JP6920939B2 - インプリント装置、および物品製造方法 - Google Patents

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JP7325232B2 (ja) * 2019-06-07 2023-08-14 キヤノン株式会社 膜形成装置および物品製造方法

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JPWO2008129962A1 (ja) * 2007-04-19 2010-07-22 コニカミノルタホールディングス株式会社 成形装置及びその制御方法
JP2010214874A (ja) * 2009-03-18 2010-09-30 Toray Eng Co Ltd パターン形成装置及び方法
JP5632633B2 (ja) * 2010-03-26 2014-11-26 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP5190497B2 (ja) * 2010-09-13 2013-04-24 株式会社東芝 インプリント装置及び方法
JP5615772B2 (ja) * 2011-07-12 2014-10-29 株式会社日立産機システム パターン転写装置およびパターン転写方法
JP6019953B2 (ja) * 2012-09-04 2016-11-02 大日本印刷株式会社 凸状構造体の製造方法及び製造システム

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