JP2003005816A - 設備稼働状況データ集計方法およびそのシステム - Google Patents

設備稼働状況データ集計方法およびそのシステム

Info

Publication number
JP2003005816A
JP2003005816A JP2001189517A JP2001189517A JP2003005816A JP 2003005816 A JP2003005816 A JP 2003005816A JP 2001189517 A JP2001189517 A JP 2001189517A JP 2001189517 A JP2001189517 A JP 2001189517A JP 2003005816 A JP2003005816 A JP 2003005816A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
equipment
production
data
host computer
control controller
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001189517A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuro Fujita
達郎 藤田
Masaya Suzuki
雅也 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Development and Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Electronic Engineering Co Ltd filed Critical Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
Priority to JP2001189517A priority Critical patent/JP2003005816A/ja
Publication of JP2003005816A publication Critical patent/JP2003005816A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • General Factory Administration (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産設備の稼働状況データを効率よくリアル
タイムに、ホストコンピュータや端末コンピュータによ
って、自工場のみならず特定された遠隔地についても集
計して生産設備の稼動状況を把握すると共に、生産設備
に不具合が生じた際には、その原因解析と対応措置の迅
速なフィードバックを行うことができる設備稼働状況デ
ータ集計方法およびそのシステムを提供すること。 【解決手段】 工場内に配置されている生産設備を制御
する設備制御用コントローラ1、2に対して、この設備
制御用コントローラ1、2に接続されている端末コンピ
ュータ5a、5b〜5nと制御用コントローラ1、2
と、端末コンピュータ5a、5b〜5nとが共に接続さ
れているホストコンピュータ6とにより形成されたネッ
トワークによって、生産設備の設備稼働データを集計す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、設備制御用コント
ローラによって制御されている生産設備の設備稼働状況
を監視し集計して、その結果に応じた対応措置フィード
バックすることができる設備稼働状況の集計方法および
そのシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、各種生産装置(生産設備)の制
御や管理は、その生産装置が設置されている場所で行な
われている場合が多い。例えば、生産装置として電子部
品実装装置が用いられた例が特開平5−l38468号
公報に開示されている。
【0003】すなわち、同公報よれば、生産装置の稼動
情報・生産情報・アラーム/停止情報を表示するための
表示装置を各生産装置に対応させて設け、さらにそれぞ
れの表示装置からのデータを集計するライン端末を設
け、それぞれのライン端末相互間を通信回線としてLA
Nで接続するとともに、このLANにホストコンピュー
タを接続する構成である。
【0004】つまり、複数台のライン端末はLANを介
して相互に接続されるとともにホストコンピュータに接
続されている。
【0005】図7を参照して更に説明すると、各ライン
端未25には生産装置とこれに一対で対応した生産管理
用の表示装置との組が複数個接続されている。例えば、
生産装置No.1、No.2、…No.30のそれぞれ
に対応して生産管理用の表示装置26a、26b、26
cが設けられており、さらに各表示装置に対して1個の
ライン端末25が設けられている。前記生産装置は、例
えば電子部品挿入機、電子部品装着機、電子部品検査
機、部品メッキ装置等である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の場
合では、生産設備がそれぞれ設備制御用のコントローラ
を備え、その設備制御用コントローラからの稼動情報・
生産情報・アラーム/停止情報等の各情報を、専用線に
よる通信手段を介して表示装置やライン端末を経由して
ホストコンピュータで取出している。そのため、表示装
置でのデータ変換やライン端末でのデータ収集・編集の
時間を要するため、それがネックとなって稼動中の生産
装置のリアルタイム情報を取り込むことができない。
【0007】また、設備制御用コントローラから表示装
置とライン端末を経由してホストコンピュータへ設備稼
動状況データを伝送する通信手段では、専用線を用いて
いる個所が多いために通信データ容量に制限がある。
【0008】さらに、生産設備が大規模化して設備制御
用コントローラが複数台増えると、ホストコンピュータ
の台数も増設する必要があり、コストアップに至る。ま
た、生産設備の設備稼動状況データを出力したい場合、
わざわざホストコンピュータの設置されている場所へ出
向いてデータ出力を行わなければならない。言うまでも
なく他工場の設備稼動状況データを出力したい場合に
も、他工場への移動時間や専用の人員が必要となる。
【0009】また、生産設備の稼働中に不良が発生した
際には、発生してから原因追跡を行うことになり、不良
発生要因の特定に時間が掛かるため、故障の復旧が遅れ
てしまう。
【0010】本発明はこれらの事情に基づいてなされた
もので、生産設備の稼働状況データを効率よくリアルタ
イムに、ホストコンピュータや端末コンピュータによっ
て、自工場のみならず特定された遠隔地についても集計
して生産設備の稼動状況を把握すると共に、生産設備に
不具合が生じた際には、その原因解析と対応措置の迅速
なフィードバックを行うことができる設備稼働状況デー
タ集計方法およびそのシステムを提供することを目的と
している。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、工場内
に配置されている生産設備を制御する設備制御用コント
ローラに対して、この設備制御用コントローラに接続さ
れている端末コンピュータと前記制御用コントローラと
前記端末コンピュータとが共に接続されているホストコ
ンピュータとにより形成されたネットワークによって前
記生産設備の設備稼働データを集計することを特徴とす
る設備稼働状況データ集計方法である。
【0012】また本発明によれば、前記生産設備と前記
ネットワークとが離間した各工場に設置されて前記ネッ
トワーク内の各ホストコンピュータが各工場毎の生産設
備の設備稼働データを集計し、前記各ホストコンピュー
タ同士が相互にインターネットを介して自工場の設備稼
働データを伝送することを特徴とする設備稼働状況デー
タ集計方法である。
【0013】また本発明によれば、工場内に配置されて
いる生産設備を制御する設備制御用コントローラと、こ
の設備制御用コントローラに接続されている端末コンピ
ュータと、前記制御用コントローラと前記端末コンピュ
ータとが共に接続されているホストコンピュータとによ
り形成されたネットワークを備え、このネットワークに
よって前記生産設備の設備稼働データを集計することを
特徴とする設備稼働状況データ集計システムである。
【0014】また本発明によれば、前記ネットワークを
形成したホストコンピュータは離間した各工場にそれぞ
れ配置され、相互にインターネットを介して設備稼働デ
ータを伝送することを特徴とする設備稼働状況データ集
計システムである。
【0015】また本発明によれば、前記ホストコンピュ
ータおよび前記端末コンピュータは、前記設備制御用コ
ントローラにからの通信手段を介して入手した設備稼働
データを表示出力する出力手段を備えていることを特徴
とする設備稼働状況データ集計システムである。
【0016】また本発明によれば、前記ホストコンピュ
ータおよび前記端末コンピュータは、前記設備制御用コ
ントローラにからの通信手段を介して入手した設備稼働
データに不良項目データが存在した場合に、当該生産設
備にその不良項目に対応した予め設定されている措置を
フィードバックすることを特徴とする設備稼働状況デー
タ集計システムである。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
【0018】図1は、本発明の設備稼働状況データ集計
システムの模式図である。各製造設備(不図示)を制御
するための設備制御用コントローラ1、2は、例えばP
LC(プログラマブル・ロジック・コントローラ)等が
用いられており、制御対象の製造設備を予め設定されて
いる設備制御用のブログラムに従って制御している。こ
の設備制御用コントローラ1、2は制御対象の製造設備
の規模に応じて1台または複数台が設けられている。
【0019】設備制御用コントローラ1、2を複数台設
けている場合は、その中から、親コントローラ1a、1
b〜1nを1台設定して、親コントローラ1a、1b〜
1n以外は親コントローラ1a、1b〜1nに従属する
子コントローラ2a、2b〜2nとして設定する。それ
らにより設定された各親子コントローラ1a、1b〜1
n、2は共通ファイルとして、集計する設備稼働状況集
計手段としてのソフトウェア2Sを備えている。また、
親コントローラ1a、1b〜1nは、親コントローラ1
a、1b〜1nでの各子コントローラ2a、2b〜2n
から伝送されてきたデータと親コントローラ1a、1b
〜1n自体が収集したデータを集計を合せて集計するす
る集計手段ソフトウェア1Sを備えている。
【0020】それらにより、各子コントローラ2a、2
b〜2nでソフトウェア2Sにより集計された設備稼働
状況データは通信手段3を介して親コントローラ1a、
1b〜1nへ伝送され、親コントローラ1a、1b〜1
nで集計手段ソフトウェア1Sにより集計される。した
がって、各親子コントローラ1a、1b〜1n、2a、
2b〜2nは制御対象の製造設備に対して所定の制御を
行うことにより、製造設備で生じる設備稼働状況データ
を抽出することができる。
【0021】また、生産設備ごとに設けられた各親コン
トローラ1a、1b〜1nには、LAN等の通信手段4
を用いて各端末コンピュータ5a、5b〜5nとホスト
コンピュータ6が接続されている。各親コントローラ1
a、1b〜1nと各端末コンピュータ5a、5b〜5n
には、それぞれにIPアドレスが設定されている。した
がって、IPアドレスにより各親コントローラ1a、1
b〜1nと各端末コンピュータ5a、5b〜5nが特定
できるホストコンピュータ6をサーバとした、言わばク
ライアントサーバ化された分散処理システムが形成され
ていることになる。
【0022】また、このホストコンピュータ6をサーバ
とした分散処理システムは、同様なシステムを他工場
(例えば、A工場とB工場)に設けられている。互いの
工場に設けられたホストコンピュータ6又は端末コンピ
ュータ5a、5b〜5nは、必要に応じて任意のタイミ
ングで、インターネットにより、設備稼働状況集計デー
タを取得できる。通常時は他の用途に使用することもで
きるので、それらの有効活用が図れる。
【0023】ホストコンピュータ6は、データ入力手段
6aやCRT(陰極線管)などによる表示出力手段6b
を備えており、ホストコンピュータ6に集計された設備
稼動データは表示出力手段6bにてリアルタイムに参照
することが出来る。つまり、データ入力手段6aによ
り、設備制御用の各親コントローラ1a、1b〜1nに
設定されているIPアドレスを指定してデータ要求を行
うことにより、所望の設備制御用の各親コントローラ1
a、1b〜1nに集計されている設備稼働状況データを
通信手段4を介して入手する。他工場の設備稼働状況デ
ータについても、ホストニコンピュータ6で所望の親コ
ントローラ1a、1b〜1nの持つIPアドレスを指定
すれば、通信手段4を介して設備稼働状況データを入手
することができる。これらにより、他工場限らずに設備
稼働状況データを容易に入手することが出来る。
【0024】次に、製造設備としてフリップチップボン
ダが稼働している際に、上述の設備稼働状況データ集計
方法を用いた稼働状況の集計について説明する。
【0025】製造設備であるフリップチップボンダは、
図2に示すようにマガジン12に所定量収納さている基
板13a、13b、13c…を順次搬送路14を搬送さ
せ、搬送路に沿って設けられているディスペンサ15で
基板13a、13b、13c、13d……の所定個所に
接着剤を塗布する。一方、ウエハカセット16に収納さ
れていたウエハ17はチップにダイシングされており、
ウエハテーブル18上に載置されている。
【0026】ディスペンサ15で所定個所に接着剤が塗
布された基板13a、13b、13c…が、ボンディン
グヘッド19の位置に搬送されると、基板13a、13
b、13c…の接着剤が塗布された各個所に予め定めら
れているチップ20をピックアップヘッド21で仮付け
する。この仮付けされたチップ20の上方からボンディ
ングヘッド19が降下して加圧しチップ20を基板13
a、13b、13c…の表面の所定個所に実装する。
【0027】したがって、フリップチップボンダで生産
する場合は、品種データ、加圧条件、基板の送りピッ
チ、位置認識結果、ウエハサイズ、加工時間、ボンディ
ング予定チップ等の稼動情報と、生産情報、アラーム/
停止情報が常時、制御・管理対象になっている。
【0028】稼働情報には製造設備の固有の情報の他
に、通常、各種製造設備に共通している稼働時間、待機
時間、通常停止時間、異常停止時間、異常停止回数、時
間効率、性能効率、総合効率、MTBF(故障と故障と
の間の時間)、MTTR(故障からの復帰時間)、停止
理由等が含まれている。
【0029】生産情報には、生産数の他に良品数や不良
数、歩留りを示す良品率、理由別不良品数等を対象にな
っている。また、アラーム/停止情報には、設備停止時
間の他にアラーム別停止時間、アラ−ム発生回数、理由
別停止時間、停止回数、トラブル処理時間、トラブル停
止回数等が対象になっている。
【0030】これらの稼動情報、生産情報およびアラー
ム/停止情報は、それぞれの対象情報が所定値の許容範
囲を超えたり、設定値を変更する場合等に更新する必要
がある。
【0031】それらの表示結果の一例を図3〜図6に示
す。図3に示すように、製造設備ごとの一覧表として得
られる。もちろんそれらは、一覧表のほかにも、図4に
示すように、例えば、ボンディングヘッドの製造設備毎
の加圧力を示したレーダーチャート方式や、図5に示す
ように、ボンディングヘッドの加圧力の不良装置を設定
圧力と、それに対する再設定圧力とを対比させて表示し
たりすることができる。また、図6に示すように、複数
のラインで同一工程を並列に稼働していいる装置A〜装
置Dについて、チェック項目毎に表示することができ
る。
【0032】もちろん、それらは、カラーディスプレイ
等の表示装置に表示して、必要に応じてプリントアウト
することもできる。
【0033】また、図1で示した各端末コンピュータ5
a、5b〜5nでは、各製造設備の設備制御用コンピュ
ータから送られてくる設備稼動情報、生産情報、アラー
ム/停止情報等を日、週、月等の期間を単位として集計
し、生産実績管理情報、品質管理情報、メンテナンス管
理情報、及び工程解析情報等として、それぞれ集計と解
析とを行い、良好な生産管理を行うことができる。
【0034】それらによる生産管理は、例えば以下のよ
うなものである。
【0035】 進捗管理…ロット別生産状況表示 生産実績管理…生産計画に対する実績管理 品賀管理…不良項目解析、歩留り管理 生産指示…ロット別生産数指示、段取り内容の指示 生産シミユレーション…工程別生産時間の把握 これらの各指標の管理によって、所定の安定した生産を
継続して行うことができる。
【0036】特に、品質管理の不良項目解析では、製造
設備の不良項目を様々な角度から解析しており、かつ、
それに対する対応策も過去の事例の集積からデータベー
スとして準備されている。例えば、製造設備の不調によ
る不良項目が完全に故障の領域に入る以前に、故障の前
兆となる事象を把握して、稼働している製造ラインを停
止させずに、対応策として、修正プログラムを追加した
り、ハード面での改善が必要な場合は、週末の製造ライ
ンが停止するまでを暫定的な手当てにより稼働させる方
策を講じる等を行うことができる。
【0037】上述したような構成によれば、LAN通信
(TCP/IPプロトコル)を直接、製造設備(電子部
品実装装置等)に対応させることにより、稼動情報・生
産情報・アラーム/停止情報を直接取出すことができる
ようになった。したがって、リアルタイムに情報を取出
すことができ、この情報に基づき、LAN通信回線を介
して、迅速に各製造設備の設備制御用コントローラを遠
隔操作することが可能となる。
【0038】また、情報収集における付加設備が特に新
設する必要が無いため、LANのメンテナンスだけで良
く、システム管理の負荷は少ない。
【0039】以上に説明した本発明によれば、設備制御
用コントローラに各工場に1台分のみ設置されたホスト
コンピュータ、更に他のホストコンピュータとを接続
し、データ通信を行うことで、自工場のみならずある他
の特定された遠隔地の設備稼働状況データの共有化が図
れ、工場間での設備稼働状況データ集計、不良項目別の
原因解析等を行い、また警告を受け取り故障以前に装置
保守を計画的に行うことができる。また各ホストコンピ
ュータ、各端末コンピュータから任意のタイミングで必
要に応じて表示出力、内容印刷も出来る。
【0040】なお、上述の実施の形態では、本発明は製
造設備として電子部品実装装置(フリップチップボン
ダ)を例示したが、製造設備はこれに限るものではな
く、コンピュータで制御されている製造設備であれば、
同様に適用することができる
【0041】
【発明の効果】本発明によれば、生産設備の稼働状況デ
ータを効率よくリアルタイムに、ホストコンピュータや
端末コンピュータによって、自工場のみならず特定され
た遠隔地についても集計し、生産設備の稼動状況を正確
に把握することができる。
【0042】また、生産設備に不具合が生じた際には、
その原因解析と対応措置の迅速なフィードバックを行う
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の設備稼働状況データ集計システムの模
式図。
【図2】フリップチップボンダの説明図。
【図3】表示結果の一例の説明図。
【図4】表示結果の一例の説明図。
【図5】表示結果の一例の説明図。
【図6】表示結果の一例の説明図。
【図7】従来の生産装置の稼動情報等の集計システムの
説明図。
【符号の説明】
1、2…設備制御用コントローラ、1a、1b〜1n…
親コントローラ、2a、2b〜2n…子コントローラ、
3…通信手段、4…通信手段、5a、5b〜5n…端末
コンピュータ、6…ホストコンピュータ、6b…表示出
力手段

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 工場内に配置されている生産設備を制御
    する設備制御用コントローラに対して、この設備制御用
    コントローラに接続されている端末コンピュータと前記
    制御用コントローラと前記端末コンピュータとが共に接
    続されているホストコンピュータとにより形成されたネ
    ットワークによって前記生産設備の設備稼働データを集
    計することを特徴とする設備稼働状況データ集計方法。
  2. 【請求項2】 前記生産設備と前記ネットワークとが離
    間した各工場に設置されて前記ネットワーク内の各ホス
    トコンピュータが各工場毎の生産設備の設備稼働データ
    を集計し、前記各ホストコンピュータ同士が相互にイン
    ターネットを介して自工場の設備稼働データを伝送する
    ことを特徴とする請求項1記載の設備稼働状況データ集
    計方法。
  3. 【請求項3】 工場内に配置されている生産設備を制御
    する設備制御用コントローラと、この設備制御用コント
    ローラに接続されている端末コンピュータと、前記制御
    用コントローラと前記端末コンピュータとが共に接続さ
    れているホストコンピュータとにより形成されたネット
    ワークを備え、このネットワークによって前記生産設備
    の設備稼働データを集計することを特徴とする設備稼働
    状況データ集計システム。
  4. 【請求項4】 前記ネットワークを形成したホストコン
    ピュータは離間した各工場にそれぞれ配置され、相互に
    インターネットを介して設備稼働データを伝送すること
    を特徴とする請求項3記載の設備稼働状況データ集計シ
    ステム。
  5. 【請求項5】 前記ホストコンピュータおよび前記端末
    コンピュータは、前記設備制御用コントローラにからの
    通信手段を介して入手した設備稼働データを表示出力す
    る出力手段を備えていることを特徴とする請求項3記載
    の設備稼働状況データ集計システム。
  6. 【請求項6】 前記ホストコンピュータおよび前記端末
    コンピュータは、前記設備制御用コントローラにからの
    通信手段を介して入手した設備稼働データに不良項目デ
    ータが存在した場合に、当該生産設備にその不良項目に
    対応した予め設定されている措置をフィードバックする
    ことを特徴とする請求項3記載の設備稼働状況データ集
    計システム。
JP2001189517A 2001-06-22 2001-06-22 設備稼働状況データ集計方法およびそのシステム Pending JP2003005816A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001189517A JP2003005816A (ja) 2001-06-22 2001-06-22 設備稼働状況データ集計方法およびそのシステム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001189517A JP2003005816A (ja) 2001-06-22 2001-06-22 設備稼働状況データ集計方法およびそのシステム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003005816A true JP2003005816A (ja) 2003-01-08

Family

ID=19028422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001189517A Pending JP2003005816A (ja) 2001-06-22 2001-06-22 設備稼働状況データ集計方法およびそのシステム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003005816A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004013716A (ja) * 2002-06-10 2004-01-15 Mori Seiki Co Ltd 稼動データ蓄積・送信装置、稼動管理装置及び稼動管理システム
JP2007041794A (ja) * 2005-08-02 2007-02-15 Toyota Industries Corp 生産状況表示装置
JP2008015738A (ja) * 2006-07-05 2008-01-24 Nec Electronics Corp 設備管理システム
CN103823447A (zh) * 2014-03-04 2014-05-28 北京七星华创电子股份有限公司 半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
JP2018025901A (ja) * 2016-08-09 2018-02-15 株式会社日立製作所 生産ライン管理装置および管理方法
WO2018122962A1 (ja) * 2016-12-27 2018-07-05 株式会社Fuji 基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム
WO2019004140A1 (ja) * 2017-06-27 2019-01-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 電力デマンド制御を行う装置及び方法
CN109884991A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 横河电机株式会社 生产支持系统,生产支持方法和存储介质
JP6927461B1 (ja) * 2019-11-13 2021-09-01 Jfeスチール株式会社 生産設備の操業方法及び操業システム

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004013716A (ja) * 2002-06-10 2004-01-15 Mori Seiki Co Ltd 稼動データ蓄積・送信装置、稼動管理装置及び稼動管理システム
JP2007041794A (ja) * 2005-08-02 2007-02-15 Toyota Industries Corp 生産状況表示装置
JP2008015738A (ja) * 2006-07-05 2008-01-24 Nec Electronics Corp 設備管理システム
CN103823447A (zh) * 2014-03-04 2014-05-28 北京七星华创电子股份有限公司 半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
CN103823447B (zh) * 2014-03-04 2016-06-01 北京七星华创电子股份有限公司 半导体设备的上下位机的通信方法和通信系统
JP2018025901A (ja) * 2016-08-09 2018-02-15 株式会社日立製作所 生産ライン管理装置および管理方法
WO2018122962A1 (ja) * 2016-12-27 2018-07-05 株式会社Fuji 基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム
JPWO2018122962A1 (ja) * 2016-12-27 2019-10-31 株式会社Fuji 基板生産ラインの稼動情報モニタリングシステム
WO2019004140A1 (ja) * 2017-06-27 2019-01-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 電力デマンド制御を行う装置及び方法
JPWO2019004140A1 (ja) * 2017-06-27 2020-04-23 パナソニックIpマネジメント株式会社 電力デマンド制御を行う装置及び方法
US11431173B2 (en) 2017-06-27 2022-08-30 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Device and method for performing electrical power demand control
JP7182130B2 (ja) 2017-06-27 2022-12-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 電力デマンド制御を行う装置及び方法
CN109884991A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 横河电机株式会社 生产支持系统,生产支持方法和存储介质
CN109884991B (zh) * 2017-12-06 2022-11-22 横河电机株式会社 生产支持系统,生产支持方法和存储介质
JP6927461B1 (ja) * 2019-11-13 2021-09-01 Jfeスチール株式会社 生産設備の操業方法及び操業システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6240331B1 (en) Integrated management of semiconductor process data
US6831555B1 (en) Method and apparatus for dynamically monitoring system components in an advanced process control (APC) framework
JP2003520435A (ja) Fdc半導体製造プロセスからトレースデータ報告を要求する方法
JP6385613B1 (ja) データ処理装置およびデータ処理方法
JP2003005816A (ja) 設備稼働状況データ集計方法およびそのシステム
CN108289123A (zh) 云服务控制装置、云服务控制系统、云服务控制方法及记录介质
JP2020160638A (ja) 生産管理装置および生産計画作成方法
CN103197640A (zh) 生产工艺智能管控系统和方法
US6826439B1 (en) Broadband distribution of SECS-II data
CN111563604A (zh) 一种工业设备智能巡检系统
KR102269297B1 (ko) 데이터 수집 및 분석 모니터링 시스템 및 그 제어방법
KR20190031385A (ko) 인터페이스 장치와, 이를 이용한 반도체 제조 시스템 및 관리 방법
US20190107829A1 (en) Manufacturing system and method of granting authority
KR20190079267A (ko) 합지기 관리시스템
JPH04240060A (ja) 製造システム
CN104980495B (zh) 通用化设备综合管理器
KR102269296B1 (ko) 데이터 수집 및 분석 모니터링 시스템 및 그 제어방법
KR101960324B1 (ko) 시설물 통합 원격 장비 관리 시스템
JP2975708B2 (ja) 品質管理システム
TWM582628U (zh) Processing system and device for dynamically adjusting manufacturing orders and information collection
US20050088526A1 (en) Remote audio controlling system and method
CN107644260A (zh) 电力设备监测数据综合处理方法及其系统
TWI794992B (zh) 依據測試結果控制測試治具機台持續運作之系統及方法
TWI769400B (zh) 虛擬影像的視覺化監控裝置及其方法
JP2000225543A (ja) 生産管理システム