JP2012140681A - ヤトイ治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸着設備において、下から受けてウエハ2を支えて搭載するウエハ搭載用のヤトイ治具3において、ヤトイ治具3の内周側の先端部に庇状の段差部3aが平面視リング状に設けられている。リング状のヤトイ治具3の段差部3b上にはウエハ2が搭載され、さらに外周側のヤトイ治具3の段差部3c上には、その下面がウエハ2の上面にと当接してウエハ2を自重で固定するための蓋4が搭載されている。段差部3c上に搭載された蓋4の下面は、段差部3b上に搭載されたウエハ2の上面を多少押圧する段差部3b、3cの段差高さ関係を有している。
【選択図】図1
Description
1a、3a、3b、3c、3d 段差部
2 ウエハ
3 ヤトイ治具
3e 裏面
4 蓋部
5 堆積膜
10 蒸着設備(蒸着装置)
Claims (8)
- 蒸着設備において下から受けて、成膜面を下にした基板を搭載する基板搭載用のヤトイ治具において、堆積膜が該基板との間に連続して堆積しないように内径側の先端部に庇状の段差部が平面視リング状に設けられているヤトイ治具。
- 前記段差部の庇と前記基板とのクリアランスは、該基板上に成膜する堆積膜の膜厚の2倍以上20倍以下である請求項1に記載のヤトイ治具。
- 前記段差部の庇の奥行きは、該基板上に成膜する堆積膜の膜厚の2倍以上20倍以下である請求項1に記載のヤトイ治具。
- 前記段差部の庇の奥側に周りよりも広い空間部が設けられている請求項1に記載のヤトイ治具。
- 前記基板におけるリング状の外周端縁部を下方から受けて支持すると共に、この支持された該基板の外周端縁部に沿って前記庇状の段差部が平面視リング状に設けられている請求項1に記載のヤトイ治具。
- 前記内径側の先端部に設けられた庇状の段差部の外周側に前記基板を下から受けて搭載するための段差部が設けられている請求項1に記載のヤトイ治具。
- 前記基板を下から受けて搭載する段差部には、圧縮ばねが穴内に複数箇所セットされており、該基板上の蓋部を取り去ったときに、該圧縮ばねにより該基板を段差部から浮かせる構成としている請求項6に記載のヤトイ治具。
- 前記基板を搭載するための段差部の外周側に蓋部の外周縁部を下から受けて搭載するための段差部が設けられ、該蓋部の下面が該基板の上面に当接して該基板を押さえる当該段差部の高さを有している請求項6に記載のヤトイ治具。
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