JP7305430B2 - 情報処理装置、プログラム、リソグラフィ装置、リソグラフィシステム、および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施例における物品の製造方法について説明する。図9は、本実施例における物品の製造方法を説明するための図である。インプリント装置を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
本実施例における物品の製造方法は、例えば、デバイス(半導体素子、磁気記憶媒体、液晶表示素子など)などの物品を製造するのに好適である。かかる製造方法は、露光装置EXPを用いて、感光剤が塗布された基板を露光する(パターンを基板に形成する)工程と、露光された基板を現像する(基板を処理する)工程を含む。また、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性および生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (23)
- 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置によって形成されたパターンを検査する検査条件を取得する情報処理装置であって、
第2パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第3情報をモデルに入力することにより、前記モデルから出力された、前記第2パターンを検査する際に適用される第2検査条件を取得する取得手段を有し、
前記モデルは、第1パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第1情報および前記第1パターンを検査する際に適用された第1検査条件を表す第2情報を含む学習データを用いた機械学習により取得され、
前記第1情報および前記第3情報には、前記原版又は前記基板を変形させる変形手段を制御するための指令値に関する情報、前記基板を保持する基板保持部に備えられた複数の吸着部における吸着力の分布に関する情報、前記原版および前記基板の少なくとも一方に形成されたアライメントマークを計測して得られるアライメント計測値およびアライメント画像の少なくとも一方に関する情報、前記インプリント材を供給する量および前記インプリント材を供給する位置を定めるドロップレシピの情報、前記インプリント材と前記原版のパターンとが接触するときに前記原版に作用する押圧力の情報、前記原版の凹部と前記原版を保持する型保持部との間の空間の圧力の情報、前記原版のパターンと接触した前記インプリント材が撮像された画像の情報、ならびに前記インプリント材と前記原版のパターンとを分離するために要する離型力の情報のうち少なくとも1つが含まれることを特徴とする情報処理装置。 - 基板上に形成されたパターンを検査する検査装置に前記第2検査条件を出力する出力手段を有することを特徴とする、請求項1に記載の情報処理装置。
- 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置によって形成されたパターンを検査する検査条件を取得する情報処理装置であって、
第2パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第3情報をモデルに入力することにより、前記モデルから出力された、前記第2パターンについての第2検査結果を取得する取得手段と、
前記取得手段で取得した前記第2検査結果から前記第2パターンを検査する際に適用される第2検査条件を決定する決定手段と、を有し、
前記モデルは、第1パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第1情報および前記第1パターンについての第1検査結果に関連する第4情報を学習データとした機械学習により取得され、
前記第1情報および前記第3情報には、前記原版又は前記基板を変形させる変形手段を制御するための指令値に関する情報、前記基板を保持する基板保持部に備えられた複数の吸着部における吸着力の分布に関する情報、前記原版および前記基板の少なくとも一方に形成されたアライメントマークを計測して得られるアライメント計測値およびアライメント画像の少なくとも一方に関する情報、前記インプリント材を供給する量および前記インプリント材を供給する位置を定めるドロップレシピの情報、前記インプリント材と前記原版のパターンとが接触するときに前記原版に作用する押圧力の情報、前記原版の凹部と前記原版を保持する型保持部との間の空間の圧力の情報、前記原版のパターンと接触した前記インプリント材が撮像された画像の情報、ならびに前記インプリント材と前記原版のパターンとを分離するために要する離型力の情報のうち少なくとも1つが含まれることを特徴とする情報処理装置。 - 基板上に形成されたパターンを検査する検査装置に前記第2検査結果および前記第2検査条件のうち少なくとも一方を出力する出力手段を有することを特徴とする、請求項3に記載の情報処理装置。
- 前記取得手段で取得した前記第2検査結果から前記基板毎に統計値を算出する算出手段と、
前記算出手段で算出した前記統計値に基づいて前記第2検査条件を採用するか否かの判定を行う判定手段と、
を有することを特徴とする、請求項3または請求項4に記載の情報処理装置。 - 基板上に形成されたパターンを検査する検査装置に前記統計値を出力する出力手段を有することを特徴とする、請求項5に記載の情報処理装置。
- 前記押圧力の情報には、前記原版の複数の位置において作用する押圧力の分布の情報を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記離型力の情報には、前記原版の複数の位置において作用する離型力の分布の情報を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記第1パターンは前記基板としての第1基板の第1ショット領域に形成されたパターンであり、
前記基板としての第2基板の第2ショット領域に前記第2パターンを形成するときに取得された前記第3情報から前記第2パターンを検査する際に適用する前記第2検査条件を取得する、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の情報処理装置。 - 前記第1パターンは前記基板としての第1基板の第1ショット領域に形成されたパターンであり、
前記基板としての第2基板上の第2ショット領域に前記第2パターンを形成するときに取得された前記第3情報から前記第2ショット領域とは異なる第3ショット領域に形成される第3パターンを検査する際に適用する第3検査条件をさらに取得する、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の情報処理装置。 - 前記第3ショット領域は、前記第2ショット領域と同一の基板上にあることを特徴とする請求項10に記載の情報処理装置。
- 前記第3ショット領域は、前記第2ショット領域とは異なる基板上にあることを特徴とする請求項10に記載の情報処理装置。
- 前記第3ショット領域の基板上における位置は、前記第2ショット領域の基板上における位置と同一であることを特徴とする請求項12に記載の情報処理装置。
- 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置によって形成されたパターンを検査する検査条件を取得するためのモデルを取得する情報処理装置であって、
第1パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第1情報および前記第1パターンを検査する際に適用された第1検査条件を表す第2情報を学習データとした機械学習により、第2パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第3情報が入力されることにより前記第2パターンを検査する際に適用される第2検査条件を出力するモデルを取得する取得手段を有し、
前記第1情報および前記第3情報には、前記原版又は前記基板を変形させる変形手段を制御するための指令値に関する情報、前記基板を保持する基板保持部に備えられた複数の吸着部における吸着力の分布に関する情報、前記原版および前記基板の少なくとも一方に形成されたアライメントマークを計測して得られるアライメント計測値およびアライメント画像の少なくとも一方に関する情報、前記インプリント材を供給する量および前記インプリント材を供給する位置を定めるドロップレシピの情報、前記インプリント材と前記原版のパターンとが接触するときに前記原版に作用する押圧力の情報、前記原版の凹部と前記原版を保持する型保持部との間の空間の圧力の情報、前記原版のパターンと接触した前記インプリント材が撮像された画像の情報、ならびに前記インプリント材と前記原版のパターンとを分離するために要する離型力の情報のうち少なくとも1つが含まれることを特徴とする情報処理装置。 - 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置によって形成されたパターンを検査して取得される検査結果を取得するためのモデルを取得する情報処理装置であって、
第1パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第1情報および前記第1パターンについての第1検査結果に関連する第4情報を学習データとした機械学習により、第2パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第3情報が入力されることにより前記第2パターンについての第2検査結果を出力するモデルを取得する取得手段を有し、
前記第1情報および前記第3情報には、前記原版又は前記基板を変形させる変形手段を制御するための指令値に関する情報、前記基板を保持する基板保持部に備えられた複数の吸着部における吸着力の分布に関する情報、前記原版および前記基板の少なくとも一方に形成されたアライメントマークを計測して得られるアライメント計測値およびアライメント画像の少なくとも一方に関する情報、前記インプリント材を供給する量および前記インプリント材を供給する位置を定めるドロップレシピの情報、前記インプリント材と前記原版のパターンとが接触するときに前記原版に作用する押圧力の情報、前記原版の凹部と前記原版を保持する型保持部との間の空間の圧力の情報、前記原版のパターンと接触した前記インプリント材が撮像された画像の情報、ならびに前記インプリント材と前記原版のパターンとを分離するために要する離型力の情報のうち少なくとも1つが含まれることを特徴とする情報処理装置。 - 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置によって形成されたパターンを検査する検査条件をコンピュータに取得させるプログラムであって、
第2パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第3情報をモデルに入力することにより、前記モデルから出力された、前記第2パターンを検査する際に適用される第2検査条件を取得する取得工程を有する取得方法をコンピュータに実行させ、
前記モデルは、第1パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第1情報および前記第1パターンを検査する際に適用された第1検査条件を表す第2情報を含む学習データを用いた機械学習により取得され、
前記第1情報および前記第3情報には、前記原版又は前記基板を変形させる変形手段を制御するための指令値に関する情報、前記基板を保持する基板保持部に備えられた複数の吸着部における吸着力の分布に関する情報、前記原版および前記基板の少なくとも一方に形成されたアライメントマークを計測して得られるアライメント計測値およびアライメント画像の少なくとも一方に関する情報、前記インプリント材を供給する量および前記インプリント材を供給する位置を定めるドロップレシピの情報、前記インプリント材と前記原版のパターンとが接触するときに前記原版に作用する押圧力の情報、前記原版の凹部と前記原版を保持する型保持部との間の空間の圧力の情報、前記原版のパターンと接触した前記インプリント材が撮像された画像の情報、ならびに前記インプリント材と前記原版のパターンとを分離するために要する離型力の情報のうち少なくとも1つが含まれることを特徴とするプログラム。 - 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置によって形成されたパターンを検査する検査条件をコンピュータに取得させるプログラムであって、
第2パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第3情報をモデルに入力することにより、前記モデルから出力された、前記第2パターンについての第2検査結果を取得する取得工程と、
前記取得工程で取得した前記第2検査結果から前記第2パターンを検査する際に適用される第2検査条件を決定する決定工程と、を有する取得方法をコンピュータに実行させ、
前記モデルは、第1パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第1情報および前記第1パターンについての第1検査結果に関連する第4情報を学習データとした機械学習により取得され、
前記第1情報および前記第3情報には、前記原版又は前記基板を変形させる変形手段を制御するための指令値に関する情報、前記基板を保持する基板保持部に備えられた複数の吸着部における吸着力の分布に関する情報、前記原版および前記基板の少なくとも一方に形成されたアライメントマークを計測して得られるアライメント計測値およびアライメント画像の少なくとも一方に関する情報、前記インプリント材を供給する量および前記インプリント材を供給する位置を定めるドロップレシピの情報、前記インプリント材と前記原版のパターンとが接触するときに前記原版に作用する押圧力の情報、前記原版の凹部と前記原版を保持する型保持部との間の空間の圧力の情報、前記原版のパターンと接触した前記インプリント材が撮像された画像の情報、ならびに前記インプリント材と前記原版のパターンとを分離するために要する離型力の情報のうち少なくとも1つが含まれることを特徴とするプログラム。 - 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置によって形成されたパターンを検査する検査条件を取得するためのモデルをコンピュータに取得させるプログラムであって、
第1パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第1情報および前記第1パターンを検査する際に適用された第1検査条件を表す第2情報を学習データとした機械学習により、第2パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第3情報が入力されることにより前記第2パターンを検査する際に適用される第2検査条件を出力するモデルを取得する取得工程を有する取得方法をコンピュータに実行させ、
前記第1情報および前記第3情報には、前記原版又は前記基板を変形させる変形手段を制御するための指令値に関する情報、前記基板を保持する基板保持部に備えられた複数の吸着部における吸着力の分布に関する情報、前記原版および前記基板の少なくとも一方に形成されたアライメントマークを計測して得られるアライメント計測値およびアライメント画像の少なくとも一方に関する情報、前記インプリント材を供給する量および前記インプリント材を供給する位置を定めるドロップレシピの情報、前記インプリント材と前記原版のパターンとが接触するときに前記原版に作用する押圧力の情報、前記原版の凹部と前記原版を保持する型保持部との間の空間の圧力の情報、前記原版のパターンと接触した前記インプリント材が撮像された画像の情報、ならびに前記インプリント材と前記原版のパターンとを分離するために要する離型力の情報のうち少なくとも1つが含まれることを特徴とするプログラム。 - 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置によって形成されたパターンを検査して取得される検査結果を取得するためのモデルをコンピュータに取得させるプログラムであって、
第1パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第1情報および前記第1パターンについての第1検査結果に関連する第4情報を学習データとした機械学習により、第2パターンを形成するときに取得された前記インプリント装置の状態を表す第3情報が入力されることにより前記第2パターンについての第2検査結果を出力するモデルを取得する取得工程を有する取得方法をコンピュータに実行させ、
前記第1情報および前記第3情報には、前記原版又は前記基板を変形させる変形手段を制御するための指令値に関する情報、前記基板を保持する基板保持部に備えられた複数の吸着部における吸着力の分布に関する情報、前記原版および前記基板の少なくとも一方に形成されたアライメントマークを計測して得られるアライメント計測値およびアライメント画像の少なくとも一方に関する情報、前記インプリント材を供給する量および前記インプリント材を供給する位置を定めるドロップレシピの情報、前記インプリント材と前記原版のパターンとが接触するときに前記原版に作用する押圧力の情報、前記原版の凹部と前記原版を保持する型保持部との間の空間の圧力の情報、前記原版のパターンと接触した前記インプリント材が撮像された画像の情報、ならびに前記インプリント材と前記原版のパターンとを分離するために要する離型力の情報のうち少なくとも1つが含まれることを特徴とするプログラム。 - 原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置であるリソグラフィ装置であって、請求項1乃至14のいずれか1項に記載の情報処理装置を有し、
前記基板上にパターンを形成して、前記第2検査条件を取得することを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項20に記載のリソグラフィ装置を用いて、パターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、を有し、
前記処理された基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。 - 請求項1乃至15のいずれか1項に記載の情報処理装置と、
原版のパターン部と基板上のインプリント材とを接触させてパターンを形成するインプリント装置であるリソグラフィ装置と、を有し
前記リソグラフィ装置において前記基板にパターンを形成して、前記情報処理装置において前記取得手段により前記パターンを検査する際に適用する検査条件を取得することを特徴とするリソグラフィシステム。 - 請求項22に記載のリソグラフィシステムを用いて、パターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、を有し、
前記処理された基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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