WO2017209081A1 - 透明電極付き圧電フィルムおよび圧力センサ - Google Patents

透明電極付き圧電フィルムおよび圧力センサ Download PDF

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transparent electrode
piezoelectric film
layer
film
piezoelectric
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基希 拝師
孝伸 矢野
浩史 別府
憲俊 木曽
智剛 梨木
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日東電工株式会社
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    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
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    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/043—Improving the adhesiveness of the coatings per se, e.g. forming primers
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    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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    • C08J7/04—Coating
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    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H—ELECTRICITY
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    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/857—Macromolecular compositions
    • H—ELECTRICITY
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    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals

Definitions

  • the present invention relates to a piezoelectric film with a transparent electrode and a pressure sensor.
  • a touch panel detects a two-dimensional position on the surface of a finger or pen that touches the surface of the touch panel.
  • finger or pen is simply referred to as “finger”, and the two-dimensional position of the finger or pen on the touch panel surface is referred to as “finger XY coordinates”.
  • the pressure with which the finger touches cannot be detected.
  • the magnitude of the pressure touched by the finger is considered to be in the Z-axis direction and is referred to as the “Z coordinate of the finger”.
  • Z coordinate of the finger In other words, regardless of the magnitude of the pressure touched by the finger (Z coordinate of the finger) Only the XY coordinates of the finger touch position are detected.
  • Such a touch panel that can detect the pressure (Z coordinate of the finger) touched by a finger is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-26938.
  • a laminate in which transparent electrodes are laminated on both sides of a piezoelectric layer containing a polyvinylidene fluoride-tetrafluoroethylene copolymer is used.
  • the thickness of the piezoelectric layer containing the polyvinylidene fluoride-tetrafluoroethylene copolymer is 20 ⁇ m to 300 ⁇ m.
  • Patent Document 1 Since the piezoelectric layer containing the polyvinylidene fluoride-tetrafluoroethylene copolymer of Patent Document 1 is described as being produced by a casting method or an extrusion method, a self-supporting film (a film not laminated on another film) )it is conceivable that.
  • Patent Document 1 describes that a piezoelectric layer containing a polyvinylidene fluoride-tetrafluoroethylene copolymer has a haze value (cloudiness value) of 5% to 7% and a total light transmittance of 95%.
  • the haze value and total light transmittance in the examples of Patent Document 1 are values of the piezoelectric layer alone containing the polyvinylidene fluoride-tetrafluoroethylene copolymer before the transparent electrode is laminated.
  • the total light transmittance is considered to decrease, but the measured value is not described.
  • the visibility of the image on the display on the back of the touch panel is affected at least by the haze value and the total light transmittance.
  • a touch panel is formed by either or both of the haze value and the total light transmittance.
  • an object of the present invention is to realize a piezoelectric film with a transparent electrode having a small haze value and a high total light transmittance.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention is a first base film comprising a piezoelectric film including a laminate of a first base film and a piezoelectric coating layer, and a piezoelectric coating layer. And a first transparent electrode of at least one layer provided on a surface opposite to the first electrode.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further comprises at least one second transparent electrode on the surface of the first base film opposite to the coating layer having piezoelectricity.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further comprises at least one transparent layer provided on the surface of the first base film opposite to the coating layer having piezoelectricity in the following order.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further includes at least one of an undercoat layer, an optical adjustment layer, and an antiblocking layer between the second transparent electrode and the second base film. .
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further includes at least one of an undercoat layer, an optical adjustment layer, and an antiblocking layer between the coating layer having piezoelectricity and the first transparent electrode. .
  • the thickness of the coating layer having piezoelectricity is 0.5 to 10 ⁇ m
  • the thickness of the optical adjustment layer is 80 to 160 nm
  • the thickness of the first transparent electrode is 20 nm or more. It is.
  • the refractive index of the coating layer having piezoelectricity is 1.40 to 1.50
  • the refractive index of the optical adjustment layer is 1.50 to 1.70
  • the transparent electrode has a refractive index of 1.90 to 2.10.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further includes at least one of an undercoat layer, an optical adjustment layer, and an antiblocking layer between the first base film and the coating layer having piezoelectricity.
  • the transparent electrode-attached piezoelectric film of the present invention is further provided with at least one anti-layer layer provided on the surface of the first base film or the second base film opposite to the piezoelectric coating layer. A blocking layer is provided.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention includes a piezoelectric film including a laminate of a first base film and a coating layer having piezoelectricity, and a coating layer having piezoelectricity of the first base film.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode according to the present invention further includes at least one second transparent electrode on the surface of the coating layer having piezoelectricity opposite to the first base film.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention is further provided with at least one transparent layer further provided in the following order on the surface opposite to the first base film of the coating layer having piezoelectricity.
  • An adhesive layer, at least one second transparent electrode, and at least one second base film are provided.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further includes at least one of an undercoat layer, an optical adjustment layer, and an antiblocking layer between the second transparent electrode and the second base film. .
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further includes at least one of an undercoat layer, an optical adjustment layer, and an antiblocking layer between the first base film and the coating layer having piezoelectricity.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further includes at least one of an undercoat layer, an optical adjustment layer, and an antiblocking layer between the first base film and the first transparent electrode.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention further includes at least one anti-blocking layer on the surface of the second base film opposite to the second transparent electrode.
  • the coating layer having piezoelectricity contains a fluororesin.
  • the fluororesin is a polymer of vinylidene fluoride, or two or more kinds of co-polymers of (vinylidene fluoride, trifluoroethylene, chlorotrifluoroethylene) It is a coalescence.
  • the fluororesin is a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene, and the molar ratio of vinylidene fluoride and trifluoroethylene contained in the copolymer is When the whole is 100, the range is (50 to 85) :( 50 to 15).
  • the fluororesin is a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene, and the vinylidene fluoride and trifluoro contained in the copolymer
  • the molar ratio of ethylene to chlorotrifluoroethylene is in the range of (63 to 65) :( 27 to 29) :( 10 to 6), where the total is 100.
  • the coating layer having piezoelectricity is a coating layer obtained by applying and drying a fluororesin solution on the first base film.
  • the thickness of the coating layer having piezoelectricity is 0.5 ⁇ m to 20 ⁇ m.
  • either or both of the first transparent electrode and the second transparent electrode are patterned.
  • either or both of the first transparent electrode and the second transparent electrode contain indium.
  • either or both of the first transparent electrode and the second transparent electrode contain indium tin oxide (ITO).
  • the thickness of either the first transparent electrode or the second transparent electrode or both is 15 nm to 50 nm.
  • either or both of the first transparent electrode and the second transparent electrode are crystalline.
  • the material of the base film is polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyolefin, polycycloolefin, cycloolefin copolymer, polycarbonate, polyethersulfone, polyarylate, polyimide, polyamide , Polystyrene, or polynorbornene.
  • a pressure sensor of the present invention includes the above-described piezoelectric film with a transparent electrode.
  • the piezoelectric layer with a transparent electrode of the present invention since the piezoelectric layer is formed by coating, the thickness of the piezoelectric layer is thinner than the piezoelectric layer made of a conventional self-supporting film. Therefore, the increase in the haze value and the decrease in the total light transmittance due to the piezoelectric layer are less than that of the piezoelectric film made of a self-supporting film. The effect realizes a piezoelectric film with a transparent electrode having a small haze value and a high total light transmittance.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention is used as a Z-coordinate detection piezoelectric film for a touch panel
  • the display on the back of the touch panel has good visibility and has a Z-coordinate (finger pressing force) detection function. Can be realized.
  • the schematic diagram of the 1st example of the piezoelectric film with a transparent electrode of this invention The schematic diagram of the 2nd example of the piezoelectric film with a transparent electrode of this invention
  • the schematic diagram of the 3rd example of the piezoelectric film with a transparent electrode of this invention The schematic diagram of the 4th example of the piezoelectric film with a transparent electrode of this invention
  • Schematic diagram of ninth example of piezoelectric film with transparent electrode of the present invention Schematic diagram of a tenth example of a piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention
  • the piezoelectric film 101 with a transparent electrode of the present invention includes a piezoelectric film 13 made of a laminate of a first base film 11 and a coating layer 12 having piezoelectricity. At least one first transparent electrode 14 is laminated on the coating layer 12 having piezoelectricity.
  • the first transparent electrode 14 having at least one layer means that the first transparent electrode 14 may be a multilayer film having two or more layers.
  • the first transparent electrode 14 may be patterned.
  • An easy adhesion layer (not shown) may be laminated between the first base film 11 and the coating layer 12 having piezoelectricity (the easy adhesion layer is common to the following examples).
  • FIG. 2 shows a schematic diagram of a second example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 102 with a transparent electrode of the present invention is obtained by laminating at least one second transparent electrode 15 on the surface opposite to the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 101 with a transparent electrode of the present invention. It is.
  • the second transparent electrode 15 having at least one layer means that the second transparent electrode 15 may be a multilayer film having two or more layers.
  • the second transparent electrode 15 may be patterned. Between the first base film 11 and the second transparent electrode 15, at least one transparent adhesive layer may be provided.
  • the at least one transparent adhesive layer means that the transparent adhesive layer may be a multilayer film having two or more layers.
  • FIG. 3 shows a schematic diagram of a third example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 103 with a transparent electrode of the present invention has at least one transparent layer on the surface opposite to the piezoelectric coating layer 12 of the first base film 11 of the piezoelectric film 101 with a transparent electrode of the present invention.
  • the adhesive layer 21, at least one second transparent electrode 15, and at least one second base film 17 are laminated.
  • the at least one transparent adhesive layer 21 means that the transparent adhesive layer 21 may be a multilayer film of two or more layers.
  • the second transparent electrode 15 having at least one layer means that the second transparent electrode 15 may be a multilayer film having two or more layers.
  • the second base film 17 having at least one layer means that the second base film 17 may be a multilayer film having two or more layers.
  • FIG. 4 shows a schematic diagram of a fourth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 104 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and an anti-layer between the second transparent electrode 15 and the second base film 17 of the piezoelectric film 103 with a transparent electrode of the present invention. At least one of the blocking layers 20 is laminated.
  • the undercoat layer 18 (or anchor coat layer) has a function of improving the adhesion between the layers of the transparent electrode-attached piezoelectric film.
  • the optical adjustment layer 19 (Index matching layer) (also referred to as a refractive index adjustment layer) has a function of adjusting the light reflectance of the piezoelectric film with a transparent electrode.
  • the optical adjustment layer 19 may be a multilayer film including two or more layers.
  • the anti-blocking layer 20 has a function of preventing the stacked or wound piezoelectric films with transparent electrodes from being pressure-bonded (blocked).
  • the anti-blocking layer 20 may be a multilayer film having two or more layers.
  • FIG. 5 shows a schematic diagram of a fifth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 105 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and an anti-layer between the piezoelectric coating layer 12 having the piezoelectric property of the piezoelectric film 101 with a transparent electrode of the present invention and the first transparent electrode 14. At least one of the blocking layers 20 is laminated.
  • the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity is 0.5 to 10 ⁇ m
  • the thickness of the optical adjustment layer 19 is 80 to 160 nm
  • the thickness of the first transparent electrode 14 is 20 nm or more.
  • the refractive index of the coating layer 12 having piezoelectricity is 1.40 to 1.50
  • the refractive index of the optical adjustment layer 19 is 1.50 to 1.70
  • the refractive index of the first transparent electrode 14 is 1.90.
  • One example is ⁇ 2.10.
  • the thickness of the base film 11 is set to 2 to 100 ⁇ m
  • the refractive index is set to 1.50 to 1.70.
  • the piezoelectric film 102 of FIG. 2 at least one of the undercoat layer 18, the optical adjustment layer 19, and the antiblocking layer 20 is laminated between the base film 11 and the second transparent electrode 15. Also good.
  • FIG. 6 shows a schematic diagram of a sixth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 106 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and an anti-layer between the piezoelectric coating layer 12 and the first transparent electrode 14 of the piezoelectric film 102 with a transparent electrode of the present invention. At least one of the blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 7 shows a schematic diagram of a seventh example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 107 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and an anti-layer between the piezoelectric coating layer 12 and the first transparent electrode 14 of the piezoelectric film 103 with a transparent electrode of the present invention. At least one of the blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 8 shows a schematic diagram of an eighth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 108 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and an anti-layer between the piezoelectric coating layer 12 having the piezoelectric property and the first transparent electrode 14 of the piezoelectric film 104 with a transparent electrode of the present invention.
  • At least one of the blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 9 shows a schematic diagram of a ninth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • a piezoelectric film 109 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 and the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 101 with a transparent electrode of the present invention, and At least one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 10 shows a schematic diagram of a tenth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the transparent electrode-attached piezoelectric film 110 of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and a first base film 11 of the transparent electrode-attached piezoelectric film 102 of the present invention and a coating layer 12 having piezoelectricity, and At least one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 11 shows a schematic diagram of an eleventh example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 111 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 and the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 103 with a transparent electrode of the present invention, and At least one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 12 shows a schematic diagram of a twelfth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 112 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 and the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 104 with a transparent electrode of the present invention, and At least one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 13 shows a schematic diagram of a thirteenth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 113 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 and the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 105 with a transparent electrode of the present invention, and At least one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 14 shows a schematic diagram of a fourteenth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 114 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 and the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 106 with a transparent electrode of the present invention, and At least one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 15 shows a schematic diagram of a fifteenth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 115 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 and the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 107 with a transparent electrode of the present invention, and At least one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 16 shows a schematic diagram of a sixteenth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 116 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 and the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 108 with a transparent electrode of the present invention, and At least one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 17 shows a schematic diagram of a seventeenth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 117 with a transparent electrode of the present invention has at least one anti-blocking layer on the surface of the first base film 11 of the piezoelectric film with a transparent electrode 101 of the present invention opposite to the coating layer 12 having piezoelectricity. 20 is laminated.
  • FIG. 18 shows a schematic diagram of an eighteenth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 118 with a transparent electrode of the present invention has at least one anti-blocking layer on the surface of the second substrate film 17 of the piezoelectric film 103 with a transparent electrode of the present invention opposite to the coating layer 12 having piezoelectricity. 20 is laminated.
  • FIG. 19 shows a schematic diagram of a nineteenth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 119 with a transparent electrode of the present invention has at least one anti-blocking layer on the surface of the second substrate film 17 of the piezoelectric film 104 with a transparent electrode of the present invention opposite to the piezoelectric coating layer 12. 20 is laminated.
  • FIG. 20 shows a schematic diagram of a twentieth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 120 with a transparent electrode of the present invention has at least one anti-blocking layer on the surface of the first base film 11 of the piezoelectric film with a transparent electrode 105 of the present invention opposite to the piezoelectric coating layer 12. 20 is laminated.
  • FIG. 21 shows a schematic diagram of a twenty-first example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 121 with a transparent electrode of the present invention has at least one anti-blocking layer on the surface of the second substrate film 17 of the piezoelectric film with a transparent electrode 107 of the present invention opposite to the coating layer 12 having piezoelectricity. 20 is laminated.
  • FIG. 22 shows a schematic diagram of a 22nd example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 122 with a transparent electrode of the present invention has at least one anti-blocking layer on the surface of the second base film 17 of the piezoelectric film with a transparent electrode 108 of the present invention opposite to the piezoelectric coating layer 12. 20 is laminated.
  • FIG. 23 shows a schematic diagram of a twenty-third example of a piezoelectric film with a transparent electrode according to the present invention.
  • the transparent electrode-equipped piezoelectric film 123 of the present invention includes a piezoelectric film 13 including a laminate of the first base film 11 and the coating layer 12 having piezoelectricity. On the surface of the first base film 11 opposite to the piezoelectric coating layer 12, at least one first transparent electrode 14 is laminated.
  • FIG. 24 shows a schematic diagram of a 24th example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 124 with a transparent electrode of the present invention has at least one second layer on the surface opposite to the first base film 11 of the coating layer 12 having piezoelectricity of the piezoelectric film 123 with a transparent electrode of the present invention.
  • the transparent electrode 15 is laminated.
  • FIG. 25 shows a schematic diagram of a 25th example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 125 with a transparent electrode of the present invention is further provided with at least one transparent layer on the surface opposite to the first base film 11 of the coating layer 12 having piezoelectricity of the piezoelectric film 123 with a transparent electrode of the present invention.
  • the adhesive layer 21, at least one second transparent electrode 15, and at least one second base film 17 are laminated.
  • FIG. 26 shows a schematic diagram of a twenty-sixth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 126 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and a second transparent electrode 15 of the piezoelectric film 125 with a transparent electrode of the present invention. Any one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 27 shows a schematic diagram of a twenty-seventh example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 127 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 of the piezoelectric film 123 with a transparent electrode of the present invention and a coating layer 12 having piezoelectricity. And at least one anti-blocking layer 20 is laminated.
  • FIG. 28 shows a schematic diagram of a twenty-eighth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 128 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 of the piezoelectric film 124 with a transparent electrode of the present invention and a coating layer 12 having piezoelectricity. And at least one anti-blocking layer 20 is laminated.
  • FIG. 29 shows a schematic diagram of a twenty-ninth example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 129 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 of the piezoelectric film 125 with a transparent electrode of the present invention and the coating layer 12 having piezoelectricity. And at least one anti-blocking layer 20 is laminated.
  • FIG. 30 shows a schematic diagram of a 30th example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 130 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, between the first base film 11 and the piezoelectric coating layer 12 of the piezoelectric film 126 with a transparent electrode of the present invention, And at least one anti-blocking layer 20 is laminated.
  • FIG. 31 shows a schematic diagram of the 31st example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 131 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and the first base film 11 of the piezoelectric film with a transparent electrode 123 of the present invention, and the first transparent electrode 14. Any one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 32 shows a schematic diagram of a thirty-second example of a piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 132 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and a gap between the first base film 11 and the first transparent electrode 14 of the piezoelectric film 124 with a transparent electrode of the present invention. Any one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 33 shows a schematic diagram of a 33rd example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 133 with a transparent electrode of the present invention includes an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and the first base film 11 of the piezoelectric film 125 with a transparent electrode of the present invention, and the first transparent electrode 14. Any one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 34 shows a schematic diagram of a 34th example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • a piezoelectric film 134 with a transparent electrode of the present invention is provided between the first base film 11 and the first transparent electrode 14 of the piezoelectric film 126 with a transparent electrode of the present invention, and an undercoat layer 18, an optical adjustment layer 19, and Any one of the anti-blocking layers 20 is laminated.
  • FIG. 35 shows a schematic diagram of a 35th example of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 135 with a transparent electrode of the present invention has at least one anti-blocking layer on the surface of the second base film 17 of the piezoelectric film with a transparent electrode 125 of the present invention opposite to the second transparent electrode 15. 20 is laminated.
  • the first base film 11 and the second base film 17 are, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyolefin, polycycloolefin, cycloolefin copolymer, polycarbonate, polyether sulfone, polyarylate, polyimide, polyamide, polystyrene. It consists of a polymer film such as polynorbornene.
  • the materials of the first base film 11 and the second base film 17 are not limited to these, but polyethylene terephthalate (PET) excellent in transparency, heat resistance, and mechanical properties is preferable.
  • the thickness of the first base film 11 and the second base film 17 is preferably 10 ⁇ m to 200 ⁇ m, but is not limited thereto. However, if the thickness of the first base film 11 and the second base film 17 is less than 10 ⁇ m, handling may be difficult. If the thickness of the first base film 11 and the second base film 17 exceeds 200 ⁇ m, it may be difficult to roll the piezoelectric film with a transparent electrode (101 to 135) into a roll. Further, if the thickness of the first base film 11 and the second base film 17 exceeds 200 ⁇ m, the thickness may become too thick when the piezoelectric film with a transparent electrode (101 to 135) is mounted on a touch panel or the like. There is.
  • the material of the coating layer 12 having piezoelectricity is not particularly limited as long as the surface of the first base film 11 can be coated in a thin film and the thin film after coating has piezoelectricity. None happen.
  • the coating layer 12 having piezoelectricity desirably exhibits piezoelectricity without performing poling (polarization treatment), but may exhibit piezoelectricity after poling.
  • non-contact type poling and contact type poling as poling (polarization processing).
  • the coating layer 12 is polarized by subjecting the coating layer 12 to corona discharge treatment.
  • contact poling for example, the coating layer 12 is sandwiched between two metal plates, and a voltage is applied between the two metal plates to polarize the coating layer 12.
  • the coating layer 12 having piezoelectricity is, for example, a solution obtained by dissolving the material of the coating layer 12 having piezoelectricity in a solvent, and thinly and uniformly on the surface of the base film by a known coating apparatus such as a bar coater or a gravure coater. And then dried.
  • a material containing a fluororesin is preferably used as the material of the coating layer 12 having piezoelectricity.
  • the material containing a fluororesin include a vinylidene fluoride polymer, a vinylidene fluoride / trifluoroethylene copolymer, a vinylidene fluoride / trifluoroethylene / chlorotrifluoroethylene copolymer, hexafluoro Copolymer of propylene and vinylidene fluoride, copolymer of perfluorovinyl ether and vinylidene fluoride, copolymer of tetrafluoroethylene and vinylidene fluoride, copolymer of hexafluoropropylene oxide and vinylidene fluoride, hexafluoropropylene And a copolymer of tetrafluoroethylene and vinylidene fluoride.
  • the material containing a fluororesin is preferably a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene, or a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene.
  • a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene is referred to as a binary copolymer.
  • a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene is referred to as a ternary copolymer.
  • the molar ratio of vinylidene fluoride and trifluoroethylene is 100 as a whole. , (50 to 85): (50 to 15) is appropriate.
  • a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene is used as a material for the coating layer 12 having piezoelectricity, vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chloro
  • the molar ratio of trifluoroethylene is suitably in the range of (63 to 65) :( 27 to 29) :( 10 to 6) with 100 as a whole.
  • the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity is not limited, but in consideration of the optical characteristics described later, it is preferably 0.5 ⁇ m to 20 ⁇ m, more preferably 0.5 ⁇ m to 10 ⁇ m, and more preferably 0.5 ⁇ m to 5 ⁇ m. Further preferred. If the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity is less than 0.5 ⁇ m, the formed film may be incomplete. If the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity exceeds 20 ⁇ m, the optical characteristics (haze value and total light transmittance) may become inappropriate.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are not particularly limited in configuration and material as long as they have light transmittance in the visible light region (380 nm to 780 nm) and have conductivity. None happen.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are, for example, a transparent thin film mainly composed of a metal conductive oxide (for example, indium oxide), or a main metal (for example, indium) and one or more impurities. It is a transparent thin film mainly composed of a composite metal oxide containing a metal (for example, tin).
  • Examples of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 include indium oxide, indium tin oxide (ITO: Indium Tin Oxide), indium zinc oxide (IZO: Indium Zinc Oxide), and indium gallium zinc oxide.
  • ITO Indium-based composite oxides such as (IGZO: Indium Gallium Zinc Oxide) are used, but indium tin oxide (ITO) is particularly preferable from the viewpoint of low specific resistance and transmission hue.
  • Indium-based composite oxides are characterized by a high transmittance of 80% or more in the visible light region and a low surface resistance value per unit area of 30 ⁇ / ⁇ to 1000 ⁇ / ⁇ (ohms per square).
  • the surface resistance value per unit area of the indium composite oxide is preferably 300 ⁇ / ⁇ or less, and more preferably 150 ⁇ / ⁇ or less.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may further contain impurity metal elements such as titanium Ti, magnesium Mg, aluminum Al, gold Au, silver Ag, and copper Cu.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are formed by a sputtering method, a vacuum deposition method, or the like, but the manufacturing method is not limited to this.
  • the amount of tin oxide (SnO 2 ) in the indium tin oxide (ITO) is indium oxide (In 2 O 3 ) and tin oxide (SnO 2 ), preferably 0.5 wt% to 15 wt%, more preferably 3 wt% to 15 wt%, more preferably 5 wt%. More preferably, it is ⁇ 13% by weight. If the tin oxide (SnO 2 ) is less than 0.5% by weight, the surface resistance values of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may be increased. If tin oxide (SnO 2 ) exceeds 15% by weight, the uniformity of the surface resistance values in the planes of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may be lost.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 made of, for example, indium tin oxide (ITO) formed at a low temperature are amorphous, and are heated to be amorphous to crystalline. Can be converted to When the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are converted to crystalline, their surface resistance values become low. Therefore, it is desirable that the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are crystalline.
  • the heat treatment conditions for converting the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 into crystalline are appropriate from 80 ° C. to 200 ° C., but from the viewpoint of productivity, 140 ° C. or less, 30 minutes. The following is preferred.
  • the thickness of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 is preferably 15 nm to 50 nm. If the thickness of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 is less than 15 nm, the surface resistance values of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may increase. When the thickness of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 exceeds 50 nm, the total light transmittance of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 is reduced, or cracks are caused by an increase in internal stress. There is concern about the occurrence.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may be a laminated film in which two or more transparent conductive films are laminated.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may be a thin film made of a conductive polymer such as polyethylenedioxythiophene (PEDOT: PSS), polypyrrole, or polyaniline. Further, the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may be a conductive ultrafine network in which ultrafine metal wires of silver or copper having a wire diameter of about 5 ⁇ m to 10 ⁇ m are formed on a transparent film. Alternatively, the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may be thin films including carbon nanofibers, silver nanowires, graphene, and the like.
  • PEDOT polyethylenedioxythiophene
  • polypyrrole polypyrrole
  • polyaniline polyaniline
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may be a conductive ultrafine network in which ultrafine metal wires of silver or copper having a wire diameter of about 5 ⁇ m to 10 ⁇ m are formed on a transparent film.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 may be thin films including carbon
  • the transparent adhesive layer 21 is preferably made of an optical transparent adhesive.
  • the transparent adhesive layer 21 can be formed using a sheet of an optical transparent adhesive.
  • a transparent adhesive layer can be used instead of the transparent adhesive layer 21.
  • the transparent adhesive layer is preferably made of an optical transparent adhesive.
  • a liquid optical transparent adhesive can be applied and cured by irradiation with ultraviolet rays to form a transparent adhesive layer.
  • the refractive index of the transparent adhesive layer 21 or the transparent adhesive layer is desirably an intermediate value of the refractive indexes of the materials laminated on both sides thereof.
  • the haze value of the piezoelectric film with a transparent electrode is preferably 5% or less, more preferably 4% or less.
  • the total light transmittance of the piezoelectric film with a transparent electrode is preferably 82% or more, more preferably 85% or more, still more preferably 86% or more, and particularly preferably 88% or more.
  • the haze value of the transparent electrode-attached piezoelectric film exceeds 5%, or when the total light transmittance is less than 82%, the image on the display may not be clearly visible.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 13 included in the transparent electrode-equipped piezoelectric film of Example 1 is formed by first forming an easy adhesion layer (not shown) on the surface of the first base film 11 (polyethylene terephthalate film), and then vinylidene fluoride and tri It was prepared by coating a solution of a copolymer of fluoroethylene (binary copolymer). The thickness of the first base film 11 (polyethylene terephthalate film) was 23 ⁇ m.
  • a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene (binary copolymer) is dissolved in methyl ethyl ketone at room temperature by ultrasound, and vinylidene fluoride and trifluoro A solution of an ethylene copolymer (binary copolymer) was prepared.
  • the molar ratio of vinylidene fluoride and trifluoroethylene contained in the copolymer (binary copolymer) of vinylidene fluoride and trifluoroethylene was 75/25.
  • first base film 11 polyethylene terephthalate film
  • first base film 11 polyethylene terephthalate film
  • the first base film 11 polyethylene terephthalate film
  • the undried coating layer were dried at 60 ° C. for 5 minutes to obtain a coating layer 12 having piezoelectricity.
  • the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity after drying was 5 ⁇ m.
  • a first base film 11 (polyethylene terephthalate film) on which a coating layer 12 having piezoelectricity is laminated is set in a sputtering apparatus, and a first film made of indium tin oxide (ITO) having a thickness of 25 nm is formed by sputtering.
  • the transparent electrode 14 was formed on the surface of the coating layer 12 having piezoelectricity.
  • the argon gas: oxygen gas pressure ratio was 99: 1
  • the total gas pressure was set to 0.3 Pa
  • a power density of 1.0 W / cm 2 was applied, and 10 wt% tin oxide.
  • a first transparent electrode 14 was formed by sputtering an indium tin oxide target made of a sintered body of 90 wt% indium oxide.
  • the second transparent electrode 15 was formed on the surface of the first base film 11 (polyethylene terephthalate film) under the same film formation conditions as the first transparent electrode 14. In this way, a piezoelectric film with a transparent electrode was produced. At this stage, the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 were amorphous.
  • the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode are heated in a heating oven at 80 ° C. for 12 hours, and the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are amorphous. 15 was performed to obtain a piezoelectric film with a transparent electrode in which the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 were crystalline.
  • the surface resistance values of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 after crystallization were 150 ⁇ / ⁇ , respectively.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 2 has the configuration of the first example (101) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 13 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 2 was produced in the same manner as the piezoelectric film 13 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1.
  • the first transparent electrode 14 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 2 is formed in the same manner as the first transparent electrode 14 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1, and the first transparent electrode 14 is formed. The process up to crystallization of the electrode 14 was performed.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 3 has the configuration of the twenty-third example (123) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film 13 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 3 was produced in the same manner as the piezoelectric film 13 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1.
  • the first transparent electrode 14 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 3 is formed in the same manner as the first transparent electrode 14 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1, and the first transparent electrode 14 is formed. The process up to crystallization of the electrode 14 was performed.
  • Example 4 The piezoelectric film with a transparent electrode of Example 4 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 4 was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity was 1 ⁇ m.
  • Example 5 The piezoelectric film with a transparent electrode of Example 5 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 5 was produced in the same manner as the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1 except that the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity was 10 ⁇ m.
  • Example 6 The piezoelectric film with a transparent electrode of Example 6 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 6 was produced in the same manner as the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1 except that the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity was 20 ⁇ m.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 7 has the configuration of the 25th example (125) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the first transparent electrode 14, the first base film 11, and the coating layer 12 having piezoelectricity included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 7 are included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1.
  • the transparent electrode 14, the first substrate film 11, and the coating layer 12 having piezoelectricity were produced in the same manner, and the first transparent electrode 14 was crystallized.
  • the second transparent electrode 15 and the second substrate film 17 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 7 are the first transparent electrode 14 and the first base film 17 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1. It was produced in the same manner as the base film 11 and carried out up to the step of crystallizing the second transparent electrode 15.
  • the piezoelectric coating layer 12 and the second transparent electrode 15 were bonded together using the transparent adhesive layer 21 and fixed.
  • the first transparent electrode 14, the first base film 11, the piezoelectric coating layer 12, the transparent adhesive layer 21, the second transparent electrode 15, and the second base film 17 are laminated in this order.
  • a transparent electrode-attached piezoelectric film of Example 7 was obtained.
  • an acrylic adhesive manufactured by Nitto Denko Corporation
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 8 has the configuration of the third example (103) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the first transparent electrode 14, the piezoelectric coating layer 12, and the first base film 11 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 8 are the first included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1.
  • the transparent electrode 14, the piezoelectric coating layer 12, and the first base film 11 were prepared in the same manner.
  • the second transparent electrode 15 and the second substrate film 17 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 8 are the first transparent electrode 14 and the first base film 17 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1. It was produced in the same manner as the base film 11 and carried out up to the step of crystallizing the second transparent electrode 15.
  • the first base film 11 and the second transparent electrode 15 were bonded together using the transparent adhesive layer 21 and fixed.
  • the first transparent electrode 14, the coating layer 12 having piezoelectricity, the first base film 11, the transparent adhesive layer 21, the second transparent electrode 15, and the second base film 17 are laminated in this order.
  • the transparent electrode-attached piezoelectric film of Example 8 was obtained.
  • an acrylic adhesive manufactured by Nitto Denko Corporation
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 9 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 9 is that the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are amorphous because the crystallization treatment was not performed, and the thicknesses are each 20 nm. These were produced in the same manner as the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 10 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 10 is the same as the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1 except that the thickness of each of the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 is 40 nm. Was made.
  • Example 11 The piezoelectric film with a transparent electrode of Example 11 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 11 is the same as that of Example 1 except that the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are amorphous because the crystallization treatment was not performed. It was produced in the same manner as the piezoelectric film with electrodes.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 12 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the material of the coating layer 12 having piezoelectricity is a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene (ternary copolymer). Except for this, it was produced in the same manner as the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1.
  • a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene is dissolved in methyl isobutyl ketone at room temperature by ultrasonic waves.
  • a solution of a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene (ternary copolymer) was prepared.
  • the molar ratio of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene contained in the copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene (ternary copolymer) is 64.2 / 27. 1 / 8.7.
  • first base film 11 polyethylene terephthalate film
  • first base film 11 polyethylene terephthalate film
  • the first base film 11 polyethylene terephthalate film
  • the undried coating layer were dried at 60 ° C. for 5 minutes to obtain a coating layer 12 having piezoelectricity.
  • the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity after drying was 1 ⁇ m.
  • Example 13 The piezoelectric film with a transparent electrode of Example 13 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 13 was produced in the same manner as the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 12 except that the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity was 5 ⁇ m.
  • Example 14 The piezoelectric film with a transparent electrode of Example 14 has the configuration of the second example (102) of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 14 was produced in the same manner as the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 12, except that the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity was 10 ⁇ m.
  • the piezoelectric film with a transparent electrode of Comparative Example 1 has a structure in which one surface of a self-supporting vinylidene fluoride polymer (polyvinylidene fluoride) film is sandwiched between a first transparent electrode and the other surface is sandwiched between second transparent electrodes. Consists of.
  • the film thickness of the vinylidene fluoride polymer (polyvinylidene fluoride) was 40 ⁇ m.
  • a 40 ⁇ m-thick vinylidene fluoride polymer (polyvinylidene fluoride) film is obtained by drying a solution obtained by dissolving a vinylidene fluoride polymer (polyvinylidene fluoride) in methyl isobutyl ketone at room temperature using an ultrasonic wave.
  • the film was coated on the surface of a polyethylene terephthalate film so as to be 40 ⁇ m, dried, and then peeled off from the polyethylene terephthalate film.
  • the first transparent electrode and the second transparent electrode included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Comparative Example 1 are the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 included in the piezoelectric film with a transparent electrode of Example 1. It was produced in the same way.
  • Table 1 shows configurations of examples and comparative examples of the piezoelectric film of the present invention, types and molar ratios and thicknesses of piezoelectric layers, states (crystallinity) and thicknesses of the first and second transparent electrodes, and transparency. The total light transmittance when there is no electrode and when there is an electrode, and the haze value when there is a transparent electrode are shown.
  • VDF represents vinylidene fluoride
  • TrFE represents trifluoroethylene
  • CTFE represents chlorotrifluoroethylene.
  • P () represents a copolymer. Therefore, “P (VDF-TrFE)” means “a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene”.
  • PVDF-TrFE-CTFE means “a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene”.
  • PVDF means a polymer of vinylidene fluoride (polyvinylidene fluoride).
  • Example 1 shows that when the second transparent electrode 15 is laminated, the total light transmittance is reduced, but the haze value is not changed.
  • Example 2 shows that the total light transmittance and haze value do not change even when the lamination order of the coating layer 12 having piezoelectricity and the first base film 11 is reversed.
  • Example 1 shows that the total light transmittance and haze value do not change even when the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity becomes 1/5.
  • Example 1 shows that the total light transmittance and haze value do not change even when the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity is doubled.
  • Example 1 shows that when the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity is quadrupled, the total light transmittance does not change, but the haze value increases.
  • Example 1 shows that the total light transmittance and haze value do not change even when the transparent adhesive layer 21 and the second base film 17 are laminated.
  • Example 7 shows that the total light transmittance and haze value do not change even when the stacking order of the first base film 11 and the coating layer 12 having piezoelectricity is reversed.
  • Example 1 When Example 1 is compared with Example 9, the crystalline first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 having a thickness of 25 nm are the same as the first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 14 having a thickness of 20 nm. It can be seen that the total light transmittance is higher than the transparent electrode 15, but the haze values are equivalent.
  • Example 10 Comparing Example 1 and Example 10, it can be seen that when the crystalline first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 are thickened, the total light transmittance decreases, but the haze value does not change. .
  • Example 10 and Example 11 are compared, the crystalline first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 having a thickness of 40 nm, and the amorphous first transparent electrode 14 and the second transparent electrode 15 having a thickness of 25 nm are compared. It can be seen that the transparent electrode 15 is equivalent in terms of total light transmittance and haze value.
  • the coating layer 12 having piezoelectricity is a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene (The ternary copolymer) is equivalent to the total light transmittance and the haze value as compared with the copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene (binary copolymer). I understand.
  • the coating layer 12 having piezoelectricity is a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene.
  • the total light transmittance is not changed compared to the case of vinylidene fluoride and trifluoroethylene copolymer (binary copolymer), but the haze value is You can see it grows.
  • Example 5 and Example 14 are compared, when the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity is large, the coating layer 12 having piezoelectricity is a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene ( In the case of a ternary copolymer), the total light transmittance is not changed, but the haze value is larger than that of a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene (binary copolymer).
  • Example 12 having piezoelectricity is a copolymer of vinylidene fluoride, trifluoroethylene, and chlorotrifluoroethylene (ternary copolymer), it has piezoelectricity. It can be seen that as the coating layer 12 becomes thicker, the total light transmittance does not change, but the haze value increases. However, the total light transmittance and the haze value of Examples 12 to 14 are all at a level with no problem.
  • Example 1 Comparing Example 1, Example 4, and Example 5, when the coating layer 12 having piezoelectricity is a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene (binary copolymer), the piezoelectricity is It can be seen that the total light transmittance and haze value do not change even when the coating layer 12 having the thickness increases.
  • Example 1 A comparison between Example 1, Example 4, Example 5, Example 9 to Example 11 and Comparative Example 1 shows that a piezoelectric film with a transparent electrode using a self-supporting polymer of vinylidene fluoride (polyvinylidene fluoride) is used. Although the film has the same total light transmittance as the piezoelectric film with a transparent electrode using the coating layer 12 having piezoelectricity, the haze value is remarkably large. From Comparative Example 1, it can be seen that even if the haze value increases, the total light transmittance does not always decrease.
  • a self-supporting polymer of vinylidene fluoride polyvinylidene fluoride
  • Example 15 to 20 Further, in FIG. 5, the thickness and refractive index of the coating layer 12, the optical adjustment layer 19, and the first transparent electrode 14 having piezoelectricity were measured.
  • the piezoelectric film 13 is the same as the above example, and is a PET film coated with a copolymer of vinylidene fluoride and trifluoroethylene.
  • the optical adjustment layer 19 may have a refractive index of 1.54, 1.62, 1.7. Since the manufacturing method differs depending on the refractive index, each refractive index will be described.
  • the refractive index is 1.54
  • a thermosetting resin having a weight ratio of 2: 2: 1 of melamine resin: alkyd resin: organosilane condensate (refractive index of light) is formed on one surface of the coating layer 12 having piezoelectricity.
  • n 1.54
  • the optical adjustment layer 19 having a thickness of 120 nm was formed.
  • an optical adjustment composition containing 47 parts by mass of ultraviolet curable resin, 57 parts by mass of zirconia oxide particles (median diameter 40 nm) and PGME on one surface of the coating layer 12 having piezoelectricity (Manufactured by JSR, “OPSTAR Z7412”, solid content: 12% by mass) was applied using a gravure coater, and immediately heated and dried at 60 ° C. for 1 minute in a windless state (less than 0.1 m / s). Then, the curing process was performed by irradiating ultraviolet rays with an integrated light amount of 250 mJ / cm 2 with a high-pressure mercury lamp.
  • the optical adjustment layer 19 having a thickness of 90, 120, or 150 nm and a refractive index of 1.62 was formed on the coating layer 12 having piezoelectricity.
  • melamine resin: alkyd resin: organosilane condensate 2: 2: 1
  • the first transparent electrode 14 was formed by sputtering indium tin oxide. Although not shown in FIG. 5, a hard coat layer having an antiblocking function was formed on the opposite surface of the first base film 11 to the coating layer 12 having piezoelectricity.
  • the results are shown in Table 2.
  • the “first layer” is the piezoelectric coating layer 12, the “second layer” is the optical adjustment layer 19, and the “third layer” is the first transparent electrode 14.
  • the thickness of the coating layer 12 having piezoelectricity is 0.5 to 10 ⁇ m
  • the thickness of the optical adjustment layer 19 is 80 to 160 nm
  • the thickness of the first transparent electrode 14 is 20 nm or more as described above. It has become.
  • the refractive index of the coating layer 12 having piezoelectricity is 1.40 to 1.50
  • the refractive index of the optical adjustment layer 19 is 1.50 to 1.70
  • the refractive index of the first transparent electrode 14 is 1.90. It is ⁇ 2.10.
  • the difference in reflectance between the first transparent electrode 14 and the optical adjustment layer 19 was 2% or less, and the appearance was good.
  • the first transparent electrode 14 is etched into a desired electrode or the like as necessary.
  • the refractive index of the optical adjustment layer 19 was the portion where the first transparent electrode 14 was removed by etching. Therefore, the reflectance difference was calculated
  • the optical adjustment layer 19 is obtained by diluting silica sol (manufactured by Colcoat Co., Colcoat P) with ethanol so that the solid content concentration becomes 2%. Is applied to one of the coating layers 12 having a property by a silica coating method, and then dried and cured at 150 ° C. for 2 minutes to form a layer having a thickness of 120 nm (SiO 2 film, light refractive index of 1.46). ) To form an optical adjustment layer 19.
  • the manufacturing method of the other configuration is the same as that of the example.
  • the transparent electrode 14 may be colored yellow or brown to impair the appearance.
  • the optical adjustment layer 19 as in the above embodiment, and adjusting the thickness and refractive index of the transparent electrode 14, the optical adjustment layer 19, and the coating layer 12 having piezoelectricity to be in the above-described range, As shown in Table 2, it was found that the difference in reflectance can be reduced and the appearance is not impaired. It has been found that even if a configuration in which the optical adjustment layer 19 and the transparent electrode 14 are laminated on the piezoelectric film 13 is arranged on the front surface of the display, the appearance of the display is hardly impaired.
  • the use of the piezoelectric film with a transparent electrode of the present invention is not limited, but it is particularly suitably used as a piezoelectric film for detecting the Z coordinate (pressure touched by a finger) of a touch panel.

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Abstract

本発明の透明電極付き圧電フィルム１は，第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２との積層体を含む圧電フィルム１３と，圧電性を有するコーティング層１２に積層された第１の透明電極１４を備える。圧電性を有するコーティング層１２はフッ素樹脂を含む。フッ素樹脂は，フッ化ビニリデンの重合体，または，（フッ化ビニリデン，トリフルオロエチレン，クロロトリフルオロエチレン）のうちの２種類以上の共重合体である。圧電性を有するコーティング層１２は，フッ素樹脂の溶液を第１の基材フィルム１１に塗布および乾燥して得られる。本発明の圧電フィルムにより，ヘイズ値が小さく，全光線透過率が高い透明電極付き圧電フィルムを実現する。

Description

透明電極付き圧電フィルムおよび圧力センサ
　本発明は透明電極付き圧電フィルムおよび圧力センサに関する。
　一般に、タッチパネルでは、タッチパネルの表面にタッチする指あるいはペンの表面上の２次元位置を検出する。（以後、「指あるいはペン」を単に「指」といい、指あるいはペンのタッチパネルの表面上の２次元位置を「指のXY座標」という。）この場合、指のタッチする圧力は検出できない。（以後、指のタッチする圧力の大きさを、Z軸方向にとるものと考えて、「指のZ座標」という。）即ち、指のタッチする圧力（指のZ座標）の大小にかかわらず、検出されるのは、指のタッチ位置のXY座標のみである。
　しかし、タッチパネルで使用されるアプリケーションによっては、指のタッチする圧力（指のZ座標）の識別も必要な場合がある。通常の静電容量式タッチパネルでは、指が触れることにより、触れた位置が選択されると同時に、触れた位置にある命令が実行される。静電容量式タッチパネルの感度が非常に高い場合は、指が静電容量式タッチパネルに近づいただけで（指が触れなくても）、指に最も近い位置が選択されると同時に、その位置にある命令が実行される。しかし、例えば、工作機械の操作パネル等で、誤った命令の実行が許されない場合は、選択と実行が分離されていることが望ましい。即ち、指が触れることにより（あるいは指が近づくことにより）命令が選択されるが、それだけでは命令は実行されず、次に指で圧力を加えることにより、初めて命令が実行されることが、誤動作を防止するため望ましい。
　このような指のタッチする圧力（指のZ座標）も検出できるタッチパネルが、例えば、特許文献１（特開２０１０－２６９３８）に記載されている。特許文献１のタッチパネルでは、ポリフッ化ビニリデン－四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の両面に、透明電極が積層された積層体が用いられる。ポリフッ化ビニリデン－四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の厚さは２０μm～３００μmである。
　特許文献１のポリフッ化ビニリデン－四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層は、キャスティング法あるいは押し出し法で製造すると記載されているため、自立したフィルム（他のフィルムに積層されていないフィルム）と考えられる。特許文献１に、ポリフッ化ビニリデン－四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層のヘイズ値（曇り値）は５％～７％、全光線透過率は９５％と記載されている。
　しかし、特許文献１の実施例のヘイズ値、全光線透過率は、透明電極が積層される前の、ポリフッ化ビニリデン－四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層単独の値である。ポリフッ化ビニリデン－四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の両面に透明電極が積層された積層体では、全光線透過率が低下すると考えられるが、その測定値は記載されていない。
　本願発明者の実験によると、タッチパネルの背面にあるディスプレイの画像の視認性は、少なくともヘイズ値と全光線透過率の影響を受ける。特許文献１のポリフッ化ビニリデン－四フッ化エチレン共重合体を含有する圧電体層の両面に透明電極が積層された積層体では、ヘイズ値と全光線透過率のいずれか、あるいは両者により、タッチパネルの背面にあるディスプレイの画像の視認性が低下するおそれがある。
特開２０１０－２６９３８号公報
　本願発明者の実験によると、タッチパネルの背面にあるディスプレイの画像の視認性の低下に対しては、全光線透過率よりもヘイズ値の方が影響が大きい。そこで、本発明の目的は、ヘイズ値が小さく、更に、全光線透過率が高い透明電極付き圧電フィルムを実現することである。
（１）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、圧電性を有するコーティング層の、第１の基材フィルムと反対側の表面に備えられた、少なくとも１層の第１の透明電極を備える。
（２）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に少なくとも１層の第２の透明電極を備える。
（３）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備える。
（４）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の透明電極と第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（５）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層と第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（６）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の厚みが０．５～１０μｍ、光学調整層の厚みが８０～１６０ｎｍ、第１の透明電極の厚みが２０ｎｍ以上である。
（７）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の屈折率が１．４０～１．５０、光学調整層の屈折率が１．５０～１．７０、第１の透明電極の屈折率が１．９０～２．１０である。
（８）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（９）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムまたは第２の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層のアンチブロッキング層を備える。
（１０）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、第１の基材フィルムの、圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層の第１の透明電極を備える。
（１１）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の、第１の基材フィルムと反対側の表面に、少なくとも１層の第２の透明電極を備える。
（１２）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、圧電性を有するコーティング層の、第１の基材フィルムと反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備える。
（１３）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の透明電極と第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１４）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１５）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第１の基材フィルムと第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備える。
（１６）本発明の透明電極付き圧電フィルムは、更に、第２の基材フィルムの、第２の透明電極と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層を備える。
（１７）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層がフッ素樹脂を含む。
（１８）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンの重合体、または、（フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン）のうちの２種以上の共重合体である。
（１９）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体であって、共重合体に含まれるフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（５０～８５）：（５０～１５）の範囲である。
（２０）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体であって、共重合体に含まれるフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（６３～６５）：（２７～２９）：（１０～６）の範囲である。
（２１）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層が、フッ素樹脂の溶液を第１の基材フィルムに塗布および乾燥して得られるコーティング層である。
（２２）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電性を有するコーティング層の厚さが０．５μm～２０μmである。
（２３）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、パターンニングされている。
（２４）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、インジウムを含む。
（２５）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、インジウムスズ酸化物（Indium Tin Oxide : ITO）を含む。
（２６）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者の厚さが、１５nm～５０nmである。
（２７）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、第１の透明電極および第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、結晶質である。
（２８）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、基材フィルムの材料が、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンの少なくとも１種から選択される。
（２９）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、ヘイズ値が５％以下である。
（３０）本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、全光線透過率が８２％以上である。
（３１）本発明の圧力センサは、上記の透明電極付き圧電フィルムを備える。
　本発明の透明電極付き圧電フィルムにおいては、圧電体層がコーティングにより形成されるため、圧電体層の厚さが、従来の自立したフィルムからなる圧電体層より薄い。そのため、圧電体層によるヘイズ値の上昇と全光線透過率の低下が、自立したフィルムからなる圧電体フィルムより少ない。その効果により、ヘイズ値が小さく、更に、全光線透過率が高い透明電極付き圧電フィルムが実現される。本発明の透明電極付き圧電フィルムを、タッチパネルのZ座標検出用圧電フィルムとして用いると、タッチパネルの背面にあるディスプレイの視認性が良好であって、Z座標（指の押圧力）検出機能を有するタッチパネルを実現することができる。
本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第４例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第５例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第６例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第７例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第８例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第９例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１０例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１１例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１２例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１３例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１４例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１５例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１６例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１７例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１８例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１９例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２０例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２１例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２２例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２３例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２４例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２５例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２６例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２７例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２８例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２９例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３０例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３１例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３２例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３３例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３４例の模式図 本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３５例の模式図
　［透明電極付き圧電フィルムの基本構成］
　図１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１は、第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２との積層体からなる圧電フィルム１３を含む。圧電性を有するコーティング層１２には、少なくとも１層の第１の透明電極１４が積層されている。少なくとも１層の第１の透明電極１４とは、第１の透明電極１４が２層以上の多層膜でもよいという意味である。第１の透明電極１４はパターンニングされていてもよい。第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、図示しない易接着層が積層されていてもよい（易接着層については以後の例に共通する）。
　図２に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０２は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に、少なくとも１層の第２の透明電極１５が積層されたものである。少なくとも１層の第２の透明電極１５とは、第２の透明電極１５が２層以上の多層膜でもよいという意味である。第２の透明電極１５はパターンニングされていてもよい。第１の基材フィルム１１と第２の透明電極１５の間に、少なくとも１層の透明粘着層を備えてもよい。少なくとも１層の透明粘着層とは、透明粘着層が２層以上の多層膜でもよいという意味である。
　図３に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の第１の基材フィルム１１の圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に、更に、少なくとも１層の透明粘着層２１、少なくとも１層の第２の透明電極１５、少なくとも１層の第２の基材フィルム１７が積層されたものである。少なくとも１層の透明粘着層２１とは、透明粘着層２１が２層以上の多層膜でもよいという意味である。少なくとも１層の第２の透明電極１５とは、第２の透明電極１５が２層以上の多層膜でもよいという意味である。少なくとも１層の第２の基材フィルム１７とは、第２の基材フィルム１７が２層以上の多層フィルムでもよいという意味である。
　図４に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第４例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０４は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３の第２の透明電極１５と第２の基材フィルム１７の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。アンダーコート層１８（あるいはアンカーコート層）は、透明電極付き圧電フィルムの、各層間の密着性を高める機能がある。光学調整層１９（Index matching layer）（屈折率調整層ともいう）は、透明電極付き圧電フィルムの光の反射率を調整する機能がある。光学調整層１９は２層以上の多層膜でもよい。アンチブロッキング層２０は、積み重ねられた、あるいは巻回された透明電極付き圧電フィルムどうしが圧着（ブロッキング）することを防止する機能がある。アンチブロッキング層２０は２層以上の多層膜でもよい。
　図５に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第５例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０５は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の圧電性を有するコーティング層１２と第１の透明電極１４の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　たとえば図５において光学調整層１９を用いる場合について説明する。圧電性を有するコーティング層１２の厚さとして０．５～１０μｍ、光学調整層１９の厚さとして８０～１６０ｎｍ、第１の透明電極１４の厚さとして２０ｎｍ以上を一例としてあげられる。また、圧電性を有するコーティング層１２の屈折率として１．４０～１．５０、光学調整層１９の屈折率として１．５０～１．７０、第１の透明電極１４の屈折率として１．９０～２．１０が一例としてあげられる。また、基材フィルム１１の厚さを２～１００μｍ、屈折率を１．５０～１．７０にする。以上の厚さと屈折率にすることで、第１の透明電極１４と光学調整層１９の反射率差が２．０％以下になり、見栄えが良くなる。
　なお、図２の圧電フィルム１０２において、基材フィルム１１と第２の透明電極１５の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層を積層しても良い。
　図６に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第６例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０６は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０２の圧電性を有するコーティング層１２と第１の透明電極１４の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図７に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第７例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０７は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３の圧電性を有するコーティング層１２と第１の透明電極１４の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図８に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第８例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０８は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０４の圧電性を有するコーティング層１２と第１の透明電極１４の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図９に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第９例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１０９は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図１０に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１０例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１０は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０２の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図１１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１１は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図１２に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１２例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１２は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０４の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図１３に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１３例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１３は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０５の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図１４に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１４例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１４は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０６の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図１５に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１５例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１５は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０７の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図１６に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１６例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１６は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０８の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間にアンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかの少なくとも１層が積層されたものである。
　図１７に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１７例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１７は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０１の第１の基材フィルム１１の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
　図１８に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１８例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１８は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０３の第２の基材フィルム１７の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
　図１９に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１９例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１１９は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０４の第２の基材フィルム１７の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
　図２０に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２０例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２０は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０５の第１の基材フィルム１１の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
　図２１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２１は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０７の第２の基材フィルム１７の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
　図２２に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２２例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２２は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１０８の第２の基材フィルム１７の、圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
　図２３に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２３例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３は、第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２との積層体を含む圧電フィルム１３を備える。第１の基材フィルム１１の圧電性を有するコーティング層１２と反対側の表面に、少なくとも１層の第１の透明電極１４が積層されている。
　図２４に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２４例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２４は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３の圧電性を有するコーティング層１２の第１の基材フィルム１１と反対側の表面に、少なくとも１層の第２の透明電極１５が積層されたものである。
　図２５に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２５例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３の圧電性を有するコーティング層１２の第１の基材フィルム１１と反対側の表面に、更に、少なくとも１層の透明粘着層２１、少なくとも１層の第２の透明電極１５、少なくとも１層の第２の基材フィルム１７が積層されたものである。
　図２６に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２６例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２６は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５の第２の透明電極１５と第２の基材フィルム１７の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図２７に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２７例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２７は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図２８に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２８例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２８は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２４の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図２９に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２９例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１２９は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図３０に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３０例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３０は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２６の第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図３１に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３１例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３１は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２３の第１の基材フィルム１１と第１の透明電極１４の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図３２に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３２例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３２は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２４の第１の基材フィルム１１と第１の透明電極１４の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図３３に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３３例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３３は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５の第１の基材フィルム１１と第１の透明電極１４の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図３４に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３４例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３４は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２６の第１の基材フィルム１１と第１の透明電極１４の間に、アンダーコート層１８、光学調整層１９、およびアンチブロッキング層２０のいずれかが少なくとも１層積層されたものである。
　図３５に本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３５例の模式図を示す。本発明の透明電極付き圧電フィルム１３５は、本発明の透明電極付き圧電フィルム１２５の第２の基材フィルム１７の、第２の透明電極１５と反対側の表面に、少なくとも１層のアンチブロッキング層２０が積層されたものである。
　［基材フィルム］
　第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンなどの高分子フィルムからなる。第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の材料はこれらに限定されることはないが、透明性、耐熱性、および機械特性に優れるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が好ましい。
　第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の厚さは、好ましくは、１０μm～２００μmであるが、これに限定されることはない。但し第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の厚さが１０μm未満であると、取り扱いが困難になるおそれがある。また第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の厚さが２００μmを超えると、透明電極付き圧電フィルム（１０１～１３５）を巻回してロールにするのが難しくなるおそれがある。また第１の基材フィルム１１および第２の基材フィルム１７の厚さが２００μmを超えると、透明電極付き圧電フィルム（１０１～１３５）をタッチパネル等に実装したときに厚さが厚くなりすぎるおそれがある。
　［圧電性を有するコーティング層］
　圧電性を有するコーティング層１２の材料は、第１の基材フィルム１１の表面に薄膜状にコーティングすることが可能であって、コーティング後の薄膜が圧電性を有するものであれば、特に限定されることはない。圧電性を有するコーティング層１２は、ポーリング（分極処理）を行なわなくても圧電性を示すものが望ましいが、ポーリング後に圧電性を示すものでもよい。
　ポーリング（分極処理）として非接触式のポーリングと接触式のポーリングがある。非接触式のポーリングでは、例えば、コーティング層１２をコロナ放電処理することによりコーティング層１２を分極させる。接触式のポーリングでは、例えば、２枚の金属板でコーティング層１２を挟み、２枚の金属板の間に電圧を印加してコーティング層１２を分極させる。
　圧電性を有するコーティング層１２は、例えば、圧電性を有するコーティング層１２の材料を溶媒に溶解させて溶液とし、バーコーターやグラビアコーターなどの既知のコーティング装置によって基材フィルムの表面に薄く一様にコーティングし、その後乾燥させて得られる。
　［圧電性を有するコーティング層の材料］
　圧電性を有するコーティング層１２の材料は、例えば、フッ素樹脂を含む材料が好適に用いられる。フッ素樹脂を含む材料を具体的に例示すると、フッ化ビニリデンの重合体、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンとビニリデンフロライドの共重合体、パーフルオロビニルエーテルとビニリデンフロライドの共重合体、テトラフルオロエチレンとビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンオキシドとビニリデンフロライドの共重合体、ヘキサフルオロプロピレンとテトラフルオロエチレンとビニリデンフロライドの共重合体が挙げられる。これらのポリマーは、単独でも混合体でも用いることができる。
　フッ素樹脂を含む材料は、好ましくは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体、あるいは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体である。フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体を２元系共重合体ということにする。フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体を３元系共重合体ということにする。
　フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）を、圧電性を有するコーティング層１２の材料として用いる場合、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンのモル比は、全体を１００として、（５０～８５）：（５０～１５）の範囲が適切である。
　また、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）を、圧電性を有するコーティング層１２の材料として用いる場合、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンのモル比は、全体を１００として、（６３～６５）：（２７～２９）：（１０～６）の範囲が適切である。
　［圧電性を有するコーティング層の厚さ］
　圧電性を有するコーティング層１２の厚さが限定されることはないが、後述する光学特性を考慮すると、０．５μm～２０μmが好ましく、０．５μm～１０μmがより好ましく、０．５μm～５μmがさらに好ましい。圧電性を有するコーティング層１２の厚さが０．５μm未満であると、形成された膜が不完全になるおそれがある。圧電性を有するコーティング層１２の厚さが２０μmを超えると、光学特性（ヘイズ値および全光線透過率）が不適切になるおそれがある。
　［透明電極］
　第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、可視光域（３８０nm～７８０nm）で光透過性を有し、かつ、導電性を有するものであれば、その構成および材料が特に限定されることはない。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、例えば、金属の導電性酸化物（例えばインジウム酸化物）を主成分とする透明薄膜、または主金属（例えばインジウム）と１種以上の不純物金属（例えばスズ）を含有する複合金属酸化物を主成分とする透明薄膜である。
　第１の透明電極１４および第２の透明電極１５として、例えば、インジウム酸化物、インジウムスズ酸化物(ITO : Indium Tin Oxide) 、インジウム亜鉛酸化物(IZO : Indium Zinc Oxide)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO : Indium Gallium Zinc Oxide)等のインジウム系複合酸化物が用いられるが、低比抵抗や透過色相の観点から、インジウムスズ酸化物(ITO)が特に好ましい。
　インジウム系複合酸化物は、可視光域で透過率が８０％以上と高く、かつ、単位面積当たりの表面抵抗値が３０Ω／□～１０００Ω／□（ohms per square）と低い特徴がある。インジウム系複合酸化物の単位面積当たりの表面抵抗値は、３００Ω／□以下が好ましく、１５０Ω／□以下がより好ましい。
　第１の透明電極１４および第２の透明電極１５には、更にチタンTi、マグネシウムMg、アルミニウムAl、金Au、銀Ag、銅Cuなどの不純物金属元素が含まれていてもよい。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、スパッタリング法、真空蒸着法などにより形成されるが、製法がこれに限定されることはない。
　第１の透明電極１４および第２の透明電極１５をインジウムスズ酸化物(ITO)にて形成する場合、インジウムスズ酸化物(ITO)中の酸化スズ(SnO2)の量は、酸化インジウム(In2O3)と酸化スズ(SnO2)の合計量に対して、０．５重量%～１５重量%であることが好ましく、３重量%～１５重量%であることがより好ましく、５重量%～１３重量%であることがさらに好ましい。酸化スズ(SnO2)が０．５重量%未満であると、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の表面抵抗値が高くなるおそれがある。酸化スズ(SnO2)が１５重量%を超えると、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の面内の表面抵抗値の均一性が失われるおそれがある。
　低温で形成された、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)からなる第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は非晶質であり、これを加熱処理することにより非晶質から結晶質に転化させることができる。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、結晶質に転化するとその表面抵抗値が低くなる。そのため、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は結晶質であることが望ましい。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５を結晶質に転化させる際の熱処理の条件は、８０℃～２００℃が適切であるが、生産性の観点からは、１４０℃以下、３０分以下が好ましい。
　第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さは、１５nm～５０nmであることが好ましい。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さが１５nmを下回ると、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の表面抵抗値が上昇するおそれがある。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さが５０nmを超えると、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の全光線透過率の低下や、内部応力の上昇によるクラック発生が懸念される。第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、２層以上の透明導電膜が積層された積層膜でもよい。
　第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、ポリエチレンジオキシチオフェン（PEDOT:PSS）、ポリピロール、ポリアニリンなどの導電性高分子の薄膜でもよい。また第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、線径が５μm～１０μm程度の銀や銅の極細金属線が透明フィルム上に網目状に形成された導電性極細網でもよい。あるいは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、カーボンナノファイバ、銀ナノワイヤ、グラフェンなどを含む薄膜でもよい。
　［透明粘着層］
　透明粘着層２１は光学透明粘着剤からなることが好ましい。例えば、光学透明粘着剤のシートを用いて透明粘着層２１を形成することができる。透明粘着層２１の代わりに透明接着層を用いることもできる。その場合、透明接着層は光学透明接着剤からなることが好ましい。例えば、液状の光学透明接着剤を塗布し、紫外線を照射して硬化させ、透明接着層を形成することができる。透明粘着層２１あるいは透明接着層の屈折率は、その両側に積層された材料の各々の屈折率の中間的な値であることが望ましい。そのように透明粘着層２１あるいは透明接着層の屈折率を選択することにより、透明粘着層２１あるいは透明接着層と、その両側に積層された材料との界面における光の反射を抑えることができる。
　［透明電極付き圧電フィルムの光学特性］
　一般に、ヘイズ値が大きくなっても、光は吸収されず散乱することがあるため、全光線透過率は低下しないことがある。しかし、全光線透過率は低下しなくても、ヘイズ値が大きくなるに従って、ディスプレイ画像の視認性は低下する。そのため全光線透過率の値だけでは、ディスプレイ画像の視認性は判断できない。本願発明者の実験によると、透明電極付き圧電フィルムの背面にあるディスプレイの画像を明瞭に視認するために、透明電極付き圧電フィルムのヘイズ値は、５％以下が好ましく、４％以下がより好ましく、３％以下がさらに好ましく、２％以下が特に好ましく、１％以下が最も好ましい。透明電極付き圧電フィルムの全光線透過率は８２％以上が好ましく、８５％以上がより好ましく、８６％以上がさらに好ましく、８８％以上が特に好ましい。透明電極付き圧電フィルムのヘイズ値が５％を超えた場合、あるいは、全光線透過率が８２％未満となった場合、ディスプレイの画像が明瞭に視認できなくなるおそれがある。
　［実施例１］
　［圧電フィルム］
　実施例１の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面に、まず図示しない易接着層を形成し、次にフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）の溶液をコーティングして作製された。第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の厚さは２３μmであった。
　圧電性を有するコーティング層１２を作製するにあたり、まず、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）を常温のメチルエチルケトンに超音波により溶解し、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）の溶液を作製した。フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）に含まれる、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンのモル比は、７５／２５であった。
　次にフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）の溶液を、バーコーターによって、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面にコーティングした。次に、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）および未乾燥のコーティング層を、６０℃、５分間の乾燥条件で乾燥して、圧電性を有するコーティング層１２を得た。乾燥後の圧電性を有するコーティング層１２の厚さは５μmであった。
　［透明電極］
　圧電性を有するコーティング層１２が積層された第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）をスパッタ装置にセットし、スパッタリング法により、厚さ２５nmのインジウムスズ酸化物（ITO）からなる第１の透明電極１４を、圧電性を有するコーティング層１２の表面に成膜した。このとき、アルゴンガス：酸素ガスの圧力比が９９：１で、全ガス圧が０．３Paのスパッタリング雰囲気とし、電力密度１．０W/cm2の電力を投入して、１０重量％の酸化スズと９０重量％の酸化インジウムの焼結体から成るインジウムスズ酸化物ターゲットをスパッタリングして、第１の透明電極１４を成膜した。
　次に、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面に、第１の透明電極１４と同じ成膜条件で、第２の透明電極１５を成膜した。このようにして透明電極付き圧電フィルムを作製した。この段階では、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は非晶質であった。
　［透明電極の結晶化］
　第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が非晶質である透明電極付き圧電フィルムを、加熱オーブンで８０℃、１２時間加熱して、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の結晶化処理を行ない、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が結晶質である透明電極付き圧電フィルムを得た。結晶化後の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の表面抵抗値は、それぞれ１５０Ω／□であった。
　［実施例２］
　実施例２の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第１例（１０１）の構成からなる。実施例２の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３と同様にして作製された。実施例２の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４と同様にして成膜され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
　［実施例３］
　実施例３の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２３例（１２３）の構成からなる。実施例３の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる圧電フィルム１３と同様にして作製された。実施例３の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４と同様にして成膜され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
　［実施例４］
　実施例４の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例４の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１μmであることを除いては、実施例１と同様にして作製された。
　［実施例５］
　実施例５の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例５の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１０μmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
　［実施例６］
　実施例６の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例６の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが２０μmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
　［実施例７］
　実施例７の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２５例（１２５）の構成からなる。実施例７の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１、圧電性を有するコーティング層１２は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１、圧電性を有するコーティング層１２と同様にして作製され、第１の透明電極１４を結晶化する工程まで実施された。
　実施例７の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第２の透明電極１５、第２の基材フィルム１７は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１と同様にして作製され、第２の透明電極１５を結晶化する工程まで実施された。
　最後に、圧電性を有するコーティング層１２と第２の透明電極１５を、透明粘着層２１を用いて貼り合わせて固定した。それにより第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１、圧電性を有するコーティング層１２、透明粘着層２１、第２の透明電極１５、第２の基材フィルム１７がこの順に積層されてなる、実施例７の透明電極付き圧電フィルムが得られた。透明粘着層２１としてアクリル系粘着剤（日東電工株式会社製）を用いた。
　［実施例８］
　実施例８の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第３例（１０３）の構成からなる。実施例８の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、圧電性を有するコーティング層１２、第１の基材フィルム１１は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、圧電性を有するコーティング層１２、第１の基材フィルム１１と同様にして作製された。
　実施例８の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第２の透明電極１５、第２の基材フィルム１７は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４、第１の基材フィルム１１と同様にして作製され、第２の透明電極１５を結晶化する工程まで実施された。
　最後に、第１の基材フィルム１１と第２の透明電極１５を、透明粘着層２１を用いて貼り合わせて固定した。それにより第１の透明電極１４、圧電性を有するコーティング層１２、第１の基材フィルム１１、透明粘着層２１、第２の透明電極１５、第２の基材フィルム１７がこの順に積層されてなる、実施例８の透明電極付き圧電フィルムが得られた。透明粘着層２１としてアクリル系粘着剤（日東電工株式会社製）を用いた。
　［実施例９］
　実施例９の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例９の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が、結晶化処理を実施しなかったため非晶質であり、厚さがそれぞれ２０nmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
　［実施例１０］
　実施例１０の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１０の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５の厚さがそれぞれ４０nmであることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
　［実施例１１］
　実施例１１の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１１の透明電極付き圧電フィルムは、第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が、結晶化処理を実施しなかったため非晶質であることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
　［実施例１２］
　実施例１２の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１２の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の材料が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）であることを除いては、実施例１の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
　圧電性を有するコーティング層１２を作製するにあたり、まず、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）を常温のメチルイソブチルケトンに超音波により溶解し、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）の溶液を作製した。フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）に含まれる、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンのモル比は、６４．２／２７．１／８．７であった。
　次にフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）の溶液を、バーコーターによって、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）の表面にコーティングした。次に、第１の基材フィルム１１（ポリエチレンテレフタレートフィルム）および未乾燥のコーティング層を、６０℃、５分間の乾燥条件で乾燥して、圧電性を有するコーティング層１２を得た。乾燥後の圧電性を有するコーティング層１２の厚さは１μmであった。
　［実施例１３］
　実施例１３の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１３の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが５μmであることを除いては、実施例１２の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
　［実施例１４］
　実施例１４の透明電極付き圧電フィルムは、本発明の透明電極付き圧電フィルムの第２例（１０２）の構成からなる。実施例１４の透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１０μmであることを除いては、実施例１２の透明電極付き圧電フィルムと同様にして作製された。
　［比較例１］
　比較例１の透明電極付き圧電フィルムは、自立したフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムの一面を第１の透明電極で、他面を第２の透明電極で挟んで積層した構成からなる。フッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムの厚さは４０μmであった。厚さ４０μmのフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムは、フッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）を常温のメチルイソブチルケトンに超音波により溶解した溶液を、乾燥後の厚さが４０μmとなるように、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面にコーティングし、乾燥後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がして作製された。比較例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極および第２の透明電極は、実施例１の透明電極付き圧電フィルムに含まれる第１の透明電極１４および第２の透明電極１５と同様にして作製された。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に本発明の圧電フィルムの実施例と比較例の構成、圧電性を有する層の種類とモル比と厚さ、第１および第２の透明電極の状態（結晶性）と厚さ、透明電極の無いときと有るときの全光線透過率、透明電極の有るときのヘイズ値を示す。表１中、VDFはフッ化ビニリデン、TrFEはトリフルオロエチレン、CTFEはクロロトリフルオロエチレンを示す。P(  )は共重合体を示す。従って、「P(VDF-TrFE)」は、「フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体」という意味である。また、「P(VDF-TrFE-CTFE)」は、「フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体」という意味である。PVDFはフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）を意味する。
　実施例１と実施例２を比較すると、第２の透明電極１５を積層した場合、全光線透過率は小さくなるが、ヘイズ値は変化しないことが分かる。
　実施例２と実施例３を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２と第１の基材フィルム１１の積層順序が逆になっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
　実施例１と実施例４を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが１／５になっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
　実施例１と実施例５を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが２倍になっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
　実施例１と実施例６を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが４倍になった場合、全光線透過率は変化しないが、ヘイズ値は大きくなることが分かる。
　実施例１と実施例７を比較すると、透明粘着層２１と第２の基材フィルム１７を積層しても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
　実施例７と実施例８を比較すると、第１の基材フィルム１１と圧電性を有するコーティング層１２の積層順序が逆になっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
　実施例１と実施例９を比較すると、厚さ２５nmの結晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、厚さ２０nmの非晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５より、全光線透過率が高い、しかしヘイズ値は同等であることが分かる。
　実施例１と実施例１０を比較すると、結晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５が厚くなったとき、全光線透過率は低下するが、ヘイズ値は変化しないことが分かる。
　実施例１０と実施例１１を比較すると、厚さ４０nmの結晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５と、厚さ２５nmの非晶質の第１の透明電極１４および第２の透明電極１５は、全光線透過率およびヘイズ値について同等であることが分かる。
　実施例４と実施例１２を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが薄い場合、圧電性を有するコーティング層１２がフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）のときは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）のときと比較して、全光線透過率およびヘイズ値について同等であることが分かる。
　実施例１と実施例１３を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが薄くない場合、圧電性を有するコーティング層１２がフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）のときは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）のときと比較して、全光線透過率は変わらないが、ヘイズ値は大きくなることが分かる。
　実施例５と実施例１４を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２の厚さが厚い場合、圧電性を有するコーティング層１２がフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）のときは、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）のときと比較して、全光線透過率は変わらないが、ヘイズ値は大きくなることが分かる。
　実施例１２～実施例１４を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２がフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体（３元系共重合体）のとき、圧電性を有するコーティング層１２が厚くなるに従って、全光線透過率は変化しないが、ヘイズ値は大きくなることが分かる。しかし実施例１２～実施例１４の全光線透過率およびヘイズ値は全て問題無いレベルである。
　実施例１、実施例４，実施例５を比較すると、圧電性を有するコーティング層１２が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体（２元系共重合体）のときは、圧電性を有するコーティング層１２が厚くなっても、全光線透過率およびヘイズ値は変化しないことが分かる。
　実施例１、実施例４，実施例５、実施例９～実施例１１と、比較例１を比較すると、自立したフッ化ビニリデンの重合体（ポリフッ化ビニリデン）のフィルムを用いた透明電極付き圧電フィルムは、圧電性を有するコーティング層１２を用いた透明電極付き圧電フィルムと比べて、全光線透過率は同程度であるが、ヘイズ値は著しく大きい。比較例１から、ヘイズ値が大きくなっても、全光線透過率が低下するとは限らないことが分かる。
　［測定方法］
　［厚さ］
　１μm未満の膜の厚さは、透過型電子顕微鏡（日立製作所製H-7650）を用いて、断面を観察して測定した。１μmを超える膜あるいはフィルムの厚さは、膜厚計（Peacock社製デジタルダイアルゲージDG-205）を用いて測定した。
　［ヘイズ値、全光線透過率］
　ヘイズ値、全光線透過率は、Direct Reading Haze Computer (Suga Test Instruments社製HGM-ZDP)を用いて測定した。
　［実施例１５～２０］
　また、図５において、圧電性を有するコーティング層１２、光学調整層１９、第１の透明電極１４の厚さおよび屈折率を測定した。圧電フィルム１３は上記実施例と同じで、PETフィルムにフッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体をコーティングしたものである。
　光学調整層１９は下の表に２に示すように、屈折率が１．５４、１．６２、１．７の場合がある。屈折率によって製造方法が異なるので屈折率ごとに説明する。屈折率が１．５４の場合、圧電性を有するコーティング層１２の一方の面に、メラミン樹脂：アルキド樹脂：有機シラン縮合物の重量比２：２：１の熱硬化型樹脂（光の屈折率ｎ＝１.５４）により、厚さが１２０ｎｍの光学調整層１９を形成した。
　屈折率が１．６２の場合、圧電性を有するコーティング層１２の一方の面に、紫外線硬化性樹脂４７質量部、酸化ジルコニア粒子（メジアン径４０ｎｍ）５７質量部およびＰＧＭＥを含有した光学調整組成物（ＪＳＲ社製、「オプスターＺ７４１２」、固形分１２質量％）をグラビアコーターを用いて塗布し、無風状態（０．１ｍ／ｓ未満）で直ちに６０℃で１分間加熱乾燥した。その後、高圧水銀ランプにて、積算光量２５０ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射して硬化処理を実施した。この方法により、厚み９０、１２０、または１５０ｎｍで屈折率１．６２の光学調整層１９を、圧電性を有するコーティング層１２の上に形成した。
　屈折率が１．７の場合、メラミン樹脂、アルキド樹脂及び有機シラン縮合物からなる熱硬化型樹脂（重量比で、メラミン樹脂：アルキド樹脂：有機シラン縮合物＝２：２：１）にＴｉＯ２（屈折率＝２．３５）の微粒子を混合した樹脂組成物を調製した。この際、上記樹脂組成物の屈折率が１．７０となるようにＴｉＯ２微粒子の混合量を調整した。そして、圧電性を有するコーティング層１２の上に上記樹脂組成物を塗工し、これを硬化させて、厚み１５０ｎｍの光学調整層１９（屈折率１．７０）を形成した。
　また、第１の透明電極１４は、インジウムスズ酸化物をスパッタリングによって成膜した。なお、図５には示されていないが、第１の基材フィルム１１における圧電性を有するコーティング層１２の反対面にアンチブロッキング機能を有するハードコート層を形成した。
　その結果を表２に示すが、「第１層」が圧電性を有するコーティング層１２、「第２層」が光学調整層１９、「第３層」が第１の透明電極１４である。各実施例は上記のように圧電性を有するコーティング層１２の厚さが０．５～１０μｍ、光学調整層１９の厚さが８０～１６０ｎｍ、第１の透明電極１４の厚さが２０ｎｍ以上になっている。また、圧電性を有するコーティング層１２の屈折率が１．４０～１．５０、光学調整層１９の屈折率が１．５０～１．７０、第１の透明電極１４の屈折率が１．９０～２．１０になっている。第１の透明電極１４と光学調整層１９の反射率差は２％以下であり、見栄えは良かった。
　なお、必要に応じて第１の透明電極１４はエッチングされて所望の電極等になる。上記屈折率を求める際、光学調整層１９の屈折率は第１の透明電極１４をエッチングによって取り除いた部分を用いた。そのため、各屈折率から空気と第１の透明電極１４、空気と光学調整層１９の反射率を求めることで、反射率差を求めた。
　[比較例２～３]
　実施例１５～２０に対する比較例として、光学調整層１９の無い場合（比較例２）と光学調整層１９の屈折率が１．５より小さい場合（比較例３）をおこなった。光学調整層１９が無い場合、反射率差は第１の透明電極１４と圧電性を有するコーティング層１２の差である。反射率差が２％より大きくなり、見栄えが悪くなった。
　なお、屈折率が１．４６の場合（比較例４）の光学調整層１９は、シリカゾル（コルコート（株）製，コルコートＰ）を、固形分濃度２％になるようにエタノールで希釈し、圧電性を有するコーティング層１２の一方の上に、シリカコート法により塗布し、その後、１５０℃で２分間乾燥、硬化させて、厚さが１２０ｎｍの層（ＳｉＯ２膜，光の屈折率１．４６）を形成して光学調整層１９とした。比較例において他の構成の製造方法は実施例と同じである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　圧電性を有するコーティング層１２の上に第１の透明電極１４を備えることで透明電極１４によって黄色または茶色に呈色して見栄えを損ねる場合がある。上記実施例のように光学調整層１９を設け、透明電極１４、光学調整層１９、圧電性を有するコーティング層１２の厚さおよび屈折率を上述した値の範囲になるように調節することで、表２のように反射率差を小さくでき、見栄えを損ねないことがわかった。圧電フィルム１３に光学調整層１９と透明電極１４を積層した構成をディスプレイの前面に配置してもディスプレイの見栄えを損ないにくいことがわかった。
　本発明の透明電極付き圧電フィルムの利用に制限はないが、特にタッチパネルのZ座標（指のタッチする圧力）検出用圧電フィルムとして好適に用いられる。
１０１～１３５　　圧電フィルム
１１　　第１の基材フィルム
１２　　圧電性を有するコーティング層
１３　　圧電フィルム
１４　　第１の透明電極
１５　　第２の透明電極
１７　　第２の基材フィルム
１８　　アンダーコート層
１９　　光学調整層
２０　　アンチブロッキング層
２１　　透明粘着層

Claims (31)

  1. 　第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、
    　前記圧電性を有するコーティング層の、前記第１の基材フィルムと反対側の表面に備えられた、少なくとも１層の第１の透明電極を備えた透明電極付き圧電フィルム。
  2. 　前記第１の基材フィルムの、前記圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に少なくとも１層の第２の透明電極を備えた請求項１に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  3. 　前記第１の基材フィルムの、前記圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備えた請求項１に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  4. 　前記第２の透明電極と前記第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項３に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  5. 　前記圧電性を有するコーティング層と前記第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項１～４のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  6. 前記圧電性を有するコーティング層の厚みが０．５～１０μｍ、光学調整層の厚みが８０～１６０ｎｍ、第１の透明電極の厚みが２０ｎｍ以上である請求項５の圧電フィルム。
  7. 前記圧電性を有するコーティング層の屈折率が１．４０～１．５０、光学調整層の屈折率が１．５０～１．７０、第１の透明電極の屈折率が１．９０～２．１０である請求項５または６の圧電フィルム。
  8. 　前記第１の基材フィルムと前記圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項１～７のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  9. 　前記第１の基材フィルムまたは第２の基材フィルムの、前記圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層のアンチブロッキング層を備えた請求項１～７のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  10. 　第１の基材フィルムと圧電性を有するコーティング層との積層体を含む圧電フィルムと、
    　前記第１の基材フィルムの、前記圧電性を有するコーティング層と反対側の表面に備えられた少なくとも１層の第１の透明電極を備えた透明電極付き圧電フィルム。
  11. 　前記圧電性を有するコーティング層の、前記第１の基材フィルムと反対側の表面に、少なくとも１層の第２の透明電極を備えた請求項１０に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  12. 　前記圧電性を有するコーティング層の、前記第１の基材フィルムと反対側の表面に、更に、次の順に備えられた、少なくとも１層の透明粘着層、少なくとも１層の第２の透明電極、少なくとも１層の第２の基材フィルムを備えた請求項１０に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  13. 　前記第２の透明電極と前記第２の基材フィルムの間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項１２に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  14. 　前記第１の基材フィルムと前記圧電性を有するコーティング層の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項１０～１３のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  15. 　前記第１の基材フィルムと前記第１の透明電極の間にアンダーコート層、光学調整層、およびアンチブロッキング層のいずれかを少なくとも１層備えた請求項１０～１３のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  16. 　前記第２の基材フィルムの、前記第２の透明電極と反対側の表面に少なくとも１層のアンチブロッキング層を備えた請求項１２に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  17. 　前記圧電性を有するコーティング層がフッ素樹脂を含む請求項１～１６のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  18. 　前記フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンの重合体、または、（フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン）のうちの２種以上の共重合体である請求項１７に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  19. 　前記フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンの共重合体であって、前記共重合体に含まれる前記フッ化ビニリデンと前記トリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（５０～８５）：（５０～１５）の範囲である請求項１８に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  20. 　前記フッ素樹脂が、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンの共重合体であって、前記共重合体に含まれる前記フッ化ビニリデンと前記トリフルオロエチレンと前記クロロトリフルオロエチレンのモル比が、全体を１００として、（６３～６５）：（２７～２９）：（１０～６）の範囲である請求項１８に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  21. 　前記圧電性を有するコーティング層が、前記フッ素樹脂の溶液を前記第１の基材フィルムに塗布および乾燥して得られるコーティング層である請求項１８～２０のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  22. 　前記圧電性を有するコーティング層の厚さが０．５μm～２０μmである請求項１～２１のいずれかに記載の圧電フィルム。
  23. 　前記第１の透明電極および前記第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、パターンニングされている請求項１～２２のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  24. 　前記第１の透明電極および前記第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、インジウムを含む請求項１～２３のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  25. 　前記第１の透明電極および前記第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、インジウムスズ酸化物（Indium Tin Oxide : ITO）を含む請求項１～２４のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  26. 　前記第１の透明電極および前記第２の透明電極のいずれか、あるいは両者の厚さが、１５nm～５０nmである請求項２５に記載の透明電極付き圧電フィルム。
  27. 　前記第１の透明電極および前記第２の透明電極のいずれか、あるいは両者が、結晶質である請求項２４～２６のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  28. 　前記基材フィルムの材料が、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、シクロオレフィンコポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリスチレン、ポリノルボルネンの少なくとも１種から選択される請求項１～２７のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  29. 　ヘイズ値が５％以下である請求項１～２８のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  30. 　全光線透過率が８２％以上である請求項１～２９のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルム。
  31. 　請求項１～３０のいずれかに記載の透明電極付き圧電フィルムを備えた圧力センサ。
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