JP2013118277A - Ledパターン付き基板の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に複数のLED単位パターンを2次元的に繰り返し配置してなるLEDパターン付き基板を加工する方法が、LEDパターン付き基板に格子状に定められた分割予定線に沿ってレーザー光を照射することにより、LEDパターン付き基板に格子状に分割起点を形成する分割起点形成工程と、LEDパターン付き基板を分割起点に沿ってブレイクすることにより個片化するブレイク工程と、を備え、分割起点形成工程においては、それぞれが円錐状、半楕円体状もしくはくさび形状あるいはこれらの複合した形状をなす多数の穴部を分割予定線上に離散的に形成することによって分割起点を形成するようにする。
【選択図】図3
Description
図1は、本実施の形態において個片化(チップ化)の対象となるLEDパターン付き基板(以下、単に基板とも称する)10の構成を示す概略断面図である。本実施の形態においては、サファイア基板(サファイア単結晶基板)101の一方主面上にLEDパターン102が設けられた基板10を個片化して、LEDチップを得る加工について説明する。図2は、基板10の上面図である。
次に、上述した基板10を個片化するために行う加工処理についての概略を説明する。基板10を個片化するための加工処理は、基板10のストリートSTにレーザー光を照射することによって分割起点を形成する分割起点形成工程と、分割起点形成工程を経た基板10をブレイク(分割)しLEDチップを得るブレイク工程とを含む。
次に、上述した点線加工の詳細について説明する。図5は、点線加工におけるレーザー光の照射態様を説明するための図である。より詳細には、図5は、レーザー光の繰り返し周波数と、レーザー光の照射にあたって基板10を載置するステージの移動速度と、レーザー光のビームスポット中心間隔との関係を示している。なお、ここでは、後述するレーザー加工装置50のように、レーザー光の出射源は固定され、基板10が載置されたステージを移動させることによって、基板10に対するレーザー光の相対的な走査が実現されるものとする。
Δ>Db ・・・・・(式1)
をみたす場合には、レーザー光の走査に際して個々のレーザーパルスは重ならないことになる。
Δ>Dh=Db+α ・・・・・(式2)
なる関係をみたす態様にて、レーザー光を照射する。ここで、αはビーム径Dbの値と加工径Dhの値に応じて経験的に定まる正の実数である。具体的には予備実験等で、種々の値のビーム径Dbにてレーザー光を照射した場合に形成される加工径Dhとの差分値をあらかじめ特定しておき、係る差分値から実数αを定めるようにすればよい。
上述したように、本実施の形態では、分割起点形成工程においてストリートSTに点線加工を行ったうえでブレイク工程を行うことで、チップ端部に凹凸構造が形成されるようにし、これによってLED素子における発光効率の向上を実現している。
図6は、上述した点線加工を実行可能なレーザー加工装置の一態様であるレーザー加工装置50の構成を概略的に示す模式図である。レーザー加工装置50は、基板10をその上に載置するステージ7と、レーザー加工装置50の種々の動作(観察動作、アライメント動作、加工動作など)を行うコントローラ1とを主として備え、ステージ7に載置された基板10に対しレーザー光LBを照射することによって基板10を加工することができるように構成されている。
図7は、ブレイク工程において基板10をブレイクする様子を示す模式図である。基板10を、分割起点104が形成されたストリートSTが下側になる姿勢とし、ストリートSTの両側を2つの下側ブレイクバーB1、B2にて支持した状態で、サファイア基板101の裏面101aであって分割起点104の直下(図7では直上)のブレイク位置BPに向けて、上側ブレイクバーB3を降下させることにより、基板10をブレイクすることが出来る。より詳細には、上側ブレイクバーB3の降下によって下側ブレイクバーB1、B2および上側ブレイクバーB3から基板10に加わる力により、それぞれの穴部103からサファイア基板101の裏面側に向けて、さらには穴部103の配列方向に向けて、クラックが進展することで、基板10は分割起点104に沿ってブレイクされる。
7m 移動機構
10 基板
50 レーザー加工装置
52 集光レンズ
101 サファイア基板
102 LEDパターン
102a 薄膜層
102b 電極パターン
103 穴部
104 分割起点
200 (透過光量の)測定装置
B1、B2 下側ブレイクバー
B3 上側ブレイクバー
BP ブレイク位置
LB レーザー光
LI 入射光
LT 透過光
P 被加工部
SL レーザー光源
ST ストリート
UP 単位パターン
WS サファイア基板
Claims (6)
- 基板上に複数のLED単位パターンを2次元的に繰り返し配置してなるLEDパターン付き基板を加工する方法であって、
前記LEDパターン付き基板に格子状に定められた分割予定線に沿ってレーザー光を照射することにより、前記LEDパターン付き基板に格子状に分割起点を形成する分割起点形成工程と、
前記LEDパターン付き基板を前記分割起点に沿ってブレイクすることにより個片化するブレイク工程と、
を備え、
前記分割起点形成工程においては、それぞれが円錐状、半楕円体状もしくはくさび形状あるいはこれらの複合した形状をなす多数の穴部を前記分割予定線上に離散的に形成することによって前記分割起点を形成する、
ことを特徴とするLEDパターン付き基板の加工方法。 - 請求項1に記載のLEDパターン付き基板の加工方法であって、
前記分割起点形成工程においては、前記レーザー光の個々の単パルスがそれぞれに一の前記穴部を形成する、
ことを特徴とするLEDパターン付き基板の加工方法。 - 請求項1または請求項2に記載のLEDパターン付き基板の加工方法であって、
前記分割起点形成工程においては、前記LEDパターン付き基板のLEDパターンが備わる側の主面に前記レーザー光を照射することによって前記主面に前記多数の穴部を形成する、
ことを特徴とするLEDパターン付き基板の加工方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のLEDパターン付き基板の加工方法であって、
前記分割起点形成工程においては、前記レーザー光のビーム径をDb、前記レーザー光の繰り返し周波数をR、前記レーザー光と前記LEDパターン付き基板との相対移動速度をVとするときに、
0.6μm≦Db≦9μm、
25mm/sec≦V≦500mm/sec、かつ
2≦V/R≦15
をみたす条件にて前記レーザー光を照射することによって、前記多数の穴部を形成する、
ことを特徴とするLEDパターン付き基板の加工方法。 - 請求項4に記載のLEDパターン付き基板の加工方法であって、
前記分割起点形成工程においては、前記LEDパターン付き基板の被照射面から内部への前記レーザー光の合焦位置のずらし量であるデフォーカス値を0μm以上30μm以下の範囲に設定し、前記レーザー光のパルスエネルギーを10μJ以上500μJ以下の範囲に設定する、
ことを特徴とするLEDパターン付き基板の加工方法。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のLEDパターン付き基板の加工方法であって、
前記分割起点形成工程に先立って前記LEDパターン付き基板のLEDパターンが備わる側の前記主面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記分割起点形成後に前記保護膜を除去する保護膜除去工程と、
をさらに備え、
前記分割起点形成工程においては、前記保護膜の上から前記レーザー光を照射することにより、前記分割起点を形成する、
ことを特徴とするLEDパターン付き基板の加工方法。
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