JP7006017B2 - 振動デバイス - Google Patents
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Claims (5)
- 圧電素子と、
前記圧電素子と電気的に接続されている配線基板と、
前記圧電素子と前記配線基板とが接着されている振動板と、を備え、
前記圧電素子は、
圧電材料からなり、互いに対向している第一主面及び第二主面と、前記第一主面と前記第二主面とに隣り合う側面と、を有している圧電素体と、
前記圧電素体内に配置されており、前記第一主面と前記第二主面とが対向している方向で互いに対向している複数の内部電極と、
前記第一主面上に配置されており、対応する内部電極と電気的に接続されている複数の外部電極と、を有すると共に、前記第二主面及び前記側面で前記振動板と接着されており、
前記配線基板は、
互いに対向している第三主面と第四主面とを有している樹脂膜と、
前記第三主面上に配置されており、対応する前記外部電極と電気的に接続されている複数の導体と、を有すると共に、前記第四主面で前記振動板と接着されており、
前記第四主面と前記振動板との第一間隔は、前記第二主面と前記振動板との第二間隔よりも大きく、
互いに対応する前記外部電極と前記導体とは、導電性樹脂により接続されており、
各前記導体は、前記第三主面と接している第五主面と、前記第五主面と対向していると共に前記導電性樹脂が接している第六主面と、を有し、
前記第六主面の前記振動板からの高さ位置と、前記外部電極の前記振動板からの高さ位置とが異なっている、振動デバイス。 - 前記第六主面の前記振動板からの高さ位置は、前記外部電極の前記振動板からの高さ位置よりも低く、
前記樹脂膜は、前記圧電素体の前記側面と対向している第一端面を更に有し、
各前記導体は、前記圧電素体の前記側面と対向している第二端面を有しており、
前記第一端面及び前記第二端面の全体が、前記振動板と接着されている、請求項1に記載の振動デバイス。 - 圧電素子と、
前記圧電素子と電気的に接続されている配線基板と、
前記圧電素子と前記配線基板とが接着されている振動板と、を備え、
前記圧電素子は、
圧電材料からなり、互いに対向している第一主面及び第二主面と、前記第一主面と前記第二主面とに隣り合う側面と、を有している圧電素体と、
前記圧電素体内に配置されており、前記第一主面と前記第二主面とが対向している方向で互いに対向している複数の内部電極と、
前記第一主面上に配置されており、対応する内部電極と電気的に接続されている複数の外部電極と、を有すると共に、前記第二主面及び前記側面で前記振動板と接着されており、
前記配線基板は、
互いに対向している第三主面と第四主面とを有している樹脂膜と、
前記第三主面上に配置されており、対応する前記外部電極と電気的に接続されている複数の導体と、を有すると共に、前記第四主面で前記振動板と接着されており、
前記第四主面と前記振動板との第一間隔は、前記第二主面と前記振動板との第二間隔よりも大きく、
前記第二主面及び前記側面は、第一接着部材によって前記振動板と接着されており、
前記第四主面は、第二接着部材によって前記振動板と接着されている、振動デバイス。 - 前記圧電素体の前記第二主面には、前記内部電極と電気的に接続されている導体が配置されていない、請求項1~3のいずれか一項に記載の振動デバイス。
- 前記側面には、前記複数の内部電極が露出していない、請求項1~4のいずれか一項に記載の振動デバイス。
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