂの各ワーク収容部１３の内部に収容する（ワーク収容工程）。ワーク収容工程では、鍔部５２ｂの端面５２ｂ３が第２当接面１３２に当接し、鍔部５２ｂの第２側面５２ｂ５が第３当接面１３３に当接するように、各ワーク５０を各ワーク収容部１３の内部に配置する。

このようにして各ワーク収容部１３の内部に収容された各ワーク５０は、図３に示す第２ワーク保持部１２の各マグネット２２の磁力によって、図１Ｂに示す第１当接面１３１と第２当接面１３２とがなす角部に引き寄せられ、当該角部の内側に位置決めされる。

次に、図１Ｂに示すように、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの各々を、隣り合う一方のワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３の第１当接面１３１と、隣り合う他方のワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３の第２当接面１３２とが同一方向（Ｚ軸上方）を向くように、所定角度（９０度）だけ回転させて配列する（ワーク配列工程）。

この結果、図２Ａに示すように、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０では、鍔部５２ａの端面５２ａ３が上方を向き、ワーク収容部１３の第２当接面１３２の反対側から露出する。また、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０では、鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１が上方を向き、ワーク収容部１３の第１当接面１３１の反対側から露出する。

次に、ワーク収容部１３から露出したワーク５０の処理予定面（上面５２ａ１，５２ｂ１および端面５２ａ３）に、スクリーン印刷等で電極膜形成処理を行い、所定パターンで図１Ｃに示す電極部５３を形成する（第１処理工程）。

より詳細には、図２Ａに示すように、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面１３２の反対側から露出している鍔部５２ａの端面５２ａ３に電極膜形成処理を行い、電極部５３の端面電極部５３２を形成する。

また、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０について、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１に電極膜形成処理を行い、電極部５３の上面電極部５３１，５３１を形成する。

なお、電極膜形成処理は、スキージ等を用いて、ワーク保持治具１に保持されている各ワーク５０の処理予定面に、スクリーンを通じて金属ペースト（たとえば、Ａｇペースト）を塗布することにより行われる。

次に、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを所定角度だけ回転させる。より詳細には、図２Ｂに示すように、ワーク保持治具１Ｂについては、第１当接面１３１が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として反時計回りに９０度回転させる。また、ワーク保持治具１Ａについては、第２当接面１３２が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として時計回りに９０度回転させる。このように、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを９０度だけ回転させ、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの左右の配置を入れ替える。

そして、引き続き、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面１３２の反対側から露出している鍔部５２ａの端面５２ａ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

また、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０について、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１に電極膜形成処理を行い、上面電極部５３１，５３１を形成する。

なお、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの回転前後における一連の電極膜形成処理において、回転後の電極膜形成処理は、回転前の電極膜形成処理で形成された電極膜５３が乾燥する前に行ってもよい。一連の電極膜形成処理の完了後、電極膜５３を乾燥させてもよい（乾燥処理）。

次に、図２Ｃに示すように、ワーク５０をワーク保持治具１Ａ，１Ｂのワーク収容部１３からそれぞれ取り出し、ワーク５０の上下左右を反転させ、上述したワーク収容工程を行う。この結果、図２Ｃに示すように、図２Ｂに示す鍔部５２ａの端面５２ａ３に形成してある端面電極部５３２は、ワーク収容部１３の第２当接面１３２に当接する。また、図１Ｃに示す鍔部５２ａ，５２ｂの第２側面５２ａ５，５２ｂ５は、図１Ｂに示す第３当接面１３３に当接する。また、図２Ｃに示すように、図２Ｂに示す鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１に形成してある上面電極部５３１，５３１は、第１当接面１３１に当接する。

この結果、図２Ｃに示すように、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０では、鍔部５２ｂの端面５２ｂ３が上方を向き、ワーク収容部１３の第２当接面１３２の反対側から露出する。また、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０では、鍔部５２ａ，５２ｂの下面５２ａ２，５２ｂ２が上方を向き、ワーク収容部１３の第１当接面１３１の反対側から露出する。

次に、再び、ワーク収容部１３から露出したワーク５０の処理予定面（下面５２ａ２，５２ｂ２および端面５２ｂ３）に電極膜形成処理を行う（第２処理工程）。

第２処理工程では、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０について、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａ，５２ｂの下面５２ａ２，下面５２ｂ２に電極膜形成処理を行い、下面電極部５３３，５３３を形成する。

また、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面１３２の反対側から露出している鍔部５２ｂの端面５２ｂ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

次に、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを所定角度だけ回転させる。より詳細には、ワーク保持治具１Ｂについては、第２当接面１３２が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として時計回りに９０度回転させる。また、ワーク保持治具１Ａについては、第１当接面１３１が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として反時計回りに９０度回転させる。このように、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを９０度だけ回転させ、図２Ｄに示すように、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの左右の配置を入れ替える。

そして、引き続き、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面１３２の反対側から露出している鍔部５２ｂの端面５２ｂ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

また、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０について、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａ，５２ｂの下面５２ａ２，５２ｂ２に電極膜形成処理を行い、下面電極部５３３，５３３を形成する。

一連の電極膜形成処理の完了後、乾燥処理を行ってもよい。なお、第２処理工程の後に、ワーク５０を所定の温度で焼き付けた後、その処理予定面に、必要に応じて、たとえば電解メッキまたは無電解メッキを施し、メッキ膜を形成する。

本実施形態では、ワーク収容部１３にワーク５０を収容すると、ワーク５０の２つの処理予定面（上面５２ａ１，５２ｂ１および端面５２ａ３あるいは下面５２ａ２，５２ｂ２および端面５２ｂ３）が、ワーク収容部１３の第１当接面１３１の反対側と、第２当接面１３２の反対側とから露出する。

本実施形態では、このワーク収容部１３から露出したワーク５０の処理予定面を印刷用スクリーン等に向けることで、当該処理予定面に所定パターンの電極膜５３を形成することが可能である。そして、ワーク収容部１３から露出したワーク５０のいずれかの処理予定面（たとえば、上面５１ａ１，５１ｂ１）に上面電極部５３１を形成した後は、ワーク保持治具１を９０度だけ回転させ、ワーク収容部１３から露出した他のいずれかの処理予定面（たとえば、端面５１ａ３）を印刷用スクリーン等に向けることで、当該処理予定面に端面電極部５３２を上面電極部５３１に連続して位置ずれすることなく所定パターンで形成することができる。

すなわち、本実施形態では、従来とは異なり、処理予定面に電極膜を形成する都度、ワークをワーク保持治具から取り外し、ワークの向きを変える必要がなく、ワーク収容部１３から露出した２つの処理予定面（たとえば、上面５２ａ１，５２ｂ１および端面５２ａ３）に、連続的に電極膜５３を形成することが可能である。したがって、ワーク５０の取り外しに起因して生じ得る電極膜５３の位置ずれや欠損等の不具合を防止し、ワーク５０の所定位置に電極膜５３を高精度で形成することができる。

また、本実施形態に係るワーク保持治具１Ａ，１Ｂを用いることにより、ワーク５０の処理予定面に、電極膜５３だけではなく、その他の機能被膜（たとえば、絶縁膜）を形成することも可能である。また、処理予定面には、被膜形成処理だけではなく、その他の処理（たとえば、エッチング等の表面処理）を行うことも可能である。いずれの処理についても、上述した要領でワーク保持治具１Ａ，１Ｂを９０度だけ回転させ、処理対象の処理予定面を順次シフトしていくことにより、ワーク５０の複数の処理予定面に連続した処理を高精度で行うことができる。

また、ワーク５０が第１当接面１３１と、第２当接面１３２と、第３当接面１３３とで位置決めされることにより、ワーク５０の位置ずれを防止し、ワーク５０の複数の処理予定面に連続した処理をより高精度で行うことができる。

また、本実施形態では、複数のワーク保持治具１Ａ，１Ｂを、ワーク保持治具１Ａに保持されたワーク５０の第１当接面１３１とは反対側の処理予定面（鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１）と、ワーク保持治具１Ｂに保持されたワーク５０の第２当接面１３２とは反対側の処理予定面（鍔部５２ａの端面５３ａ３）とが略面一になるように配列する。そして、これらに保持されたワーク５０の別々の処理予定面に同時に処理を行う。そのため、２つのワーク５０の処理予定面に同時に電極膜形成処理などの処理を行うことができる。

また、本実施形態では、ワーク収容部１３に収容してあるワーク５０の２つの処理予定面（上面５２ａ１，５２ｂ１と端面５２ａ３）が、それぞれ第１当接面１３１の反対側と、前記第２当接面１３２の反対側とから露出するように、ワーク５０がワーク収容部１３に収容される。そのため、第１当接面１３１の反対側から露出した上面５２ａ１，５２ｂ１と、第２当接面１３２の反対側から露出した端面５２ａ３とに、上述した要領で、連続した処理をより高精度で行うことができる。

また、本実施形態では、第１当接面１３１の反対側と、第２当接面１３２の反対側とから、２つの処理予定面（たとえば、上面５２ａ１，５２ｂ１と端面５２ａ３）が、ワーク収容部１３の外側に突出するように、ワーク５０がワーク収容部１３に収容される。そのため、ワーク収容部１３の外側にワーク５０の各処理予定面が突出し、スキージ等によって、各処理予定面に電極膜形成処理などの処理を容易に行うことができる。

また、本実施形態では、第１当接面１３１の反対側から突出したワーク５０の端面５２ａ３の突出量と、第２当接面の反対側から突出したワーク５０の上面５２ａ１，５２ｂ１突出量とが略等しい。そのため、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを９０度だけ回転させたときに、印刷用スクリーン等とワーク５０の処理予定面の間の距離が、常に一定となるように調整しやすくなる。したがって、ワーク保持治具１を９０度だけ回転させる都度、上記距離を調整する必要がなく、スキージ等によって、容易にワーク５０の処理予定面に電極膜を形成することができる。

また、本実施形態では、ワーク保持機構１０は、複数のワーク収容部１３を具備する。そのため、複数のワーク５０の各々を各ワーク収容部１３に配置することが可能となり、一度に複数のワーク５０に端子電極を高精度で形成することができる。

また、本実施形態では、第２当接面１３２には、ワーク収容部１３に収容されるワーク５０とは反対側に向かって凹む凹部１３２ａが形成してある。そのため、処理予定面に所定の処理を行った後、凹部１３２ａにピン等を挿入し、このピン等で掻き出すように、第２当接面１３２に固定してあるワーク５０を押し出すことにより、ワーク収容部１３からワーク５０を取り出すことができる。

また、本実施形態では、ワーク保持機構１０は、第１ワーク保持部１１と、第１ワーク保持部１１に分離可能に取り付けられる第２ワーク保持部１２とを有し、第１当接面１３１と第３当接面１３３とが、第１ワーク保持部１１に形成してあり、第２当接面１３２が、第２ワーク保持部１２に形成してある。そのため、下記のような態様で処理を行うことが可能となる。

すなわち、予め、ワーク収容部１３のサイズ（第１当接面１３１および第３当接面１３３の面積）が各々異なる複数の第１ワーク保持部１１を準備しておき、処理を行うワーク５０のサイズに応じて、所望のサイズのワーク収容部１３を有する第１ワーク保持部１１を選択する。この第１ワーク保持部１１を第２ワーク保持部１２に装着して処理を行えば、第２ワーク保持部１２を変えずに済むため、他品種の電子部品５０の生産性を向上させることができる。

また、本実施形態では、ワーク収容部１３に収容してあるワーク５０は、第２当接面１３２と、第３当接面１３３とがなす角部の内側に配置される。そのため、ワーク収容部１３の角部の内側にワーク５０を容易に位置決めすることが可能となる。したがって、ワーク５０の位置ずれを防止し、ワーク５０の複数の処理予定面に連続した処理をより高精度で行うことができる。

また、本実施形態では、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの長手方向に垂直な断面形状が略正方形状である。そのため、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを９０度回転させたときに、印刷用スクリーン等とワーク５０の処理予定面の間の距離を、常に一定とすることが容易になる。

また、複数のワーク保持治具１Ａ，１Ｂを隣り合うように配列した場合、各ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを所定角度だけ回転させたときに、隣り合うワーク保持治具１Ａ，１Ｂ間で、保持されるワーク５０の処理予定面を略面一にしやすくなり、スクリーン印刷などの処理が行いやすくなる。

また、本実施形態では、ワーク収容部１３に収容してあるワーク５０を、第１当接面１３１、第２当接面１３２および第３当接面１３３に当接するように引き寄せるマグネット２２を有する。そのため、ワーク収容部１３に収容してあるワーク５０を第２当接面１３２および第３当接面１３３に当接するように引き寄せることが可能となり、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂに対するワーク５０の位置決め精度を向上させることができる。

また、本実施形態では、補助部材１２がワーク保持機構１１と着脱自在に構成してあるため、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの内部等に塵等（フェライトの粉や欠け等）が蓄積した場合であっても、補助部材１２をワーク保持機構１１から取り外し、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂの内部等を掃除することができる。

第２実施形態
本実施形態に係るワーク保持治具１Ａ，１Ｂでは、電極膜形成処理の態様が異なる以外は、第１実施形態に係るワーク保持治具１Ａ，１Ｂと同様である。以下、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、共通する部分の説明は省略する。また、図面に示す部材において、共通する部材には共通する符号を付し、その説明は一部省略する。

図１Ｄに示すように、ワーク５０Ａに本実施形態における電極膜形成処理を施してなる電子部品は、電極膜５３Ａが下面電極部に相当する構成を具備していないという点と、端面電極部５３２ＡのＺ軸方向幅が第１実施形態における端面電極部５３２のＺ軸方向幅よりも短いという点において、第１実施形態における電子部品とは異なる。端面電極部５３２Ａは、ワーク５０Ａの鍔部５２ａ，５２ｂの端面５２ａ３，５２ｂ３の略上半分にのみ形成される。

本実施形態では、第１処理工程（ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを回転する前の工程）において、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０Ａについて、第２当接面１３２の反対側から露出している鍔部５２ａの端面５２ａ３の略上半分にのみ電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２Ａを形成する。

また、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０Ａについて、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａの上面５２ａ１にのみ電極膜形成処理を行い、上面電極部５３１を形成する。なお、鍔部５２ｂの上面５２ｂ１には電極膜形成処理が行われないように、マスクされていることが好ましい。

また、図２Ｆに示すように、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを９０度だけ回転させた後も、引き続き、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０Ａについて、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａの上面５２ａ１にのみ電極膜形成処理を行い、上面電極部５３１を形成する。鍔部５２ｂの上面５２ｂ１には電極膜形成処理が行われないように、マスクされていることが好ましい。

また、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０Ａについて、第２当接面１３２の反対側から露出している鍔部５２ａの端面５２ａ３の略上半分にのみ電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２Ａを形成する。

本実施形態では、第１処理工程の完了後、ワーク５０Ａをワーク保持治具１Ａ，１Ｂのワーク収容部１３から取り出し、ワーク５０Ａの上下は反転させずに、左右のみを反転させ、ワーク収容部１３の内部に収容する。

第２処理工程（ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを回転した後の工程）においても、上述した要領で電極膜形成処理を行う。すなわち、図２Ｇに示すように、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０Ａについて、第２当接面１３２の反対側から露出している鍔部５２ｂの端面５２ｂ３の略上半分にのみ電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２Ａを形成する。

また、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０Ａについて、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ｂの上面５２ｂ１にのみ電極膜形成処理を行い、上面電極部５３１を形成する。鍔部５２ａの上面５２ａ１には電極膜形成処理が行われないように、マスクされていることが好ましい。

また、図２Ｈに示すように、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを９０度だけ回転させた後も、引き続き、ワーク保持治具１Ｂのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０Ａについて、第２当接面１３２の反対側から露出している鍔部５２ｂの端面５２ｂ３の略上半分にのみ電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２Ａを形成する。

また、ワーク保持治具１Ａのワーク収容部１３に収容してあるワーク５０Ａについて、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ｂの上面５２ｂ１にのみ電極膜形成処理を行い、上面電極部５３１を形成する。鍔部５２ａの上面５２ａ１には電極膜形成処理が行われないように、マスクされていることが好ましい。

本実施形態によれば、第１実施形態に係るワーク保持治具１Ａ，１Ｂを用いることにより、たとえば下面電極部に相当する構成を具備しない電極部５３Ａを形成することが可能であり、電子部品の用途等に応じて、種々の電極部を形成することができる。

第３実施形態
図５Ａおよび図５Ｂに示すように、本実施形態に係るワーク保持治具２０１では、ワーク保持機構２１０の構成が異なる以外は、第１実施形態に係るワーク保持治具１Ａまたは１Ｂと同様である。以下、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、共通する部分の説明は省略する。また、図面に示す部材において、共通する部材には共通する符号を付し、その説明は一部省略する。

図５Ａに示すように、本実施形態におけるワーク保持機構２１０のＺ軸方向の上部には、Ｙ軸方向に沿って複数のワーク収容部２１３を有する。

ワーク収容部２１３は、凹部１１４によって構成され、第１実施形態におけるワーク収容部１３とは異なり、凹部１１４のＸ軸方向の両側が外部に開放している。

図５Ｂに示すように、ワーク収容部２１３は、図１Ｂに示す第２当接面１３２に替えて第２当接面２３２を有するという点において、第１実施形態におけるワーク収容部１３とは異なる。

第２当接面２３２は、ワーク保持治具２０１の長さ方向および高さ方向に平行な面（図示の例では、ＹＺ平面）からなり、仕切部１１３の幅方向（Ｘ軸方向）の両側面に対応する。本実施形態では、１つのワーク収容部２１３について、２つの第２当接面２３２が備わっている。

ワーク収容部２１３において、第２当接面２３２および第３当接面１３３は、互いに略直角に交差し、角部を形成している。同様に、対向面１３４および第２当接面１３２は、互いに略直角に交差し、角部を形成している。

ワーク収容部２１３にワーク５０を収容すると、ワーク収容部２１３の第１当接面１３１および第３当接面１３３には、ワーク５０の巻芯部５１の外周面が当接する。また、ワーク収容部２１３のいずれか一方の第２当接面２３２には、ワーク５０の鍔部５２ａ，５２ｂのいずれか一方の内側面５２ａ６，５２ｂ６が当接する。

すなわち、本実施形態では、ワーク５０をワーク収容部２１３に収容すると、ワーク収容部２１３の第２当接面２３２および第３当接面１３３に沿うように、ワーク５０の巻芯部５１の外周面および鍔部５２ａ，５２ｂの内側面５２ａ６，５２ｂ６が配置される。そのため、ワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０は、第２当接面２３２と、第３当接面１３３とがなす角部の外側に配置されることになる。

ワーク５０は、第３当接面１３３側に偏って配置してあり、詳細な図示は省略するが、ワーク５０の巻芯部５１の外周面と対向面１３４との間にはわずかに隙間が形成してある。

この隙間は、図５Ａに示す補助部材２０が有するマグネット２２（図３参照）にワーク５０が引き寄せられることにより形成され、ワーク５０の大きさ（特に、Ｙ軸方向幅）に応じて適宜変動する。本実施形態では、マグネット２２は、ワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０を、第１当接面１３１および第３当接面１３３に当接するように引き寄せる。

ワーク保持治具２０１を用いた電子部品の製造では、まず、図６Ａ〜図６Ｃに示すように、複数（図示の例では、３つ）のワーク保持治具２０１Ａ，２０１Ｂ，２０１Ｃを準備する。なお、ワーク保持治具２０１Ａ，２０１Ｂ，２０１Ｃの構成は、図５Ａに示すワーク保持治具２０１の構成と同様である。

そして、図５Ｂに示すような態様で、複数のワーク５０の各々をワーク保持治具２０１Ａ〜２０１Ｃの各ワーク収容部２１３の内部に収容する（ワーク収容工程）。図５Ｂに示すように、ワーク収容工程では、巻芯部５１の外周面の一部が第３当接面１３３に当接し、鍔部５２ａ，５２ｂの内側面５２ａ６，５２ｂ６が第２当接面２３２，２３２に当接するように、各ワーク５０を各ワーク収容部２１３の内部に配置する。

次に、図６Ａに示すように、ワーク保持治具２０１Ａ〜２０１Ｃの各々を配列する（ワーク配列工程）。ワーク配列工程では、隣り合う一方のワーク保持治具２０１Ａ〜２０１Ｃと、隣り合う他方のワーク保持治具２０１Ａ〜２０１Ｃとを、Ｙ軸を中心軸として所定角度（９０度）だけ回転して配列する。図示の例では、ワーク保持治具２０１Ｂが中央に配置してあり、ワーク保持治具２０１Ａ，２０１Ｃが、それぞれＹ軸を中心軸として９０度だけ回転した状態で、ワーク保持治具２０１Ｂの左右に配置してある。

この結果、ワーク保持治具２０１Ａのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０では、鍔部５２ａの端面５２ａ３が上方を向き、ワーク収容部２１３の第２当接面２３２（図示略）の反対側から露出する。また、ワーク保持治具２０１Ｂのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０では、鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１が上方を向き、ワーク収容部２１３の第１当接面１３１の反対側から露出する。また、ワーク保持治具２０１Ｃのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０では、鍔部５２ｂの端面５２ｂ３が上方を向き、ワーク収容部２１３の第２当接面２３２（図示略）の反対側から露出する。

次に、ワーク収容部２１３から露出したワーク５０の処理予定面（上面５２ａ１，５２ｂ１および端面５２ａ３，５２ｂ３）に電極膜形成処理を行う。（第１処理工程）。

より詳細には、図６Ａに示すように、ワーク保持治具２０１Ａのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面２３２（図示略）の反対側から露出している鍔部５２ａの端面５２ａ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

また、ワーク保持治具２０１Ｂのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１に電極膜形成処理を行い、上面電極部５３１，５３１を形成する。

また、ワーク保持治具２０１Ｃのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面２３２（図示略）の反対側から露出している鍔部５２ｂの端面５２ｂ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

次に、図６Ｂに示すように、ワーク保持治具２０１Ａ〜２０１Ｃを所定角度だけ回転させる。より詳細には、ワーク保持治具２０１Ａについては、第１当接面１３１が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として反時計回りに９０度回転させる。また、ワーク保持治具２０１Ｂについては、第２当接面２３２（図示略）が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として反時計回りに９０度回転させる。また、ワーク保持治具２０１Ｃについては、第２当接面２３２（図示略）が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として反時計回りに１８０度回転させる。

このように、ワーク保持治具２０１Ａ〜２０１Ｃを所定角度だけ回転させると、図６Ａにおいてワーク保持治具２０１Ａが配置されていた位置にワーク保持治具２０１Ｃが配置され、ワーク保持治具２０１Ｂが配置されていた位置にワーク保持治具２０１Ａが配置され、ワーク保持治具２０１Ｃが配置されていた位置にワーク保持治具２０１Ｂが配置される。

そして、引き続き、ワーク保持治具２０１Ａのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１に電極膜形成処理を行い、上面電極部５３１，５３１を形成する。

また、ワーク保持治具２０１Ｂのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面２３２（図示略）の反対側から露出している鍔部５２ｂの端面５２ｂ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

また、ワーク保持治具２０１Ｃのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面２３２（図示略）の反対側から露出している鍔部５２ａの端面５２ａ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

次に、図６Ｃに示すように、ワーク保持治具２０１Ａ〜２０１Ｃを所定角度だけ回転させる。より詳細には、ワーク保持治具２０１Ｃについては、第１当接面１３１が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として反時計回りに９０度回転させる。また、ワーク保持治具２０１Ａについては、第２当接面２３２が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として反時計回りに９０度回転させる。また、ワーク保持治具２０１Ｂについては、第２当接面２３２が上方を向くように、Ｙ軸を中心軸として反時計回りに１８０度回転させる。

このように、ワーク保持治具２０１Ａ〜２０１Ｃを所定角度だけ回転させると、図６Ｂにおいてワーク保持治具２０１Ａが配置されていた位置にワーク保持治具２０１Ｃが配置され、ワーク保持治具２０１Ｂが配置されていた位置にワーク保持治具２０１Ａが配置され、ワーク保持治具２０１Ｃが配置されていた位置にワーク保持治具２０１Ｂが配置される。

そして、引き続き、ワーク保持治具２０１Ａのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面２３２の反対側から露出している鍔部５２ｂの端面５２ｂ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

また、ワーク保持治具２０１Ｂのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第２当接面２３２の反対側から露出している鍔部５２ａの端面５２ａ３に電極膜形成処理を行い、端面電極部５３２を形成する。

また、ワーク保持治具２０１Ｃのワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０について、第１当接面１３１の反対側から露出している鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１に電極膜形成処理を行い、上面電極部５３１，５３１を形成する。

本実施形態では、ワーク収容部２１３に収容してあるワーク５０は、第２当接面２３２と、第３当接面１３３とがなす角部の外側に配置してある。そのため、ワーク収容部２１３の角部の外側にワーク５０が固定され、ワーク５０の位置決めを行うことが可能となる。したがって、ワーク５０の位置ずれを防止し、ワーク５０の複数の処理予定面に連続した処理をより高精度で行うことができる。

また、ワーク収容部２１３にワーク５０を配置すると、ワーク収容部２１３からワーク５０の３つの処理予定面（鍔部５２ａ，５２ｂの上面５２ａ１，５２ｂ１および端面５２ａ３，５２ｂ３）が、第１当接面１３１の反対側と、２つの第２当接面２３２の反対側とから露出する。したがって、上述した要領でワーク保持治具２０１を９０度だけ回転させ、処理対象の３つの処理予定面を順次シフトしていくことにより、ワーク５０の複数の処理予定面に連続した処理を高精度で行うことができる。

また、本実施形態では、複数のワーク保持治具２０１Ａ，２０１Ｂ，２０１Ｃを、ワーク保持治具２０１Ａに保持されたワーク５０の第１当接面１３１とは反対側の処理予定面と、ワーク保持治具２０１Ｂに保持されたワーク５０の第２当接面１３２とは反対側の処理予定面と、ワーク保持治具２０１Ｃに保持されたワーク５０の第２当接面１３２とは反対側の処理予定面とが略面一になるように配列する。そして、これらに保持されたワーク５０の別々の処理予定面に同時に処理を行う。そのため、３つのワークの処理予定面に同時に電極膜形成処理などの処理を行うことができる。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。たとえば、図１Ａに示す例では、ワーク保持治具１Ａ，１Ｂを、それぞれ９０度反転させた状態で配列していたが、図４Ａおよび図４Ｂに示すように反転させずに配列してもよい。

また、上記各実施形態では、巻芯部５１の横断面形状は矩形であったが、その横断面形状は特に限定されるものはなく、円形や略八角形、あるいはその他の多角形でもよい。

また、上記実施形態では、鍔部５２ａ，５２ｂの横断面形状は、本実施形態では矩形であったが、その横断面形状は特に限定されるものではなく、円形や略八角形、あるいはその他の多角形でもよい。

１Ａ，１Ｂ，２０１，２０１Ａ，２０１Ｂ，２０１Ｃ・・・ ワーク保持治具
１０，２１０・・・ワーク保持機構
１１・・・第１ワーク保持部
１１１・・・第１仕切端部
１１２・・・第２仕切端部
１１３・・・仕切部
１１４・・・凹部
１２・・・第２ワーク保持部
１２１・・・端面部
１３，２１３・・・ワーク収容部
１３１・・・第１当接面
１３２，２３２・・・第２当接面
１３２ａ・・・凹部
１３３・・・第３当接面
１３４・・・対向面
２０・・・補助部材
２１・・・本体部
２２・・・マグネット
２２０・・・収容凹部
２３・・・マグネット保持部
２４・・・位置決め突起
５０，５０Ａ・・・ワーク（電子部品）
５１・・・巻芯部
５２ａ，５２ｂ・・・鍔部
５２ａ１，５２ｂ１・・・上面
５２ａ２，５２ｂ２・・・下面
５２ａ３，５２ｂ３・・・端面
５２ａ４，５２ｂ４・・・第１側面
５２ａ５，５２ｂ５・・・第２側面
５２ａ６，５２ｂ６・・・内側面
５３，５３Ａ・・・電極部
５３１・・・上面電極部
５３２，５３２Ａ・・・端面電極部
５３３…下面電極部
６０・・・ねじ穴
７０・・・ねじ

Claims (15)

1. ワークを保持するワーク保持機構を有するワーク保持治具であって、
   前記ワーク保持機構は、前記ワークの３面が当接する第１当接面と、第２当接面と、第３当接面とを持つワーク収容部を有し、
   前記ワーク収容部は、前記ワーク収容部に収容されるワークの少なくとも２つの処理予定面が露出するように、少なくとも前記第１当接面の反対側と、前記第２当接面の反対側とが開放しており、
   前記ワーク保持機構は、第１ワーク保持部と、前記第１ワーク保持部に分離可能に取り付けられる第２ワーク保持部とを有し、
   前記第１当接面と前記第３当接面とが、前記第１ワーク保持部に形成してあり、
   前記第２当接面が、前記第２ワーク保持部に形成してあることを特徴とするワーク保持治具。
2. 前記ワーク収容部に収容してあるワークの２つの前記処理予定面が、それぞれ前記第１当接面の反対側と、前記第２当接面の反対側とから露出するように、前記ワークが前記ワーク収容部に収容されることを特徴とする請求項１に記載のワーク保持治具。
3. ２つの前記処理予定面が、前記ワーク収容部の外側に突出するように、前記ワークが前記ワーク収容部に収容される請求項２に記載のワーク保持治具。
4. 前記第１当接面の反対側から突出したワークの処理予定面の突出量と、前記第２当接面の反対側から突出したワークの処理予定面の突出量とが略等しいことを特徴とする請求項３に記載のワーク保持治具。
5. 前記ワーク保持機構は、複数の前記ワーク収容部を具備することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のワーク保持治具。
6. 前記第２当接面には、前記ワーク収容部に収容されるワークとは反対側に向かって凹む凹部が形成してあることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のワーク保持治具。
7. 前記ワーク収容部に収容してあるワークは、前記第２当接面と、前記第３当接面とがなす角部の内側に配置されることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のワーク保持治具。
8. 長手方向に垂直な断面形状が略正方形状であることを特徴とする請求項７に記載のワーク保持治具。
9. ワークを保持するワーク保持機構を有するワーク保持治具であって、
   前記ワーク保持機構は、前記ワークの３面が当接する第１当接面と、第２当接面と、第３当接面とを持つワーク収容部を有し、
   前記ワーク収容部は、前記ワーク収容部に収容されるワークの少なくとも２つの処理予定面が露出するように、少なくとも前記第１当接面の反対側と、前記第２当接面の反対側とが開放しており、
   前記ワーク収容部に収容してあるワークは、前記第２当接面と、前記第３当接面とがなす角部の内側に配置されおり、
   長手方向に垂直な断面形状が略正方形状であることを特徴とするワーク保持治具。
10. 前記ワーク収容部に収容してあるワークは、前記第２当接面と、前記第３当接面とがなす角部の外側に配置してあることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のワーク保持治具。
11. 前記ワーク収容部に収容してあるワークを、前記第２当接面および前記第３当接面に当接するように引き寄せる引き寄せ手段をさらに有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のワーク保持治具。
12. ワークを保持するワーク保持機構を有するワーク保持治具であって、
    前記ワーク保持機構は、前記ワークの３面が当接する第１当接面と、第２当接面と、第３当接面とを持つワーク収容部を有し、
    前記第１当接面は、前記ワーク保持治具の幅方向および長手方向に平行な面であり、前記第２当接面は、前記ワーク保持治具の長手方向および高さ方向と平行な面であり、前記第３当接面は、前記第２当接面と交差する面であり、
    前記ワーク収容部は、前記ワーク収容部に収容されるワークの少なくとも２つの処理予定面が露出するように、少なくとも前記第１当接面の反対側と、前記第２当接面の反対側とが開放しており、
    前記ワーク保持治具は、細長い形状を有し、前記長手方向を中心軸として回転可能となっているワーク保持治具。
13. 請求項１〜請求項１２のいずれかに記載のワーク保持治具を複数有する電子部品処理装置。
14. 請求項１〜請求項１２のいずれかの請求項に記載のワーク保持治具を用いて、少なくとも２つの処理予定面がワーク収容部から露出したワークのいずれかの処理予定面に処理を行う工程と、
    前記ワーク保持治具を所定角度だけ回転させ、当該ワークの他のいずれかの処理予定面に処理を行う工程とを有する電子部品の製造方法。
15. 請求項１〜請求項１２のいずれかの請求項に記載の複数のワーク保持治具の各々を、隣り合う一方のワーク保持治具のワーク収容部の第１当接面と、隣り合う他方のワーク保持治具のワーク収容部の第２当接面とが同一方向を向くように、所定角度だけ回転させて配列する工程と、
    前記一方のワーク保持治具の前記第１当接面の反対側から露出したワークの処理予定面と、前記他方のワーク保持治具の前記第２当接面の反対側から露出したワークの処理予定面とに処理を行う工程とを有することを特徴とする電子部品の製造方法。

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