JP6933054B2 - 振動デバイス - Google Patents
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Description
Claims (5)
- 第一主面を有する振動板と、
前記第一主面に接合された圧電素子と、
前記第一主面に接合され、かつ、前記圧電素子と電気的に接続された配線基板と、を備え、
前記圧電素子は、
圧電材料からなり、互いに対向している第二主面及び第三主面と、前記第二主面及び前記第三主面に隣り合う側面と、を有する圧電素体と、
前記圧電素体内に配置され、前記第二主面及び前記第三主面の対向方向において互いに対向する複数の内部電極と、
前記第二主面上に配置され、対応する内部電極と電気的に接続された複数の外部電極と、を有すると共に、第三主面及び前記側面で前記第一主面に接合されており、
前記配線基板は、
樹脂膜と、
前記樹脂膜上に延在して配置された複数の導体と、
前記複数の導体を覆うように前記複数の導体上に配置された被覆膜と、を有しており、
前記複数の導体の延在方向の一端部は、前記被覆膜から露出しており、対応する前記外部電極と電気的に接続されており、
前記配線基板は、前記被覆膜が前記第一主面と対向するように配置されており、
前記被覆膜は、前記第一主面に接合され、前記一端部は、対応する前記外部電極上に配置されている、振動デバイス。 - 前記被覆膜は、前記対向方向から見て前記圧電素子と重なる重複領域を有している、請求項1に記載の振動デバイス。
- 前記重複領域は、前記対向方向において前記圧電素子から離間している、請求項2に記載の振動デバイス。
- 前記重複領域は、前記対向方向から見て前記内部電極から離間している、請求項2又は3に記載の振動デバイス。
- 前記圧電素子は第一接合部材によって前記第一主面に接合されていると共に、前記被覆膜は第二接合部材によって前記第一主面に接合されており、
前記第一接合部材及び前記第二接合部材は、互いに離間している、請求項1〜4のいずれか一項に記載の振動デバイス。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017161354A JP6933054B2 (ja) | 2017-02-13 | 2017-08-24 | 振動デバイス |
CN201810145023.XA CN108428784B (zh) | 2017-02-13 | 2018-02-12 | 振动器件 |
CN202210498811.3A CN114864804A (zh) | 2017-02-13 | 2018-02-12 | 振动器件 |
US15/894,315 US10825980B2 (en) | 2017-02-13 | 2018-02-12 | Vibrating device |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017024314A JP6825404B2 (ja) | 2017-02-13 | 2017-02-13 | 振動デバイス |
JP2017046267 | 2017-03-10 | ||
JP2017046267 | 2017-03-10 | ||
JP2017161352A JP7006017B2 (ja) | 2017-03-10 | 2017-08-24 | 振動デバイス |
JP2017161354A JP6933054B2 (ja) | 2017-02-13 | 2017-08-24 | 振動デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018152541A JP2018152541A (ja) | 2018-09-27 |
JP6933054B2 true JP6933054B2 (ja) | 2021-09-08 |
Family
ID=63105461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017161354A Active JP6933054B2 (ja) | 2017-02-13 | 2017-08-24 | 振動デバイス |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10825980B2 (ja) |
JP (1) | JP6933054B2 (ja) |
CN (2) | CN114864804A (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USD857020S1 (en) * | 2016-05-25 | 2019-08-20 | Tdk Corporation | Piezoelectric element |
JP1565481S (ja) * | 2016-05-25 | 2016-12-19 | ||
US10897005B2 (en) * | 2017-02-09 | 2021-01-19 | Tdk Corporation | Vibrating device |
JP6933054B2 (ja) * | 2017-02-13 | 2021-09-08 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
JP6825404B2 (ja) * | 2017-02-13 | 2021-02-03 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
JP7010247B2 (ja) * | 2019-01-25 | 2022-01-26 | Tdk株式会社 | 圧電素子 |
CN112780532A (zh) * | 2019-11-04 | 2021-05-11 | 科际精密股份有限公司 | 致动装置 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5725798A (en) * | 1980-07-24 | 1982-02-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Piezoelectric sound generator and receiver |
US4725994A (en) * | 1984-06-14 | 1988-02-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic transducer with a multiple-folded piezoelectric polymer film |
JP2761970B2 (ja) | 1990-07-09 | 1998-06-04 | 住友特殊金属株式会社 | 透明スピーカー |
JPH10315485A (ja) | 1997-05-22 | 1998-12-02 | Fuji Electric Co Ltd | 圧電素子の接着方法 |
JP4069771B2 (ja) * | 2003-03-17 | 2008-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置、電子機器および半導体装置の製造方法 |
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JP4687083B2 (ja) | 2004-11-30 | 2011-05-25 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置 |
JP5068063B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2012-11-07 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法 |
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JP2012179810A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
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US9929335B2 (en) * | 2013-01-31 | 2018-03-27 | Teijin Limited | Piezoelectric vibrator |
JP6193783B2 (ja) * | 2014-02-26 | 2017-09-06 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータおよびこれを備えた圧電振動装置、携帯端末、音響発生器、電子機器 |
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KR20160026499A (ko) * | 2014-09-01 | 2016-03-09 | 삼성전기주식회사 | 압전 소자 및 이를 포함하는 압전 진동 모듈 |
JP6707819B2 (ja) * | 2014-11-04 | 2020-06-10 | 株式会社リコー | 配線部材の保持構造、液体吐出ヘッド及び液体を吐出する装置 |
US9498950B2 (en) * | 2014-11-04 | 2016-11-22 | Ricoh Company, Ltd. | Retaining structure of wiring member, liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
JP6933054B2 (ja) * | 2017-02-13 | 2021-09-08 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
JP2019031091A (ja) * | 2018-09-28 | 2019-02-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム |
-
2017
- 2017-08-24 JP JP2017161354A patent/JP6933054B2/ja active Active
-
2018
- 2018-02-12 US US15/894,315 patent/US10825980B2/en active Active
- 2018-02-12 CN CN202210498811.3A patent/CN114864804A/zh active Pending
- 2018-02-12 CN CN201810145023.XA patent/CN108428784B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180233653A1 (en) | 2018-08-16 |
CN114864804A (zh) | 2022-08-05 |
US10825980B2 (en) | 2020-11-03 |
CN108428784B (zh) | 2022-08-26 |
JP2018152541A (ja) | 2018-09-27 |
CN108428784A (zh) | 2018-08-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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