CN109219895A - 带有透明电极的压电薄膜和压力传感器 - Google Patents

带有透明电极的压电薄膜和压力传感器 Download PDF

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Abstract

本发明的带有透明电极的压电薄膜(1)具备：包含第1基材薄膜(11)与具有压电性的涂层(12)的层叠体的压电薄膜(13)；以及层叠于具有压电性的涂层(12)上的第1透明电极(14)。具有压电性的涂层(12)包含氟树脂。氟树脂是偏氟乙烯的聚合物或选自偏氟乙烯、三氟乙烯、三氟氯乙烯中的2种以上的共聚物。具有压电性的涂层(12)通过将氟树脂的溶液涂布于第1基材薄膜(11)并进行干燥而得到。通过本发明的压电薄膜实现雾度值小、总透光率高的带有透明电极的压电薄膜。

Description

带有透明电极的压电薄膜和压力传感器
技术领域
本发明涉及带有透明电极的压电薄膜和压力传感器。
背景技术
通常，对于触摸面板，对触摸触摸面板表面的手指或笔在表面上的二维位置进行检测。(以下将“手指或笔”简称为“手指”，将手指或笔在触摸面板表面上的二维位置称为“手指的XY坐标”。)在该情况下不能检测出手指触摸的压力。(以下将手指触摸的压力大小考虑为处于Z轴方向，并称为“手指的Z坐标”。)即无论手指触摸的压力(手指的Z坐标)大小如何，可检测出的仅是手指触摸位置的XY坐标。
然而，根据触摸面板上使用的应用程序，有时也需要识别手指触摸的压力(手指的Z坐标)。通常的静电容量式触摸面板的情况下，通过手指触摸来选择触摸的位置，同时执行处于触摸的位置的命令。在静电容量式触摸面板的灵敏度非常高的情况下，仅通过手指接近静电容量式触摸面板(即使手指不触摸)就可选择与手指最接近的位置，同时执行处于该位置的命令。然而，例如在工作机械的操作面板等上不容许执行错误的命令的情况下，理想的是使选择与执行分开。即，为了防止误操作，理想的是，通过手指触摸(或通过手指接近)来选择命令，但仅靠这样并不会执行命令，接着通过手指施加压力才执行命令。
这种也能检测出手指触摸压力(手指的Z坐标)的触摸面板例如在专利文献1(日本特开2010-26938)中有所记载。专利文献1的触摸面板的情况下，使用在含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的两面层叠有透明电极的层叠体。含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的厚度为20μm～300μm。
由于记载了专利文献1的含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层利用流延法或挤出法来制造，因此可认为是独立的薄膜(未层叠于其它薄膜的薄膜)。专利文献1中记载了：含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的雾度值(haze value)为5％～7％、总透光率为95％。
然而，专利文献1的实施例的雾度值、总透光率是层叠透明电极之前的、含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层单独的值。对于在含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的两面层叠有透明电极的层叠体，可认为总透光率降低，但并未记载该测定值。
根据本申请发明人的实验，位于触摸面板背面的显示器图像的可视性至少受到雾度值和总透光率的影响。对于专利文献1的在含有聚偏氟乙烯-四氟乙烯共聚物的压电体层的两面层叠有透明电极的层叠体，有由于雾度值和总透光率中的任一者或两者而使位于触摸面板背面的显示器图像的可视性降低的担心。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2010-26938号公报
发明内容
发明要解决的问题
根据本申请发明人的实验，对于位于触摸面板背面的显示器图像的可视性的降低，雾度值的影响大于总透光率。因此，本发明的目的在于实现雾度值小、进而总透光率高的带有透明电极的压电薄膜。
用于解决问题的方案
(1)本发明的带有透明电极的压电薄膜具备：包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；以及在具有压电性的涂层的、与第1基材薄膜处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。
(2)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在第1基材薄膜的、与具有压电性的涂层处于相反侧的表面具备至少1层第2透明电极。
(3)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而具备：在第1基材薄膜的、与具有压电性的涂层处于相反侧的表面进一步依次设置的、至少1层透明粘合层、至少1层第2透明电极、至少1层第2基材薄膜。
(4)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在第2透明电极与第2基材薄膜之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
(5)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在具有压电性的涂层与第1透明电极之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
(6)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，进而，具有压电性的涂层的厚度为0.5～10μm，光学调整层的厚度为80～160nm，第1透明电极的厚度为20nm以上。
(7)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，进而，具有压电性的涂层的折射率为1.40～1.50，光学调整层的折射率为1.50～1.70，第1透明电极的折射率为1.90～2.10。
(8)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在第1基材薄膜与具有压电性的涂层之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
(9)本发明的带有透明电极的压电薄膜还具备：在第1基材薄膜或第2基材薄膜的、与具有压电性的涂层处于相反侧的表面设置的至少1层防粘连层。
(10)本发明的带有透明电极的压电薄膜具备：包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；以及在第1基材薄膜的、与具有压电性的涂层处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。
(11)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在具有压电性的涂层的、与第1基材薄膜处于相反侧的表面具备至少1层第2透明电极。
(12)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而具备：在具有压电性的涂层的、与第1基材薄膜处于相反侧的表面进一步依次设置的、至少1层透明粘合层、至少1层第2透明电极、至少1层第2基材薄膜。
(13)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在第2透明电极与第2基材薄膜之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
(14)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在第1基材薄膜与具有压电性的涂层之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
(15)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在第1基材薄膜与第1透明电极之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
(16)本发明的带有透明电极的压电薄膜进而在第2基材薄膜的、与第2透明电极处于相反侧的表面具备至少1层防粘连层。
(17)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，具有压电性的涂层包含氟树脂。
(18)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，氟树脂为偏氟乙烯的聚合物、或选自偏氟乙烯、三氟乙烯、三氟氯乙烯中的2种以上的共聚物。
(19)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，氟树脂为偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物，共聚物中包含的偏氟乙烯与三氟乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(50～85)：(50～15)的范围。
(20)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，氟树脂为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物，共聚物中包含的偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(63～65)：(27～29)：(10～6)的范围。
(21)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，具有压电性的涂层是通过将氟树脂的溶液涂布于第1基材薄膜并进行干燥而得到的涂层。
(22)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，具有压电性的涂层的厚度为0.5μm～20μm。
(23)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，第1透明电极和第2透明电极中的任一者或两者进行了图案化。
(24)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，第1透明电极和第2透明电极中的任一者或两者包含铟。
(25)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，第1透明电极和第2透明电极中的任一者或两者包含铟锡氧化物(Indium Tin Oxide：ITO)。
(26)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，第1透明电极和第2透明电极中的任一者或两者的厚度为15nm～50nm。
(27)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，第1透明电极和第2透明电极中的任一者或两者为结晶质。
(28)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，基材薄膜的材料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚烯烃、聚环烯烃、环烯烃共聚物、聚碳酸酯、聚醚砜、聚芳酯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚苯乙烯、聚降冰片烯中的至少1种。
(29)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，雾度值为5％以下。
(30)本发明的带有透明电极的压电薄膜中，总透光率为82％以上。
(31)本发明的压力传感器具备上述带有透明电极的压电薄膜。
发明的效果
对于本发明的带有透明电极的压电薄膜，通过涂布而形成压电体层，因此压电体层的厚度比以往由独立的薄膜构成的压电体层薄。因此，由压电体层导致的雾度值的上升和总透光率的降低比由独立的薄膜构成的压电体薄膜少。通过该效果，可实现雾度值小、进而总透光率高的带有透明电极的压电薄膜。将本发明的带有透明电极的压电薄膜用作触摸面板的Z坐标检测用压电薄膜时，能够实现位于触摸面板背面的显示器的可视性良好、且具有Z坐标(手指的按压力)检测功能的触摸面板。
附图说明
图1是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第1例的示意图
图2是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例的示意图
图3是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第3例的示意图
图4是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第4例的示意图
图5是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第5例的示意图
图6是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第6例的示意图
图7是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第7例的示意图
图8是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第8例的示意图
图9是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第9例的示意图
图10是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第10例的示意图
图11是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第11例的示意图
图12是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第12例的示意图
图13是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第13例的示意图
图14是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第14例的示意图
图15是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第15例的示意图
图16是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第16例的示意图
图17是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第17例的示意图
图18是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第18例的示意图
图19是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第19例的示意图
图20是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第20例的示意图
图21是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第21例的示意图
图22是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第22例的示意图
图23是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第23例的示意图
图24是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第24例的示意图
图25是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第25例的示意图
图26是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第26例的示意图
图27是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第27例的示意图
图28是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第28例的示意图
图29是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第29例的示意图
图30是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第30例的示意图
图31是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第31例的示意图
图32是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第32例的示意图
图33是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第33例的示意图
图34是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第34例的示意图
图35是本发明的带有透明电极的压电薄膜的第35例的示意图
具体实施方式
[带有透明电极的压电薄膜的基本构成]
图1示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第1例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜101包含压电薄膜13，所述压电薄膜13由第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12的层叠体构成。在具有压电性的涂层12上层叠有至少1层第1透明电极14。至少1层第1透明电极14是指第1透明电极14可以是2层以上的多层膜。还可以对第1透明电极14进行了图案化。在第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间还可以层叠有未图示的易粘接层(对于易粘接层而言以下的例子是共通的)。
图2示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜102是在本发明的带有透明电极的压电薄膜101的与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面上层叠至少1层第2透明电极15而成的。至少1层第2透明电极15是指第2透明电极15可以是2层以上的多层膜。还可以对第2透明电极15进行了图案化。在第1基材薄膜11与第2透明电极15之间还可以具备至少1层透明粘合层。至少1层透明粘合层是指透明粘合层可以是2层以上的多层膜。
图3示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第3例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜103是在本发明的带有透明电极的压电薄膜101的第1基材薄膜11的与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面进一步层叠至少1层透明粘合层21、至少1层第2透明电极15、至少1层第2基材薄膜17而成的。至少1层透明粘合层21是指透明粘合层21可以是2层以上的多层膜。至少1层第2透明电极15是指第2透明电极15可以是2层以上的多层膜。至少1层第2基材薄膜17是指第2基材薄膜17可以是2层以上的多层薄膜。
图4示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第4例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜104是在本发明的带有透明电极的压电薄膜103的第2透明电极15与第2基材薄膜17之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。底涂层18(或锚固涂层)具有提高带有透明电极的压电薄膜的各层间的密合性的功能。光学调整层19(Index matching layer)(也称为折射率调整层)具有调整带有透明电极的压电薄膜的光的反射率的功能。光学调整层19可以是2层以上的多层膜。防粘连层20具有防止经重叠的或经卷绕的带有透明电极的压电薄膜彼此压接(粘连)的功能。防粘连层20可以是2层以上的多层膜。
图5示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第5例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜105是在本发明的带有透明电极的压电薄膜101的具有压电性的涂层12与第1透明电极14之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
例如对图5中使用光学调整层19的情况进行说明。作为一个例子，作为具有压电性的涂层12的厚度，可列举出0.5～10μm；作为光学调整层19的厚度，可列举出80～160nm；作为第1透明电极14的厚度，可列举出20nm以上。另外，作为一个例子，作为具有压电性的涂层12的折射率，可列举出1.40～1.50；作为光学调整层19的折射率，可列举出1.50～1.70；作为第1透明电极14的折射率，可列举出1.90～2.10。另外，将基材薄膜11的厚度设为2～100μm、将折射率设为1.50～1.70。通过设为以上的厚度和折射率，而使第1透明电极14与光学调整层19的反射率差为2.0％以下，外观变得良好。
需要说明的是，图2的压电薄膜102中，可以在基材薄膜11与第2透明电极15之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者。
图6示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第6例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜106是在本发明的带有透明电极的压电薄膜102的具有压电性的涂层12与第1透明电极14之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图7示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第7例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜107是在本发明的带有透明电极的压电薄膜103的具有压电性的涂层12与第1透明电极14之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图8示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第8例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜108是在本发明的带有透明电极的压电薄膜104的具有压电性的涂层12与第1透明电极14之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图9示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第9例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜109是在本发明的带有透明电极的压电薄膜101的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图10示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第10例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜110是在本发明的带有透明电极的压电薄膜102的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图11示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第11例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜111是在本发明的带有透明电极的压电薄膜103的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图12示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第12例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜112是在本发明的带有透明电极的压电薄膜104的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图13示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第13例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜113是在本发明的带有透明电极的压电薄膜105的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图14示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第14例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜114是在本发明的带有透明电极的压电薄膜106的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图15示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第15例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜115是在本发明的带有透明电极的压电薄膜107的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图16示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第16例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜116是在本发明的带有透明电极的压电薄膜108的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图17示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第17例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜117是在本发明的带有透明电极的压电薄膜101的第1基材薄膜11的、与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面层叠至少1层防粘连层20而成的。
图18示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第18例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜118是在本发明的带有透明电极的压电薄膜103的第2基材薄膜17的、与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面层叠至少1层防粘连层20而成的。
图19示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第19例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜119是在本发明的带有透明电极的压电薄膜104的第2基材薄膜17的、与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面层叠至少1层防粘连层20而成的。
图20示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第20例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜120是在本发明的带有透明电极的压电薄膜105的第1基材薄膜11的、与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面层叠至少1层防粘连层20而成的。
图21示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第21例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜121是在本发明的带有透明电极的压电薄膜107的第2基材薄膜17的、与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面层叠至少1层防粘连层20而成的。
图22示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第22例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜122是在本发明的带有透明电极的压电薄膜108的第2基材薄膜17的、与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面层叠至少1层防粘连层20而成的。
图23示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第23例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜123具备包含第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12的层叠体的压电薄膜13。在第1基材薄膜11的与具有压电性的涂层12处于相反侧的表面层叠有至少1层第1透明电极14。
图24示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第24例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜124是在本发明的带有透明电极的压电薄膜123的具有压电性的涂层12的与第1基材薄膜11处于相反侧的表面层叠至少1层第2透明电极15而成的。
图25示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第25例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜125是在本发明的带有透明电极的压电薄膜123的具有压电性的涂层12的与第1基材薄膜11处于相反侧的表面进一步层叠至少1层透明粘合层21、至少1层第2透明电极15、至少1层第2基材薄膜17而成的。
图26示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第26例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜126是在本发明的带有透明电极的压电薄膜125的第2透明电极15与第2基材薄膜17之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图27示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第27例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜127是在本发明的带有透明电极的压电薄膜123的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图28示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第28例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜128是在本发明的带有透明电极的压电薄膜124的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图29示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第29例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜129是在本发明的带有透明电极的压电薄膜125的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图30示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第30例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜130是在本发明的带有透明电极的压电薄膜126的第1基材薄膜11与具有压电性的涂层12之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图31示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第31例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜131是在本发明的带有透明电极的压电薄膜123的第1基材薄膜11与第1透明电极14之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图32示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第32例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜132是在本发明的带有透明电极的压电薄膜124的第1基材薄膜11与第1透明电极14之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图33示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第33例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜133是在本发明的带有透明电极的压电薄膜125的第1基材薄膜11与第1透明电极14之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图34示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第34例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜134是在本发明的带有透明电极的压电薄膜126的第1基材薄膜11与第1透明电极14之间层叠至少一层的选自底涂层18、光学调整层19和防粘连层20中的任一者而成的。
图35示出本发明的带有透明电极的压电薄膜的第35例的示意图。本发明的带有透明电极的压电薄膜135是在本发明的带有透明电极的压电薄膜125的第2基材薄膜17的、与第2透明电极15处于相反侧的表面层叠至少1层防粘连层20而成的。
[基材薄膜]
第1基材薄膜11和第2基材薄膜17例如由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚烯烃、聚环烯烃、环烯烃共聚物、聚碳酸酯、聚醚砜、聚芳酯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚苯乙烯、聚降冰片烯等高分子薄膜构成。第1基材薄膜11和第2基材薄膜17的材料不限定于这些，优选透明性、耐热性和机械特性优异的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。
第1基材薄膜11和第2基材薄膜17的厚度优选为10μm～200μm，但不限定于这些。其中，第1基材薄膜11和第2基材薄膜17的厚度低于10μm时，有操作变得困难的担心。另外第1基材薄膜11和第2基材薄膜17的厚度超过200μm时，有难以将带有透明电极的压电薄膜(101～135)卷绕成卷的担心。另外第1基材薄膜11和第2基材薄膜17的厚度超过200μm时，有将带有透明电极的压电薄膜(101～135)安装于触摸面板等上时厚度变得过厚的担心。
[具有压电性的涂层]
具有压电性的涂层12的材料只要是能在第1基材薄膜11的表面涂布成薄膜状且涂布后的薄膜具有压电性的材料就没有特别限定。对于具有压电性的涂层12，理想的是即使不进行极化(极化处理)也显示出压电性的涂层，但也可以是在极化后显示出压电性的涂层。
作为极化(极化处理)，有非接触式极化和接触式极化。对于非接触式极化，例如，通过对涂层12进行电晕放电处理而使涂层12极化。对于接触式极化，例如用2张金属板夹持涂层12，在2张金属板之间施加电压来使涂层12极化。
具有压电性的涂层12例如可通过如下方式得到：使具有压电性的涂层12的材料溶解于溶剂中制成溶液，用棒涂机、凹版涂布机等已知的涂布装置较薄且均匀地涂布于基材薄膜的表面，然后使其干燥，从而得到。
[具有压电性的涂层的材料]
具有压电性的涂层12的材料例如可适宜使用包含氟树脂的材料。具体地示例出包含氟树脂的材料时，可列举出：偏氟乙烯的聚合物、偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物、偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物、六氟丙烯与偏氟乙烯的共聚物、全氟乙烯基醚与偏氟乙烯的共聚物、四氟乙烯与偏氟乙烯的共聚物、六氟环氧丙烷与偏氟乙烯的共聚物、六氟丙烯与四氟乙烯与偏氟乙烯的共聚物。这些聚合物可以单独使用或使用混合体。
包含氟树脂的材料优选为偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物、或偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物。将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物称为2元系共聚物。将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物称为3元系共聚物。
将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)用作具有压电性的涂层12的材料时，偏氟乙烯与三氟乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(50～85)：(50～15)的范围是适宜的。
另外，将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)用作具有压电性的涂层12的材料时，偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(63～65)：(27～29)：(10～6)的范围是适宜的。
[具有压电性的涂层的厚度]
具有压电性的涂层12的厚度没有限定，考虑到后述的光学特性时，优选0.5μm～20μm、更优选0.5μm～10μm、进一步优选0.5μm～5μm。具有压电性的涂层12的厚度低于0.5μm时，有所形成的膜变得不完整的担心。具有压电性的涂层12的厚度超过20μm时，有光学特性(雾度值和总透光率)变得不适合的担心。
[透明电极]
第1透明电极14和第2透明电极15只要在可见光区域(380nm～780nm)具有透光性且具有导电性，其构成和材料就没有特别限定。第1透明电极14和第2透明电极15例如是以金属的导电性氧化物(例如铟氧化物)作为主要成分的透明薄膜、或是以含有主要金属(例如铟)和1种以上的杂质金属(例如锡)的复合金属氧化物作为主要成分的透明薄膜。
作为第1透明电极14和第2透明电极15，例如可使用铟氧化物、铟锡氧化物(ITO：Indium Tin Oxide)、铟锌氧化物(IZO：Indium Zinc Oxide)、铟镓锌氧化物(IGZO：IndiumGallium Zinc Oxide)等铟系复合氧化物，从低电阻率、透明色相的观点出发，特别优选铟锡氧化物(ITO)。
铟系复合氧化物具有如下特征：在可见光区域透过率高达80％以上，且每单位面积的表面电阻值低至30Ω/□～1000Ω/□(ohms per square)。铟系复合氧化物的每单位面积的表面电阻值优选300Ω/□以下、更优选150Ω/□以下。
第1透明电极14和第2透明电极15中还可以进一步包含钛Ti、镁Mg、铝Al、金Au、银Ag、铜Cu等杂质金属元素。第1透明电极14和第2透明电极15可利用溅射法、真空蒸镀法等而形成，但制备方法不限定于此。
利用铟锡氧化物(ITO)形成第1透明电极14和第2透明电极15时，铟锡氧化物(ITO)中的氧化锡(SnO2)的量相对于氧化铟(In2O3)和氧化锡(SnO2)的总量，优选为0.5重量％～15重量％、更优选为3重量％～15重量％、进一步优选为5重量％～13重量％。氧化锡(SnO2)低于0.5重量％时，有第1透明电极14和第2透明电极15的表面电阻值增高的担心。氧化锡(SnO2)超过5重量％时，有失去第1透明电极14和第2透明电极15的面内表面电阻值的均匀性的担心。
在低温下形成的、例如包含铟锡氧化物(ITO)的第1透明电极14和第2透明电极15为非晶质，通过对其进行加热处理而能从非晶质转化为结晶质。若第1透明电极14和第2透明电极15转化为结晶质，则其表面电阻值降低。因此，理想的是，第1透明电极14和第2透明电极15是结晶质。将第1透明电极14和第2透明电极15转化为结晶质时的热处理条件适宜的是80℃～200℃，但从生产率的观点出发，优选140℃以下、30分钟以下。
第1透明电极14和第2透明电极15的厚度优选为15nm～50nm。第1透明电极14和第2透明电极15的厚度低于15nm时，有第1透明电极14和第2透明电极15的表面电阻值上升的担心。第1透明电极14和第2透明电极15的厚度超过50nm时，有第1透明电极14和第2透明电极15的总透光率的降低、由内部应力的上升导致的裂纹产生的担心。第1透明电极14和第2透明电极15可以是2层以上的透明导电膜层叠而成的层叠膜。
第1透明电极14和第2透明电极15可以是聚乙烯二氧噻吩(PEDOT：PSS)、聚吡咯、聚苯胺等导电性高分子的薄膜。另外，第1透明电极14和第2透明电极15可以是线径为5μm～10μm左右的银、铜的极细金属线在透明薄膜上形成为网格状而成的导电性极细网。或者，第1透明电极14和第2透明电极15还可以是包含碳纳米纤维、银纳米线、石墨烯等的薄膜。
[透明粘合层]
透明粘合层21优选由光学透明粘合剂形成。例如，可以使用光学透明粘合剂的片来形成透明粘合层21。还可以使用透明粘接层代替透明粘合层21。在此情况下，透明粘接层优选由光学透明粘接剂形成。例如，可以涂布液态的光学透明粘接剂，照射紫外线并使其固化而形成透明粘接层。理想的是，透明粘合层21或透明粘接层的折射率是层叠于其两侧的材料各自的折射率的中间值。通过如此选择透明粘合层21或透明粘接层的折射率，从而能够抑制透明粘合层21或透明粘接层与层叠于其两侧的材料的界面处的光的反射。
[带有透明电极的压电薄膜的光学特性]
通常，即使雾度值变大，有时光也不被吸收而散射，因此有时总透光率不会降低。然而，即使总透光率不降低，也因雾度值变大而显示器图像的可视性降低。因此仅通过总透光率的值无法判断显示器图像的可视性。根据本申请发明人的实验，为了清晰地辨认位于带有透明电极的压电薄膜背面的显示器的图像，带有透明电极的压电薄膜的雾度值优选5％以下、更优选4％以下、进一步优选3％以下、特别优选2％以下、最优选1％以下。带有透明电极的压电薄膜的总透光率优选82％以上、更优选85％以上、进一步优选86％以上、特别优选88％以上。带有透明电极的压电薄膜的雾度值超过5％时或总透光率低于82％时，有无法清晰地辨认显示器的图像的担心。
实施例
[实施例1]
[压电薄膜]
实施例1的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的压电薄膜13通过如下方式制作：在第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的表面首先形成未图示的易粘接层，接着涂布偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的溶液，从而制作。第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的厚度为23μm。
在制作具有压电性的涂层12时，首先，利用超声波将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)溶解在常温的甲乙酮中，制作了偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的溶液。偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)中包含的偏氟乙烯与三氟乙烯的摩尔比为75/25。
接着，利用棒涂机将偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的溶液涂布于第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的表面。接着在60℃、5分钟的干燥条件下对第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)和未干燥的涂层进行干燥，得到具有压电性的涂层12。干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为5μm。
[透明电极]
将层叠有具有压电性的涂层12的第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)设置在溅射装置上，利用溅射法将厚度25nm的由铟锡氧化物(ITO)构成的第1透明电极14在具有压电性的涂层12的表面成膜。此时，设为氩气：氧气的压力比为99：1且总气压为0.3Pa的溅射气氛，投入功率密度1.0W/cm2的电力，对由10重量％的氧化锡和90重量％的氧化铟的烧结体构成的铟锡氧化物靶进行溅射，使第1透明电极14成膜。
接着，在第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的表面，以与第1透明电极14相同的成膜条件使第2透明电极15成膜。如此制作了带有透明电极的压电薄膜。在该阶段中，第1透明电极14和第2透明电极15为非晶质。
[透明电极的结晶化]
在加热烘箱中对第1透明电极14和第2透明电极15为非晶质的带有透明电极的压电薄膜进行80℃、12小时加热，来进行第1透明电极14和第2透明电极15的结晶化处理，得到第1透明电极14和第2透明电极15为结晶质的带有透明电极的压电薄膜。结晶化后的第1透明电极14和第2透明电极15的表面电阻值分别为150Ω/□。
[实施例2]
实施例2的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第1例(101)的构成构成。实施例2的带有透明电极的压电薄膜中包含的压电薄膜13与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的压电薄膜13同样地制作。使实施例2的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14同样地成膜，实施至对第1透明电极14进行结晶化的工序为止。
[实施例3]
实施例3的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第23例(123)的构成构成。实施例3的带有透明电极的压电薄膜中包含的压电薄膜13与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的压电薄膜13同样地制作。使实施例3的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14同样地成膜，实施至对第1透明电极14进行结晶化的工序为止。
[实施例4]
实施例4的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。对于实施例4的带有透明电极的压电薄膜，具有压电性的涂层12的厚度为1μm，除此以外与实施例1同样地制作。
[实施例5]
实施例5的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。对于实施例5的带有透明电极的压电薄膜，具有压电性的涂层12的厚度为10μm，除此以外与实施例1的带有透明电极的压电薄膜同样地制作。
[实施例6]
实施例6的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。对于实施例6的带有透明电极的压电薄膜，具有压电性的涂层12的厚度为20μm，除此以外与实施例1的带有透明电极的压电薄膜同样地制作。
[实施例7]
实施例7的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第25例(125)的构成构成。实施例7的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14、第1基材薄膜11、具有压电性的涂层12与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14、第1基材薄膜11、具有压电性的涂层12同样地制作，实施至对第1透明电极14进行结晶化的工序为止。
实施例7的带有透明电极的压电薄膜中包含的第2透明电极15、第2基材薄膜17与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14、第1基材薄膜11同样地制作，实施至对第2透明电极15进行结晶化的工序为止。
最后，使用透明粘合层21将具有压电性的涂层12与第2透明电极15贴合并进行固定。由此可以得到依次层叠第1透明电极14、第1基材薄膜11、具有压电性的涂层12、透明粘合层21、第2透明电极15、第2基材薄膜17而成的实施例7的带有透明电极的压电薄膜。作为透明粘合层21，使用丙烯酸系粘合剂(日东电工株式会社制)。
[实施例8]
实施例8的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第3例(103)的构成构成。实施例8的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14、具有压电性的涂层12、第1基材薄膜11与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14、具有压电性的涂层12、第1基材薄膜11同样地制作。
实施例8的带有透明电极的压电薄膜中包含的第2透明电极15、第2基材薄膜17与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14、第1基材薄膜11同样地制作，实施至对第2透明电极15进行结晶化的工序为止。
最后，使用透明粘合层21将第1基材薄膜11与第2透明电极15贴合并进行固定。由此可以得到依次层叠第1透明电极14、具有压电性的涂层12、第1基材薄膜11、透明粘合层21、第2透明电极15、第2基材薄膜17而成的实施例8的带有透明电极的压电薄膜。作为透明粘合层21，使用丙烯酸系粘合剂(日东电工株式会社制)。
[实施例9]
实施例9的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。对于实施例9的带有透明电极的压电薄膜，第1透明电极14和第2透明电极15未实施结晶化处理，因而为非晶质，厚度分别为20nm，除此以外与实施例1的带有透明电极的压电薄膜同样地制作。
[实施例10]
实施例10的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。实施例10的带有透明电极的压电薄膜的第1透明电极14和第2透明电极15的厚度分别为40nm，除此以外与实施例1的带有透明电极的压电薄膜同样地制作。
[实施例11]
实施例11的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。对于实施例11的带有透明电极的压电薄膜，第1透明电极14和第2透明电极15未实施结晶化处理，因而为非晶质，除此以外与实施例1的带有透明电极的压电薄膜同样地制作。
[实施例12]
实施例12的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。对于实施例12的带有透明电极的压电薄膜，具有压电性的涂层12的材料为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)，除此以外与实施例1的带有透明电极的压电薄膜同样地制作。
在制作具有压电性的涂层12时，首先，利用超声波将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)溶解于常温的甲基异丁基酮中，制作了偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)的溶液。偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)中包含的偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的摩尔比为64.2/27.1/8.7。
接着利用棒涂机将偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)的溶液涂布于第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)的表面。接着，在60℃、5分钟的干燥条件下对第1基材薄膜11(聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜)和未干燥的涂层进行干燥，从而得到具有压电性的涂层12。干燥后的具有压电性的涂层12的厚度为1μm。
[实施例13]
实施例13的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。对于实施例13的带有透明电极的压电薄膜，具有压电性的涂层12的厚度为5μm，除此以外与实施例12的带有透明电极的压电薄膜同样地制作。
[实施例14]
实施例14的带有透明电极的压电薄膜由本发明的带有透明电极的压电薄膜的第2例(102)的构成构成。对于实施例14的带有透明电极的压电薄膜，具有压电性的涂层12的厚度为10μm，除此以外与实施例12的带有透明电极的压电薄膜同样地制作。
[比较例1]
比较例1的带有透明电极的压电薄膜是用第1透明电极夹持独立的偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)的薄膜的一面、用第2透明电极夹持另一面地进行层叠而成的构成。偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)的薄膜的厚度为40μm。厚度40μm的偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)的薄膜通过如下方式制作：将利用超声波使偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)溶解于常温的甲基异丁基酮中而得到的溶液以干燥后的厚度为40μm的方式涂布于聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜的表面，干燥后剥离了聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜。比较例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极和第2透明电极与实施例1的带有透明电极的压电薄膜中包含的第1透明电极14和第2透明电极15同样地制作。
[表1]
表1示出本发明的压电薄膜的实施例和比较例的构成、具有压电性的层的种类和摩尔比和厚度、第1和第2透明电极的状态(结晶性)和厚度、没有透明电极时和有透明电极时的总透光率、有透明电极时的雾度值。表1中，VDF表示偏氟乙烯，TrFE表示三氟乙烯，CTFE表示三氟氯乙烯。P()表示共聚物。因此，“P(VDF-TrFE)”是指“偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物”。另外，“P(VDF-TrFE-CTFE)”是指“偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物”。PVDF是指偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)。
若对实施例1和实施例2进行比较，则可知的是在层叠了第2透明电极15的情况下，总透光率变小，但雾度值未发生变化。
若对实施例2和实施例3进行比较，则可知的是即使使具有压电性的涂层12和第1基材薄膜11的层叠顺序相反，总透光率和雾度值也未发生变化。
若对实施例1和实施例4进行比较，则可知的是即使具有压电性的涂层12的厚度变为1/5，总透光率和雾度值也未发生变化。
若对实施例1和实施例5进行比较，则可知的是即使具有压电性的涂层12的厚度变为2倍，总透光率和雾度值也未发生变化。
若对实施例1和实施例6进行比较，则可知的是具有压电性的涂层12的厚度为4倍时，总透光率未发生变化，但雾度值变大。
若对实施例1和实施例7进行比较，则可知的是即使层叠透明粘合层21和第2基材薄膜17，总透光率和雾度值也未发生变化。
若对实施例7和实施例8进行比较，则可知的是即使使第1基材薄膜11和具有压电性的涂层12的层叠顺序相反，总透光率和雾度值也未发生变化。
若对实施例1和实施例9进行比较，则可知的是厚度25nm的结晶质的第1透明电极14和第2透明电极15与厚度20nm的非晶质的第1透明电极14和第2透明电极15相比总透光率更高，但雾度值是同等的。
若对实施例1和实施例10进行比较，则可知的是结晶质的第1透明电极14和第2透明电极15变厚时，总透光率降低，但雾度值未发生变化。
若对实施例10和实施例11进行比较，则可知的是厚度40nm的结晶质的第1透明电极14和第2透明电极15、与厚度25nm的非晶质的第1透明电极14和第2透明电极15的总透光率和雾度值是同等的。
若对实施例4和实施例12进行比较，则可知的是具有压电性的涂层12的厚度薄的情况下，具有压电性的涂层12为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)的情况与偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的情况相比，总透光率和雾度值是同等的。
若对实施例1和实施例13进行比较，则可知的是具有压电性的涂层12的厚度不薄的情况下，具有压电性的涂层12为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)的情况与偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的情况相比，总透光率未发生变化，但雾度值变大。
若对实施例5和实施例14进行比较，则可知的是具有压电性的涂层12的厚度厚的情况下，具有压电性的涂层12为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)的情况与偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的情况相比，总透光率未发生变化，但雾度值变大。
若对实施例12～实施例14进行比较，则可知的是具有压电性的涂层12为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物(3元系共聚物)的情况下，随着具有压电性的涂层12变厚，总透光率未发生变化，但雾度值变大。然而实施例12～实施例14的总透光率和雾度值是全部没有问题的水平。
若对实施例1、实施例4、实施例5进行比较，则可知的是具有压电性的涂层12为偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物(2元系共聚物)的情况下，即使具有压电性的涂层12变厚，总透光率和雾度值也未发生变化。
若对实施例1、实施例4、实施例5、实施例9～实施例11与比较例1进行比较，则使用了独立的偏氟乙烯的聚合物(聚偏氟乙烯)的薄膜的带有透明电极的压电薄膜与使用了具有压电性的涂层12的带有透明电极的压电薄膜相比，总透光率为同等程度，但雾度值显著增大。由比较例1可知，即使雾度值变大，总透光率也不一定降低。
[测定方法]
[厚度]
对于低于1μm的膜的厚度，使用透射型电子显微镜(日立制作所制H-7650)观察并测定截面。超过1μm的膜或薄膜的厚度使用膜厚仪(Peacock公司制数字千分表DG-205)进行测定。
[雾度值、总透光率]
雾度值、总透光率使用Direct Reading Haze Computer(Suga Test Instruments公司制HGM-ZDP)进行测定。
[实施例15～20]
另外，图5中测定了具有压电性的涂层12、光学调整层19、第1透明电极14的厚度和折射率。压电薄膜13是与上述实施例相同在PET薄膜上涂布偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物而成的。
光学调整层19如以下的表2所示，折射率分别为1.54、1.62、1.7的情况。制造方法根据折射率的不同而异，因此依据折射率分别进行说明。折射率为1.54时，在具有压电性的涂层12的一面通过三聚氰胺树脂：醇酸树脂：有机硅烷缩合物的重量比2：2：1的热固化型树脂(光的折射率n＝1.54)形成了厚度为120nm的光学调整层19。
折射率为1.62时，使用凹版涂布机在具有压电性的涂层12的一面涂布含有紫外线固化性树脂47质量份、氧化锆颗粒(中值粒径40nm)57质量份和PGME的光学调整组合物(JSR公司制，“OPSTAR Z7412”、固体成分12质量％)，在无风状态(低于0.1m/秒)下立即以60℃加热干燥1分钟。然后，利用高压汞灯照射累积光量250mJ/cm2的紫外线而实施了固化处理。利用该方法在具有压电性的涂层12上形成了厚度为90、120、或150nm且折射率为1.62的光学调整层19。
折射率为1.7时，制备了在包含三聚氰胺树脂、醇酸树脂和有机硅烷缩合物的热固化型树脂(以重量比计三聚氰胺树脂：醇酸树脂：有机硅烷缩合物＝2：2：1)中混合了TiO2(折射率＝2.35)的微粒而成的树脂组合物。此时，调整了TiO2微粒的混合量使得上述树脂组合物的折射率成为1.70。然后，在具有压电性的涂层12上涂布上述树脂组合物，并使其固化，而形成了厚度150nm的光学调整层19(折射率1.70)。
另外，第1透明电极14通过对铟锡氧化物进行溅射而成膜。需要说明的是，虽然图5中未示出，但在第1基材薄膜11的与具有压电性的涂层12相反的面形成了具有防粘连功能的硬涂层。
将该结果示于表2，“第1层”为具有压电性的涂层12，“第2层”为光学调整层19，“第3层”为第1透明电极14。各实施例如上所述具有压电性的涂层12的厚度为0.5～10μm，光学调整层19的厚度为80～160nm，第1透明电极14的厚度为20nm以上。另外，具有压电性的涂层12的折射率为1.40～1.50，光学调整层19的折射率为1.50～1.70，第1透明电极14的折射率为1.90～2.10。第1透明电极14与光学调整层19的反射率差为2％以下，外观良好。
需要说明的是，根据需要对第1透明电极14进行蚀刻而成为期望的电极等。求出上述折射率时，光学调整层19的折射率使用通过蚀刻去除了第1透明电极14后的部分。因此，通过由各折射率求出空气与第1透明电极14、空气与光学调整层19的反射率，由此求出反射率差。
[比较例2～3]
作为相对于实施例15～20的比较例，进行了没有光学调整层19的情况(比较例2)和光学调整层19的折射率小于1.5的情况(比较例3)。没有光学调整层19的情况下，反射率差是第1透明电极14与具有压电性的涂层12的差。反射率差大于2％，外观变差。
需要说明的是，对于折射率为1.46时(比较例4)的光学调整层19，以固体成分浓度成为2％的方式用乙醇稀释硅溶胶(Colcoat Co.,Ltd.制，Colcoat P)，利用二氧化硅涂布法涂布于具有压电性的涂层12的一面上，然后在150℃下使其干燥、固化2分钟，形成厚度为120nm的层(SiO2膜，光的折射率1.46)而作为光学调整层19。比较例中其它构成的制造方法与实施例相同。
[表2]
通过在具有压电性的涂层12上具备第1透明电极14，从而有时因透明电极14呈现出黄色或茶色而使外观受损。可知的是：通过如上述实施例那样设置光学调整层19，并以成为上述值的范围的方式调节透明电极14、光学调整层19、具有压电性的涂层12的厚度和折射率，由此能如表2所示那样减小反射率差，不会损害外观。可知的是，即使在显示器的前表面配置在压电薄膜13上层叠光学调整层19和透明电极14而成的构成，也不易损害显示器的外观。
产业上的可利用性
本发明的带有透明电极的压电薄膜的利用没有限制，特别适于用作触摸面板的Z坐标(手指触摸的压力)检测用压电薄膜。
附图标记说明
101～135 压电薄膜
11 第1基材薄膜
12 具有压电性的涂层
13 压电薄膜
14 第1透明电极
15 第2透明电极
17 第2基材薄膜
18 底涂层
19 光学调整层
20 防粘连层
21 透明粘合层

Claims (31)

1.一种带有透明电极的压电薄膜，其具备：
包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；及
在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。
2.根据权利要求1所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面具备至少1层第2透明电极。
3.根据权利要求1所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面进一步依次设置的、至少1层透明粘合层、至少1层第2透明电极、至少1层第2基材薄膜。
4.根据权利要求3所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第2透明电极与所述第2基材薄膜之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述具有压电性的涂层与所述第1透明电极之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
6.根据权利要求5所述的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层的厚度为0.5～10μm，光学调整层的厚度为80～160nm，第1透明电极的厚度为20nm以上。
7.根据权利要求5或6所述的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层的折射率为1.40～1.50，光学调整层的折射率为1.50～1.70，第1透明电极的折射率为1.90～2.10。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜与所述具有压电性的涂层之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
9.根据权利要求1～7中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述第1基材薄膜或第2基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面设置的至少1层防粘连层。
10.一种带有透明电极的压电薄膜，其具备：
包含第1基材薄膜与具有压电性的涂层的层叠体的压电薄膜；及
在所述第1基材薄膜的、与所述具有压电性的涂层处于相反侧的表面设置的至少1层第1透明电极。
11.根据权利要求10所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面具备至少1层第2透明电极。
12.根据权利要求10所述的带有透明电极的压电薄膜，其具备：在所述具有压电性的涂层的、与所述第1基材薄膜处于相反侧的表面进一步依次设置的、至少1层透明粘合层、至少1层第2透明电极、至少1层第2基材薄膜。
13.根据权利要求12所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第2透明电极与所述第2基材薄膜之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
14.根据权利要求10～13中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜与所述具有压电性的涂层之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
15.根据权利要求10～13中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第1基材薄膜与所述第1透明电极之间具备至少一层的选自底涂层、光学调整层和防粘连层中的任一者。
16.根据权利要求12所述的带有透明电极的压电薄膜，其在所述第2基材薄膜的、与所述第2透明电极处于相反侧的表面具备至少1层防粘连层。
17.根据权利要求1～16中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层包含氟树脂。
18.根据权利要求17所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述氟树脂为偏氟乙烯的聚合物、或选自偏氟乙烯、三氟乙烯、三氟氯乙烯中的2种以上的共聚物。
19.根据权利要求18所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述氟树脂为偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物，所述共聚物中包含的所述偏氟乙烯与所述三氟乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(50～85)：(50～15)的范围。
20.根据权利要求18所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述氟树脂为偏氟乙烯与三氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物，所述共聚物中包含的所述偏氟乙烯与所述三氟乙烯与所述三氟氯乙烯的摩尔比在将整体设为100时为(63～65)：(27～29)：(10～6)的范围。
21.根据权利要求18～20中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层是通过将所述氟树脂的溶液涂布于所述第1基材薄膜并进行干燥而得到的涂层。
22.根据权利要求1～21中任一项所述的压电薄膜，其中，所述具有压电性的涂层的厚度为0.5μm～20μm。
23.根据权利要求1～22中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述第1透明电极和所述第2透明电极中的任一者或两者进行了图案化。
24.根据权利要求1～23中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述第1透明电极和所述第2透明电极中的任一者或两者包含铟。
25.根据权利要求1～24中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述第1透明电极和所述第2透明电极中的任一者或两者包含铟锡氧化物(氧化铟锡；ITO)。
26.根据权利要求25所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述第1透明电极和所述第2透明电极中的任一者或两者的厚度为15nm～50nm。
27.根据权利要求24～26中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述第1透明电极和所述第2透明电极中的任一者或两者为结晶质。
28.根据权利要求1～27中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其中，所述基材薄膜的材料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚烯烃、聚环烯烃、环烯烃共聚物、聚碳酸酯、聚醚砜、聚芳酯、聚酰亚胺、聚酰胺、聚苯乙烯、聚降冰片烯中的至少1种。
29.根据权利要求1～28中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其雾度值为5％以下。
30.根据权利要求1～29中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜，其总透光率为82％以上。
31.一种压力传感器，其具备权利要求1～30中任一项所述的带有透明电极的压电薄膜。
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