JP6938261B2 - ウェーハの加工方法及び切削装置 - Google Patents
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Description
本発明の切削装置は、表面にデバイスが形成され、かつ表面から裏面に至る円弧を外周縁に有したウェーハに切削加工を施す切削装置であって、表面に表面保護テープが貼着されたウェーハを、該表面保護テープを上面にして保持する保持テーブルと、切削ブレードで該ウェーハの外周縁を該表面保護テープとともに切削して所定の深さと所定の幅の段差部を形成する切削ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、回転された該切削ブレードの刃先の下端を該段差部の溝底と同一の高さに位置付けるとともに、該切削ブレードの刃先を該保持テーブルに保持されたウェーハの外周縁よりも外周側に位置付け、該保持テーブルを回転させつつ該切削ブレードを該切削ブレードの軸心と平行にウェーハの中心側へ移動させて、該切削ブレードをウェーハの外周縁と表面保護テープとに切り込ませて、該切削ユニットに該ウェーハの外周縁の表面側を除去させて該ウェーハの外周側から中心に向かって段階的に該段差部を形成させることを特徴とする。
本発明の実施形態1に係るウェーハの加工方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るウェーハの加工方法の加工対象のウェーハの斜視図である。図2は、図1に示されたウェーハの外周縁の断面図である。
本発明の実施形態2に係るウェーハの加工方法を図面に基づいて説明する。図10は、実施形態2に係るウェーハの加工方法を示すフローチャートである。図11は、図10に示されたウェーハの加工方法の表面保護テープ薄化ステップの概要を示す要部の断面図である。図10及び図11は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態3に係るウェーハの加工方法を図面に基づいて説明する。図12は、実施形態3に係るウェーハの加工方法を示すフローチャートである。図13は、図12に示されたウェーハの加工方法の切削ステップの概要を示す要部の断面図である。図12及び図13は、実施形態1及び実施形態2と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態1及び実施形態3の変形例1に係るウェーハの加工方法を図面に基づいて説明する。図14は、実施形態1及び実施形態3の変形例1に係るウェーハの加工方法を示すフローチャートである。図14は、実施形態1及び実施形態3と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態1から実施形態3の変形例2に係るウェーハの加工方法を説明する。実施形態1から実施形態3に係るウェーハの加工方法(以下、単に加工方法と記す)は、表面保護テープ薄化ステップST3,ST3−2と切削ステップST4,ST4−3とを互いに異なる切削ブレード21を用いて実施することが実施形態1から実施形態3と異なること以外、実施形態1から実施形態3の加工方法と同じである。
(付記1)
ウェーハに切削加工を施す切削装置であって、
表面に表面保護テープが貼着されたウェーハを、該表面保護テープを上面にして保持する保持テーブルと、
切削ブレードで該ウェーハの外周縁を該表面保護テープとともに切削して所定の深さと所定の幅の段差部を形成する切削ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、該切削ユニットに該ウェーハの外周側から中心に向かって段階的に該段差部を形成させることを特徴とする切削装置。
21 切削ブレード
200 ウェーハ
201 表面
204 裏面
205 外周縁
210 表面保護テープ
211 領域
300 段差部
301 溝底
302 所定の深さ
303 所定の幅
ST1 表面保護テープ貼着ステップ
ST2 保持ステップ
ST3 表面保護テープ薄化ステップ
ST4 切削ステップ
Claims (6)
- 表面にデバイスが形成され、かつ表面から裏面に至る円弧を外周縁に有したウェーハの加工方法であって、
ウェーハの表面に表面保護テープを貼着する表面保護テープ貼着ステップと、
該表面保護テープを上面にして、該表面保護テープが貼着されたウェーハの裏面側を保持テーブルで保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、切削ブレードでウェーハの外周縁を該表面保護テープとともに切削して所定の深さと所定の幅の段差部を形成する切削ステップと、を備え、
該切削ステップでは、回転された該切削ブレードの刃先の下端を該段差部の溝底と同一の高さに位置付けるとともに、該切削ブレードの刃先を該保持テーブルに保持されたウェーハの外周縁よりも外周側に位置付け、該保持テーブルを回転させつつ該切削ブレードを該切削ブレードの軸心と平行にウェーハの中心側へ移動させて、該切削ブレードをウェーハの外周縁と表面保護テープとに切り込ませて、該ウェーハの外周縁の表面側を除去して、該段差部はウェーハの外周側から中心に向かって段階的に形成される、ウェーハの加工方法。 - 該保持ステップを実施した後、該切削ステップを実施する前に、
該切削ステップで形成する該段差部に対応した領域において該切削ブレードで該表面保護テープのみを切削して薄化する表面保護テープ薄化ステップを更に備えた、請求項1に記載のウェーハの加工方法。 - 該切削ステップでは、該保持テーブルを回転させつつ該切削ブレードを所定の速度でウェーハの中心側へ移動させる、請求項1に記載のウェーハの加工方法。
- 該表面保護テープ薄化ステップでは、該保持テーブルを回転させつつ該切削ブレードを所定の速度で下降させる、請求項2に記載のウェーハの加工方法。
- 該切削ブレードの厚みの値は、該切削ステップで形成される該段差部の溝底の幅の値以上である、請求項1に記載のウェーハの加工方法。
- 表面にデバイスが形成され、かつ表面から裏面に至る円弧を外周縁に有したウェーハに切削加工を施す切削装置であって、
表面に表面保護テープが貼着されたウェーハを、該表面保護テープを上面にして保持する保持テーブルと、
切削ブレードで該ウェーハの外周縁を該表面保護テープとともに切削して所定の深さと所定の幅の段差部を形成する切削ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、回転された該切削ブレードの刃先の下端を該段差部の溝底と同一の高さに位置付けるとともに、該切削ブレードの刃先を該保持テーブルに保持されたウェーハの外周縁よりも外周側に位置付け、該保持テーブルを回転させつつ該切削ブレードを該切削ブレードの軸心と平行にウェーハの中心側へ移動させて、該切削ブレードをウェーハの外周縁と表面保護テープとに切り込ませて、該切削ユニットに該ウェーハの外周縁の表面側を除去させて該ウェーハの外周側から中心に向かって段階的に該段差部を形成させることを特徴とする切削装置。
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