JP6937845B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
<装置構成>
図1は、本発明に係る実施の形態1の半導体装置100の構成を示す平面図であり、半導体装置100を上方から見た上面図である。図2は、図1のA−A線での矢視断面図である。なお、以下においては、プリント基板1の電子部品2を搭載する面を上面、その反対側を下面とし、半導体装置100の上方とは電子部品2を搭載した上面側とする。
次に、製造工程における断面図を示す図6〜図10を用いて、電子部品2および熱拡散部3の実装工程を中心に半導体装置100の製造方法を説明する。
次に、図14〜図19を用いて、本実施の形態の作用および効果について説明する。図14は、半導体装置100を上方から見た平面図であり、熱の伝導経路を矢印で模式的に示している。図15は、図14におけるA−A線での矢視断面図であり、熱の伝導経路を矢印で模式的に示している。
<装置構成>
図20は、本発明に係る実施の形態2の半導体装置200の構成を示す平面図であり、半導体装置100を上方から見た上面図である。図21は、図20のB−B線での矢視断面図である。なお、以下においては、プリント基板1の電子部品2を搭載する面を上面、その反対側を下面とし、半導体装置200の上方とは電子部品2を搭載した上面側とする。
次に、図22および図23を用いて、凸部8の製造工程を中心に半導体装置200の製造方法を説明する。
次に、本実施の形態の作用および効果について説明する。本実施の形態は実施の形態1と同様の効果に加え、以下に説明する作用効果を奏する。
<装置構成>
図24は、本発明に係る実施の形態3の半導体装置300の構成を示す断面図である。なお、半導体装置300を上方から見た上面図は、図1に示した半導体装置100と同じであり、図24は、図1のA−A線での矢視断面図に相当する。
次に、製造工程における断面図を示す図25〜図27を用いて、電子部品2および熱拡散部3の実装工程を中心に半導体装置300の製造方法を説明する。
次に、本実施の形態の作用および効果について説明する。本実施の形態は実施の形態1と同様の効果に加え、以下に説明する作用効果を奏する。
<装置構成>
図28は、本発明に係る実施の形態4の半導体装置400の構成を示す平面図であり、半導体装置400を上方から見た上面図である。図29は、図28のD−D線での矢視断面図である。なお、以下においては、プリント基板1の電子部品2を搭載する面を上面、その反対側を下面とし、半導体装置400の上方とは電子部品2を搭載した上面側とする。
図30は、実施の形態4の変形例1の半導体装置401の構成を示す平面図であり、半導体装置401を上方から見た上面図である。図30に示されるように、半導体装置401においては、電子部品2の3本のリード端子21a、21bおよび21cのうち、中央のリード端子21bの長さが他のリード端子よりも短く、プリント基板1に接触しない構成となっている点において実施の形態4の半導体装置400と異なっている。
図31は、実施の形態4の変形例2の半導体装置402の構成を示す平面図であり、半導体装置402を上方から見た上面図である。図31に示されるように、半導体装置402においては、電子部品2の3本のリード端子21a、21bおよび21cのうち、中央のリード端子21bの長さが他のリード端子よりも長く、リード端子21bだけをプリント基板1の領域1Aに設けた電極19に平面実装される点において変形例1の半導体装置401と異なっている。
図32は、実施の形態4の変形例3の半導体装置403の構成を示す平面図であり、半導体装置403を上方から見た上面図である。図33は、図32のE−E線での矢視断面図である。図32および図33に示されるように、半導体装置403においては、放熱板24に設けられた円形の開口部OPを利用して、電子部品2を放熱板24を介してプリント基板1にねじ20により固定する構成となっている点において変形例1の半導体装置401と異なっている。この構成により電子部品2のプリント基板1への実装時の位置ずれを確実に防止できる。
<装置構成>
図34は、本発明に係る実施の形態5の半導体装置500の構成を示す断面図である。なお、半導体装置500を上方から見た上面図は、図20に示した半導体装置200と同様であり、図34は、図20のB−B線での矢視断面図に相当する。
次に、本実施の形態の作用および効果について説明する。本実施の形態は実施の形態1と同様の効果に加え、以下に説明する作用効果を奏する。
図35は、実施の形態5の変形例1の半導体装置501の構成を示す断面図である。図35に示されるように、半導体装置501においては、熱拡散板31の第1の部分31aの水平方向の長さが短くなっている点において実施の形態5の半導体装置500と異なっている。
図36は、実施の形態5の変形例2の半導体装置502の構成を示す断面図である。なお、半導体装置502を上方から見た上面図は、図20に示した半導体装置200と同様であり、図36は、図20のC−C線での矢視断面図に相当する。
図37は、実施の形態5の変形例3の半導体装置503の構成を示す断面図である。半導体装置503においては、熱拡散部3の熱拡散板31の電子部品2が搭載された側とは反対側の部分の厚みが他の部分よりも厚くなった段差部31dを有している。電子部品2の放熱板24は、その端面がこの段差部31dに係合する大きさを有しており、電子部品2の実装時の位置ずれを低減できる。なお、熱拡散板31の段差部31dの高さは、熱拡散板31上に電子部品2を搭載した場合に、放熱板24の上面までの高さと、段差部31dの上面までの高さとが、ほぼ等しくなる高さに設定される。
<装置構成>
図38は、本発明に係る実施の形態6の半導体装置600の構成を示す平面図であり、半導体装置600を上方から見た上面図である。図39は、図38のF−F線での矢視断面図である。なお、以下においては、プリント基板1の電子部品2を搭載する面を上面、その反対側を下面とし、半導体装置600の上方とは電子部品2を搭載した上面側とする。
次に、本実施の形態の作用および効果について説明する。本実施の形態は実施の形態1と同様の効果に加え、以下に説明する作用効果を奏する。
図40は、実施の形態6の変形例の半導体装置601の構成を示す平面図であり、半導体装置601を上方から見た上面図である。図41は、図40のG−G線での矢視断面図である。
<装置構成>
図42は、本発明に係る実施の形態7の半導体装置700の構成を示す断面図である。なお、半導体装置700を上方から見た上面図は、図1に示した半導体装置100と同じであり、図42はプリント基板1の一部の領域を拡大して示している。また、図43は、図42中の破線で囲まれた領域X、すなわち絶縁層11の1つの区画を拡大して示す断面図である。
<装置構成>
図44は、本発明に係る実施の形態8の半導体装置800の構成を示す平面図であり、プリント基板1の第1の領域の部分を示し、電子部品2、電極19およびリード端子21等は便宜的に破線で示し、熱拡散板31は省略している。また、図45は、図44のH−H線での矢視断面図であり、プリント基板1の一部の領域のみを示している。
<装置構成>
図46は、本発明に係る実施の形態9の半導体装置900の構成を示す平面図であり、半導体装置900を上方から見た上面図である。なお、以下においては、プリント基板1の電子部品2を搭載する面を上面、その反対側を下面とし、半導体装置900の上方とは電子部品2を搭載した上面側とする。
<装置構成>
図47は、本発明に係る実施の形態10の半導体装置1000の構成を示す平面図であり、半導体装置1000を上方から見た上面図である。なお、以下においては、プリント基板1の電子部品2を搭載する面を上面、その反対側を下面とし、半導体装置1000の上方とは電子部品2を搭載した上面側とする。
図48は、実施の形態10の変形例の半導体装置1001の構成を示す平面図であり、半導体装置1001を上方から見た上面図である。
<装置構成>
図49は、本発明に係る実施の形態11の半導体装置1100の構成を示す回路図であり、図50は、半導体装置1100の構成を示す平面図であり、半導体装置1100を上方から見た上面図である。以下においては、プリント基板1の電子部品を搭載する面を上面、その反対側を下面とし、半導体装置1100の上方とは電子部品を搭載した上面側とする。
図51は、実施の形態11の変形例の半導体装置1101の構成を示す回路図であり、電子部品2aおよび2cで構成されるハーフブリッジ回路に、電子部品2bおよび2dで構成されるハーフブリッジ回路が並列接続された構成を示しており、それぞれのハーフブリッジ回路の接続ノードNDが共通の出力ノードとなっている。なお、図51では2並列のハーフブリッジ回路を示しているが、これは一例であり、並列数は限定されない。
<装置構成>
図53は、本発明に係る実施の形態12の半導体装置1200の構成を示す断面図である。なお、以下においては、プリント基板1の電子部品2を搭載する面を上面、その反対側を下面とし、半導体装置1200の上方とは電子部品2を搭載した上面側とする。
図54は、実施の形態12の変形例1の半導体装置1201の構成を示す断面図である。図54に示されるように、半導体装置1201においては、図40および図41を用いて説明した実施の形態6の変形例1の半導体装置601において、熱拡散板31の第3の部分31hを取り除いた構成において、2つの第2の部分31g上を跨ぐように筐体51配置されている。
図55は、実施の形態12の変形例2の半導体装置1202の構成を示す断面図である。図55に示されるように、半導体装置1202においては、図34を用いて説明した実施の形態5の半導体装置500において、熱拡散板31の第2の部分31bの電子部品2とは反対側の面に、筐体51が密着するように配置されている点において、実施の形態5の半導体装置500とは異なっている。なお、筐体51は箱状の部材であり、図55にはその一部分である平板状の部分が例示されている。
図56は、実施の形態12の変形例3の半導体装置1203の構成を示す断面図である。図56に示されるように、半導体装置1203においては、図34を用いて説明した実施の形態5の半導体装置500において、熱拡散板31の第2の部分31bの電子部品2とは反対側の面に、放熱部材52および筐体51が、この順で積層されている点において、実施の形態5の半導体装置500とは異なっている。
図57は本発明に係る実施の形態13の半導体装置1300の構成を示す断面図である。図57に示されるように、半導体装置1300においては、電子部品2と熱拡散部3の少なくとも一部を覆うように設けられた熱拡散材料60を有している。なお、図57においては、図35を用いて説明した半導体装置501と同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
Claims (16)
- プリント基板と、
前記プリント基板の第1の主面上に第1の接合材を介して接合された熱拡散部と、
前記熱拡散部の上に第2の接合材を介して接合された放熱板を有する電子部品と、
前記プリント基板の第2の主面上に配置された放熱部と、を備え、
前記プリント基板は、
絶縁層と、
前記絶縁層の第1および第2の主面の上にそれぞれ配置された第1および第2の導体層と、
前記絶縁層上の前記第1の導体層から前記第2の導体層まで貫通する複数の放熱用ビアと、
前記複数の放熱用ビアの内壁を覆う導体膜と、を有し、
前記複数の放熱用ビアは、
前記プリント基板の前記第1の主面側からの平面視において前記熱拡散部と重なると共に、前記電子部品とも重なる位置に設けられ、
前記放熱部は、
前記プリント基板の前記第2の主面側からの平面視において、前記複数の放熱用ビアの少なくとも一部と重なるように配置され、
電気絶縁性および熱伝導性を有する放熱部材と、
熱伝導性を有する冷却体と、を含み、
前記放熱部材および前記冷却体は、前記プリント基板の前記第2の導体層上に積層され、
前記熱拡散部は、平面視での大きさが前記電子部品よりも大きく、
前記電子部品は、
前記熱拡散部の一端に片寄って配置され、前記熱拡散部の前記一端側以外の方向に前記電子部品で発生した熱が放射状に拡散する、半導体装置。 - 前記プリント基板は、
前記第1の導体層上に設けられ、少なくとも前記複数の放熱用ビアを囲む凸部をさらに有し、
前記熱拡散部は、前記凸部が設けられた前記複数の放熱用ビア上に配置される、請求項1に記載の半導体装置。 - 少なくとも一部の前記複数の放熱用ビアの内部には、その容積の1/3以上の体積分の前記第1の接合材が充填されている、請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2の接合材の融点は、前記第1の接合材の融点より高い、請求項1記載の半導体装置。
- 前記電子部品は、
表面実装タイプの電子部品を含み、リード端子の少なくとも1つが、前記第1の導体層と同一の層として前記プリント基板の前記第1の主面上に設けられた電極に接合される、請求項1記載の半導体装置。 - 前記電子部品は、
スルーホール実装タイプの電子部品を含み、リード端子の少なくとも1つが、前記プリント基板の前記第1の主面から前記第2の主面を貫通する端子孔内に挿入されて接合される、請求項1記載の半導体装置。 - 前記熱拡散部は、熱拡散板を有し、
前記熱拡散板は、
第1の部分および第2の部分を含み、
前記第1の部分は、
前記プリント基板の前記第1の主面に沿って設けられ、前記第1の主面に前記第1の接合材を介して接合され、
前記第2の部分は、
前記第1の部分と一体で設けられ、前記第1の部分の少なくとも1つの端縁部から前記プリント基板とは反対側に延在する、請求項1記載の半導体装置。 - 前記熱拡散部は、熱拡散板を有し、
前記熱拡散板は、
その一部が他の部分よりも厚くなった段差部を有し、
前記電子部品は、その1つの端面が前記段差部に係合する、請求項1記載の半導体装置。 - 前記熱拡散部は、熱拡散板を有し、
前記熱拡散板は、
第1の部分、第2の部分および第3の部分を含み、
前記第1の部分は、
前記プリント基板の前記第1の主面に沿って設けられ、前記第1の主面に前記第1の接合材を介して接合、
前記第2の部分は、
前記第1の部分と一体で設けられ、前記第1の部分の対向する2つの端縁部からそれぞれ前記プリント基板とは反対側に延在し、
前記第3の部分は、
それぞれの前記第2の部分の上部から、それぞれ前記電子部品の側に向けて前記第1の主面に沿う方向に延在し、前記電子部品の上方の少なくとも一部を覆う、請求項1記載の半導体装置。 - 前記プリント基板の前記絶縁層は、
フィラーと樹脂とを含む、請求項1記載の半導体装置。 - 前記プリント基板の前記第1の導体層は、
前記プリント基板の前記第1の主面側からの平面視において、互いに隣り合う放熱用ビア間に渡るように設けられた溝を有する、請求項1記載の半導体装置。 - 前記熱拡散部は、複数の熱拡散板を有し、
前記電子部品は、複数の熱拡散板間上に渡るように配設される、請求項1記載の半導体装置。 - 前記電子部品とは別の複数の他の電子部品を備え、
前記電子部品および複数の他の電子部品は、
前記プリント基板の前記第1の主面側からの平面視において、互いに間隔をあけて前記熱拡散部上に配置される、請求項1記載の半導体装置。 - 前記熱拡散板の前記第3の部分の上部に接するように設けられ、前記半導体装置全体を保護する熱伝導性を有する筐体をさらに備える、請求項9記載の半導体装置。
- 前記熱拡散板の前記第2の部分の、前記電子部品とは反対側の面に接するように設けられた、熱伝導性を有する筐体をさらに備える、請求項7記載の半導体装置。
- 前記電子部品は、
電力変換用のパワー半導体素子を含む、請求項1記載の半導体装置。
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