JP6966448B2 - ウエハシンギュレーションプロセス制御 - Google Patents
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Description
[34]本発明の特定の実施形態が本明細書に図示され説明されたが、当業者であれば、同じ目的を達成するために計算された任意の構成を、示された特定の実施形態に置き換えることができる。本発明の多くの適応が当業者には明らかである。したがって、本出願は、本発明の任意の適合または変形を包含することが意図されている。本発明は、添付の特許請求の範囲およびその均等物によってのみ限定されることが明白に意図されている。
Claims (9)
- 改良されたシンギュレーションプロセスにおいて、
連続した基板の少なくとも一部を少なくとも第1のICデバイスと第2のICデバイスとに分離するステップであって、前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスは隣接エッジを有する、分離するステップと、
前記第1のICデバイスおよび第2のICデバイスの前記隣接エッジのそれぞれの少なくとも1つのイメージをキャプチャするステップと、
前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスの前記隣接エッジのそれぞれの輪郭を確立するステップと、
前記隣接エッジの前記輪郭を重ね合わせるステップと、
前記隣接エッジの重なり合った前記輪郭から、前記隣接エッジの不一致部分がある場合に識別するステップと、
前記分離するステップが、少なくとも別の第1のICデバイスおよび別の第2のICデバイスの、その後に形成される隣接エッジの不一致部分をもたらす可能性を低減させるように前記分離するステップを実行させるために、前記分離するステップおよび/または装置を修正するステップと
を備えた改良されたシンギュレーションプロセス。 - 前記識別するステップは、前記隣接エッジの前記輪郭間のギャップが欠けおよび層間剥離のうちの1つであるかどうかを判定することをさらに含む、請求項1に記載の改良されたシンギュレーションプロセス。
- 前記隣接エッジの前記輪郭間のギャップを識別することによって欠けが判定される、請求項2に記載の改良されたシンギュレーションプロセス。
- 前記隣接エッジの前記輪郭間の重なりを識別することによって層間剥離が判定される、請求項2に記載の改良されたシンギュレーションプロセス。
- シンギュレーションプロセスを特徴付ける方法において、
基板から分離された第1のICデバイスの周辺エッジの所定の部分の輪郭を識別するステップと、
前記基板から分離された第2のICデバイスの周辺エッジの所定の部分の輪郭を識別するステップであって、前記第2のICデバイスの前記周辺エッジの前記所定の部分は、前記第1のICデバイスの前記周辺エッジの前記所定の部分に隣接している、識別するステップと、
前記輪郭間のギャップおよび前記輪郭間の重なりのうちの1つがもしあれば、それを識別するために、前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスの前記周辺エッジの前記所定の部分の前記輪郭を比較するステップと
を含むシンギュレーションプロセスを特徴付ける方法。 - 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスの前記周辺エッジの前記所定の部分の前記輪郭のそれぞれの粗さを判断するステップと、
前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスの前記周辺エッジの前記所定の部分の前記輪郭のいずれかの前記粗さが、許容可能な品質レベルを規定する所定の閾値を超えるかどうかを判断するステップと、
前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスの前記周辺エッジの所定の部分の前記輪郭のいずれかの前記粗さが、許容可能な品質レベルを規定する所定の閾値よりも異なるかどうかを識別するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載のシンギュレーションプロセスを特徴付け
る方法。 - 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスの前記周辺エッジの前記所定の部分の前記輪郭のそれぞれに最適な線を判断するステップと、
前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスの前記周辺エッジの前記所定の部分の前記輪郭のそれぞれに最適な前記線が、互いに対して平行から、許容可能な品質レベルを規定する所定の閾値より大きく外れているか否かを判断するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項5に記載のシンギュレーションプロセスを特徴付ける方法。 - 最適な前記線は、線形および曲線からなる群から選択された、請求項7に記載のシンギュレーションプロセスを特徴付ける方法。
- 前記第1のICデバイスおよび前記第2のICデバイスのうちの少なくとも1つのパターン化された領域の境界を識別するステップと、
前記境界とそれぞれの前記ICデバイスの前記周辺エッジの前記所定の部分の前記輪郭との間の相対的な距離および方向を決定するステップと
をさらに含む請求項5に記載のシンギュレーションプロセスを特徴付ける方法。
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