JP6952718B2 - 基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム、および表示システム - Google Patents
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Description
また、本明細書は、複数の生産拠点に配設された基板生産ラインに適用される表示システムであって、全部の前記生産拠点を複数のエリアに分割し、各前記生産拠点から受け取る拠点情報に含まれて前記基板生産ラインの稼働状況を表す平均設備効率に基づき、前記エリア内の前記生産拠点の稼働状況を表すエリア平均設備効率を前記エリアごとに求め、求めた複数の前記エリア平均設備効率とともに前記基板生産ラインに対して実行可能なアクションを遠隔指示するスイッチを表示する表示部、を備える基板生産ラインの表示システムを開示する。
実施形態の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム1について、図1〜図16を参考にして説明する。図1は、実施形態の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム1(以降、モニタリングシステム1と略記)の構成図である。図中の矢印は、情報やデータの伝送方向、およびアクセスの方向などを示す。モニタリングシステム1は、複数の生産拠点の基板生産ラインをモニタリング対象とする。
次に、モニタリングシステム1の動作および作用について、生産拠点9側およびクラウドサーバ61側に分けて説明する。図3は、生産拠点9の拠点集計部2の動作フローを説明するフローチャートの図である。図3のステップS1で、拠点集計部2は、情報収集時間の経過を待つ。情報収集時間が経過した後のステップS2で、拠点集計部2は、データベース(941、942、943)から最新の稼動情報を収集する。
実施形態のモニタリングシステム1は、複数の生産拠点9にそれぞれ設けられ、生産拠点9に配設された基板生産ライン(911、912、913)の稼動情報を集計して拠点情報(リアルタイムステータスデータ21、拠点情報データ22、およびスケジュールデータ24)を作成する複数の拠点集計部2と、複数の生産拠点9に対応して設けられ、拠点集計部2の拠点情報を伝送する複数の情報伝送部3と、複数の情報伝送部3からそれぞれ受け取った拠点情報を集計して、全部の生産拠点の全部の基板生産ラインの稼動情報を集計した全体情報を作成する全体集計部4と、全部の生産拠点を複数のエリアに分割し、拠点情報および全体情報の少なくとも一方に基づいて、エリアごとに稼動情報に関する指標を求め、求めた複数の指標を出力するエリア比較出力部5と、を備える。
なお、クラウドサーバ61を利用することは必須でなく、全体集計部4およびエリア比較出力部5は、一般的なコンピュータ装置で実現することも可能である。また、実施形態において、エリア比較出力部5は、予め指標を求め、生産管理者からの出力要求に応じて指標を出力するが、別法もある。つまり、エリア比較出力部5は、生産管理者からの出力要求を受けてから指標を求めるようにしてもよい。さらに、図6〜図16に示した画面は一例であって、様々な表示画面の変形例を用いることができる。例えば、ドリルダウン処理およびドリルアップ処理により、OEE以外の指標を表示してもよい。本発明は、他にも様々な応用や変形が可能である。
Claims (8)
- 複数の生産拠点にそれぞれ設けられ、前記生産拠点に配設された基板生産ラインの稼動情報を集計して、前記生産拠点の稼働状況を表す平均設備効率を含んだ拠点情報を作成する複数の拠点集計部と、
複数の前記生産拠点に対応して設けられ、前記拠点集計部の前記拠点情報を伝送する複数の情報伝送部と、
複数の前記情報伝送部からそれぞれ受け取った前記拠点情報に含まれる前記平均設備効率を集計して、全部の前記生産拠点の全体の稼働状況を表す全体平均設備効率を含んだ全体情報を作成する全体集計部と、
全部の前記生産拠点を複数のエリアに分割し、前記拠点情報および前記全体情報の少なくとも一方に基づいて、前記エリア内の前記生産拠点の稼働状況を表すエリア平均設備効率を前記エリアごとに求め、求めた複数の前記エリア平均設備効率を出力するとともに、前記基板生産ラインに対して実行可能なアクションを遠隔指示するスイッチを表示するエリア比較出力部と、
を備える基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。 - 前記全体集計部およびエリア比較出力部は、クラウドサーバを利用して実現される請求項1に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。
- 前記エリアは、複数の上層エリアと、少なくとも一つの前記上層エリアが分割された複数の下層エリアと、を含む二層以上の階層構造をもち、
前記エリア比較出力部は、前記上層エリアごとに前記エリア平均設備効率を求め、かつ、第一上層エリアが指定されたときに、前記第一上層エリアが分割された複数の前記下層エリアを対象として複数の前記エリア平均設備効率を求める請求項1または2に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。 - 前記エリアの前記階層構造は、前記生産拠点、または、前記基板生産ライン、または、前記基板生産ラインの構成要素である基板生産機のいずれかを最下層エリアとし、
前記エリア比較出力部は、複数の前記エリア平均設備効率を求める対象となる前記エリアの層を指定に応じて下層側に移すドリルダウン処理、および、複数の前記エリア平均設備効率を求める対象となる前記エリアの層を指定に応じて上層側に移すドリルアップ処理が可能である請求項3に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。 - 前記エリア比較出力部は、前記スイッチの操作にしたがい、前記基板生産ラインまで伝送される前記アクションの内容を出力するアクション出力部を含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。
- 前記エリア比較出力部から出力された前記エリア平均設備効率は、モバイル端末を用いて確認可能である請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。
- 前記全体集計部は、前記拠点集計部が集計を行うときの集計条件を指示する集計条件指示部を含む請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム。
- 複数の生産拠点に配設された基板生産ラインに適用される表示システムであって、
全部の前記生産拠点を複数のエリアに分割し、各前記生産拠点から受け取る拠点情報に含まれて前記基板生産ラインの稼働状況を表す平均設備効率に基づき、前記エリア内の前記生産拠点の稼働状況を表すエリア平均設備効率を前記エリアごとに求め、求めた複数の前記エリア平均設備効率とともに前記基板生産ラインに対して実行可能なアクションを遠隔指示するスイッチを表示する表示部、を備える基板生産ラインの表示システム。
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