JP6907026B2 - 透明電極付き圧電フィルムおよび圧力センサ - Google Patents
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Description
本発明は透明電極付き圧電フィルムおよび圧力センサに関する。
一般に、タッチパネルでは、タッチパネルの表面にタッチする指あるいはペンの表面上の２次元位置を検出する。（以後、「指あるいはペン」を単に「指」といい、指あるいはペンのタッチパネルの表面上の２次元位置を「指のXY座標」という。）この場合、指のタッチする圧力は検出できない。（以後、指のタッチする圧力の大きさを、Z軸方向にとるものと考えて、「指のZ座標」という。）即ち、指のタッチする圧力（指のZ座標）の大小にかかわらず、検出されるのは、指のタッチ位置のXY座標のみである。
しかし、タッチパネルで使用されるアプリケーションによっては、指のタッチする圧力（指のZ座標）の識別も必要な場合がある。通常の静電容量式タッチパネルでは、指が触れることにより、触れた位置が選択されると同時に、触れた位置にある命令が実行される。静電容量式タッチパネルの感度が非常に高い場合は、指が静電容量式タッチパネルに近づいただけで（指が触れなくても）、指に最も近い位置が選択されると同時に、その位置にある命令が実行される。しかし、例えば、工作機械の操作パネル等で、誤った命令の実行が許されない場合は、選択と実行が分離されていることが望ましい。即ち、指が触れることにより（あるいは指が近づくことにより）命令が選択されるが、それだけでは命令は実行されず、次に指で圧力を加えることにより、初めて命令が実行されることが、誤動作を防止するため望ましい。
このような指のタッチする圧力（指のZ座標）も検出できるタッチパネルが、例えば、特許文献１（特開２０１０−２６９３８）に記載されている。特許文献１のタッチパネルでは、ポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の両面に、透明電極が積層された積層体が用いられる。ポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の厚さは２０μm〜３００μmである。
特許文献１のポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層は、キャスティング法あるいは押し出し法で製造すると記載されているため、自立したフィルム（他のフィルムに積層されていないフィルム）と考えられる。特許文献１に、ポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層のヘイズ値（曇り値）は５％〜７％、全光線透過率は９５％と記載されている。
しかし、特許文献１の実施例のヘイズ値、全光線透過率は、透明電極が積層される前の、ポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層単独の値である。ポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の両面に透明電極が積層された積層体では、全光線透過率が低下すると考えられるが、その測定値は記載されていない。
本願発明者の実験によると、タッチパネルの背面にあるディスプレイの画像の視認性は、少なくともヘイズ値と全光線透過率の影響を受ける。特許文献１のポリフッ化ビニリデン−四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の両面に透明電極が積層された積層体では、ヘイズ値と全光線透過率のいずれか、あるいは両者により、タッチパネルの背面にあるディスプレイの画像の視認性が低下するおそれがある。
本願発明者の実験によると、タッチパネルの背面にあるディスプレイの画像の視認性の低下に対しては、全光線透過率よりもヘイズ値の方が影響が大きい。そこで、本発明の目的は、ヘイズ値が小さく、更に、全光線透過率が高い透明電極付き圧電フィルムを実現することである。
（１）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、圧電性を有するコーティング層の、第１の基材フィルムと反対側の表面に備えられた、少なくとも１層の第１の透明電極を備える。
（２）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に少なくとも１層の第２の透明電極を備える。
（３）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備える。
（４）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の透明電極と第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（５）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層と第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（６）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の厚みが０．５〜１０μｍ、光学調整層の厚みが８０〜１６０ｎｍ、第１の透明電極の厚みが２０ｎｍ以上である。
（７）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の屈折率が１．４０〜１．５０、光学調整層の屈折率が１．５０〜１．７０、第１の透明電極の屈折率が１．９０〜２．１０である。
（８）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（９）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムまたは第２の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層のアンチブロッキング層を備える。
（１０）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層の第１の透明電極を備える。
（１１）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の、第１の基材フィルムと反対側の表面に、少なくとも１層の第２の透明電極を備える。
（１２）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の、第１の基材フィルムと反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備える。
（１３）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の透明電極と第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１４）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１５）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１６）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の基材フィルムの、第２の透明電極と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層を備える。
（１７）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層がフッ素樹脂を含む。
（１８）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンの重合体、または、（フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン）のうちの２種以上の共重合体である。
（１９）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体であって、共重合体に含まれるフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（５０〜８５）：（５０〜１５）の範囲である。
（２０）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体であって、共重合体に含まれるフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（６３〜６５）：（２７〜２９）：（１０〜６）の範囲である。
（２１）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層が、フッ素樹脂の溶液を第１の基材フィルムに塗布および乾燥して得られるコーティング層である。
（２２）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層の厚さが０．５μm〜２０μmである。
（２３）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、パターンニングされている。
（２４）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、インジウムを含む。
（２５）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、インジウムスズ酸化物（Indium Tin Oxide : ITO）を含む。
（２６）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者の厚さが、１５nm〜５０nmである。
（２７）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、結晶質である。
（２８）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、基材フィルムの材料が、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンの少なくとも１種から選択される。
（２９）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、ヘイズ値が５％以下である。
（３０）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、全光線透過率が８２％以上である。
（３１）本発明の圧力センサは、上記の透明電極付き圧電フィルムを備える。
（２）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に少なくとも１層の第２の透明電極を備える。
（３）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備える。
（４）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の透明電極と第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（５）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層と第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（６）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の厚みが０．５〜１０μｍ、光学調整層の厚みが８０〜１６０ｎｍ、第１の透明電極の厚みが２０ｎｍ以上である。
（７）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の屈折率が１．４０〜１．５０、光学調整層の屈折率が１．５０〜１．７０、第１の透明電極の屈折率が１．９０〜２．１０である。
（８）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（９）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムまたは第２の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層のアンチブロッキング層を備える。
（１０）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層の第１の透明電極を備える。
（１１）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の、第１の基材フィルムと反対側の表面に、少なくとも１層の第２の透明電極を備える。
（１２）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の、第１の基材フィルムと反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備える。
（１３）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の透明電極と第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１４）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１５）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１６）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の基材フィルムの、第２の透明電極と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層を備える。
（１７）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層がフッ素樹脂を含む。
（１８）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンの重合体、または、（フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン）のうちの２種以上の共重合体である。
（１９）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体であって、共重合体に含まれるフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（５０〜８５）：（５０〜１５）の範囲である。
（２０）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体であって、共重合体に含まれるフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（６３〜６５）：（２７〜２９）：（１０〜６）の範囲である。
（２１）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層が、フッ素樹脂の溶液を第１の基材フィルムに塗布および乾燥して得られるコーティング層である。
（２２）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層の厚さが０．５μm〜２０μmである。
（２３）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、パターンニングされている。
（２４）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、インジウムを含む。
（２５）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、インジウムスズ酸化物（Indium Tin Oxide : ITO）を含む。
（２６）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者の厚さが、１５nm〜５０nmである。
（２７）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、結晶質である。
（２８）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、基材フィルムの材料が、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンの少なくとも１種から選択される。
（２９）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、ヘイズ値が５％以下である。
（３０）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、全光線透過率が８２％以上である。
（３１）本発明の圧力センサは、上記の透明電極付き圧電フィルムを備える。
本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電体層がコーティングにより形成されるため、圧電体層の厚さが、従来の自立したフィルムからなる圧電体層より薄い。そのため、圧電体層によるヘイズ値の上昇と全光線透過率の低下が、自立したフィルムからなる圧電体フィルムより少ない。その効果により、ヘイズ値が小さく、更に、全光線透過率が高い透明電極付き圧電フィルムが実現される。本発明の透明電極付き圧電フィルムを、タッチパネルのZ座標検出用圧電フィルムとして用いると、タッチパネルの背面にあるディスプレイの視認性が良好であって、Z座標（指の押圧力）検出機能を有するタッチパネルを実現することができる。
［透明電極付き圧電フィルムの基本構成］
図１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１は、第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２との積層体からなる圧電フィルム１３を含む。圧電性を有するコーティング層１２には、少なくとも１層の第１の透明電極１４が積層されている。少なくとも１層の第１の透明電極１４とは、第１の透明電極１４が２層以上の多層膜でもよいという意味である。第１の透明電極１４はパターンニングされていてもよい。第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、図示しない易接着層が積層されていてもよい（易接着層については以後の例に共通する）。
図１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１は、第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２との積層体からなる圧電フィルム１３を含む。圧電性を有するコーティング層１２には、少なくとも１層の第１の透明電極１４が積層されている。少なくとも１層の第１の透明電極１４とは、第１の透明電極１４が２層以上の多層膜でもよいという意味である。第１の透明電極１４はパターンニングされていてもよい。第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、図示しない易接着層が積層されていてもよい（易接着層については以後の例に共通する）。
図２に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０２は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に、少なくとも１層の第２の透明電極１５が積層されたものである。少なくとも１層の第２の透明電極１５とは、第２の透明電極１５が２層以上の多層膜でもよいという意味である。第２の透明電極１５はパターンニングされていてもよい。第１の基材フィルム１１と第２の透明電極１５の間に、少なくとも１層の透明粘着層を備えてもよい。少なくとも１層の透明粘着層とは、透明粘着層が２層以上の多層膜でもよいという意味である。
図３に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の第１の基材フィルム１１の圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に、更に、少なくとも１層の透明粘着層２１、少なくとも１層の第２の透明電極１５、少なくとも１層の第２の基材フィルム１７が積層されたものである。少なくとも１層の透明粘着層２１とは、透明粘着層２１が２層以上の多層膜でもよいという意味である。少なくとも１層の第２の透明電極１５とは、第２の透明電極１５が２層以上の多層膜でもよいという意味である。少なくとも１層の第２の基材フィルム１７とは、第２の基材フィルム１７が２層以上の多層フィルムでもよいという意味である。
図４に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第４例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０４は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３の第２の透明電極１５と第２の基材フィルム１７の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。アンダーコート層１８（あるいはアンカーコート層）は、透明電極付き圧電フィルムの、各層間の密着性を高める機能がある。光学調整層１９（Index matching layer）（屈折率調整層ともいう）は、透明電極付き圧電フィルムの光の反射率を調整する機能がある。光学調整層１９は２層以上の多層膜でもよい。アンチブロッキング層２０は、積み重ねられた、あるいは巻回された透明電極付き圧電フィルムどうしが圧着（ブロッキング）することを防止する機能がある。アンチブロッキング層２０は２層以上の多層膜でもよい。
図５に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第５例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０５は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の圧電性を有するコーティング層１２と第１の透明電極１４の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
たとえば図５において光学調整層１９を用いる場合について説明する。圧電性を有するコーティング層１２の厚さとして０．５〜１０μｍ、光学調整層１９の厚さとして８０〜１６０ｎｍ、第１の透明電極１４の厚さとして２０ｎｍ以上を一例としてあげられる。また、圧電性を有するコーティング層１２の屈折率として１．４０〜１．５０、光学調整層１９の屈折率として１．５０〜１．７０、第１の透明電極１４の屈折率として１．９０〜２．１０が一例としてあげられる。また、基材フィルム１１の厚さを２〜１００μｍ、屈折率を１．５０〜１．７０にする。以上の厚さと屈折率にすることで、第１の透明電極１４と光学調整層１９の反射率差が２．０％以下になり、見栄えが良くなる。
なお、図２の圧電フィルム１０２において、基材フィルム１１と第２の透明電極１５の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層を積層しても良い。
図６に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第６例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０６は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０２の圧電性を有するコーティング層１２と第１の透明電極１４の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図７に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第７例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０７は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３の圧電性を有するコーティング層１２と第１の透明電極１４の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図８に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第８例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０８は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０４の圧電性を有するコーティング層１２と第１の透明電極１４の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図９に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第９例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０９は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図１０に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１０例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１０は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０２の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図１１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１１は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図１２に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１２例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１２は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０４の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図１３に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１３例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１３は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０５の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図１４に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１４例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１４は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０６の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図１５に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１５例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１５は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０７の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図１６に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１６例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１６は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０８の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
図１７に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１７例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１７は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の第１の基材フィルム１１の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
図１８に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１８例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１８は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３の第２の基材フィルム１７の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
図１９に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１９例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１９は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０４の第２の基材フィルム１７の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
図２０に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２０例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２０は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０５の第１の基材フィルム１１の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
図２１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２１は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０７の第２の基材フィルム１７の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
図２２に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２２例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２２は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０８の第２の基材フィルム１７の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
図２３に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２３例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３は、第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２との積層体を含む圧電フィルム１３を備える。第１の基材フィルム１１の圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に、少なくとも１層の第１の透明電極１４が積層されている。
図２４に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２４例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２４は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３の圧電性を有するコーティング層１２の第１の基材フィルム１１と反対側の表面に、少なくとも１層の第２の透明電極１５が積層されたものである。
図２５に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２５例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３の圧電性を有するコーティング層１２の第１の基材フィルム１１と反対側の表面に、更に、少なくとも１層の透明粘着層２１、少なくとも１層の第２の透明電極１５、少なくとも１層の第２の基材フィルム１７が積層されたものである。
図２６に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２６例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２６は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５の第２の透明電極１５と第２の基材フィルム１７の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図２７に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２７例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２７は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図２８に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２８例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２８は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２４の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図２９に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２９例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２９は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図３０に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３０例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３０は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２６の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図３１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３１は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３の第１の基材フィルム１１と第１の透明電極１４の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図３２に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３２例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３２は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２４の第１の基材フィルム１１と第１の透明電極１４の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図３３に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３３例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３３は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５の第１の基材フィルム１１と第１の透明電極１４の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図３４に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３４例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３４は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２６の第１の基材フィルム１１と第１の透明電極１４の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
図３５に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３５例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３５は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５の第２の基材フィルム１７の、第２の透明電極１５と反対側の表面に、少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
［基材フィルム］
第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンなどの高分子フィルムからなる。第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の材料はこれらに限定されることはないが、透明性、耐熱性、および機械特性に優れるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が好ましい。
第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンなどの高分子フィルムからなる。第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の材料はこれらに限定されることはないが、透明性、耐熱性、および機械特性に優れるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が好ましい。
第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の厚さは、好ましくは、１０μm〜２００μmであるが、これに限定されることはない。但し第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の厚さが１０μm未満であると、取り扱いが困難になるおそれがある。また第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の厚さが２００μmを超えると、透明電極付き圧電フィルム（１０１〜１３５）を巻回してロールにするのが難しくなるおそれがある。また第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の厚さが２００μmを超えると、透明電極付き圧電フィルム（１０１〜１３５）をタッチパネル等に実装したときに厚さが厚くなりすぎるおそれがある。
［圧電性を有するコーティング層］
圧電性を有するコーティング層１２の材料は、第１の基材フィルム１１の表面に薄膜状にコーティングすることが可能であって、コーティング後の薄膜が圧電性を有するものであれば、特に限定されることはない。圧電性を有するコーティング層１２は、ポーリング（分極処理）を行なわなくても圧電性を示すものが望ましいが、ポーリング後に圧電性を示すものでもよい。
圧電性を有するコーティング層１２の材料は、第１の基材フィルム１１の表面に薄膜状にコーティングすることが可能であって、コーティング後の薄膜が圧電性を有するものであれば、特に限定されることはない。圧電性を有するコーティング層１２は、ポーリング（分極処理）を行なわなくても圧電性を示すものが望ましいが、ポーリング後に圧電性を示すものでもよい。
ポーリング（分極処理）として非接触式のポーリングと接触式のポーリングがある。非接触式のポーリングでは、例えば、コーティング層１２をコロナ放電処理することによりコーティング層１２を分極させる。接触式のポーリングでは、例えば、２枚の金属板でコーティング層１２を挟み、２枚の金属板の間に電圧を印加してコーティング層１２を分極させる。
圧電性を有するコーティング層１２は、例えば、圧電性を有するコーティング層１２の材料を溶媒に溶解させて溶液とし、バーコーターやグラビアコーターなどの既知のコーティング装置によって基材フィルムの表面に薄く一様にコーティングし、その後乾燥させて得られる。
［圧電性を有するコーティング層の材料］
圧電性を有するコーティング層１２の材料は、例えば、フッ素樹脂を含む材料が好適に用いられる。フッ素樹脂を含む材料を具体的に例示すると、フッ化ビニリデンの重合体、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンとビニリデンフロライドの共重合体、パーフルオロビニルエーテルとビニリデンフロライドの共重合体、テトラフルオロエチレンとビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンオキシドとビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンとテトラフルオロエチレンとビニリデンフロライドの共重合体が挙げられる。これらのポリマーは、単独でも混合体でも用いることができる。
圧電性を有するコーティング層１２の材料は、例えば、フッ素樹脂を含む材料が好適に用いられる。フッ素樹脂を含む材料を具体的に例示すると、フッ化ビニリデンの重合体、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンとビニリデンフロライドの共重合体、パーフルオロビニルエーテルとビニリデンフロライドの共重合体、テトラフルオロエチレンとビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンオキシドとビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンとテトラフルオロエチレンとビニリデンフロライドの共重合体が挙げられる。これらのポリマーは、単独でも混合体でも用いることができる。
フッ素樹脂を含む材料は、好ましくは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体、あるいは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体である。フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体を２元系共重合体ということにする。フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体を３元系共重合体ということにする。
フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）を、圧電性を有するコーティング層１２の材料として用いる場合、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンのモル比は、全体を１００として、（５０〜８５）：（５０〜１５）の範囲が適切である。
また、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）を、圧電性を有するコーティング層１２の材料として用いる場合、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンのモル比は、全体を１００として、（６３〜６５）：（２７〜２９）：（１０〜６）の範囲が適切である。
［圧電性を有するコーティング層の厚さ］
圧電性を有するコーティング層１２の厚さが限定されることはないが、後述する光学特性を考慮すると、０．５μm〜２０μmが好ましく、０．５μm〜１０μmがより好ましく、０．５μm〜５μmがさらに好ましい。圧電性を有するコーティング層１２の厚さが０．５μm未満であると、形成された膜が不完全になるおそれがある。圧電性を有するコーティング層１２の厚さが２０μmを超えると、光学特性（ヘイズ値および全光線透過率）が不適切になるおそれがある。
圧電性を有するコーティング層１２の厚さが限定されることはないが、後述する光学特性を考慮すると、０．５μm〜２０μmが好ましく、０．５μm〜１０μmがより好ましく、０．５μm〜５μmがさらに好ましい。圧電性を有するコーティング層１２の厚さが０．５μm未満であると、形成された膜が不完全になるおそれがある。圧電性を有するコーティング層１２の厚さが２０μmを超えると、光学特性（ヘイズ値および全光線透過率）が不適切になるおそれがある。
［透明電極］
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、可視光域（３８０nm〜７８０nm）で光透過性を有し、かつ、導電性を有するものであれば、その構成および材料が特に限定されることはない。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、例えば、金属の導電性酸化物（例えばインジウム酸化物）を主成分とする透明薄膜、または主金属（例えばインジウム）と１種以上の不純物金属（例えばスズ）を含有する複合金属酸化物を主成分とする透明薄膜である。
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、可視光域（３８０nm〜７８０nm）で光透過性を有し、かつ、導電性を有するものであれば、その構成および材料が特に限定されることはない。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、例えば、金属の導電性酸化物（例えばインジウム酸化物）を主成分とする透明薄膜、または主金属（例えばインジウム）と１種以上の不純物金属（例えばスズ）を含有する複合金属酸化物を主成分とする透明薄膜である。
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５として、例えば、インジウム酸化物、インジウムスズ酸化物(ITO : Indium Tin Oxide) 、インジウム亜鉛酸化物(IZO : Indium Zinc Oxide)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO : Indium Gallium Zinc Oxide)等のインジウム系複合酸化物が用いられるが、低比抵抗や透過色相の観点から、インジウムスズ酸化物(ITO)が特に好ましい。
インジウム系複合酸化物は、可視光域で透過率が８０％以上と高く、かつ、単位面積当たりの表面抵抗値が３０Ω／□〜１０００Ω／□（ohms per square）と低い特徴がある。インジウム系複合酸化物の単位面積当たりの表面抵抗値は、３００Ω／□以下が好ましく、１５０Ω／□以下がより好ましい。
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５には、更にチタンTi、マグネシウムMg、アルミニウムAl、金Au、銀Ag、銅Cuなどの不純物金属元素が含まれていてもよい。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、スパッタリング法、真空蒸着法などにより形成されるが、製法がこれに限定されることはない。
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５をインジウムスズ酸化物(ITO)にて形成する場合、インジウムスズ酸化物(ITO)中の酸化スズ(SnO2)の量は、酸化インジウム(In2O3)と酸化スズ(SnO2)の合計量に対して、０．５重量%〜１５重量%であることが好ましく、３重量%〜１５重量%であることがより好ましく、５重量%〜１３重量%であることがさらに好ましい。酸化スズ(SnO2)が０．５重量%未満であると、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の表面抵抗値が高くなるおそれがある。酸化スズ(SnO2)が１５重量%を超えると、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の面内の表面抵抗値の均一性が失われるおそれがある。
低温で形成された、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)からなる第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は非晶質であり、これを加熱処理することにより非晶質から結晶質に転化させることができる。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、結晶質に転化するとその表面抵抗値が低くなる。そのため、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は結晶質であることが望ましい。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５を結晶質に転化させる際の熱処理の条件は、８０℃〜２００℃が適切であるが、生産性の観点からは、１４０℃以下、３０分以下が好ましい。
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さは、１５nm〜５０nmであることが好ましい。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さが１５nmを下回ると、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の表面抵抗値が上昇するおそれがある。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さが５０nmを超えると、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の全光線透過率の低下や、内部応力の上昇によるクラック発生が懸念される。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、２層以上の透明導電膜が積層された積層膜でもよい。
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、ポリエチレンジオキシチオフェン（PEDOT:PSS）、ポリピロール、ポリアニリンなどの導電性高分子の薄膜でもよい。また第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、線径が５μm〜１０μm程度の銀や銅の極細金属線が透明フィルム上に網目状に形成された導電性極細網でもよい。あるいは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、カーボンナノファイバ、銀ナノワイヤ、グラフェンなどを含む薄膜でもよい。
［透明粘着層］
透明粘着層２１は光学透明粘着剤からなることが好ましい。例えば、光学透明粘着剤のシートを用いて透明粘着層２１を形成することができる。透明粘着層２１の代わりに透明接着層を用いることもできる。その場合、透明接着層は光学透明接着剤からなることが好ましい。例えば、液状の光学透明接着剤を塗布し、紫外線を照射して硬化させ、透明接着層を形成することができる。透明粘着層２１あるいは透明接着層の屈折率は、その両側に積層された材料の各々の屈折率の中間的な値であることが望ましい。そのように透明粘着層２１あるいは透明接着層の屈折率を選択することにより、透明粘着層２１あるいは透明接着層と、その両側に積層された材料との界面における光の反射を抑えることができる。
透明粘着層２１は光学透明粘着剤からなることが好ましい。例えば、光学透明粘着剤のシートを用いて透明粘着層２１を形成することができる。透明粘着層２１の代わりに透明接着層を用いることもできる。その場合、透明接着層は光学透明接着剤からなることが好ましい。例えば、液状の光学透明接着剤を塗布し、紫外線を照射して硬化させ、透明接着層を形成することができる。透明粘着層２１あるいは透明接着層の屈折率は、その両側に積層された材料の各々の屈折率の中間的な値であることが望ましい。そのように透明粘着層２１あるいは透明接着層の屈折率を選択することにより、透明粘着層２１あるいは透明接着層と、その両側に積層された材料との界面における光の反射を抑えることができる。
［透明電極付き圧電フィルムの光学特性］
一般に、ヘイズ値が大きくなっても、光は吸収されず散乱することがあるため、全光線透過率は低下しないことがある。しかし、全光線透過率は低下しなくても、ヘイズ値が大きくなるに従って、ディスプレイ画像の視認性は低下する。そのため全光線透過率の値だけでは、ディスプレイ画像の視認性は判断できない。本願発明者の実験によると、透明電極付き圧電フィルムの背面にあるディスプレイの画像を明瞭に視認するために、透明電極付き圧電フィルムのヘイズ値は、５％以下が好ましく、４％以下がより好ましく、３％以下がさらに好ましく、２％以下が特に好ましく、１％以下が最も好ましい。透明電極付き圧電フィルムの全光線透過率は８２％以上が好ましく、８５％以上がより好ましく、８６％以上がさらに好ましく、８８％以上が特に好ましい。透明電極付き圧電フィルムのヘイズ値が５％を超えた場合、あるいは、全光線透過率が８２％未満となった場合、ディスプレイの画像が明瞭に視認できなくなるおそれがある。
一般に、ヘイズ値が大きくなっても、光は吸収されず散乱することがあるため、全光線透過率は低下しないことがある。しかし、全光線透過率は低下しなくても、ヘイズ値が大きくなるに従って、ディスプレイ画像の視認性は低下する。そのため全光線透過率の値だけでは、ディスプレイ画像の視認性は判断できない。本願発明者の実験によると、透明電極付き圧電フィルムの背面にあるディスプレイの画像を明瞭に視認するために、透明電極付き圧電フィルムのヘイズ値は、５％以下が好ましく、４％以下がより好ましく、３％以下がさらに好ましく、２％以下が特に好ましく、１％以下が最も好ましい。透明電極付き圧電フィルムの全光線透過率は８２％以上が好ましく、８５％以上がより好ましく、８６％以上がさらに好ましく、８８％以上が特に好ましい。透明電極付き圧電フィルムのヘイズ値が５％を超えた場合、あるいは、全光線透過率が８２％未満となった場合、ディスプレイの画像が明瞭に視認できなくなるおそれがある。
［実施例１］
［圧電フィルム］
実施例１の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面に、まず図示しない易接着層を形成し、次にフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）の溶液をコーティングして作製された。第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の厚さは２３μmであった。
［圧電フィルム］
実施例１の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面に、まず図示しない易接着層を形成し、次にフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）の溶液をコーティングして作製された。第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の厚さは２３μmであった。
圧電性を有するコーティング層１２を作製するにあたり、まず、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）を常温のメチルエチルケトンに超音波により溶解し、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）の溶液を作製した。フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）に含まれる、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンのモル比は、７５／２５であった。
次にフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）の溶液を、バーコーターによって、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面にコーティングした。次に、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）および未乾燥のコーティング層を、６０℃、５分間の乾燥条件で乾燥して、圧電性を有するコーティング層１２を得た。乾燥後の圧電性を有するコーティング層１２の厚さは５μmであった。
［透明電極］
圧電性を有するコーティング層１２が積層された第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）をスパッタ装置にセットし、スパッタリング法により、厚さ２５nmのインジウムスズ酸化物（ITO）からなる第１の透明電極１４を、圧電性を有するコーティング層１２の表面に成膜した。このとき、アルゴンガス：酸素ガスの圧力比が９９：１で、全ガス圧が０．３Paのスパッタリング雰囲気とし、電力密度１．０W/cm2の電力を投入して、１０重量％の酸化スズと９０重量％の酸化インジウムの焼結体から成るインジウムスズ酸化物ターゲットをスパッタリングして、第１の透明電極１４を成膜した。
圧電性を有するコーティング層１２が積層された第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）をスパッタ装置にセットし、スパッタリング法により、厚さ２５nmのインジウムスズ酸化物（ITO）からなる第１の透明電極１４を、圧電性を有するコーティング層１２の表面に成膜した。このとき、アルゴンガス：酸素ガスの圧力比が９９：１で、全ガス圧が０．３Paのスパッタリング雰囲気とし、電力密度１．０W/cm2の電力を投入して、１０重量％の酸化スズと９０重量％の酸化インジウムの焼結体から成るインジウムスズ酸化物ターゲットをスパッタリングして、第１の透明電極１４を成膜した。
次に、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面に、第１の透明電極１４と同じ成膜条件で、第２の透明電極１５を成膜した。このようにして透明電極付き圧電フィルムを作製した。この段階では、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は非晶質であった。
［透明電極の結晶化］
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が非晶質である透明電極付き圧電フィルムを、加熱オーブンで８０℃、１２時間加熱して、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の結晶化処理を行ない、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が結晶質である透明電極付き圧電フィルムを得た。結晶化後の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の表面抵抗値は、それぞれ１５０Ω／□であった。
第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が非晶質である透明電極付き圧電フィルムを、加熱オーブンで８０℃、１２時間加熱して、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の結晶化処理を行ない、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が結晶質である透明電極付き圧電フィルムを得た。結晶化後の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の表面抵抗値は、それぞれ１５０Ω／□であった。
［実施例２］
実施例２の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１例（１０１）の構成からなる。実施例２の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３と同様にして作製された。実施例２の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４と同様にして成膜され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
実施例２の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１例（１０１）の構成からなる。実施例２の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３と同様にして作製された。実施例２の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４と同様にして成膜され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
［実施例３］
実施例３の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２３例（１２３）の構成からなる。実施例３の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３と同様にして作製された。実施例３の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４と同様にして成膜され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
実施例３の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２３例（１２３）の構成からなる。実施例３の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３と同様にして作製された。実施例３の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４と同様にして成膜され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
［実施例４］
実施例４の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例４の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１μmであることを除いては、実施例１と同様にして作製された。
実施例４の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例４の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１μmであることを除いては、実施例１と同様にして作製された。
［実施例５］
実施例５の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例５の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１０μmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
実施例５の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例５の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１０μmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
［実施例６］
実施例６の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例６の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが２０μmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
実施例６の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例６の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが２０μmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
［実施例７］
実施例７の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２５例（１２５）の構成からなる。実施例７の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１、圧電性を有するコーティング層１２は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１、圧電性を有するコーティング層１２と同様にして作製され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
実施例７の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２５例（１２５）の構成からなる。実施例７の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１、圧電性を有するコーティング層１２は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１、圧電性を有するコーティング層１２と同様にして作製され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
実施例７の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第２の透明電極１５、第２の基材フィルム１７は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１と同様にして作製され、第２の透明電極１５を結晶化する工程まで実施された。
最後に、圧電性を有するコーティング層１２と第２の透明電極１５を、透明粘着層２１を用いて貼り合わせて固定した。それにより第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１、圧電性を有するコーティング層１２、透明粘着層２１、第２の透明電極１５、第２の基材フィルム１７がこの順に積層されてなる、実施例７の透明電極付き圧電フィルムが得られた。透明粘着層２１としてアクリル系粘着剤（日東電工株式会社製）を用いた。
［実施例８］
実施例８の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３例（１０３）の構成からなる。実施例８の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、圧電性を有するコーティング層１２、第１の基材フィルム１１は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、圧電性を有するコーティング層１２、第１の基材フィルム１１と同様にして作製された。
実施例８の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３例（１０３）の構成からなる。実施例８の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、圧電性を有するコーティング層１２、第１の基材フィルム１１は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、圧電性を有するコーティング層１２、第１の基材フィルム１１と同様にして作製された。
実施例８の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第２の透明電極１５、第２の基材フィルム１７は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１と同様にして作製され、第２の透明電極１５を結晶化する工程まで実施された。
最後に、第１の基材フィルム１１と第２の透明電極１５を、透明粘着層２１を用いて貼り合わせて固定した。それにより第１の透明電極１４、圧電性を有するコーティング層１２、第１の基材フィルム１１、透明粘着層２１、第２の透明電極１５、第２の基材フィルム１７がこの順に積層されてなる、実施例８の透明電極付き圧電フィルムが得られた。透明粘着層２１としてアクリル系粘着剤（日東電工株式会社製）を用いた。
［実施例９］
実施例９の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例９の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が、結晶化処理を実施しなかったため非晶質であり、厚さがそれぞれ２０nmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
実施例９の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例９の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が、結晶化処理を実施しなかったため非晶質であり、厚さがそれぞれ２０nmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
［実施例１０］
実施例１０の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１０の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さがそれぞれ４０nmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
実施例１０の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１０の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さがそれぞれ４０nmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
［実施例１１］
実施例１１の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１１の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が、結晶化処理を実施しなかったため非晶質であることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
実施例１１の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１１の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が、結晶化処理を実施しなかったため非晶質であることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
［実施例１２］
実施例１２の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１２の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の材料が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）であることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
実施例１２の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１２の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の材料が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）であることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
圧電性を有するコーティング層１２を作製するにあたり、まず、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）を常温のメチルイソブチルケトンに超音波により溶解し、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）の溶液を作製した。フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）に含まれる、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンのモル比は、６４．２／２７．１／８．７であった。
次にフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）の溶液を、バーコーターによって、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面にコーティングした。次に、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）および未乾燥のコーティング層を、６０℃、５分間の乾燥条件で乾燥して、圧電性を有するコーティング層１２を得た。乾燥後の圧電性を有するコーティング層１２の厚さは１μmであった。
［実施例１３］
実施例１３の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１３の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが５μmであることを除いては、実施例１２の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
実施例１３の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１３の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが５μmであることを除いては、実施例１２の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
［実施例１４］
実施例１４の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１４の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１０μmであることを除いては、実施例１２の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
実施例１４の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１４の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１０μmであることを除いては、実施例１２の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
［比較例１］
比較例１の透明電極付き圧電フィルムは、自立したフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムの一面を第１の透明電極で、他面を第２の透明電極で挟んで積層した構成からなる。フッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムの厚さは４０μmであった。厚さ４０μmのフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムは、フッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）を常温のメチルイソブチルケトンに超音波により溶解した溶液を、乾燥後の厚さが４０μmとなるように、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面にコーティングし、乾燥後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がして作製された。比較例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極および第２の透明電極は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４および第２の透明電極１５と同様にして作製された。
比較例１の透明電極付き圧電フィルムは、自立したフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムの一面を第１の透明電極で、他面を第２の透明電極で挟んで積層した構成からなる。フッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムの厚さは４０μmであった。厚さ４０μmのフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムは、フッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）を常温のメチルイソブチルケトンに超音波により溶解した溶液を、乾燥後の厚さが４０μmとなるように、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面にコーティングし、乾燥後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がして作製された。比較例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極および第２の透明電極は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４および第２の透明電極１５と同様にして作製された。
表１に本発明の圧電フィルムの実施例と比較例の構成、圧電性を有する層の種類とモル比と厚さ、第１および第２の透明電極の状態（結晶性）と厚さ、透明電極の無いときと有るときの全光線透過率、透明電極の有るときのヘイズ値を示す。表１中、VDFはフッ化ビニリデン、TrFEはトリフルオロエチレン、CTFEはクロロトリフルオロエチレンを示す。P( )は共重合体を示す。従って、「P(VDF-TrFE)」は、「フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体」という意味である。また、「P(VDF-TrFE-CTFE)」は、「フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体」という意味である。PVDFはフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）を意味する。
実施例１と実施例２を比較すると、第２の透明電極１５を積層した場合、全光線透過率は小さくなるが、ヘイズ値は変化しないことが分かる。
実施例２と実施例３を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２と第１の基材フィルム１１の積層順序が逆になっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
実施例１と実施例４を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１／５になっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
実施例１と実施例５を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが２倍になっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
実施例１と実施例６を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが４倍になった場合、全光線透過率は変化しないが、ヘイズ値は大きくなることが分かる。
実施例１と実施例７を比較すると、透明粘着層２１と第２の基材フィルム１７を積層しても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
実施例７と実施例８を比較すると、第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の積層順序が逆になっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
実施例１と実施例９を比較すると、厚さ２５nmの結晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、厚さ２０nmの非晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５より、全光線透過率が高い、しかしヘイズ値は同等であることが分かる。
実施例１と実施例１０を比較すると、結晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が厚くなったとき、全光線透過率は低下するが、ヘイズ値は変化しないことが分かる。
実施例１０と実施例１１を比較すると、厚さ４０nmの結晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５と、厚さ２５nmの非晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、全光線透過率およびヘイズ値について同等であることが分かる。
実施例４と実施例１２を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが薄い場合、圧電性を有するコーティング層１２がフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）のときは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）のときと比較して、全光線透過率およびヘイズ値について同等であることが分かる。
実施例１と実施例１３を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが薄くない場合、圧電性を有するコーティング層１２がフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）のときは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）のときと比較して、全光線透過率は変わらないが、ヘイズ値は大きくなることが分かる。
実施例５と実施例１４を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが厚い場合、圧電性を有するコーティング層１２がフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）のときは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）のときと比較して、全光線透過率は変わらないが、ヘイズ値は大きくなることが分かる。
実施例１２〜実施例１４を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２がフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）のとき、圧電性を有するコーティング層１２が厚くなるに従って、全光線透過率は変化しないが、ヘイズ値は大きくなることが分かる。しかし実施例１２〜実施例１４の全光線透過率およびヘイズ値は全て問題無いレベルである。
実施例１、実施例４，実施例５を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）のときは、圧電性を有するコーティング層１２が厚くなっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
実施例１、実施例４，実施例５、実施例９〜実施例１１と、比較例１を比較すると、自立したフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムを用いた透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２を用いた透明電極付き圧電フィルムと比べて、全光線透過率は同程度であるが、ヘイズ値は著しく大きい。比較例１から、ヘイズ値が大きくなっても、全光線透過率が低下するとは限らないことが分かる。
［測定方法］
［厚さ］
１μm未満の膜の厚さは、透過型電子顕微鏡（日立製作所製H-7650）を用いて、断面を観察して測定した。１μmを超える膜あるいはフィルムの厚さは、膜厚計（Peacock社製デジタルダイアルゲージDG-205）を用いて測定した。
［厚さ］
１μm未満の膜の厚さは、透過型電子顕微鏡（日立製作所製H-7650）を用いて、断面を観察して測定した。１μmを超える膜あるいはフィルムの厚さは、膜厚計（Peacock社製デジタルダイアルゲージDG-205）を用いて測定した。
［ヘイズ値、全光線透過率］
ヘイズ値、全光線透過率は、Direct Reading Haze Computer (Suga Test Instruments社製HGM-ZDP)を用いて測定した。
ヘイズ値、全光線透過率は、Direct Reading Haze Computer (Suga Test Instruments社製HGM-ZDP)を用いて測定した。
［実施例１５〜２０］
また、図５において、圧電性を有するコーティング層１２、光学調整層１９、第１の透明電極１４の厚さおよび屈折率を測定した。圧電フィルム１３は上記実施例と同じで、PETフィルムにフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体をコーティングしたものである。
また、図５において、圧電性を有するコーティング層１２、光学調整層１９、第１の透明電極１４の厚さおよび屈折率を測定した。圧電フィルム１３は上記実施例と同じで、PETフィルムにフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体をコーティングしたものである。
光学調整層１９は下の表に２に示すように、屈折率が１．５４、１．６２、１．７の場合がある。屈折率によって製造方法が異なるので屈折率ごとに説明する。屈折率が１．５４の場合、圧電性を有するコーティング層１２の一方の面に、メラミン樹脂：アルキド樹脂：有機シラン縮合物の重量比２：２：１の熱硬化型樹脂（光の屈折率ｎ＝１.５４）により、厚さが１２０ｎｍの光学調整層１９を形成した。
屈折率が１．６２の場合、圧電性を有するコーティング層１２の一方の面に、紫外線硬化性樹脂４７質量部、酸化ジルコニア粒子（メジアン径４０ｎｍ）５７質量部およびＰＧＭＥを含有した光学調整組成物（ＪＳＲ社製、「オプスターＺ７４１２」、固形分１２質量％）をグラビアコーターを用いて塗布し、無風状態（０．１ｍ／ｓ未満）で直ちに６０℃で１分間加熱乾燥した。その後、高圧水銀ランプにて、積算光量２５０ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射して硬化処理を実施した。この方法により、厚み９０、１２０、または１５０ｎｍで屈折率１．６２の光学調整層１９を、圧電性を有するコーティング層１２の上に形成した。
屈折率が１．７の場合、メラミン樹脂、アルキド樹脂及び有機シラン縮合物からなる熱硬化型樹脂（重量比で、メラミン樹脂：アルキド樹脂：有機シラン縮合物＝２：２：１）にＴｉＯ２（屈折率＝２．３５）の微粒子を混合した樹脂組成物を調製した。この際、上記樹脂組成物の屈折率が１．７０となるようにＴｉＯ２微粒子の混合量を調整した。そして、圧電性を有するコーティング層１２の上に上記樹脂組成物を塗工し、これを硬化させて、厚み１５０ｎｍの光学調整層１９（屈折率１．７０）を形成した。
また、第１の透明電極１４は、インジウムスズ酸化物をスパッタリングによって成膜した。なお、図５には示されていないが、第１の基材フィルム１１における圧電性を有するコーティング層１２の反対面にアンチブロッキング機能を有するハードコート層を形成した。
その結果を表２に示すが、「第１層」が圧電性を有するコーティング層１２、「第２層」が光学調整層１９、「第３層」が第１の透明電極１４である。各実施例は上記のように圧電性を有するコーティング層１２の厚さが０．５〜１０μｍ、光学調整層１９の厚さが８０〜１６０ｎｍ、第１の透明電極１４の厚さが２０ｎｍ以上になっている。また、圧電性を有するコーティング層１２の屈折率が１．４０〜１．５０、光学調整層１９の屈折率が１．５０〜１．７０、第１の透明電極１４の屈折率が１．９０〜２．１０になっている。第１の透明電極１４と光学調整層１９の反射率差は２％以下であり、見栄えは良かった。
なお、必要に応じて第１の透明電極１４はエッチングされて所望の電極等になる。上記屈折率を求める際、光学調整層１９の屈折率は第１の透明電極１４をエッチングによって取り除いた部分を用いた。そのため、各屈折率から空気と第１の透明電極１４、空気と光学調整層１９の反射率を求めることで、反射率差を求めた。
[比較例２〜３]
実施例１５〜２０に対する比較例として、光学調整層１９の無い場合（比較例２）と光学調整層１９の屈折率が１．５より小さい場合（比較例３）をおこなった。光学調整層１９が無い場合、反射率差は第１の透明電極１４と圧電性を有するコーティング層１２の差である。反射率差が２％より大きくなり、見栄えが悪くなった。
実施例１５〜２０に対する比較例として、光学調整層１９の無い場合（比較例２）と光学調整層１９の屈折率が１．５より小さい場合（比較例３）をおこなった。光学調整層１９が無い場合、反射率差は第１の透明電極１４と圧電性を有するコーティング層１２の差である。反射率差が２％より大きくなり、見栄えが悪くなった。
なお、屈折率が１．４６の場合（比較例４）の光学調整層１９は、シリカゾル（コルコート（株）製，コルコートＰ）を、固形分濃度２％になるようにエタノールで希釈し、圧電性を有するコーティング層１２の一方の上に、シリカコート法により塗布し、その後、１５０℃で２分間乾燥、硬化させて、厚さが１２０ｎｍの層（ＳｉＯ２膜，光の屈折率１．４６）を形成して光学調整層１９とした。比較例において他の構成の製造方法は実施例と同じである。
圧電性を有するコーティング層１２の上に第１の透明電極１４を備えることで透明電極１４によって黄色または茶色に呈色して見栄えを損ねる場合がある。上記実施例のように光学調整層１９を設け、透明電極１４、光学調整層１９、圧電性を有するコーティング層１２の厚さおよび屈折率を上述した値の範囲になるように調節することで、表２のように反射率差を小さくでき、見栄えを損ねないことがわかった。圧電フィルム１３に光学調整層１９と透明電極１４を積層した構成をディスプレイの前面に配置してもディスプレイの見栄えを損ないにくいことがわかった。
本発明の透明電極付き圧電フィルムの利用に制限はないが、特にタッチパネルのZ座標（指のタッチする圧力）検出用圧電フィルムとして好適に用いられる。
１０１〜１３５ 圧電フィルム
１１ 第１の基材フィルム
１２ 圧電性を有するコーティング層
１３ 圧電フィルム
１４ 第１の透明電極
１５ 第２の透明電極
１７ 第２の基材フィルム
１８ アンダーコート層
１９ 光学調整層
２０ アンチブロッキング層
２１ 透明粘着層
１１ 第１の基材フィルム
１２ 圧電性を有するコーティング層
１３ 圧電フィルム
１４ 第１の透明電極
１５ 第２の透明電極
１７ 第２の基材フィルム
１８ アンダーコート層
１９ 光学調整層
２０ アンチブロッキング層
２１ 透明粘着層
Claims (25)
- 第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、
前記圧電性を有するコーティング層の、前記第１の基材フィルムと反対側の表面に備えられた、少なくとも１層の第１の透明電極を備えた透明電極付き圧電フィルム。 - 前記第１の基材フィルムの、前記圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に少なくとも１層の第２の透明電極を備えた請求項１に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記第１の基材フィルムの、前記圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備えた請求項１に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記第２の透明電極と前記第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項３に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記圧電性を有するコーティング層と前記第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項１〜４のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記圧電性を有するコーティング層の厚みが０．５〜１０μｍ、光学調整層の厚みが８０〜１６０ｎｍ、第１の透明電極の厚みが２０ｎｍ以上である請求項５の圧電フィルム。
- 前記圧電性を有するコーティング層の屈折率が１．４０〜１．５０、光学調整層の屈折率が１．５０〜１．７０、第１の透明電極の屈折率が１．９０〜２．１０である請求項５または６の圧電フィルム。
- 前記第１の基材フィルムと前記圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項１〜７のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記第１の基材フィルムの、前記圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層のアンチブロッキング層を備えた請求項１〜７のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、
前記第１の基材フィルムの、前記圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層の第１の透明電極を備えた透明電極付き圧電フィルムであり、
前記第1の基材フィルムと前記圧電性を有するコーティング層の間に少なくとも1層のアンチブロッキング層を備えた透明電極付き圧電フィルム。 - 前記圧電性を有するコーティング層の、前記第１の基材フィルムと反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備えた請求項１０に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記第２の透明電極と前記第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項１１に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記第１の基材フィルムと前記第１の透明電極の間に少なくとも１層のアンチブロッキング層を備えた請求項１０〜１２のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記第２の基材フィルムの、前記第２の透明電極と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層を備えた請求項１１に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記圧電性を有するコーティング層がフッ素樹脂を含む請求項１〜１４のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンの重合体、または、（フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン）のうちの２種以上の共重合体である請求項１５に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体であって、前記共重合体に含まれる前記フッ化ビニリデンと前記トリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（５０〜８５）：（５０〜１５）の範囲である請求項１６に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体であって、前記共重合体に含まれる前記フッ化ビニリデンと前記トリフルオロエチレンと前記クロロトリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（６３〜６５）：（２７〜２９）：（１０〜６）の範囲である請求項１６に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記圧電性を有するコーティング層が、前記フッ素樹脂の溶液を前記第１の基材フィルムに塗布および乾燥して得られるコーティング層である請求項１６〜１８のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記圧電性を有するコーティング層の厚さが０．５μm〜２０μmである請求項１〜１９のいずれかに記載の圧電フィルム。
- 前記第１の透明電極が、パターンニングされている請求項１に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 前記第２の透明電極が、パターニングされている請求項２に記載の透明電極付き圧電フィルム。
- ヘイズ値が５％以下である請求項１〜２２のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 全光線透過率が８２％以上である請求項１〜２３のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
- 請求項１〜２４のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルムを備えた圧力センサ。
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