JP6919137B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- シリコン基板の表面にシリコン酸化膜を形成する工程と、該シリコン酸化膜上に複数の回路素子を形成する工程と、該複数の回路素子を搭載したシリコン基板を切断し、回路素子を備えた個々の半導体装置に個片化する工程と、を含む半導体装置の製造方法において、
前記シリコン酸化膜を形成する工程は、シリコン基板表面に常圧CVD法により引張応力のシリコン酸化膜を堆積させ、加熱処理を行い、前記引張応力のシリコン酸化膜を圧縮応力のシリコン酸化膜とする第1工程と、該圧縮応力となったシリコン酸化膜上に常圧CVD法により引張応力のシリコン酸化膜を堆積させ、該引張応力のシリコン酸化膜を加熱し、圧縮応力のシリコン酸化膜とする第2工程とからなり、前記圧縮応力のシリコン酸化膜を形成する前記第2工程を複数回繰り返し行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2工程により圧縮応力の前記シリコン酸化膜を形成した後あるいは前に、前記シリコン基板の裏面に圧縮応力の膜を形成する工程を含み、
該圧縮応力の膜を裏面に形成した前記シリコン基板表面の前記シリコン酸化膜上に前記複数の回路素子を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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