JP5361634B2 - 半導体ウェーハ用チャックテーブル及び半導体ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Description
半導体ウェーハと少なくとも同幅でそのバンプ面に対向する多孔質の吸着搭載板を備え、この吸着搭載板の対向面に、半導体ウェーハの複数のバンプを収容する収容凹部を形成し、半導体ウェーハの複数のバンプと収容凹部との隙間に、多孔質のスペーサを介在したことを特徴としている。
半導体ウェーハと少なくとも同幅でそのバンプ面に対向する多孔質の吸着搭載板を備え、この吸着搭載板の対向面周縁部に、半導体ウェーハのバンプ面の周縁部を支持する多孔質枠を着脱自在に取り付け、半導体ウェーハの複数のバンプと吸着搭載板の対向面との隙間に、多孔質のスペーサを介在したことを特徴としている。
2 表面(バンプ面)
3 バンプ
10 テーブル本体
13 真空ポンプ
20 吸着搭載板
21 収容凹部
30 スペーサ
41 保持フレーム
42 フレーム部
43 粘着層
44 ダイシングフレーム
45 ダイシングテープ
46 多孔質リング(多孔質枠)
50 粘着テープ
Claims (4)
- 複数のバンプを備えた半導体ウェーハのバンプ面を負圧作用により吸着保持する半導体ウェーハ用チャックテーブルであって、
半導体ウェーハと少なくとも同幅でそのバンプ面に対向する多孔質の吸着搭載板を備え、この吸着搭載板の対向面に、半導体ウェーハの複数のバンプを収容する収容凹部を形成し、半導体ウェーハの複数のバンプと収容凹部との隙間に、多孔質のスペーサを介在したことを特徴とする半導体ウェーハ用チャックテーブル。 - 複数のバンプを備えた半導体ウェーハのバンプ面を負圧作用により吸着保持する半導体ウェーハ用チャックテーブルであって、
半導体ウェーハと少なくとも同幅でそのバンプ面に対向する多孔質の吸着搭載板を備え、この吸着搭載板の対向面周縁部に、半導体ウェーハのバンプ面の周縁部を支持する多孔質枠を着脱自在に取り付け、半導体ウェーハの複数のバンプと吸着搭載板の対向面との隙間に、多孔質のスペーサを介在したことを特徴とする半導体ウェーハ用チャックテーブル。 - 保持フレームの粘着層に粘着された半導体ウェーハに複数のバンプを形成し、この半導体ウェーハの複数のバンプを備えたバンプ面を請求項1記載の半導体ウェーハ用チャックテーブルの吸着搭載板に支持させ、保持フレームの粘着層を半導体ウェーハから剥離し、その後、半導体ウェーハの露出面にダイシングフレームのダイシングテープを粘着することを特徴とする半導体ウェーハの加工方法。
- 保持フレームの粘着層に粘着された半導体ウェーハに複数のバンプを形成し、この半導体ウェーハの複数のバンプを備えたバンプ面を請求項2記載の半導体ウェーハ用チャックテーブルの吸着搭載板に多孔質枠を介して支持させ、保持フレームの粘着層を半導体ウェーハから剥離し、その後、半導体ウェーハの露出面にダイシングフレームのダイシングテープを粘着することを特徴とする半導体ウェーハの加工方法。
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