JP6941777B2 - 発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本開示の一態様によれば、発光素子の製造方法は、第1面および第2面を有する基板と、前記第1面に設けられた半導体構造とを有するウェーハにおける前記基板の前記第2面側から前記基板の内部にレーザ光を照射するレーザ光照射工程と、前記レーザ光照射工程の後に、前記ウェーハを複数の発光素子に分離する分離工程と、を備え、前記レーザ光照射工程は、前記基板の内部に最初にレーザ光を照射する第1走査工程であって、前記第2面に平行な第1方向に沿って前記レーザ光を第1照射ピッチで走査し、複数の第1改質領域を形成する前記第1走査工程と、前記第1走査工程の後、前記第1改質領域と前記第2面との間に、前記第1方向に沿って前記レーザ光を前記第1照射ピッチよりも広い第2照射ピッチで走査し、前記基板の内部に複数の第2改質領域を形成する第2走査工程と、前記第2走査工程の後、前記第2改質領域の範囲内である深さに前記第1方向に沿って前記レーザ光を、前記第2走査工程における前記レーザ光の出力よりも高い出力で、かつ、前記第2照射ピッチよりも狭い第3照射ピッチで走査し、前記基板の内部に複数の第3改質領域を形成する第3走査工程と、を有する。
試料SP12においては、レーザ光の出力は、0.35Wであり、レーザ光の照射ピッチは、2.0μmである。試料SP12において、レーザ光のパルス幅は、5.0psである。
試料SP13においては、レーザ光の出力は、0.35Wであり、レーザ光の照射ピッチは、2.5μmである。試料SP13において、レーザ光のパルス幅は、5.0psである。
試料SP14においては、レーザ光の出力は、0.35Wであり、レーザ光の照射ピッチは、3.0μmである。試料SP14において、レーザ光のパルス幅は、5.0psである。
このように、試料SP11〜SP14において、レーザ光の照射条件のうち、出力、パルス幅は同じ値であり、照射ピッチの値が変更される。
図9の縦軸は、破断強度(ニュートン:N)である。図9には、上記の試料SP11〜SP14の破断強度が示されている。図9で示される試料SP11〜SP14の破断強度は、それぞれの試料SP11〜SP14に対して5回測定を行い、それらの測定で得られた値の平均値である。
試料SP12(照射ピッチが2.0μm)における破断強度は、2.3Nであった。
試料SP13(照射ピッチが2.5μm)における破断強度は、1.6Nであった。
試料SP14(照射ピッチが3.0μm)における破断強度は、0.6Nであった。
Claims (7)
- 第1面および第2面を有する基板と、前記第1面に設けられた半導体構造とを有するウェーハにおける前記基板の前記第2面側から前記基板の内部にレーザ光を照射するレーザ光照射工程と、
前記レーザ光照射工程の後に、前記ウェーハを複数の発光素子に分離する分離工程と、
を備え、
前記レーザ光照射工程は、
前記基板の内部に、前記第2面に平行な第1方向に沿って前記レーザ光を第1照射ピッチで走査し、複数の第1改質領域を形成する第1走査工程と、
前記第1走査工程の後、前記第1改質領域と前記第2面との間に、前記第1方向に沿って前記レーザ光を前記第1照射ピッチよりも広い第2照射ピッチで走査し、前記基板の内部に複数の第2改質領域を形成する第2走査工程と、
前記第2走査工程の後、前記第2改質領域の範囲内である深さに前記第1方向に沿って前記レーザ光を、前記第2走査工程における前記レーザ光の出力よりも高い出力で、かつ、前記第2照射ピッチよりも狭く、前記第1照射ピッチよりも広い第3照射ピッチで走査し、前記基板の内部に複数の第3改質領域を形成する第3走査工程と、
を有する発光素子の製造方法。 - 第1面および第2面を有する基板と、前記第1面に設けられた半導体構造とを有するウェーハにおける前記基板の前記第2面側から前記基板の内部にレーザ光を照射するレーザ光照射工程と、
前記レーザ光照射工程の後に、前記ウェーハを複数の発光素子に分離する分離工程と、
を備え、
前記レーザ光照射工程は、
前記基板の内部に最初にレーザ光を照射する第1走査工程であって、前記第2面に平行な第1方向に沿って前記レーザ光を第1照射ピッチで走査し、複数の第1改質領域を形成する前記第1走査工程と、
前記第1走査工程の後、前記第1改質領域と前記第2面との間に、前記第1方向に沿って前記レーザ光を前記第1照射ピッチよりも広い第2照射ピッチで走査し、前記基板の内部に複数の第2改質領域を形成する第2走査工程と、
前記第2走査工程の後、前記第2改質領域の範囲内である深さに前記第1方向に沿って前記レーザ光を、前記第2走査工程における前記レーザ光の出力よりも高い出力で、かつ、前記第2照射ピッチよりも狭い第3照射ピッチで走査し、前記基板の内部に複数の第3改質領域を形成する第3走査工程と、
を有する発光素子の製造方法。 - 前記第1照射ピッチは、2.5μm以下である、請求項1または2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記第3照射ピッチは、前記第1照射ピッチよりも広い、請求項2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記第1走査工程における前記レーザ光の出力は、0.2W以下である、請求項1〜4のいずれか1つに記載の発光素子の製造方法。
- 前記第2走査工程において、前記レーザ光を前記第1改質領域から前記第2面に向かう方向に伸展する亀裂よりも前記第2面側に走査する、請求項1〜5のいずれか1つに記載の発光素子の製造方法。
- 前記第1走査工程、前記第2走査工程、および前記第3走査工程を、前記第1方向に交差する第2方向にも行う、請求項1〜6のいずれか1つに記載の発光素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019043118A JP6941777B2 (ja) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 発光素子の製造方法 |
US16/807,853 US10964841B2 (en) | 2019-03-08 | 2020-03-03 | Method for manufacturing light-emitting element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019043118A JP6941777B2 (ja) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 発光素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020145386A JP2020145386A (ja) | 2020-09-10 |
JP6941777B2 true JP6941777B2 (ja) | 2021-09-29 |
Family
ID=72335673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019043118A Active JP6941777B2 (ja) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 発光素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10964841B2 (ja) |
JP (1) | JP6941777B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7474231B2 (ja) | 2021-10-29 | 2024-04-24 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子の製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007165850A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-28 | Denso Corp | ウェハおよびウェハの分断方法 |
JP4907984B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2012-04-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及び半導体チップ |
JP5119463B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2013-01-16 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 発光素子及びその製造方法 |
JP2012004313A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Showa Denko Kk | レーザ加工方法 |
JP2014041924A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Hamamatsu Photonics Kk | 加工対象物切断方法 |
JP6620825B2 (ja) | 2017-02-27 | 2019-12-18 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
JP6656597B2 (ja) | 2017-09-11 | 2020-03-04 | 日亜化学工業株式会社 | 発光素子の製造方法 |
US10516075B2 (en) | 2017-09-11 | 2019-12-24 | Nichia Corporation | Method of manufacturing a light emitting element |
-
2019
- 2019-03-08 JP JP2019043118A patent/JP6941777B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-03 US US16/807,853 patent/US10964841B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200287074A1 (en) | 2020-09-10 |
JP2020145386A (ja) | 2020-09-10 |
US10964841B2 (en) | 2021-03-30 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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